JPH10227644A5 - - Google Patents

Description

【０００８】
【課題を解決するための手段】
(1) 本発明の第１の態様は、第１の軸方向に振動中の振動子に対して、この第１の軸に直交する第２の軸方向に作用するコリオリ力を検出することにより、第１の軸および第２の軸の双方に直交する第３の軸まわりの角速度を求める角速度センサにおいて、
センサを構成する要素の一部もしくは全部を収容する装置筐体と、
装置筐体内に収容された振動子と、
第１の軸方向に振動することができ、かつ、第２の軸方向のコリオリ力の作用により変位することができるように、振動子を装置筐体に対して所定の自由度をもって支持する支持手段と、
振動子を第１の軸方向に、所定の周期φで振動させる駆動手段と、
振動子側に形成された変位電極と、装置筐体側に形成された固定電極と、を有し、第２の軸の正方向を向いたコリオリ力が作用したとき、振動子の当該コリオリ力の作用に起因する変位により静電容量値が小さくなり、第２の軸の負方向を向いたコリオリ力が作用したとき、振動子の当該コリオリ力の作用に起因する変位により静電容量値が大きくなるように配置された第１の容量素子と、
振動子側に形成された変位電極と、装置筐体側に形成された固定電極と、を有し、第２の軸の正方向を向いたコリオリ力が作用したとき、振動子の当該コリオリ力の作用に起因する変位により静電容量値が大きくなり、第２の軸の負方向を向いたコリオリ力が作用したとき、振動子の当該コリオリ力の作用に起因する変位により静電容量値が小さくなるように配置された第２の容量素子と、
第１の容量素子の静電容量値に起因して遅延時間が定まる第１の遅延回路と、
第２の容量素子の静電容量値に起因して遅延時間が定まる第２の遅延回路と、
周期φをもった第１の周期信号を発生し、この第１の周期信号を第１の遅延回路に与える第１の信号供給回路と、
周期φをもった第２の周期信号を発生し、この第２の周期信号を第２の遅延回路に与える第２の信号供給回路と、
第１の遅延回路から出力される第１の遅延信号と、第２の遅延回路から出力される第２の遅延信号と、の位相差を示す位相差信号を生成する位相差検出回路と、
この位相差信号を周期φ／２ごとの期間に区切り、奇数番目の期間に示された位相差および偶数番目の期間に示された位相差の少なくとも一方に基づいて第３の軸まわりの角速度を検出する角速度検出回路と、
を設けたものである。

Claims (1)

1. 第１の軸方向に振動中の振動子に対して、前記第１の軸に直交する第２の軸方向に作用するコリオリ力を検出することにより、前記第１の軸および前記第２の軸の双方に直交する第３の軸まわりの角速度を求める角速度センサであって、
   センサを構成する要素の一部もしくは全部を収容する装置筐体と、
   前記装置筐体内に収容された振動子と、
   前記第１の軸方向に振動することができ、かつ、前記第２の軸方向のコリオリ力の作用により変位することができるように、前記振動子を前記装置筐体に対して所定の自由度をもって支持する支持手段と、
   前記振動子を前記第１の軸方向に、所定の周期φで振動させる駆動手段と、
   前記振動子側に形成された変位電極と、前記装置筐体側に形成された固定電極と、を有し、前記第２の軸の正方向を向いたコリオリ力が作用したとき、前記振動子の当該コリオリ力の作用に起因する変位により静電容量値が小さくなり、前記第２の軸の負方向を向いたコリオリ力が作用したとき、前記振動子の当該コリオリ力の作用に起因する変位により静電容量値が大きくなるように配置された第１の容量素子と、
   前記振動子側に形成された変位電極と、前記装置筐体側に形成された固定電極と、を有し、前記第２の軸の正方向を向いたコリオリ力が作用したとき、前記振動子の当該コリオリ力の作用に起因する変位により静電容量値が大きくなり、前記第２の軸の負方向を向いたコリオリ力が作用したとき、前記振動子の当該コリオリ力の作用に起因する変位により静電容量値が小さくなるように配置された第２の容量素子と、
   前記第１の容量素子の静電容量値に起因して遅延時間が定まる第１の遅延回路と、
   前記第２の容量素子の静電容量値に起因して遅延時間が定まる第２の遅延回路と、
   前記周期φをもった第１の周期信号を発生し、この第１の周期信号を前記第１の遅延回路に与える第１の信号供給回路と、
   前記周期φをもった第２の周期信号を発生し、この第２の周期信号を前記第２の遅延回路に与える第２の信号供給回路と、
   前記第１の遅延回路から出力される第１の遅延信号と、前記第２の遅延回路から出力される第２の遅延信号と、の位相差を示す位相差信号を生成する位相差検出回路と、
   前記位相差信号を周期φ／２ごとの期間に区切り、奇数番目の期間に示された位相差および偶数番目の期間に示された位相差の少なくとも一方に基づいて第３の軸まわりの角速度を検出する角速度検出回路と、
   を備えることを特徴とする振動子を用いた角速度センサ。