JPH10220832A - 安全装置 - Google Patents
安全装置Info
- Publication number
- JPH10220832A JPH10220832A JP9020484A JP2048497A JPH10220832A JP H10220832 A JPH10220832 A JP H10220832A JP 9020484 A JP9020484 A JP 9020484A JP 2048497 A JP2048497 A JP 2048497A JP H10220832 A JPH10220832 A JP H10220832A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- reaction
- ejector
- exhaust
- nitrogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 75
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 63
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 37
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 16
- 238000001784 detoxification Methods 0.000 claims description 2
- 230000008030 elimination Effects 0.000 claims 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 4
- 230000002939 deleterious effect Effects 0.000 abstract 2
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 abstract 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Abstract
ガスを十分に低い濃度で系外に放出でき、容器の内圧を
大気圧以下に保持できることを課題とする。 【解決手段】原料供給装置から原料及びプロセスガスが
供給され、内部で反応が行われる反応容器(11)と、該反
応容器に接続され、該反応容器内部のガスを排気する排
気装置(13)と、該排気装置内の排気に含まれる有害成分
を取り除く除害装置(14)と、前記反応容器と排気装置を
結ぶラインに接続され、反応容器からの排気とガスの希
釈を行うエゼクタ(20)と、該エゼクタに接続された窒素
供給装置(25)とを具備し、通常運転時は、反応容器内を
排気装置により排気し、除外装置により有害ガスを取り
除いた後排気し、非常運転時は、窒素供給装置から窒素
をエゼクタに供給して、窒素の流動によりエゼクタの喉
部に負圧を発生させることにより、反応容器から反応ガ
スを排気することを特徴とする安全装置。
Description
に有害ガスや高温ガスを用いる設備の、緊急停止時の排
気設備に使用される安全装置に関する。
は、図2に示すものが知られている。図中の付番1は反
応容器である。この反応容器1には、該反応容器1に原
料及びプロセスガスが供給される原料供給装置2が接続
され、反応容器1内で反応が行われる。なお、前記原料
供給装置2は、インタロック装置により非常時には原料
の供給が自動的に停止されるようになっている。前記反
応容器1には、排気装置3,除害装置4,ベントスタッ
ク5などの排気設備が順次接続されている。前記反応容
器1における反応生成物及びプロセスガスに有害成分が
含まれている場合は、前記排気装置3により内部のガス
を排気し、前記除害装置4にて排気に含まれる有害成分
を取り除いた後、ベントスタック5から大気に放出され
る。ここで、前記排気装置3は、反応容器1内部の排気
を行うとともに、反応容器1内を大気圧以下に保って、
反応容器1から外部への漏洩を防止する機能を有する。
イン、及び除害装置4とベントスタック5を結ぶライン
間は、予備排気装置6,予備除害装置7を介装したライ
ン8により接続されている。これら予備排気装置6及び
予備除害装置7は、前記排気装置3及び除害装置4の故
障時にバックアップを行うために設置されている。前記
排気装置3,除害装置4,予備排気装置6及び予備除害
装置7には、停電時にもこれらの各装置が駆動するよう
に、無停電電源等の保安電源9が接続されている。
反応容器の排気装置においては、排気装置3,除害装置
4,予備排気装置6及び予備除害装置7を駆動するため
の無停電電源等の保安電源9は大型でかつ高価であると
ともに、保守,点検等を必要とする。また、機械的な駆
動部を含む除害装置,排気装置の信頼性を確保するた
め、バックアップが必要である。
もので、反応容器からの排気と反応ガスの希釈を行うエ
ゼクタを反応容器と排気装置を結ぶラインに接続するよ
うに設け、非常運転時にこのエゼクタを用いることによ
り、従来のように大型で高価な保守電源を用いることな
く、反応容器からの排気と反応ガスの希釈を行い、反応
ガスを十分に低い濃度で系外に放出できるとともに、反
応容器の内圧を大気圧以下に保持できる安全装置を提供
することを目的とする。
置から原料及びプロセスガスが供給され、内部で反応が
行われる反応容器と、この反応容器に接続され、該反応
容器内部のガスを排気する排気装置と、この排気装置に
接続され、該排気装置内の排気に含まれる有害成分を取
り除く除害装置と、前記反応容器と排気装置を結ぶライ
ンに接続され、前記反応容器からの排気とガスの希釈を
行うエゼクタと、このエゼクタに接続された窒素供給装
置とを具備し、通常運転時は、反応容器内を排気装置に
より排気し、除外装置により有害ガスを取り除いた後排
気し、非常運転時は、窒素供給装置から窒素をエゼクタ
に供給して、窒素の流動によりエゼクタの喉部に負圧を
発生させることにより、反応容器から反応ガスを排気す
ることを特徴とする安全装置である。
ことなく、安定して窒素ガスを供給することができ、停
電時でも反応ガスの排気と希釈を行うことができる。
の窒素の供給のみで機械駆動を行うことなく、排気系を
構成でき、電力なしで反応容器内の圧力を大気圧以下に
保つことができる。iii)エゼクタ,液体窒素タンクを用
