JPH10228317A

JPH10228317A - 位置決め装置

Info

Publication number: JPH10228317A
Application number: JP3012797A
Authority: JP
Inventors: Ichiro Kamimura; 一郎上村
Original assignee: Namu Co Ltd Japan
Current assignee: Namu Co Ltd Japan
Priority date: 1997-02-14
Filing date: 1997-02-14
Publication date: 1998-08-25

Abstract

(57)【要約】【課題】高精度の歯車伝達機構を必要とせず、かつ、
必要に応じて予圧を付与する位置決め装置を提供する。【解決手段】基部11に固定されたねじ軸13に、２つの
ナット19を螺合させる。各ナットを可動部12に固定され
た２つのモータ14で独立駆動する。モータ14Ａに駆動さ
れるナット19Ａと、モータ14Ｂに駆動されるナット19Ｂ
との回転数（回転角）に差を与えると、回転数差に対応
した分だけ、各ナットとねじ軸との間の変位量に差が生
じる。このとき、各構成部材の弾性変形の範囲内でナッ
ト同士を接近又は離間させることができる。そして、２
つのナットによりねじ軸を収縮もしくは伸張させる力を
付与し、各ナットのねじ山をねじ軸のねじ山に当接させ
る。このときの装置のたわみ量を、エンコーダ20および
リニアスケール22の変位量の検出値の差から求め、モー
タの回転数を調整して移動量の補正を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、歯車、ベルト（チ
ェーンベルト、スチールベルト等）とプーリ（スプロケ
ット）、送りねじ軸と送りナット等の動力伝達機構によ
って駆動手段の動力を減速し、高精度かつ大荷重に耐え
得る動作を行う位置決め装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】加工装置等を正確に作動させて高精度の
機械加工を行う等の目的の為に、従来よりさまざまな形
式の位置決め装置が用いられている。本発明者も、特開
昭62-218041 号公報に位置決め装置の一例を開示してい
る。ここで、上記公報に開示された位置決め装置を図７
に示して簡単に説明する。位置決め装置は、基部１と可
動部２とを有する。そして、基部１には送りねじ軸３
（以下、単にねじ軸という。）を固定している。可動部
２の内部には、ステータ４、ロータ５および中空のロー
タ軸６からなるモータ７を有している。ロータ軸６はね
じ軸３と同心をなしている。また、ロータ軸６は遊星歯
車機構等の減速部８を介して出力軸９と駆動連結してい
る。出力軸９にはねじ軸３と螺合する送りナット10（以
下、単にナットという。）を設けている。

【０００３】モータ７を駆動すると、ロータ軸６の回転
がナット10に伝達される。そして、ナット10がねじ軸３
のねじ溝に案内されることによって、可動部２はねじ軸
３の軸方向に移動する。図８には、ねじ軸３とナット10
との当接部断面を示している。図示の例では、ねじ軸３
はボールねじ軸となっている。さて、ねじ軸３とナット
10との間には、ねじの加工精度の問題等から、バックラ
ッシを必ず包含している。ところが、このバックラッシ
はねじ軸３に対するナット10の位置決め精度を悪化させ
る要因となる。そこで、高い位置決め精度を得る為に
は、このバックラッシを解消する必要がある。

【０００４】従来は、バックラッシを解消するための手
法として、ナット10に次のものを用いていた。ナット10
はナット10ａ，10ｂの２つのナットからなり、かつ、こ
れらを間座（又はスプリング）10ｃで連結したいわゆる
ダブルナットを用いる。間座10ｃはナット10ａ，10ｂの
間隔を所望の値に調節するものであり、この間隔調整に
よって、ナット10ａ，10ｂのねじ山をねじ軸３のねじ山
（ボール）に押圧することができる。したがって、適切
な間隔をなすナット10ａ，10ｂにより、ねじ軸３とナッ
ト10との間には、常に所定量の予圧を付与することがで
きる。これによりバックラッシは解消され、ねじ軸３と
ナット10との間でガタのない運動をすることが可能とな
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来例
には下記のような問題点が存在していた。前述のごと
く、ダブルナット10は、ねじ軸３との間に常に予圧を付
与するので、ダブルナット10と、ねじ軸３との間にでき
るだけ無理な力がかからず、かつ、滑らかな螺合を行う
ことができるように、高いねじ精度が要求される。した
がって、部品コストの高騰を招くこととなった。また、
幾ら高いねじ精度で形成しても、ナット10ａ，10ｂには
加工精度の限界からピッチ誤差を生じ、これが摩耗を引
き起こす原因となった。したがって、一定時間の使用の
後にはねじ精度が低下してしまい、この補修に要するメ
ンテナンス費用も高額となった。

【０００６】また、図７において、ナット10ａはねじ溝
の左側面がボールに当接し、ナット10ｂはねじ溝の右側
面がボールに当接している。よってダブルナット10は、
図８の左から右方向への荷重はナット10ａのみで、その
逆方向の荷重をナット10ｂのみで受けることになる。す
なわち、ダブルナット10は、その全長のうち略半分でし
か荷重を受けることができず、長さの割に許容荷重が小
さいという欠点がある。裏返せば、設定荷重によっては
長大なダブルナット10を用いることが必要となる。する
と、前記ピッチ誤差をますます生じ易くなり、耐久性を
低下させる原因となった。

【０００７】又、上記従来例に限らず、歯車等の動力伝
達機構によって動力伝達を行う装置は、バックラッシを
必ず包含しており、従来はこのバックラッシを解消する
為には、歯車間に常時予圧を付与する手法を用いてい
た。したがって、歯車の摩耗という問題が常につきまと
うこととなった。

【０００８】本発明は上記課題に鑑みてなされたもので
あり、その目的とするところは、駆動軸と従動軸との間
に動力伝達機構を介する駆動手段を有する位置決め装置
において、駆動軸と従動軸との間にかかる応力とたわみ
量（歪み（ヒステリシス）量）とを正確に検出し、該た
わみ量を考慮しながら零ないし所定値の間で任意に予圧
を調整し、高精度の動力伝達機構を用いることなく、バ
ックラッシの解消と所望の予圧の付与とを行うことにあ
る。なお、この場合の「たわみ」には、圧縮による歪
み、引張りによる伸び、曲げによる弾み等を含むことと
する。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の請求項１に係る手段は、基部と可動部との相
対的な位置決めを行う装置であって、２つの駆動軸と１
つの従動軸とを有し、基部および可動部のいずれか一方
に駆動軸を、他方に従動軸を設け、各駆動軸と従動軸と
の間を動力伝達機構によって駆動連結し、基部と可動部
との間には変位量センサを配置し、２つの駆動軸には駆
動手段および回転数センサを夫々設け、さらに、前記駆
動軸と従動軸との間にかかる応力を検出する応力センサ
を設け、該応力センサの検出値と、前記変位量センサお
よび回転数センサの検出値とに基づき各駆動手段を所定
のタイミングで独立制御可能な制御手段を有することを
特徴とする。

