JPH10223643A - ウェーハサイズ変更用カセットスペーサ - Google Patents
ウェーハサイズ変更用カセットスペーサInfo
- Publication number
- JPH10223643A JPH10223643A JP3424997A JP3424997A JPH10223643A JP H10223643 A JPH10223643 A JP H10223643A JP 3424997 A JP3424997 A JP 3424997A JP 3424997 A JP3424997 A JP 3424997A JP H10223643 A JPH10223643 A JP H10223643A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- size
- spacer
- changing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来のウェーハ熱処理炉は、５インチ、６イ
ンチ、８インチ用の全ての棚の使用効率が悪いという問
題があり、共用機で５インチ、６インチ、８インチのも
のをうまく処理したいという要望に応えるため。 【解決手段】 ウェーハ熱処理炉の大きなサイズのウェ
ーハ用の棚をそのまま利用してそれより小さなサイズの
ウェーハを積載するために用いられるウェーハサイズ変
更用カセットスペーサ１であって、大きいカセットの位
置決めサイズと同一サイズのスペーサとし、そのスペー
サ１に大きいカセットと同一中心の位置決めガイド２、
３、４、５を取り付けるようにしたウェーハサイズ変更
用カセットスペーサを提供する。
ンチ、８インチ用の全ての棚の使用効率が悪いという問
題があり、共用機で５インチ、６インチ、８インチのも
のをうまく処理したいという要望に応えるため。 【解決手段】 ウェーハ熱処理炉の大きなサイズのウェ
ーハ用の棚をそのまま利用してそれより小さなサイズの
ウェーハを積載するために用いられるウェーハサイズ変
更用カセットスペーサ１であって、大きいカセットの位
置決めサイズと同一サイズのスペーサとし、そのスペー
サ１に大きいカセットと同一中心の位置決めガイド２、
３、４、５を取り付けるようにしたウェーハサイズ変更
用カセットスペーサを提供する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハ熱処理炉
の棚にサイズ違いのウェーハを積載する場合に適用する
ウェーハサイズ変更用カセットスペーサに関する。
の棚にサイズ違いのウェーハを積載する場合に適用する
ウェーハサイズ変更用カセットスペーサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウェーハ熱処理炉においては、５
インチ、６インチ、８インチ用のそれぞれの専用の棚を
設け、各ウェーハを収納していた。
インチ、６インチ、８インチ用のそれぞれの専用の棚を
設け、各ウェーハを収納していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の従来
のウェーハ熱処理炉においては、８インチ用の棚を使用
することが多いため、５インチ、６インチ、８インチ用
の全ての棚の使用効率が悪いという問題があり、共用機
で５インチ、６インチ、８インチのものをうまく処理し
たいという要望があった。
のウェーハ熱処理炉においては、８インチ用の棚を使用
することが多いため、５インチ、６インチ、８インチ用
の全ての棚の使用効率が悪いという問題があり、共用機
で５インチ、６インチ、８インチのものをうまく処理し
たいという要望があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の要望に
応えるために、ウェーハ熱処理炉の大きなサイズのウェ
ーハ用の棚をそのまま利用してそれより小さなサイズの
ウェーハを積載するために用いられるウェーハサイズ変
更用カセットスペーサであって、大きいカセットの位置
決めサイズと同一サイズのスペーサとし、そのスペーサ
に大きいカセットと同一中心の位置決めガイドを取り付
けるようにしたウェーハサイズ変更用カセットスペーサ
を提供しようとするものである。
応えるために、ウェーハ熱処理炉の大きなサイズのウェ
ーハ用の棚をそのまま利用してそれより小さなサイズの
ウェーハを積載するために用いられるウェーハサイズ変
更用カセットスペーサであって、大きいカセットの位置
決めサイズと同一サイズのスペーサとし、そのスペーサ
に大きいカセットと同一中心の位置決めガイドを取り付
けるようにしたウェーハサイズ変更用カセットスペーサ
を提供しようとするものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明によるウェーハサイ
ズ変更用カセットスペーサの実施の形態について図１及
び図２を参照して説明する。図１は、本発明によるウェ
ーハサイズ変更用カセットスペーサの実施の形態を示す
もので、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）の正面図、
（Ｃ）は（Ａ）の側面図、図２は、図１のウェーハサイ
