JPH10227368A5 - - Google Patents

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JPH10227368A5 JP1997029996A JP2999697A JPH10227368A5 JP H10227368 A5 JPH10227368 A5 JP H10227368A5 JP 1997029996 A JP1997029996 A JP 1997029996A JP 2999697 A JP2999697 A JP 2999697A JP H10227368 A5 JPH10227368 A5 JP H10227368A5
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【００１０】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
この発明による流体制御装置は、複数の流体制御器と、各流体制御器の入口側および出口側にそれぞれ配置された複数の遮断開放器とを備え、各遮断開放器が、隣り合う弁同士がチューブを介さずに接続された複数の弁または１つの弁よりなり、各遮断開放器が、１つの２ポート弁を備えた２型の遮断開放器と、１つの２ポート弁および１つの３ポート弁を備えた２−３型の遮断開放器と、１つの２ポート弁および２つの３ポート弁を備えた２−３−３型の遮断開放器と、２つの３ポート弁を備えた３−３型の遮断開放器と、３つの３ポート弁を備えた３−３−３型の遮断開放器の５種類のうちのいずれかとされており、すべての型の遮断開放器の２ポート弁の弁本体が、入口および出口が下面に設けられた同一形状のものとされ、すべての型の遮断開放器の３ポート弁の弁本体が、常時連通している入口および出口に加えてさらに副出入口が下面に設けられた同一形状のものとされていることを特徴とするものである。
流体制御装置は、２ポート弁および３ポート弁の各出入口は、同一平面状に一列に配置されており、これらの出入口を連通する通路を有し弁および流体制御器を結合する複数の継手部材により形成されかつ弁本体が取り付けられる弁取付基部を備えていることが好ましい。

Claims (7)

  1. 複数の流体制御器と、各流体制御器の入口側および出口側にそれぞれ配置された複数の遮断開放器とを備え、各遮断開放器が、隣り合う弁同士がチューブを介さずに接続された複数の弁または１つの弁よりなり、
    各遮断開放器は、１つの２ポート弁を備えた２型の遮断開放器と、１つの２ポート弁および１つの３ポート弁を備えた２−３型の遮断開放器と、１つの２ポート弁および２つの３ポート弁を備えた２−３−３型の遮断開放器と、２つの３ポート弁を備えた３−３型の遮断開放器と、３つの３ポート弁を備えた３−３−３型の遮断開放器の５種類のうちのいずれかとされており、
    すべての型の遮断開放器の２ポート弁の弁本体が、入口および出口が下面に設けられた同一形状のものとされ、すべての型の遮断開放器の３ポート弁の弁本体が、常時連通している入口および出口に加えてさらに副出入口が下面に設けられた同一形状のものとされていることを特徴とする流体制御装置。
  2. ２ポート弁および３ポート弁の各出入口は、同一平面状に一列に配置されており、これらの出入口を連通する通路を有し弁および流体制御器を結合する複数の継手部材により形成されかつ弁本体が取り付けられる弁取付基部をさらに備えている請求項１の流体制御装置。
  3. 少なくとも１つの流体制御器が１種類の流体が流されるものであり、同流体制御器の入口側および出口側にそれぞれ２型の遮断開放器が配置されている請求項１または２の流体制御装置。
  4. 少なくとも１つの流体制御器が２種類の流体が流されるものであり、同流体制御器の入口側および出口側にそれぞれ２−３型の遮断開放器が配置されている請求項１または２の流体制御装置。
  5. 少なくとも１つの流体制御器が、２種類の流体が流されるとともにその出口側に真空引き通路が設けられるものであり、同流体制御器の入口側に２−３型の遮断開放器が、出口側に２−３−３型の遮断開放器が配置されている請求項１または２の流体制御装置。
  6. 少なくとも１つの流体制御器が、２種類の流体が流されるとともにその入口側と出口側との間に流体制御器を通らないバイパス通路が設けられているものであり、同流体制御器の入口側および出口側にそれぞれ３−３型の遮断開放器が配置されている請求項１または２の流体制御装置。
  7. 少なくとも１つの流体制御器が、２種類の流体が流されるとともに、その出口側に真空引き通路が、その入口側と出口側との間に流体制御器を通らないバイパス通路が設けられるものであり、同流体制御器の入口側に３−３型の遮断開放器が、出口側に３−３−３型の遮断開放器が配置されている請求項１または２の流体制御装置。
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