【００１０】上記構成によると、動力伝達機構を介して
２つの駆動軸で１つの従動軸を駆動する。この際、基部
と可動部との相対変位量を変位量センサで、２つの駆動
軸の駆動量の差を回転数センサで検出し、さらに、前記
駆動軸と従動軸との間にかかる応力を応力センサで検出
し、制御手段によりこれらの値を正確に把握して、各駆
動手段の作動タイミングを調整し、２つの駆動軸の駆動
量に所定差を生み出す。そして、各動力伝達機構におけ
る伝達部材（歯車であれば歯同士）を逆方向に押圧して
バックラッシを解消し、前記応力センサで検出される値
が所望値となるように予圧を調整する。この予圧の付与
は、いかなる運転状況においても可能であるが、特に極
低速域から停止状態にかけて予圧を付与することによ
り、軸受でいう静的荷重に相当する荷重を動力伝達機構
の構成部材間に付与することができる。

【００１１】このとき、前記基部と可動部との相対変位
量は、前記回転数センサの検出値と動力伝達機構の増減
速比との関係から求まる値と、前記変位量センサから求
めた値との双方から得られる。そこで、これらの値を比
較することにより、駆動軸と従動軸との間に生じている
実際のたわみ量を求め、該たわみの影響による変位量の
誤差の発生や予圧の増減を防止するように予圧調整を行
う。

【００１２】また、本発明の請求項２に係る手段は、前
記２つの駆動手段としてモータを、前記２つの駆動軸と
して該モータの中空のロータ軸を、前記１つの従動軸と
してねじ軸を有し、前記基部には該ねじ軸を固定し、前
記可動部には前記モータを所定間隔を開けて固定し、各
ロータ軸に前記ねじ軸を挿通し、該ねじ軸と螺合するナ
ットを各ロータ軸に駆動連結すると共に、前記ねじ軸お
よびロータ軸に応力センサを設けてなることが望まし
い。

【００１３】本発明によると、基部に固定されたねじ軸
に、２つのナットを螺合させる。また、該ナットは、可
動部に固定された２つのモータのロータ軸に、夫々駆動
連結される。そして、各モータを独立制御し、一方のモ
ータに駆動されるナットと、他方のモータに駆動される
ナットとの回転数（回転角）に差を与える。すると、２
つのモータの回転数差に対応した分だけ、各ナットとね
じ軸との間の変位量に差が生じる。このとき、可動部、
モータ等の各構成部材の弾性変形の範囲内で、２つのナ
ット同士を接近又は離間させることができる。そして、
２つのナットによりねじ軸を収縮もしくは伸張させる力
を付与し、各ナットのねじ山をねじ軸のねじ山に当接さ
せ、ナットとねじ軸との間のバックラッシを解消する。

【００１４】この際、基部と可動部との相対変位量を変
位量センサで把握し、かつ、一方のモータが停止した時
点から他方のモータを停止させるまでの回転数の差を、
各ロータ軸の回転数センサで把握することにより、２つ
のナットの変位量を正確に割り出す。そして、ねじ軸お
よびロータ軸に設けた応力センサの検出値が所望の値と
なるように、他方のモータを制御して予圧を調整する。
また、可動部又は基部に付与する予圧又は外力の影響で
ねじ軸等がたわむ場合にも、モータ軸の回転数センサの
検出値とねじピッチとの関係から求まる基部と可動部と
の相対変位量と、前記変位量センサによる同値とを比較
することにより、装置に生じているたわみ量を求め、該
たわみ量に応じた送り量をナットに与えることにより、
正確な位置決めと適切な予圧調整とを行う。この際、予
圧の付与を極低速域から停止状態にかけて行うと、軸受
でいう静的荷重に相当する荷重をねじ軸とナットとの間
に付与することができ、静的荷重に基づいて耐久性の判
断を行うことができる。

【００１５】また、本発明の請求項３に係る手段による
と、前記２つの駆動手段としてモータを、前記２つの駆
動軸としてピニオンギヤを、前記１つの従動軸として該
ピニオンギヤと螺合するラックを有し、前記基部にはラ
ックを固定し、前記可動部には前記モータおよびピニオ
ンギヤを設け、前記可動部およびピニオンギヤに応力セ
ンサを設けてなることを特徴とする。

【００１６】本発明においても、ピニオンギヤに設けら
れた応力センサの検出値に基づいて、ラックに対する２
つのピニオンギヤの駆動量を変えることにより、動力伝
達機構であるピニオンギヤおよびラックの歯同士を互い
に押圧し、ピニオンギヤとラックとが包含するバックラ
ッシを解消すると共に、ピニオンギヤとラックとの間に
所望の予圧を調整する。また、可動部又は基部に付与す
る予圧又は外力の影響で可動部等がたわむ場合にも、モ
ータ軸の回転数センサの検出値と歯のピッチとの関係か
ら求まる基部と可動部との相対変位量と、前記変位量セ
ンサによる同値とを比較することにより、装置に生じて
いるたわみ量を求め、該たわみ量に応じた送り量をピニ
オンギヤに与えることにより、正確な位置決めと適切な
予圧調整とを行う。また、予圧の付与を極低速域から停
止状態にかけて行うと、軸受でいう静的荷重に相当する
荷重をピニオンギヤとラックとの間に付与することがで
きる。

【００１７】また、本発明の請求項４に係る手段におい
ては、前記２つの駆動手段としてモータを、前記２つの
駆動軸としてウォームを、前記１つの従動軸として該ウ
ォームと螺合するウォームホイールを有し、前記基部に
はウォームおよびモータを配置し、前記可動部をウォー
ムホイールの回転軸で支持すると共に、前記ウォームお
よびウォームホイールの夫々に応力センサを設け、か
つ、ウォームホイールに回転角センサを設けてなること
を特徴とする。