ズ変更用カセットスペーサの使用の態様を示すもので、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）の正面図、（Ｃ）は
（Ａ）の側面図である。本発明によるウェーハサイズ変
更用カセットスペーサ１は、ウェーハ熱処理炉の８イン
チの大きなサイズのウェーハ用の棚をそのまま利用して
それより小さなサイズのウェーハを積載するために用い
られるものであって、大きいカセットの位置決めサイズ
と同一サイズのスペーサとし、そのスペーサ１に大きい
カセットと同一中心の位置決めガイド２、３、４、５を
取り付けるようにしたものである。即ち、本発明による
カセットスペーサの構造としては、図１及び図２を参照
して、下記のようになっている。 ウェーハサイズ変更用カセットスペーサ１は、大きい
カセットをセットできる棚７をそのまま利用する。 スペーサ１は、大きいカセットの位置決めサイズと同
一サイズのものとする。 そのスペーサ１に、大きいカセットと同一中心の位置
決めガイド２、３、４、５を取り付ける。 持ち運び用の取手６付とする。 尚、１１は５インチウェーハで、２、３は５インチのウ
ェーハカセット取付時の左右方向の位置決め用ガイド、
４、５は５インチのウェーハカセット取付時の前後方向
の位置決め用ガイド、１２は８インチウェーハで、２
Ａ、３Ａ、４Ａ、５Ａは８インチのウェーハカセット取
付時の位置決め用ガイド、１３、１４はスペーサ１の前
後方向の位置決めガイド、９は５インチウェーハ用カセ
ットである。そして、本発明によるウェーハサイズ変更
用カセットスペーサ１の使い勝手としては、図１及び図
２を参照して、下記のようになっている。 ウェーハサイズ変更用カセットスペーサ１は、セット
したままで小さいカセットを載せても、又、外して小さ
いカセットを載せたものを持ち運びして棚７にセットす
ることもできる。 スペーサ１は、ガイド位置を変えることにより、小さ
いサイズならどんなサイズでも製作が可能である。 つぎに、一例として、図２を参照して、５インチカセッ
トの交換手順について述べる。 棚７は、そのまま使用する（８インチ側を使用）。 スペーサ１の上に５インチウェーハ１１を載せ、ガイ
ド２、３、４、５で位置決めする。 スペーサ１と５インチウェーハ用カセット９を棚７に
位置決めする。
ズ変更用カセットスペーサの実施の形態について図１及
び図２を参照して説明する。図１は、本発明によるウェ
ーハサイズ変更用カセットスペーサの実施の形態を示す
もので、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）の正面図、
（Ｃ）は（Ａ）の側面図、図２は、図１のウェーハサイ
ズ変更用カセットスペーサの使用の態様を示すもので、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）の正面図、（Ｃ）は
（Ａ）の側面図である。本発明によるウェーハサイズ変
更用カセットスペーサ１は、ウェーハ熱処理炉の８イン
チの大きなサイズのウェーハ用の棚をそのまま利用して
それより小さなサイズのウェーハを積載するために用い
られるものであって、大きいカセットの位置決めサイズ
と同一サイズのスペーサとし、そのスペーサ１に大きい
カセットと同一中心の位置決めガイド２、３、４、５を
取り付けるようにしたものである。即ち、本発明による
カセットスペーサの構造としては、図１及び図２を参照
して、下記のようになっている。 ウェーハサイズ変更用カセットスペーサ１は、大きい
カセットをセットできる棚７をそのまま利用する。 スペーサ１は、大きいカセットの位置決めサイズと同
一サイズのものとする。 そのスペーサ１に、大きいカセットと同一中心の位置
決めガイド２、３、４、５を取り付ける。 持ち運び用の取手６付とする。 尚、１１は５インチウェーハで、２、３は５インチのウ
ェーハカセット取付時の左右方向の位置決め用ガイド、
４、５は５インチのウェーハカセット取付時の前後方向
の位置決め用ガイド、１２は８インチウェーハで、２
Ａ、３Ａ、４Ａ、５Ａは８インチのウェーハカセット取
付時の位置決め用ガイド、１３、１４はスペーサ１の前
後方向の位置決めガイド、９は５インチウェーハ用カセ
ットである。そして、本発明によるウェーハサイズ変更
用カセットスペーサ１の使い勝手としては、図１及び図
２を参照して、下記のようになっている。 ウェーハサイズ変更用カセットスペーサ１は、セット
したままで小さいカセットを載せても、又、外して小さ
いカセットを載せたものを持ち運びして棚７にセットす
ることもできる。 スペーサ１は、ガイド位置を変えることにより、小さ
いサイズならどんなサイズでも製作が可能である。 つぎに、一例として、図２を参照して、５インチカセッ
トの交換手順について述べる。 棚７は、そのまま使用する（８インチ側を使用）。 スペーサ１の上に５インチウェーハ１１を載せ、ガイ
ド２、３、４、５で位置決めする。 スペーサ１と５インチウェーハ用カセット９を棚７に
位置決めする。
【０００６】
【発明の効果】本発明によるウェーハサイズ変更用カセ
ットスペーサは、上述のように構成されているので、下
記の効果を有する。 本体の棚を変えることが不要であり、 カセットに合ったスペーサを作っておけば、簡単にウ
ェーハサイズの変更が可能である。
ットスペーサは、上述のように構成されているので、下