いた窒素供給系統を非常時のバックアップの設備とする
ことにより、設備を簡略化できる。
全装置を図1を参照して説明する。図中の付番11は反応
容器である。この反応容器11には、該反応容器11に原料
及びプロセスガスが供給される原料供給装置12が接続さ
れ、反応容器11内で反応が行われる。なお、前記原料供
給装置12は、インタロック装置により非常時には原料の
供給が自動的に停止されるようになっている。前記反応
容器11には、排気装置13,除害装置14,ベントスタック
15などの排気設備が順次接続されている。
16には、排気流量調節弁17,容器排気系閉鎖弁18を順次
介装したライン19を介してエゼクタ20が接続されてい
る。ここで、排気流量調節弁17は反応容器11からの排気
流量を調節するものである。前記エゼクタ20には、エゼ
クタ20側から順にノーマルオープンである電磁弁21,窒
素流量調節弁22及び減圧弁23を介装したライン24を介し
て窒素供給装置25が接続されている。ここで、窒素流量
調節弁22は窒素の流量を、減圧弁23は窒素の圧力を調節
するものである。また、電磁弁21は通常運転時は閉じら
れ、非常時は開放されている。
は、原料供給装置12に接続された反応容器11と、前記反
応容器11に順次接続された排気装置13,除害装置14及び
ベントスタック15と、前記反応容器11と排気装置13を結
ぶライン16に接続された排気流量調節弁17,容器排気系
閉鎖弁18及びエゼクタ20と、このエゼクタ20に接続され
た電磁弁21,窒素流量調節弁22,減圧弁23及び窒素供給
装置25とを具備した構成となっている。かかる構成の安
全装置の通常運転時,停電等の非常時における作用は、
以下の通りである。
より排気し、除害装置14を用いて有害ガスを取り除いた
後、ベントスタック15により排気する。 ii) 非常時:原料供給装置12は、インタロック装置によ
り自動的に原料の供給が停止される。電磁弁21はノーマ
ルオープンであるので、非常時には自動的に開放され
る。電磁弁21が開くことにより、窒素供給装置25から窒
素が減圧弁23,窒素流量調節弁22,電磁弁21を通ってエ
ゼクタ20に供給される。窒素の流動によりエゼクタ20の
喉部に負圧が発生し、反応容器11から反応ガスを排気す
る。なお、窒素中の排気ガスの濃度を低く抑えるため
に、窒素の圧力は減圧弁23、窒素の流量は窒素流量調節
弁22、反応容器11からの排気流量は排気流量調節弁17を
用いて予め調節しておく。前記容器排気系閉鎖弁18は、
ノーマルオープンの電磁弁21で通常運転時は“閉”とし
て、エゼクタ20へのラインを閉じておくが、非常時は開
放され、エゼクタ20への排気ラインを開放する。
に述べる効果を有する。まず、エゼクタ20は窒素流量が
確保されれば、喉部に負圧が発生し、反応容器11から反
応ガスを吸い出すことができる。また、エゼクタ20を駆
動する時は、駆動用の窒素が窒素供給装置25からエゼク
タ20に供給されているため、窒素の流量と排ガスの流量
を予め調整しておくことで、反応ガスを希釈し下流の濃
度を低く抑えることができる。更に、ノーマルオープン
の電磁弁21を用いることにより、停電時は自動的にエゼ
クタ20の駆動と非常用の排気ラインが開放されるため、
別途、停電対策を行うことなく、排気を行うことができ
る。
応容器からの排気と反応ガスの希釈を行うエゼクタを反
応容器と排気装置を結ぶラインに接続するように設け、
非常運転時にこのエゼクタを用いることにより、従来の
ように大型で高価な保守電源を用いることなく、反応容
器からの排気と反応ガスの希釈を行い、反応ガスを十分
に低い濃度で系外に放出できるとともに、反応容器の内
圧を大気圧以下に保持できる安全装置を提供できる。
Claims (1)
- 【請求項1】 原料供給装置から原料及びプロセスガス
が供給され、内部で反応が行われる反応容器と、この反
応容器に接続され、該反応容器内部のガスを排気する排
気装置と、この排気装置に接続され、該排気装置内の排
気に含まれる有害成分を取り除く除害装置と、前記反応
容器と排気装置を結ぶラインに接続され、前記反応容器
からの排気とガスの希釈を行うエゼクタと、このエゼク
タに接続された窒素供給装置とを具備し、 通常運転時は、反応容器内を排気装置により排気し、除
外装置により有害ガスを取り除いた後排気し、 非常運転時は、窒素供給装置から窒素をエゼクタに供給
して、窒素の流動によりエゼクタの喉部に負圧を発生さ
せることにより、反応容器から反応ガスを排気すること
を特徴とする安全装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02048497A JP3801286B2 (ja) | 1997-02-03 | 1997-02-03 | 安全装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02048497A JP3801286B2 (ja) | 1997-02-03 | 1997-02-03 | 安全装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10220832A true JPH10220832A (ja) | 1998-08-21 |
| JP3801286B2 JP3801286B2 (ja) | 2006-07-26 |
Family
ID=12028417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02048497A Expired - Fee Related JP3801286B2 (ja) | 1997-02-03 | 1997-02-03 | 安全装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3801286B2 (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5534158A (en) * | 1978-09-01 | 1980-03-10 | Sony Corp | Vacuum reaction apparatus |
| JPS5740631A (en) * | 1980-08-26 | 1982-03-06 | Kansai Electric Power Co Inc:The | Apparatus for diluting gas for measuring diameter of smoke dust grain |