【００１８】本発明によると、前記可動部をその回転軸
で支持するウォームホイールと、基部に配置された２つ
のウォームとを噛み合わせる。そして、ウォームを駆動
する２つのモータを独立制御することによって、一方の
ウォームと他方のウォームとの回転数に差を与える。す
ると、該回転数差に対応した分だけ、各ウォームとウォ
ームホイールとの間の変位量に差が生じる。このとき、
一方のウォームとウォームホイールとの当接部にかかる
力と、他方のウォームとウォームホイールとの当接部に
係る力とが互いに逆向きに釣り合い、バックラッシを解
消する。

【００１９】この際、基部と可動部との相対変位量を変
位量センサで把握し、かつ、一方のウォームと他方のウ
ォームとの回転数の差を、各ロータ軸の回転数センサで
把握することにより、２つのウォームの変位量を正確に
割り出す。同時に、ウォームにかかる応力を応力センサ
で検出し、前記応力センサで検出される値が所望値とな
るように２つのモータを制御し、予圧を調整する。さら
に、前記可動部にかかる外力がウォームホイールを介し
てウォームに伝えられると、ウォームにかかる応力を前
記応力センサで検出し、該検出値に応じてウォームの送
り量を調節し、ウォームとウォームホイールとの当接部
にかかる力を増減させることによって予圧調整を行う。
さらに、可動部又は基部に付与する予圧又は外力の影響
で可動部等がたわむ場合にも、モータ軸の回転数センサ
の検出値と歯のピッチとの関係から求まる基部と可動部
との相対回転角と、前記回転角センサによる同値とを比
較することにより、装置に生じているたわみ量を求め、
該たわみ量に応じた送り量をウォームギヤに与えること
により、正確な位置決めと適切な予圧調整とを行う。本
発明においても、予圧の付与を極低速域から停止状態に
かけて行うと、軸受でいう静的荷重に相当する荷重をウ
ォームとウォームホイールの間に付与することができ
る。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。ここで、従来例と同一部分若
しくは相当する部分については、詳しい説明を省略す
る。

【００２１】図１ないし図３には、本発明の第１の実施
の形態に係る位置決め装置を示している。以下の説明に
おいて、同一のものが２つ設けられている部材について
は、必要に応じて符号の後にＡ，Ｂを付して区別する。
この位置決め装置は、基部11と可動部12とを有する。基
部11には送りねじ軸13（以下、単にねじ軸と称す。）を
固定している。また、可動部12は、ワーク台等として用
いることができるように平板状をなしている。可動部12
の底面には、その移動方向に２つのモータ14を直列に並
べて固定している。モータ14は、ハウジング18の内部に
ステータ15、ロータ16および中空のロータ軸17を有して
いる。ロータ軸17は、スラスト方向、ラジアル方向双方
の荷重を受けることが可能な軸受を介して、ハウジング
18に回動自在に支持されている。そして、各ロータ軸17
にねじ軸13が挿通される。

【００２２】ロータ軸17の内部には、ねじ軸13と螺合す
る送りナット19（以下、単にナットと称す。）が固定さ
れており、ロータ軸17の回転力をナット19を介してねじ
軸13に伝達することができる。ナット19はいわゆるダブ
ルナットではなく、一般的な（シングル）ナットが用い
られる。なお、ねじ軸13およびナット19は、滑りねじま
たはボールねじのどちらを用いることも可能である。ま
た、本発明の実施の形態においてねじに要求される精度
は、後述する理由から転造成形で得られる程度のもので
良い。さらに、図２に示すように、基部11にはねじ軸13
と平行にレール25が敷設されており、可動部12にはレー
ル25に対して摺動自在に係合するガイド26が設けられて
いる。

【００２３】さらにモータ14には、ロータ軸17の回転数
センサとしてアブソリュートエンコーダ20を、ロータ軸
17の制動・位置固定手段として電磁ブレーキ21を有して
いる。これらエンコーダ10、電磁ブレーキ21等の配置は
任意に設定することができる。また、基部11と可動部12
との間には、変位量センサとしてリニアスケール22を配
している。また、ねじ軸13の端部には応力センサ23を設
けている。さらに、後述する図４に示すようにロータ軸
17に応力センサ35を設けることもできる。ここで用いら
れる応力センサは、歪みゲージ式（ストレーンゲージ
式）、磁歪式（応力に応じて磁場を発生させ、その大き
さを検出する形式）、超磁歪材料を用いる形式、超音波
式（超音波の伝播速度が応力に比例する為、その変化を
検出する形式）、応力偏光樹脂式（応力に応じて発色す
る）等、任意のものを用いることができる。

【００２４】図３には、本実施の形態に係る位置決め装
置の構成をブロック図で示している。図示のごとく、ね
じ軸13の端部に取付けられた応力センサ23の検出信号
は、インターフェイスＩ．Ｆを経て、制御手段であるＣ
ＰＵ24に伝送される。また、モータ14Ａ，14Ｂの回転数
および回転速度は、夫々のエンコーダ20Ａ，20Ｂにより
検出され、その検出値はＩ．Ｆを経てＣＰＵ24に伝送さ
れる。モータ14Ａ，14Ｂの回転数に対応する可動部12の
変位量は、ねじのピッチから求めることができ、この対
応関係を予めメモリーＭに入力しておく。また、各部材
の剛性値もメモリーＭに入力する。さらに、モータの温
度Ｔの検出信号もＩ．Ｆを経てＣＰＵ24に伝送される。
同様に、リニアスケール22の検出信号もＩ．Ｆを経てＣ
ＰＵ24に伝送される。上記各検出信号に基づき、モータ
の推力、位置、速度、可動部12の位置等をＣＰＵ24で認
識し、かつディスプレイＤ．Ｐに表示することもでき
る。さらに、モータ14Ａ，14Ｂの駆動電力は、ＣＰＵ24
からドライバーＤ_A ，Ｄ_B に駆動信号が伝送されること
によって、各モータに供給される。上記構成により、後
述する「応力適応制御」を行うことができる。図４に
は、図３に示すモータ14Ｂの内部構造を例示している。
図示のごとく、ロータ軸17に設けられた応力禅差35（35
Ｂ）の検出信号も、Ｉ．Ｆを経てＣＰＵ24に伝送され
る。なお、モータ14Ａも同様の構成を有している。