記の効果を有する。 本体の棚を変えることが不要であり、 カセットに合ったスペーサを作っておけば、簡単にウ
ェーハサイズの変更が可能である。
【図１】本発明によるウェーハサイズ変更用カセットス
ペーサの実施の形態を示すもので、（Ａ）は平面図、
（Ｂ）は（Ａ）の正面図、（Ｃ）は（Ａ）の側面図であ
る。
ペーサの実施の形態を示すもので、（Ａ）は平面図、
（Ｂ）は（Ａ）の正面図、（Ｃ）は（Ａ）の側面図であ
る。
【図２】図１のウェーハサイズ変更用カセットスペーサ
の使用の態様を示すもので、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は
（Ａ）の正面図、（Ｃ）は（Ａ）の側面図である。
の使用の態様を示すもので、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は
（Ａ）の正面図、（Ｃ）は（Ａ）の側面図である。
【符号の説明】 １：ウェーハサイズ変更用カセットスペーサ ２、３、４、５：５インチウェーハ用位置決めガイド ２Ａ、３Ａ、４Ａ、５Ａ：８インチウェーハ用位置決め
ガイド ６：取手 ７：棚 ９：５インチウェーハ用カセット １１：５インチウェーハ １２：８インチウェーハ １３、１４：前後方向の位置決めガイド
ガイド ６：取手 ７：棚 ９：５インチウェーハ用カセット １１：５インチウェーハ １２：８インチウェーハ １３、１４：前後方向の位置決めガイド
Claims (1)
- 【請求項１】 ウェーハ熱処理炉の大きなサイズのウェ
ーハ用の棚をそのまま利用してそれより小さなサイズの
ウェーハを積載するために用いられるウェーハサイズ変
更用カセットスペーサであって、大きいカセットの位置
決めサイズと同一サイズのスペーサとし、そのスペーサ
に大きいカセットと同一中心の位置決めガイドを取り付
けるようにしたことを特徴とするウェーハサイズ変更用
カセットスペーサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3424997A JPH10223643A (ja) | 1997-02-04 | 1997-02-04 | ウェーハサイズ変更用カセットスペーサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3424997A JPH10223643A (ja) | 1997-02-04 | 1997-02-04 | ウェーハサイズ変更用カセットスペーサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10223643A true JPH10223643A (ja) | 1998-08-21 |
Family
ID=12408903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3424997A Pending JPH10223643A (ja) | 1997-02-04 | 1997-02-04 | ウェーハサイズ変更用カセットスペーサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10223643A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002101794A3 (en) * | 2001-06-13 | 2003-05-01 | Applied Materials Inc | Variable method and apparatus for alignment of automated workpiece handling systems |
| JP2007080439A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-03-29 | Mitsumi Electric Co Ltd | テープカートリッジオートローダー |
-
1997
- 1997-02-04 JP JP3424997A patent/JPH10223643A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002101794A3 (en) * | 2001-06-13 | 2003-05-01 | Applied Materials Inc | Variable method and apparatus for alignment of automated workpiece handling systems |
| US6625898B2 (en) | 2001-06-13 | 2003-09-30 | Applied Materials, Inc | Variable method and apparatus for alignment of automated workpiece handling systems |
| JP2007080439A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-03-29 | Mitsumi Electric Co Ltd | テープカートリッジオートローダー |
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