JPH04371419A - 半導体装置用着脱装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣ，ＬＳＩ等の半
導体装置のマシン間あるいはパレット間等の搬送に用い
られる半導体装置用着脱装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体装置用着脱装置の構成を図
２に示す。この従来の半導体装置用着脱装置は、アーム
５の先端に複数の吸着パッド６が設けられ、この吸着パ
ッド６によって半導体装置を吸着し、他のマシンやパレ
ット上まで移動した後、吸着パッド６への真空源などか
らの供給を断って半導体装置を離脱させるようにしてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、吸着パッド６の相互の間隔が固定されてい
るため、その間隔の整数倍の間隔の区画を有するマシン
やパレット間の搬送にしか使用できなかった。この発明
の目的は、任意の区画間隔を有するマシンやパレット間
の半導体装置の搬送を可能とする半導体装置用着脱装置
を提供することである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】この発明の半導体装置用
着脱装置は、複数の着脱機構の相互の間隔を任意に変更
可能としている。

【０００５】

【作用】この発明の構成によれば、複数の着脱機構の相
互の間隔を、マシンやパレットの有する区画間隔に応じ
て任意に変更できるため、任意の区画間隔を有するマシ
ンやパレット間の半導体装置の搬送を行なうことができ
る。

【０００６】

【実施例】この発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。図１はこの発明の一実施例の半導体装置用着脱装置
の構成図である。図１（ａ），（ｂ）　において、１は
着脱機構としての吸着パッド、２は吸着パッド１を複数
取り付けるビーム、３，４は半導体装置を収納するパレ
ットである。

【０００７】この半導体装置用着脱装置は、区画間隔の
小さいパレット３に半導体装置を出し入れするときは、
複数の吸着パッド１の間隔を小さくする。図１（ａ）　
では、最も間隔の小さい場合であり、吸着パッド１が相
互に接触している状態を示している。また、区画間隔の
大きいパレット４に半導体装置を出し入れするときは、
複数の吸着パッド１の間隔を大きくする。図１（ｂ）　
では、最も間隔の大きい場合であり、吸着パッド１が相
互に最も離れた状態を示している。

【０００８】このようにこの実施例では、吸着パッド１
の間隔を任意に設定することができるため、任意の区画
間隔のパレット間またはマシン間の搬送に使用すること
ができる。なお、吸着パッド１のビーム２上の移動は手
動で行なってもよいが、個々の吸着パッド１に駆動手段
を設けておき、作業対象となるパレット等の区画間隔に
応じて自動的に吸着パッド１の位置を設定することもで
きる。

【０００９】

【発明の効果】この発明の半導体装置用着脱装置は、複
数の着脱機構の相互の間隔を、マシンやパレットの有す
る区画間隔に応じて任意に変更できるため、任意の区画
間隔を有するマシンやパレット間の半導体装置の搬送を
行なうことができ、作業能率を大幅に向上させることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例の半導体装置用着脱装置の
構成図である。

【図２】従来の半導体装置用着脱装置の構成図である。

【符号の説明】

１　　　　吸着パッド（着脱機構）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　半導体装置を着脱する複数の着脱機構
   を備え、この複数の着脱機構の相互の間隔を任意に変更
   可能とした半導体装置用着脱装置。