【００２５】ここで、上記構成をなす位置決め装置によ
る位置決め手順の一例を、図１および図３、図４に基づ
いて説明する。以下の説明では、便宜上一方のモータお
よびそれに関連する部材には符号の後にＡを、他方のモ
ータおよびそれに関連する部材には符号の後にＢを付
す。また、以下の説明では、基部11に対する可動部12の
移動方向が図１の左から右方向である場合を考える。 (1) まず、可動部12に所望の移動量を得る為に必要なモ
ータ14の回転数を、ＣＰＵ24で割り出す。 (2) ＣＰＵ24の指令によりモータ14Ａ，14Ｂを同一方向
に同期回転させ、可動部12を移動させる。このとき、エ
ンコーダ20Ａ，20Ｂによりモータ14Ａ，14Ｂの回転数を
検出する。同様に、基部11に対する可動部12の変位量
を、リニアスケール22で検出する。さらに、ねじ軸13の
端部にかかる応力を応力センサ23，ロータ軸17にかかる
応力を応力センサ35で検出し、ここで検出される値に応
じて、モータ14Ａ，14Ｂのいずれかの回転速度を増減
し、ねじ軸13とナット19との間にかかる予圧を、零もし
くは予め設定された最小値に維持する。 (3) 所望の移動量に対するリニアスケール22の検出値が
所定の割合（例：980mm/1000mm）となったとき、ＣＰＵ
24はモータ14Ａ，14Ｂを減速させる。この間も応力セン
サ23，35でねじ軸13にかかる応力を監視し、ねじ軸13と
ナット19との間にかかる予圧を零もしくは予め設定され
た最小値に維持する。このとき、ねじ軸等に外力等の影
響でたわみ（ヒステリシス、歪み）が生じている場合に
は、次の手法によって実際のたわみ量を求める。具体例
として、ねじ軸等のたわみが図１の右側から左側へ延び
る方向に生じている場合を考えると、エンコーダ20Ａ，
20Ｂの検出値がステップ(1) で求めたモータ14の回転数
に達した時点で、リニアスケール22から得られる変位量
が、所望の移動量に例えば3/100 mmだけ達していない状
態となる。この不足している分の移動量3/100 mmがたわ
み量となるので、該たわみ量の分だけモータ14の回転数
を増加する。なお、たわみ（歪み）量については、応力
センサ23，35によって作用荷重（作用力）を把握すれ
ば、ＣＰＵ24において、有限要素法計算手段等により即
座にたわみ（歪み）量を計算することも可能である。よ
って、発生しているたわみ量が正常・異常を瞬時に判断
することができる。 (4) リニアスケール22の検出値が所望の移動量に一致し
た時点で、ＣＰＵ24はモータ14Ａのみを停止させる。ま
た、モータ14Ｂについては回転を続行させる。モータ14
Ａ，14Ｂの間に回転数差（即ち変位量差）が生じること
により、ねじ軸13等には予圧によるたわみが発生する。
そして、応力センサ23，35によって応力の変化が検出さ
れる。このとき生ずるたわみ量も、モータ14Ａ，14Ｂの
回転数とねじピッチとの関係から得られる変位量と、リ
ニアスケール22から得られる変位量との差から求められ
る。そこで、求められたたわみ量に応じて、モータ14Ｂ
の回転数、速度を調整する。 (5) ステップ(4) で求めたたわみ量を考慮しつつ、応力
センサ23，35の検出値が所定値に（即ち、所定の予圧
に）調整された時点で、ＣＰＵ24はモータ14Ｂを停止さ
せる。なお、ステップ(4) において、モータ14Ａ，14Ｂ
を同時に停止させ、ステップ(5) においてモータ14Ａの
みを逆転させることにより、モータ14Ａ，14Ｂの回転数
差を生じせしめ、応力調整を行うことも可能である。

【００２６】上記ステップ(5) の状態で位置決めが完了
する。このとき、可動部12、モータ14等を構成する部材
の弾性変形の範囲内で、モータ14Ａ，モータ14Ｂは互い
に離間した状態で停止している。そして、ナット19Ａ，
19Ｂの夫々のねじ山がねじ軸13のねじ山に対して当接
し、バックラッシを解消しかつ所望の予圧が付与され
る。詳細には、ナット19Ａは図１の右から左方向へ移動
する際のバックラッシ量が零となるように、ナット19Ｂ
は図１の左から右方向へ移動する際のバックラッシ量が
零となるように、夫々のバックラッシが解消される。

【００２７】また、上記ステップ(5) の状態では、ナッ
ト19Ａ，19Ｂによりねじ軸13には圧縮方向の予圧が与え
られている。この予圧の大きさは、ねじ軸13の両端部に
設けた応力センサ23によって随時予圧を監視し、かつ、
モータ14Ａ，14Ｂの回転数差より得られるたわみ量を監
視し、モータ14Ａ，14Ｂの回転数差を調整することによ
り、必要量を容易に得ることができる。したがって、例
えば位置決め完了後に可動部12に対して最大 100kgの外
力が加わることがわかっている場合には、 100kg以上の
予圧をねじ軸13とナット19Ａ，19Ｂとの間に予め付与し
ておくことにより、可動部12、モータ14等を構成する部
材の弾性変形の外力による伸縮を防止し、高精度の位置
決めを行うことができる。また、電磁ブレーキ21を差動
することにより、この状態を任意時間保持する（メカニ
カルロック状態を得る）ことができる。以上説明したよ
うに、実際のたわみ量を考慮しつつ予圧調整を行うこと
を、本説明では応力適応制御という。該応力適応制御
は、温度変化による各部材の伸縮量も考慮に入れて作動
制御を行うことも可能である。

【００２８】さて、上記ステップ(5) において位置決め
がなされた後に、再び作動開始する際の手順を以下に説
明する。 (6) まず、可動部12に所望の移動量を得る為に必要なモ
ータ14の回転数を、ＣＰＵ24で割り出す。 (7) 基部11に対する可動部12の移動方向が図１の左から
右方向である場合には、まずモータ14Ａのみを始動し、
応力センサ23，35の検出値が零もしくは予め設定された
最小値となるまで、ステップ(5) で与えたモータ14Ｂと
の回転数差を解消する。 (8) ＣＰＵ24の指令によりモータ14Ａ，14Ｂを同一方向
に同期回転させ、可動部12を移動させる。このとき、エ
ンコーダ20Ａ，20Ｂによりモータ14Ａ，14Ｂの回転数を
検出する。同様に、基部11に対する可動部12の変位量
を、リニアスケール22で検出する。前述のごとく、ナッ
ト19Ｂとねじ軸13とのバックラッシは解消されているの
で、モータ14Ｂの始動と同時に可動部12は移動を開始す
る。したがって、エンコーダ20Ｂから割り出した移動量
と、リニアスケール22で検出される移動量との間にバッ
クラッシの影響による誤差は発生せず、正確な位置の測
定を行うことができる。この間も、ねじ軸13の端部にか
かる応力を応力センサ23，35で検出し、ここで検出され
る値に応じて、モータ14Ａ，14Ｂのいずれかの回転速度
を増減し、ねじ軸13とナット19との間にかかる予圧を零
もしくは予め設定された最小値に維持する。 (9) 以下、ステップ(3) 〜(5) と同様の手順により新た
な位置への位置決めを行う。

【００２９】(10) ステップ(7) において、基部11に対
する可動部12の移動方向が図１の右から左方向である場
合には、まずモータ14Ｂのみを逆転し、応力センサ23，
35の検出値が零もしくは予め設定された最小値となるま
で、ステップ(5) で与えたモータ14Ａとの回転数差を解
消する。 (11) ＣＰＵ24の指令によりモータ14Ａ，14Ｂの双方と
も逆転方向に同期回転させ、可動部12を移動させる。前
述のごとく、ナット19Ａとねじ軸13とのバックラッシは
解消されているので、モータ14Ａの始動と同時に可動部
12は移動を開始する。この間も、ねじ軸13の端部にかか
る応力を応力センサ23，35で検出し、ここで検出される
値に応じて、モータ14Ａ，14Ｂのいずれかの回転速度を
増減し、ねじ軸13とナット19との間にかかる予圧を零も
しくは予め設定された最小値に維持する。 (12) 所望の移動量に対するリニアスケール22の検出値
が所定の割合となったとき、ＣＰＵ24はモータ14Ａ，14
Ｂを減速させる。この間も応力センサ23，35でねじ軸13
にかかる応力を監視し、ねじ軸13とナット19との間にか
かる予圧を零もしくは予め設定された最小値に維持す
る。 (13) リニアスケール22の検出値が所望の移動量に一致
した時点で、ＣＰＵ24はモータ14Ｂのみを停止させ、モ
ータ14Ａの回転は続行させる。モータ14Ａ，14Ｂの間に
回転数差（即ち変位量差）が生じることにより、ねじ軸
13等には予圧によるたわみが発生する。そして、応力セ
ンサ23，35には応力の変化が検出される。ここでも、モ
ータ14Ａ，14Ｂの回転数とねじピッチとの関係から得ら
れる変位量と、リニアスケール22で得られる変位量との
差から求められるたわみ量に応じて、モータ14Ｂの回転
数、速度を調整する。 (14) ステップ(13)でもとめたたわみ量を考慮しつつ、
応力センサ23，35の検出値が所定値に（即ち、所定の予
圧に）調整された時点で、ＣＰＵ24はモータ14Ａを停止
させる。なお、ステップ(13)において、モータ14Ａ，14
Ｂを同時に停止させ、ステップ(14)においてモータ14Ａ
のみを逆転させることにより、モータ14Ａ，14Ｂの回転
数差を生じせしめ、応力調整を行うことも可能である。

【００３０】上記構成をなす本発明の第１の実施の形態
により得られる作用効果は、以下の通りである。本実施
の形態では、１つのねじ軸13に対して、２つのモータ14
Ａ，14Ｂを有し、これらモータ14Ａ，14Ｂでねじ軸13に
螺合する２つのナット19Ａ，19Ｂを駆動する。したがっ
て、モータ14Ａ，14Ｂを同期回転させれば、ねじ軸13と
ナット19Ａ，19Ｂとの間に予圧を付与しない状態、すな
わち低負荷状態で基部11と可動部12とを相対移動させる
ことができる。この間、応力センサ23，35によって随時
予圧の監視をし、モータ14Ａ，14Ｂの回転数、回転速度
を調節するので、前記低負荷状態は維持される。よっ
て、ねじ軸13とナット19Ａ，19Ｂとを高精度で製造しな
くても、滑らかな螺合が可能となり、２つのナットのピ
ッチ誤差も問題にはならない。また、基部11と可動部12
とを相対移動させている状態から停止状態に移行する直
前に、各モータの回転数に差を持たせることによって、
ねじ軸13に対するナット19Ａ，19Ｂのバックラッシを解
消し、かつ、ねじ軸13とナット14との間にかかる予圧、
外力、温度変化等による各部材の伸縮を考慮に入れ、応
力センサ23，35によって予圧を監視しながら位置決めを
行うことができる。さらに、位置決め状態において電磁
ブレーキ21を差動させれば、メカニカルロック状態とな
り、任意時間位置決め状態を保持することができる。

【００３１】この予圧の付与は、いかなる運転状況にお
いても可能であるが、特に極低速域から停止状態にかけ
て予圧を付与することにより、軸受でいう静的荷重に相
当する荷重を歯車に付与し、発熱や摩耗の増大を抑え、
寿命の短縮を防止することができる。また、高速度域で
予圧を付与することも可能であり、この場合には、従来
の高精度のマシニングセンタにおいても避けることので
きなかった加工中のビビリ現象（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸上の隙間
や、ダブルナット等を用いて付与する予圧以上の外力
（加工抵抗）を受けた場合に、マシニングセンタの構成
部品に歪み等が生じ加工装置全体が微小振動を起こす現
象。）を、防止することができる。したがって、従来の
ように高精度＝高価格の位置決め装置を用いることな
く、それ以上の精度を有する位置決め装置を低価格で提
供することが可能となる。本実施の形態に係る位置決め
装置は、エンコーダ20、リニアスケール22等のスケール
に高精度のものを用いれば、ねじ軸13およびナット19の
精度が低いものであっても、ねじ軸とナットとの間で生
じる変位量の誤差分をスケールで計測し、該誤差分を補
正するように、モータ14Ａ，14Ｂの回転数を制御するこ
とができる。すなわち、高精度のスケールと精度の低い
動力伝達機構との組み合わせにより、バックラッシを解
消し、高精度の位置決め、任意量の予圧の付与を行うこ
とが可能な高精度の位置決め装置を低価格で構成するこ
とができる。

【００３２】以上のごとくバックラッシを解消すること
によって、がたのない正確な位置決めが可能となり、再
始動の際にもバックラッシの影響を受けずに正確な作動
をすることが可能となる。また、想定される外力以上の
値に予圧を調整することにより、外力による装置の伸縮
の影響を抑え、正確な位置決めを行うことができる。ま
た、ナット19はいわゆるダブルナットではなく、一般的
な（シングル）ナットが用いられるので、その全長の全
体で荷重を受けることができる。よって、許容荷重がダ
ブルナットに比べて大きく、ねじ軸13とナット19との螺
合部における強度および耐久性を向上させることができ
る（１本のボールねじによって２倍の定格荷重（ナット
容量の２倍）を得ることができる。）。

【００３３】次に、本発明の第２の実施の形態に係る位
置決め装置を、図５に基づいて説明する。第２の実施の
形態において、第１の実施の形態と同一部分若しくは相
当する部分については同一符号で示し、詳しい説明を省
略する。また、第２の実施の形態においても、説明の便
宜上、一方のモータおよびそれに関連する部材には符号
の後にＡを、他方のモータおよびそれに関連する部材に
は符号の後にＢを付す。

【００３４】第２の実施の形態では、第１の実施の形態
における送りねじ軸13とロータ軸17に駆動される送りナ
ット19とを有する動力伝達機構に変えて、ラック27およ
びピニオンギヤ28からなる動力伝達機構を用いている。
ピニオンギヤ28は、複数の歯車対からなる減速部29を介
して、モータ14により駆動される。また、ピニオンギヤ
28には応力センサ30が、可動部12には応力センサ31が設
けられている。なお、図５においてラック27を支持する
基部については、図示を省略している。また、モータ14
は図示しない制動・位置固定手段を有するものとする。
さらに、位置決め装置の全体的構成は、図３に示す第１
の実施の形態に係るブロック図に類似するが、本実施の
形態においては、応力センサ23，35に替えて、応力セン
サ30，31が設けられている。

【００３５】ここで、本発明の第２の実施の形態にかか
る位置決め装置において、可動部12に外力Ｆが負荷され
た状態で位置決めを行う際の手順を以下に説明する。
尚、以下の説明では、可動部12に対して外力Ｆが図５の
上方から下方にむけて付与された状態で、可動部12を上
方へ移動させる場合を想定している。

【００３６】(1) 位置決め装置が停止状態にあるとき、
可動部12に負荷される外力Ｆは応力センサ31で検出さ
れ、ＣＰＵ24（図３）で認識される。このとき、ラック
27と各ピニオンギヤ28Ａ，28Ｂとのかみ合い部では、夫
々が外力Ｆの反力として−1/2Ｆづつを負担している。
この反力は、応力センサ30Ａ，30Ｂで検出される。 (2) 位置決め装置を始動するに際し、可動部12に所望の
移動量を得る為に必要なモータ14の回転数を、ＣＰＵ24
で割り出す。 (3) ＣＰＵ24の指令によりモータ14Ａ，14Ｂを同一方向
に同期回転させ、可動部12を移動させる。このとき、エ
ンコーダ20Ａ，20Ｂによりモータ14Ａ，14Ｂの回転数を
検出する。同様に、基部11に対する可動部12の変位量
を、リニアスケール22で検出する。また、さらに、ねじ
軸13の端部にかかる応力を応力センサ応力センサ30Ａ，
30Ｂで検出し、ここで検出される値に応じて、モータ14
Ａ，14Ｂのいずれかの回転速度を増減し、前記反力を−
1/2 Ｆに維持する。 (4) 所望の移動量に対するリニアスケール22の検出値が
所定の割合（例：980mm/1000mm）となったとき、ＣＰＵ
24はモータ14Ａ，14Ｂを減速させる。この間も応力セン
サ30Ａ，30Ｂでピニオンギヤ28Ａ，28Ｂにかかる応力を
監視し、反力を−1/2 Ｆに維持する。

【００３７】(5) リニアスケール22の検出値が所望の移
動量に一致した時点で、ＣＰＵ24はモータ14Ａ，14Ｂを
停止させる。そして、モータ14Ｂのみを所定量だけ反転
させ、ピニオンギヤ28Ａに対するピニオンギヤ28Ｂの回
転角を減少させることにより、ラック27とピニオンギヤ
28Ｂとのバックラッシを解消する。また、このとき減速
部29Ｂにおけるバックラッシも解消される。なお、ラッ
ク27とピニオンギヤ28Ａとの間、および減速部29Ａにつ
いては、可動部12を停止位置に維持するための駆動トル
クを連続して受けていることから、バックラッシを解消
する方向に各歯車が噛み合っている。このとき、可動部
12等にはたわみが生じるが、このときのたわみ量は、モ
ータ14Ａ，14Ｂの回転数と、歯のピッチとの関係から得
られる変位量と、リニアスケール22で得られる変位量と
の差から求めることができる。このたわみ量を考慮しつ
つ、応力センサ30Ａにおいて検出される反力が−3/2 Ｆ
となるように、また、応力センサ30Ｂで検出される反力
が1/2 Ｆとなるように、ピニオンギヤ28Ｂの回転角を調
整する。すると、−3/2 Ｆ＋1/2 Ｆ＝−Ｆとなるので、
ラック27と各ピニオンギヤ28Ａ，28Ｂとの間に、外力Ｆ
と釣り合う方向に予圧を調整を行うことが可能となる。

【００３８】以上のごとく、ピニオンギヤ28Ａ，28Ｂに
応力センサ30Ａ，30Ｂを、可動部12に応力センサ31を設
け、応力センサ30Ａ，30Ｂで各ピニオンギヤにかかる荷
重を、応力センサ31で可動部12にかかる荷重を検出し、
それら検出値に基づいて各モータを制御することによ
り、外力と釣り合う適切な予圧をラック27と各ピニオン
ギヤ28Ａ，28Ｂとの間に付与することが可能となる。

【００３９】上記構成をなす第２の実施の形態に係る位
置決め装置においても、１つのラック27に対して２つの
ピニオンギヤ28Ａ，28Ｂを設け、かつ、ピニオンギヤ28
Ａ，28Ｂには応力センサ30Ａ，30Ｂを、可動部12には応
力センサ31を設け、第１の実施の形態と同様に、応力セ
ンサの検出値に応じて各ピニオンギヤをモータ14Ａ，14
Ｂで独立駆動することにより、必要なときに限りバック
ラッシを付与することができる。よって、従来のように
ラック27とピニオンギヤ28Ａ，28Ｂとの間に常時予圧を
付与する必要がなくなる。このため、ラック27およびピ
ニオンギヤ28Ａ，28Ｂの精度を高めなくても相互のかみ
合いを円滑に行うことができる。また、基部と可動部12
とを相対移動させている状態から停止状態に移行する直
前に、各モータの回転数に差を持たせることによって、
ラック27に対するピニオンギヤ28Ａ，28Ｂのバックラッ
シ、および減速部29Ａ，29Ｂのバックラッシを解消し、
かつ、装置のたわみ量を考慮しつつ適切な予圧を付与し
た状態で位置決めを行うことができる。したがって、第
２の実施の形態においても第１の実施の形態と同様の作
用効果を得ることができる。その他、第１の実施の形態
の同様の作用効果については、ここでの説明を省略す
る。

【００４０】次に、本発明の第３の実施の形態に係る位
置決め装置を、図６に基づいて説明する。第３の実施の
形態において、第１、第２の実施の形態と同一部分若し
くは相当する部分については同一符号で示し、詳しい説
明を省略する。また、第３の実施の形態においても、説
明の便宜上、一方のモータおよびそれに関連する部材に
は符号の後にＡを、他方のモータおよびそれに関連する
部材には符号の後にＢを付す。

【００４１】第３の実施の形態に係る位置決め装置は、
いわゆるインデックステーブルの角度の割り出しを正確
に行う為のものであり、図６ではその駆動機構のみを概
略的に示している。また、第３の実施の形態では、第２
の実施の形態におけるラック27およびピニオンギヤ28か
らなる動力伝達機構に変えて、ウォームホイール32およ
び２本のウォーム33からなる動力伝達機構を用いてい
る。２本のウォーム33Ａ，33Ｂはウォームホイール32を
挟持するように平行に配置され、夫々がモータ14Ａ，14
Ｂにより独立駆動される。また、ウォーム33Ａ，33Ｂに
は応力センサ30Ａ，30Ｂが設けられている。２本のウォ
ーム33および２つのモータ14は、夫々図示しない基部に
設けられている。ウォームホイール32は、その回転軸32
ａで図示しない可動部（インデックステーブル）を支持
している。また、回転軸32ａには応力センサ31が設けら
れている。さらに、ウォームホイール32には回転角セン
サ34が設けられている。なお、モータ14は図示しない制
動・位置固定手段を有するものとする。

【００４２】この位置決め装置の全体的構成も、図３に
示す第１の実施の形態に係るブロック図と類似するもの
であるが、本実施の形態においては、リニアスケール22
に変えて回転角センサ34が、応力センサ23，35に替えて
応力センサ30，31が設けられている。なお、本実施の形
態においては、ウォーム33Ａ，33Ｂの双方でウォームホ
イール32を同一方向に駆動する際には、モータ14Ａ，14
Ｂの回転方２向を夫々逆にする必要がある。

【００４３】本発明においても、１つのウォームホイー
ル32に対して２つのウォーム33Ａ，33Ｂを設け、第１、
第２の実施の形態と同様に、ウォーム33Ａ，33Ｂに設け
た応力センサ30Ａ，30Ｂの検出値と、ウォームホイール
32に設けた応力センサ31の検出値とに基づいて、モータ
14Ａ，14Ｂを独立駆動することにより、ウォームホイー
ル32とウォーム33Ａ，33Ｂとの間に必要に応じて予圧を
付与し、バックラッシを解消することができる。従来の
ように常時予圧を付与する必要がないので、ウォームホ
イール32およびウォーム33Ａ，33Ｂの精度を高めなくて
も相互のかみ合いを円滑に行うことができる。また、基
部と可動部とを相対移動させている状態から停止状態に
移行する直前に、各モータの回転数に差を持たせること
によって、ウォームホイール32に対するウォーム33Ａ，
33Ｂのバックラッシを解消し、かつ、モータ14Ａ，14Ｂ
の回転数と、歯のピッチとの関係から得られる回転角
と、回転角センサ34で得られる回転角との差から求める
ことができる装置のたわみ量を考慮しつつ、適切な予圧
を付与した状態で位置決めを行うことができる。したが
って、第３の実施の形態においても第１、第２の実施の
形態と同様の作用効果を得ることができる。その他、第
１、第２の実施の形態の同様の作用効果については、こ
こでの説明を省略する。

【００４４】また、第３の実施の形態においては、ウォ
ームホイール32および２本のウォーム33からなる動力伝
達機構に替えて、平行歯車対、交差歯車対、もしくは食
違い歯車対を用いることによっても、同様の作用効果を
得ることが可能である。

【００４５】

【発明の効果】本発明はこのように構成したので、以下
のような効果を有する。本発明の請求項１に係る位置決
め装置によると、１つの従動軸に対して２つの駆動軸を
設け、各駆動軸を独立した駆動手段で駆動する。この
際、基部と可動部との相対変位量を変位量センサで、２
つの駆動軸の駆動量の差を回転数センサで検出する。さ
らに、前記駆動軸と従動軸との間にかかる応力を応力セ
ンサで検出し、制御手段によりこれらの値を正確に把握
して、各駆動手段制御の作動タイミングを調整し、２つ
の駆動軸の駆動量に所定差を生み出す。そして、バック
ラッシを解消すると共に、駆動軸と従動軸との間に生じ
ている実際のたわみ量を求め、該たわみ量を考慮しつ
つ、前記応力センサで検出される値が所望値となるよう
に、正確な位置決めと予圧調整とを行うことができる。
また、予圧が不要なときには前記駆動手段を制御するこ
とにより予圧をなくすこともできるので、高精度の動力
伝達機構を用いることなしに、正確な位置決めが可能と
なる。

【００４６】この予圧の付与は、いかなる運転状況にお
いても可能であるが、特に極低速域から停止状態にかけ
て予圧を付与することにより、軸受でいう静的荷重に相
当する荷重を動力伝達機構の構成部材に付与し、予圧に
よる寿命の短縮を防止することができる。また、高速度
域で予圧を付与することも可能であり、この場合には、
高精度のマシニングセンタにおいても避けることのでき
なかった加工中のビビリ現象を、防止することができ
る。したがって、従来のように高精度＝高価格の位置決
め装置を用いることなく、変位量センサ、回転数センサ
等のスケールに高精度のものを用いるだけで、それ以上
の精度を有する位置決め装置をより低価格で提供するこ
とが可能となる。

【００４７】また、本発明の請求項２に係る位置決め装
置によると、基部と可動部との相対変位量を変位量セン
サで把握し、かつ、一方のモータが停止した時点から他
方のモータを停止させるまでの回転数の差を、各ロータ
軸の回転数センサで把握することにより、２つのナット
の変位量を正確に割り出す。そして、ねじ軸およびロー
タ軸に設けた応力センサの検出値が所望の値となるよう
に、他方のモータを制御して予圧を調整する。また、可
動部又は基部に付与する予圧又は外力の影響でねじ軸等
がたわむ場合にも、モータ軸の回転数センサの検出値と
ねじピッチとの関係から求まる基部と可動部との相対変
位量と、前記変位量センサによる同値とを比較すること
により、装置に生じているたわみ量を求め、該たわみ量
に応じた送り量をナットに与えることにより正確な位置
決めを行いつつ、２つのナットとねじ軸との間のバック
ラッシを解消し、予圧の調整を行うことができる。この
際、予圧の付与を極低速域から停止状態にかけて行う
と、軸受でいう静的荷重に相当する荷重をねじ軸とナッ
トとの間に付与することができ、静的荷重に基づいて耐
久性の判断を行うことができるので、従来のように常時
予圧を付与する形式のもの（この場合の予圧はいわゆる
動的荷重に相当する）に比べ、長寿命の位置決め装置を
提供することができる。

【００４８】また、本発明の請求項３に係る位置決め装
置においても、ピニオンギヤに設けられた応力センサの
検出値に基づいて、ラックに対する２つのピニオンギヤ
の駆動量を変えることにより、ラックおよびピニオンギ
ヤの歯同士を互いに押圧し、ピニオンギヤとラックとが
包含するバックラッシを解消すると共に、ピニオンギヤ
とラックとの間に所望の予圧を調整する。また、可動部
又は基部に付与する予圧又は外力の影響で可動部等がた
わむ場合にも、モータ軸の回転数センサの検出値と歯の
ピッチとの関係から求まる基部と可動部との相対変位量
と、前記変位量センサによる同値とを比較することによ
り、装置に生じているたわみ量を求め、該たわみ量に応
じた送り量をピニオンギヤに与えることにより、正確な
位置決めと適切な予圧調整とを行うことが可能となる。
また、予圧の付与を極低速域から停止状態にかけて行う
と、軸受でいう静的荷重に相当する荷重をピニオンギヤ
とラックとの間に付与することができるので、従来の常
時予圧を付与する形式のものに比べ、長寿命の位置決め
装置を提供することができる。

【００４９】さらに、本発明の請求項４に係る位置決め
装置によると、基部と可動部との相対変位量を変位量セ
ンサで把握し、かつ、一方のウォームと他方のウォーム
との回転数の差を、各ロータ軸の回転数センサで把握す
ることにより、２つのウォームの変位量を正確に割り出
す。同時に、ウォームにかかる応力を応力センサで検出
し、前記応力センサで検出される値が所望値となるよう
に２つのモータを制御し、予圧を調整する。さらに、前
記可動部にかかる外力がウォームホイールを介してウォ
ームに伝えられると、ウォームにかかる応力を前記応力
センサで検出し、該検出値に応じてウォームの送り量を
調節し、ウォームとウォームホイールとの当接部にかか
る力を増減させることによって予圧調整を行う。さら
に、可動部又は基部に付与する予圧又は外力の影響で可
動部等がたわむ場合にも、モータ軸の回転数センサの検
出値と歯のピッチとの関係から求まる基部と可動部との
相対回転角と、前記回転角センサによる同値とを比較す
ることにより、装置に生じているたわみ量を求め、該た
わみ量に応じた送り量をウォームギヤに与えることによ
り、正確な位置決めと適切な予圧調整とを行うことが可
能となる。本発明においても、予圧の付与を極低速域か
ら停止状態にかけて行うと、軸受でいう静的荷重に相当
する荷重をウォームとウォームホイールの間に付与する
ことができるので、長寿命の位置決め装置を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る位置決め装置
を示す概略断面図である。

【図２】図１に示す位置決め装置のＣ−Ｃ線における断
面図である。

【図３】図１に示す位置決め装置の構成を示すブロック
図である。

【図４】図３に示す２つのモータのうち一方のモータを
例に挙げ、内部構造を示した断面図である。

【図５】本発明の第２の実施の形態に係る位置決め装置
を示す斜視図である。

【図６】本発明の第３の実施の形態に係る位置決め装置
の、駆動機構のみを示す斜視図である。

【図７】従来の位置決め装置を示す概略断面図である。

【図８】図７に示す位置決め装置に用いられるダブルナ
ットと、送りねじ軸との螺合部を示す拡大摸式図であ
る。

【符号の説明】

11 基部 12 可動部 13 ねじ軸 14 モータ 17 ロータ軸 19 ナット 20 エンコーダ 22 リニアスケール

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＨ０２Ｋ 7/116 Ｈ０２Ｋ 7/116

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基部と可動部との相対的な位置決めを行
う装置であって、２つの駆動軸と１つの従動軸とを有
し、基部および可動部のいずれか一方に駆動軸を、他方
に従動軸を設け、各駆動軸と従動軸との間を動力伝達機
構によって駆動連結し、基部と可動部との間には変位量
センサを配置し、２つの駆動軸には駆動手段および回転
数センサを夫々設け、さらに、前記駆動軸と従動軸との
間にかかる応力を検出する応力センサを設け、該応力セ
ンサの検出値と、前記変位量センサおよび回転数センサ
の検出値とに基づき各駆動手段を所定のタイミングで独
立制御可能な制御手段を有することを特徴とする位置決
め装置。
【請求項２】前記２つの駆動手段としてモータを、前
記２つの駆動軸として該モータの中空のロータ軸を、前
記１つの従動軸としてねじ軸を有し、前記基部には該ね
じ軸を固定し、前記可動部には前記モータを所定間隔を
開けて固定し、各ロータ軸に前記ねじ軸を挿通し、該ね
じ軸と螺合するナットを各ロータ軸に駆動連結すると共
に、前記ねじ軸およびロータ軸に応力センサを設けてな
ることを特徴とする請求項１記載の位置決め装置。
【請求項３】前記２つの駆動手段としてモータを、前
記２つの駆動軸としてピニオンギヤを、前記１つの従動
軸として該ピニオンギヤと螺合するラックを有し、前記
基部にはラックを固定し、前記可動部には前記モータお
よびピニオンギヤを設け、前記可動部およびピニオンギ
ヤに応力センサを設けてなることを特徴とする請求項１
記載の位置決め装置。
【請求項４】前記２つの駆動手段としてモータを、前
記２つの駆動軸としてウォームを、前記１つの従動軸と
して該ウォームと螺合するウォームホイールを有し、前
記基部にはウォームおよびモータを配置し、前記可動部
をウォームホイールの回転軸で支持すると共に、前記ウ
ォームおよびウォームホイールの夫々に応力センサを設
け、かつ、ウォームホイールに回転角センサを設けてな
ることを特徴とする請求項１記載の位置決め装置。