| JPS6426832U (ja) * | 1987-08-07 | 1989-02-15 | ||
| JPH05234986A (ja) * | 1992-02-20 | 1993-09-10 | Mitsubishi Electric Corp | 化学気相成長装置 |
| JPH08172083A (ja) * | 1994-12-16 | 1996-07-02 | Ebara Corp | 副生成物トラップ装置及びその洗浄方法 |
-
1997
- 1997-02-03 JP JP02048497A patent/JP3801286B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5534158A (en) * | 1978-09-01 | 1980-03-10 | Sony Corp | Vacuum reaction apparatus |
| JPS5740631A (en) * | 1980-08-26 | 1982-03-06 | Kansai Electric Power Co Inc:The | Apparatus for diluting gas for measuring diameter of smoke dust grain |
| JPS6426832U (ja) * | 1987-08-07 | 1989-02-15 | ||
| JPH05234986A (ja) * | 1992-02-20 | 1993-09-10 | Mitsubishi Electric Corp | 化学気相成長装置 |
| JPH08172083A (ja) * | 1994-12-16 | 1996-07-02 | Ebara Corp | 副生成物トラップ装置及びその洗浄方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3801286B2 (ja) | 2006-07-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6047672B1 (ja) | 真空処理装置 | |
| JP2000009037A (ja) | 排気装置及び排気方法 | |
| JP5570468B2 (ja) | プラズマ処理装置及び残留ガスの排気方法 | |
| US10229840B2 (en) | Ion implanter comprising integrated ventilation system | |
| KR20080043821A (ko) | 연료전지 시스템을 작용중지 및 재시작 하는 동안에제어하는 제어 어셈블리 | |
| US6688020B2 (en) | Substrate processing apparatus | |
| JP3801286B2 (ja) | 安全装置 | |
| US20080216865A1 (en) | Plasma Processing Method | |
| JPH10122539A (ja) | 排ガス処理装置 | |
| JP2022042602A (ja) | 水素希釈装置および水素希釈方法 | |
| JPH0387386A (ja) | 基板処理装置及び真空処理方法 | |
| JPH05144709A (ja) | 減圧装置 | |
| JP2008211004A (ja) | 半導体製造システム、制御装置、半導体製造システムの制御方法、及び処理液の回収方法 | |
| JP2004150681A (ja) | 蓄熱燃焼式排ガス浄化装置の運転制御方法およびその装置 | |
| JPH0831369A (ja) | ガス供給装置 | |
| US20180110891A1 (en) | Arrangement for Performing a Decontamination Process by Means of a Decontamination Agent Introduced Into a Containment | |
| JP2586208B2 (ja) | ガスシリンダキャビネット | |
| JP3482787B2 (ja) | 緊急ガス処理システム並びに緊急ガス処理方法 | |
| JPH07206586A (ja) | エピタキシャル成長装置 | |
| JP3211438B2 (ja) | 電子線照射装置用排気装置 | |
| JPH10321636A (ja) | 固体製造装置 | |
| JP2000300956A (ja) | 半導体製造装置用除害装置 | |
| JP6248360B2 (ja) | 排気ガス処理システム | |
| JPH0647268A (ja) | 真空処理装置の運転方法 | |
| JPH05245360A (ja) | 真空処理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050225 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050315 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050621 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050819 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20051205 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060411 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060425 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090512 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100512 Year of fee payment: 4 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |