JPH10232352A - レーザ走査顕微鏡 - Google Patents
レーザ走査顕微鏡Info
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- JPH10232352A JPH10232352A JP9049881A JP4988197A JPH10232352A JP H10232352 A JPH10232352 A JP H10232352A JP 9049881 A JP9049881 A JP 9049881A JP 4988197 A JP4988197 A JP 4988197A JP H10232352 A JPH10232352 A JP H10232352A
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- JP
- Japan
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- light
- excitation laser
- laser light
- scanning microscope
- beam splitter
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 観察を行う度又は定期点検の度に励起レーザ
光の光軸との位置合わせ操作を不要にし、しかも常に定
量的に同じ明るさの画像を得ることことができる使い勝
手のよいレーザ走査顕微鏡を提供する。 【解決手段】 励起レーザ光を出射するレーザ光源２
と、励起レーザ光を所定方向へ反射させる全反射ミラー
３と、励起レーザ光を反射させるとともに、蛍光を透過
させるビームスプリッタ９とを備えたレーザ走査顕微鏡
において、全反射ミラー３とビームスプリッタ９との間
の光路に配設されたビームスプリッタ５と、このビーム
スプリッタ５で分離された励起レーザ光を検知する多分
割センサ２０と、全反射ミラー３を動かす調節機構４
と、多分割した受光素子２１〜２４それぞれの出力に基
づいて調節機構４を駆動するマイクロコンピュータ７と
を備える。
光の光軸との位置合わせ操作を不要にし、しかも常に定
量的に同じ明るさの画像を得ることことができる使い勝
手のよいレーザ走査顕微鏡を提供する。 【解決手段】 励起レーザ光を出射するレーザ光源２
と、励起レーザ光を所定方向へ反射させる全反射ミラー
３と、励起レーザ光を反射させるとともに、蛍光を透過
させるビームスプリッタ９とを備えたレーザ走査顕微鏡
において、全反射ミラー３とビームスプリッタ９との間
の光路に配設されたビームスプリッタ５と、このビーム
スプリッタ５で分離された励起レーザ光を検知する多分
割センサ２０と、全反射ミラー３を動かす調節機構４
と、多分割した受光素子２１〜２４それぞれの出力に基
づいて調節機構４を駆動するマイクロコンピュータ７と
を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は細胞内の化学反応
の瞬間的変化や過渡現象の測定に用いられるレーザ走査
顕微鏡に関する。
の瞬間的変化や過渡現象の測定に用いられるレーザ走査
顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザ走査顕微鏡、例えば共焦点レーザ
走査顕微鏡は、励起レーザ光を出射する光源と、励起レ
ーザ光を所定方向へ反射させる反射ミラーと、励起レー
ザ光を反射させるとともに、蛍光を透過させるビームス
プリッタと、励起レーザ光を試料上で２次元走査する走
査装置と、走査装置と試料との間に配置された対物レン
ズと、対物レンズの焦点面と共役な位置に設けられたピ
ンホールと、ピンホールを通過した蛍光を観察する観察
装置とを備える。
走査顕微鏡は、励起レーザ光を出射する光源と、励起レ
ーザ光を所定方向へ反射させる反射ミラーと、励起レー
ザ光を反射させるとともに、蛍光を透過させるビームス
プリッタと、励起レーザ光を試料上で２次元走査する走
査装置と、走査装置と試料との間に配置された対物レン
ズと、対物レンズの焦点面と共役な位置に設けられたピ
ンホールと、ピンホールを通過した蛍光を観察する観察
装置とを備える。
【０００３】この共焦点レーザ走査顕微鏡によれば、焦
点面から発光した蛍光だけがピンホールを通過するの
で、観察装置では鮮明な画像を得ることができる。
点面から発光した蛍光だけがピンホールを通過するの
で、観察装置では鮮明な画像を得ることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、共焦点レー
ザ走査顕微鏡では、ピンホールを通過した蛍光だけを観
察するため、光源から出射される励起レーザ光の光軸が
ずれると観察装置で得られる画像は非常に暗い、見難い
ものとなってしまう。
ザ走査顕微鏡では、ピンホールを通過した蛍光だけを観
察するため、光源から出射される励起レーザ光の光軸が
ずれると観察装置で得られる画像は非常に暗い、見難い
ものとなってしまう。
【０００５】ところで、この光軸のずれは共焦点レーザ
走査顕微鏡の環境温度の変化によって、また経時的に変
化することが知られている。
走査顕微鏡の環境温度の変化によって、また経時的に変
化することが知られている。
【０００６】そのため、共焦点レーザ走査顕微鏡で観察
を行う度又は定期的に、励起レーザ光の光軸との位置合
わせ操作が行われている。この位置合わせの操作は、例
えば観察者が観察装置で画像を見ながら最適な明るさの
画像を得ることができる位置にピンホールの位置を調整
することで行われる。
を行う度又は定期的に、励起レーザ光の光軸との位置合
わせ操作が行われている。この位置合わせの操作は、例
えば観察者が観察装置で画像を見ながら最適な明るさの
画像を得ることができる位置にピンホールの位置を調整
することで行われる。
【０００７】しかし、この調整は観察者の感覚によると
ころが大きく、常に定量的に同じ明るさの画像を得るこ
とはできないという問題があった。
ころが大きく、常に定量的に同じ明るさの画像を得るこ
とはできないという問題があった。
【０００８】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は観察を行う度又は定期点検の度に
励起レーザ光の光軸との位置合わせ操作を不要にし、し
かも常に定量的に同じ明るさの画像を得ることことがで
きる使い勝手のよいレーザ走査顕微鏡を提供することで
ある。
たもので、その課題は観察を行う度又は定期点検の度に
励起レーザ光の光軸との位置合わせ操作を不要にし、し
かも常に定量的に同じ明るさの画像を得ることことがで
きる使い勝手のよいレーザ走査顕微鏡を提供することで
ある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明のレーザ走査顕微鏡は、励起レー
ザ光を出射する光源と、前記励起レーザ光を反射させる
とともに、蛍光を透過させる第１の光分離手段とを備え
たレーザ走査顕微鏡において、前記光源と前記第１の光
分離手段との間の光路に配設された第２の光分離手段
と、この第２の光分離手段で分離された励起レーザ光を
検知する多分割受光素子と、前記光源と前記第２の光分
離手段との間の光路に配置され、前記励起レーザ光を所
定方向へ偏向させる偏向手段と、前記偏向手段による前
記励起レーザ光の偏向方向を調節する調節手段と、前記
多分割した受光素子それぞれの出力に基づいて前記調節
手段を駆動して、前記励起レーザ光の偏向方向を制御す
る制御手段備えることを特徴とする。
め請求項１記載の発明のレーザ走査顕微鏡は、励起レー
ザ光を出射する光源と、前記励起レーザ光を反射させる
とともに、蛍光を透過させる第１の光分離手段とを備え
たレーザ走査顕微鏡において、前記光源と前記第１の光
分離手段との間の光路に配設された第２の光分離手段
と、この第２の光分離手段で分離された励起レーザ光を
検知する多分割受光素子と、前記光源と前記第２の光分
離手段との間の光路に配置され、前記励起レーザ光を所
定方向へ偏向させる偏向手段と、前記偏向手段による前
記励起レーザ光の偏向方向を調節する調節手段と、前記
多分割した受光素子それぞれの出力に基づいて前記調節
手段を駆動して、前記励起レーザ光の偏向方向を制御す
る制御手段備えることを特徴とする。
【００１０】反射手段と第１の光分離手段との間の光路
に配設された第２の光分離手段で分離された励起レーザ
光は多分割受光素子で光量を検出され、多分割受光素子
のそれぞれの受光素子は受光量に相当する信号を出力す
る。この信号を入力した制御手段は所定の処理を行った
後、調節手段を駆動して反射手段を動かし、励起レーザ
光の出射方向を光軸と一致させる。
に配設された第２の光分離手段で分離された励起レーザ
光は多分割受光素子で光量を検出され、多分割受光素子
のそれぞれの受光素子は受光量に相当する信号を出力す
る。この信号を入力した制御手段は所定の処理を行った
後、調節手段を駆動して反射手段を動かし、励起レーザ
光の出射方向を光軸と一致させる。
【００１１】請求項２記載の発明のレーザ走査顕微鏡
は、請求項１記載のレーザ走査顕微鏡において、前記制
御手段は、前記それぞれの受光素子の出力が同じ大きさ
になるように前記調節手段を駆動することを特徴とす
る。
は、請求項１記載のレーザ走査顕微鏡において、前記制
御手段は、前記それぞれの受光素子の出力が同じ大きさ
になるように前記調節手段を駆動することを特徴とす
る。
【００１２】制御手段はそれぞれの受光素子の出力が同
じ大きさになるように調節機構を駆動し、励起レーザ光
の出射方向が光軸となるように反射ミラーを動かす。
じ大きさになるように調節機構を駆動し、励起レーザ光
の出射方向が光軸となるように反射ミラーを動かす。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態を添付
図面に基づいて説明する。
図面に基づいて説明する。
【００１４】図１はこの発明に係るレーザ走査顕微鏡の
ブロック構成図である。
ブロック構成図である。
【００１５】この共焦点レーザ走査顕微鏡１は、レーザ
光源２と、全反射ミラー（偏向手段）３と、ビームスプ
リッタ（第２の光分離手段）５と、多分割センサ（多分
割受光素子）２０と、マイクロコンピュータ（制御手
段）７と、ビームエクスパンダ８と、ビームスプリッタ
（第１の光分離手段）９と、瞳投影レンズ１０と、ＸＹ
スキャナ１１と、対物レンズ１２と、集光レンズ１３
と、検出側ピンホール１４と、蛍光検出器１５とを備え
る。
光源２と、全反射ミラー（偏向手段）３と、ビームスプ
リッタ（第２の光分離手段）５と、多分割センサ（多分
割受光素子）２０と、マイクロコンピュータ（制御手
段）７と、ビームエクスパンダ８と、ビームスプリッタ
（第１の光分離手段）９と、瞳投影レンズ１０と、ＸＹ
スキャナ１１と、対物レンズ１２と、集光レンズ１３
と、検出側ピンホール１４と、蛍光検出器１５とを備え
る。
【００１６】ビームエクスパンダ８はレンズ８ａ，８ｂ
と、レンズ８ａとレンズ８ｂとの間に配設された照明側
ピンホール８ｃとからなる。
と、レンズ８ａとレンズ８ｂとの間に配設された照明側
ピンホール８ｃとからなる。
【００１７】レーザ光源２から出射された励起レーザ光
を反射させる全反射ミラー３には、例えば互いに直角に
交差する２つの回転軸を駆動する電磁コイル４ａ，４ｂ
を備える、ジンバル機構等の調節機構（調節手段）４が
取り付けられている。
を反射させる全反射ミラー３には、例えば互いに直角に
交差する２つの回転軸を駆動する電磁コイル４ａ，４ｂ
を備える、ジンバル機構等の調節機構（調節手段）４が
取り付けられている。
【００１８】ビームスプリッタ５は全反射ミラー３とビ
ームエクスパンダ８との間に配置され、数％の励起レー
ザ光だけを反射させる。
ームエクスパンダ８との間に配置され、数％の励起レー
ザ光だけを反射させる。
【００１９】多分割センサ２０は４つの受光素子２１〜
２４（図２参照）からなり、ビームスプリッタ５で反射
された励起レーザ光を受光する。それぞれの受光素子２
１〜２４はそれぞれの受光素子２１〜２４の受光量に相
当する大きさの信号を出力する。
２４（図２参照）からなり、ビームスプリッタ５で反射
された励起レーザ光を受光する。それぞれの受光素子２
１〜２４はそれぞれの受光素子２１〜２４の受光量に相
当する大きさの信号を出力する。
【００２０】マイクロコンピュータ７はそれぞれの受光
素子２１〜２４からの信号に基づいて、予め定められた
プログラムにしたがって調節機構４を制御する。
素子２１〜２４からの信号に基づいて、予め定められた
プログラムにしたがって調節機構４を制御する。
【００２１】この実施形態では予め指定した組み合わせ
の２つの受光素子の出力を加算した後、減算して得られ
た結果に基づいて調節機構４を制御するプログラムとな
っている。すなわち、それぞれの受光素子２１〜２４の
出力をそれぞれ２１Ａ〜２４Ａとしたとき、 （２１Ａ＋２２Ａ）−（２３Ａ＋２４Ａ） 及び （２１Ａ＋２４Ａ）−（２２Ａ＋２３Ａ） の２種類の演算を行った結果に基づいて調節機構４を制
御している。
の２つの受光素子の出力を加算した後、減算して得られ
た結果に基づいて調節機構４を制御するプログラムとな
っている。すなわち、それぞれの受光素子２１〜２４の
出力をそれぞれ２１Ａ〜２４Ａとしたとき、 （２１Ａ＋２２Ａ）−（２３Ａ＋２４Ａ） 及び （２１Ａ＋２４Ａ）−（２２Ａ＋２３Ａ） の２種類の演算を行った結果に基づいて調節機構４を制
御している。
【００２２】ビームエクスパンダ８は、励起レーザ光を
対物レンズ１２の瞳面を満たす大きさに拡大する。
対物レンズ１２の瞳面を満たす大きさに拡大する。
【００２３】ビームスプリッタ９は、励起レーザ光を透
過させないが試料１６で励起された蛍光を透過させる。
過させないが試料１６で励起された蛍光を透過させる。
【００２４】ＸＹスキャナ１１は、励起レーザ光を２次
元的（ＸＹ方向）に走査する。
元的（ＸＹ方向）に走査する。
【００２５】対物レンズ１２は、励起レーザ光を試料１
６に集光させる。
６に集光させる。
【００２６】ピンホール１４は、対物レンズ１２の焦点
面と共役な位置に配置され、集光レンズ１３で集光され
た蛍光だけを通過させる。
面と共役な位置に配置され、集光レンズ１３で集光され
た蛍光だけを通過させる。
【００２７】蛍光検出器１４はピンホール１４を通過し
た蛍光を検出し、電気信号に変換し、図示しないモニタ
等によって試料１６の画像化が図られる。
た蛍光を検出し、電気信号に変換し、図示しないモニタ
等によって試料１６の画像化が図られる。
【００２８】上記構成の共焦点レーザ走査顕微鏡の動作
を図１〜図５を参照して説明する。
を図１〜図５を参照して説明する。
【００２９】光源２から出射され、全反射ミラー３によ
って光路上に導かれた励起レーザ光は、ビームスプリッ
タ５を通過した後、ビームエクスパンダ８に入射し、こ
のビームエクスパンダ８で対物レンズ１２の瞳面を満た
せる大きさに拡大される。
って光路上に導かれた励起レーザ光は、ビームスプリッ
タ５を通過した後、ビームエクスパンダ８に入射し、こ
のビームエクスパンダ８で対物レンズ１２の瞳面を満た
せる大きさに拡大される。
【００３０】この励起レーザ光は、ビームスプリッタ９
によって反射された後、瞳投影レンズ１０を介してＸＹ
スキャナ１１によって２次元的に振られ、対物レンズ１
２を介して試料１６上に照射される。試料１６中の蛍光
物質は励起して蛍光を発する。
によって反射された後、瞳投影レンズ１０を介してＸＹ
スキャナ１１によって２次元的に振られ、対物レンズ１
２を介して試料１６上に照射される。試料１６中の蛍光
物質は励起して蛍光を発する。
【００３１】この蛍光は励起レーザ光とともに対物レン
ズ１２からＸＹスキャナ１１へと光路を逆行し、瞳投影
レンズ１０を介してビームスプリッタ９で励起レーザ光
と分離される。
ズ１２からＸＹスキャナ１１へと光路を逆行し、瞳投影
レンズ１０を介してビームスプリッタ９で励起レーザ光
と分離される。
【００３２】ビームスプリッタ９を通過した蛍光は集光
レンズ１３で集光される。ピンホール１４は試料１４の
所定のスライス面の蛍光だけを通過させる（共焦点効
果）。その後、蛍光は蛍光検出器１５で受光されて電気
信号に変換され、モニタで画像として表示される。
レンズ１３で集光される。ピンホール１４は試料１４の
所定のスライス面の蛍光だけを通過させる（共焦点効
果）。その後、蛍光は蛍光検出器１５で受光されて電気
信号に変換され、モニタで画像として表示される。
【００３３】また、ビームスプリッタ５で反射された励
起レーザ光の一部は多分割センサ２０に入射する。
起レーザ光の一部は多分割センサ２０に入射する。
【００３４】図２は励起レーザ光が光軸と一致している
場合の多分割センサの受光状態を示す図、図３（ａ）〜
（ｆ）は励起レーザ光が光軸と一致している場合のマイ
クロコンピュータによる制御方法の一例を説明する図、
図４は励起レーザ光が光軸と一致していない場合の多分
割センサの受光状態の一例を示す図、図５（ａ）〜
（ｆ）は励起レーザ光が光軸と一致していない場合のマ
イクロコンピュータによる制御方法の一例を説明する図
である。
場合の多分割センサの受光状態を示す図、図３（ａ）〜
（ｆ）は励起レーザ光が光軸と一致している場合のマイ
クロコンピュータによる制御方法の一例を説明する図、
図４は励起レーザ光が光軸と一致していない場合の多分
割センサの受光状態の一例を示す図、図５（ａ）〜
（ｆ）は励起レーザ光が光軸と一致していない場合のマ
イクロコンピュータによる制御方法の一例を説明する図
である。
【００３５】励起レーザ光が正しい方向へ出射されてい
る場合には、多分割センサ２０のそれぞれの受光素子２
１〜２４は図２に示すように同一の光量を受けるため、
それぞれの受光素子の出力２１Ａ〜２４Ａは同じ大きさ
となる。
る場合には、多分割センサ２０のそれぞれの受光素子２
１〜２４は図２に示すように同一の光量を受けるため、
それぞれの受光素子の出力２１Ａ〜２４Ａは同じ大きさ
となる。
【００３６】そのため、（２１Ａ＋２２Ａ）（図３
（ａ）参照）、（２３Ａ＋２４Ａ）（図３（ｂ）参
照）、（２１Ａ＋２４Ａ）（図３（ｄ）参照）及び（２
２Ａ＋２３Ａ）（図３（ｅ）参照）は何れも等しくなる
ので、（２１Ａ＋２２Ａ）−（２３Ａ＋２４Ａ）（図３
（ｃ）参照）及び（２１Ａ＋２４Ａ）−（２２Ａ＋２３
Ａ）（図３（ｆ）参照）は何れも零となり、マイクロコ
ンピュータ７は調節機構４を駆動せず、全反射ミラー３
を動かさない。
（ａ）参照）、（２３Ａ＋２４Ａ）（図３（ｂ）参
照）、（２１Ａ＋２４Ａ）（図３（ｄ）参照）及び（２
２Ａ＋２３Ａ）（図３（ｅ）参照）は何れも等しくなる
ので、（２１Ａ＋２２Ａ）−（２３Ａ＋２４Ａ）（図３
（ｃ）参照）及び（２１Ａ＋２４Ａ）−（２２Ａ＋２３
Ａ）（図３（ｆ）参照）は何れも零となり、マイクロコ
ンピュータ７は調節機構４を駆動せず、全反射ミラー３
を動かさない。
【００３７】一方、顕微鏡の環境（例えば温度）が変わ
って、励起レーザ光の出射方向が変化したり、反射ミラ
ーの調節機構７の狂いによって励起レーザ光の反射方向
が変化したりして励起レーザ光が正しい方向へ出射され
なくなった場合には、多分割センサ７のそれぞれの受光
素子２１〜２４は、例えば図４に示すように受光する。
って、励起レーザ光の出射方向が変化したり、反射ミラ
ーの調節機構７の狂いによって励起レーザ光の反射方向
が変化したりして励起レーザ光が正しい方向へ出射され
なくなった場合には、多分割センサ７のそれぞれの受光
素子２１〜２４は、例えば図４に示すように受光する。
【００３８】このとき、それぞれの受光素子２１〜２４
が受ける光量は異なり、（２１Ａ＋２２Ａ）（図５
（ａ）参照）、（２３Ａ＋２４Ａ）（図５（ｂ）参
照）、（２１Ａ＋２４Ａ）（図５（ｄ）参照）及び（２
２Ａ＋２３Ａ）（図５（ｅ）参照）は何れも相違するよ
うになる。
が受ける光量は異なり、（２１Ａ＋２２Ａ）（図５
（ａ）参照）、（２３Ａ＋２４Ａ）（図５（ｂ）参
照）、（２１Ａ＋２４Ａ）（図５（ｄ）参照）及び（２
２Ａ＋２３Ａ）（図５（ｅ）参照）は何れも相違するよ
うになる。
【００３９】したがって、（２１Ａ＋２２Ａ）−（２３
Ａ＋２４Ａ）（図５（ｃ）参照）及び（２１Ａ＋２４
Ａ）−（２２Ａ＋２３Ａ）（図５（ｆ）参照）は何れも
零とはならない。
Ａ＋２４Ａ）（図５（ｃ）参照）及び（２１Ａ＋２４
Ａ）−（２２Ａ＋２３Ａ）（図５（ｆ）参照）は何れも
零とはならない。
【００４０】マイクロコンピュータ７は、（２１Ａ＋２
２Ａ）−（２３Ａ＋２４Ａ）及び（２１Ａ＋２４Ａ）−
（２２Ａ＋２３Ａ）が何れも零となるように、調節機構
４を駆動して励起レーザ光が正しい方向へ出射されるよ
うに全反射ミラー３を動かす。
２Ａ）−（２３Ａ＋２４Ａ）及び（２１Ａ＋２４Ａ）−
（２２Ａ＋２３Ａ）が何れも零となるように、調節機構
４を駆動して励起レーザ光が正しい方向へ出射されるよ
うに全反射ミラー３を動かす。
【００４１】この実施形態によれば、全反射ミラー３と
ビームエクスパンダ８との間の光路に配設されたビーム
スプリッタ５で分離された励起レーザ光を多分割センサ
２０で受光し、それぞれの受光素子２１〜２４の出力が
同じ大きさになるように調節機構４を駆動して全反射ミ
ラー３を動かし、励起レーザ光を正しい方向へ出射させ
ることができる。
ビームエクスパンダ８との間の光路に配設されたビーム
スプリッタ５で分離された励起レーザ光を多分割センサ
２０で受光し、それぞれの受光素子２１〜２４の出力が
同じ大きさになるように調節機構４を駆動して全反射ミ
ラー３を動かし、励起レーザ光を正しい方向へ出射させ
ることができる。
【００４２】したがって、観察を行う度又は定期点検の
度に励起レーザ光の光軸との位置合わせ操作が不要とな
り、しかも常に定量的に同じ明るさの画像を得ることこ
とができるので、共焦点レーザ走査顕微鏡の使い勝手が
よくなる。
度に励起レーザ光の光軸との位置合わせ操作が不要とな
り、しかも常に定量的に同じ明るさの画像を得ることこ
とができるので、共焦点レーザ走査顕微鏡の使い勝手が
よくなる。
【００４３】また、ビームスプリッタ５は全反射ミラー
３とビームエキスパンダ８との間の光路に配設したの
で、以下の長所を有する。
３とビームエキスパンダ８との間の光路に配設したの
で、以下の長所を有する。
【００４４】多分割センサとしては、径の小さい（１ｍ
ｍ程度）励起レーザ光を受光できる小型のものを用いる
ことができる（例えば、ビームエキスパンダの後では励
起レーザ光の径は１０ｍｍ程度となる）。
ｍ程度）励起レーザ光を受光できる小型のものを用いる
ことができる（例えば、ビームエキスパンダの後では励
起レーザ光の径は１０ｍｍ程度となる）。
【００４５】例えばそれぞれの励起レーザ光に対するビ
ームエキスパンダの構成の異なるものを用いる必要があ
る、紫外レーザ光と可視の励起レーザ光とを出射できる
マルチタイプの光源を用いる場合でも、１つのビームス
プリッタでよい。
ームエキスパンダの構成の異なるものを用いる必要があ
る、紫外レーザ光と可視の励起レーザ光とを出射できる
マルチタイプの光源を用いる場合でも、１つのビームス
プリッタでよい。
【００４６】なお、前述の実施形態では、制御手段はマ
イクロコンピュータを用いソフトウェア処理を行う構成
例を示したが、ランダムロジック回路を用いて調節機構
の駆動を制御するようにしてもよい。また、本実施形態
の共焦点レーザ走査顕微鏡は、蛍光観察を行うものとし
たが、本発明はこれに限らず、例えば、単に試料の反射
光を観察するものであってもよい。このとき、図１に示
すビームスプリッタ９はハーフミラーにおきかえられ
る。さらに、励起レーザ光を偏光する部材は全反射ミラ
ーに限らず、例えば、音響光学偏向器（ＡＯＤ）や平行
平面板等であってもよい。
イクロコンピュータを用いソフトウェア処理を行う構成
例を示したが、ランダムロジック回路を用いて調節機構
の駆動を制御するようにしてもよい。また、本実施形態
の共焦点レーザ走査顕微鏡は、蛍光観察を行うものとし
たが、本発明はこれに限らず、例えば、単に試料の反射
光を観察するものであってもよい。このとき、図１に示
すビームスプリッタ９はハーフミラーにおきかえられ
る。さらに、励起レーザ光を偏光する部材は全反射ミラ
ーに限らず、例えば、音響光学偏向器（ＡＯＤ）や平行
平面板等であってもよい。
【００４７】
【発明の効果】以上に説明したように請求項１又は２に
記載の発明のレーザ走査顕微鏡によれば、偏光手段と第
１の光分離手段との間の光路に配設された第２の光分離
手段で分離された励起レーザ光を多分割受光素子で受光
し、それぞれの受光素子の出力が同じ大きさになるよう
に調節手段を駆動して偏向手段を介した励起レーザ光の
出射方向を光軸と一致させるので、観察を行う度や定期
的な励起レーザ光の光軸との位置合わせ操作を不要にで
き、しかも常に定量的に同じ明るさの画像を得ることこ
とができ、レーザ走査顕微鏡を使い勝手のよいものとす
ることができる。
記載の発明のレーザ走査顕微鏡によれば、偏光手段と第
１の光分離手段との間の光路に配設された第２の光分離
手段で分離された励起レーザ光を多分割受光素子で受光
し、それぞれの受光素子の出力が同じ大きさになるよう
に調節手段を駆動して偏向手段を介した励起レーザ光の
出射方向を光軸と一致させるので、観察を行う度や定期
的な励起レーザ光の光軸との位置合わせ操作を不要にで
き、しかも常に定量的に同じ明るさの画像を得ることこ
とができ、レーザ走査顕微鏡を使い勝手のよいものとす
ることができる。
【図１】図１はこの発明に係る共焦点レーザ走査顕微鏡
のブロック構成図である。
のブロック構成図である。
【図２】図２は励起レーザ光が光軸と一致している場合
の多分割センサの受光状態を示す図である。
の多分割センサの受光状態を示す図である。
【図３】図３（ａ）〜（ｆ）は励起レーザ光が光軸と一
致している場合のマイクロコンピュータによる制御方法
の一例を説明する図である。
致している場合のマイクロコンピュータによる制御方法
の一例を説明する図である。
【図４】図４は励起レーザ光が光軸と一致していない場
合の多分割センサの受光状態の一例を示す図である。
合の多分割センサの受光状態の一例を示す図である。
【図５】図５（ａ）〜（ｆ）は励起レーザ光が光軸と一
致していない場合のマイクロコンピュータによる制御方
法の一例を説明する図である。
致していない場合のマイクロコンピュータによる制御方
法の一例を説明する図である。
１ 共焦点レーザ走査顕微鏡 ２ レーザ光源 ３ 全反射ミラー（偏向手段） ４ 調節機構（調節手段） ５ ビームスプリッタ（第２の光分離手段） ７ マイクロコンピュータ（制御手段） ９ ビームスプリッタ（第１の光分離手段） ２０ 多分割センサ（多分割受光素子） ２１〜２４ 受光素子
Claims (2)
- 【請求項１】 励起レーザ光を出射する光源と、 前記励起レーザ光を反射させるとともに、蛍光を透過さ
せる第１の光分離手段とを備えたレーザ走査顕微鏡にお
いて、 前記光源と前記第１の光分離手段との間の光路に配設さ
れた第２の光分離手段と、 この第２の光分離手段で分離された励起レーザ光を検知
する多分割受光素子と、前記光源と前記第２の光分離手
段との間の光路に配置され、前記励起レーザ光を所定方
向へ偏向させる偏向手段と、 前記偏向手段による前記励起レーザ光の偏向方向を調節
する調節手段と、 前記多分割した受光素子それぞれの出力に基づいて前記
調節手段を駆動して、前記励起レーザ光の偏向方向を制
御する制御手段とを備えることを特徴とするレーザ走査
顕微鏡。 - 【請求項２】 前記制御手段は、前記それぞれの受光素
子の出力が同じ大きさになるように前記調節手段を駆動
することを特徴とする請求項１記載のレーザ走査顕微
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9049881A JPH10232352A (ja) | 1997-02-18 | 1997-02-18 | レーザ走査顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9049881A JPH10232352A (ja) | 1997-02-18 | 1997-02-18 | レーザ走査顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10232352A true JPH10232352A (ja) | 1998-09-02 |
Family
ID=12843394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9049881A Withdrawn JPH10232352A (ja) | 1997-02-18 | 1997-02-18 | レーザ走査顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10232352A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006126363A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Olympus Corp | レーザ走査型顕微鏡 |
| JP2007086095A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-04-05 | Toshiba Corp | 表面検査装置 |
| JP2008217013A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Leica Microsystems Cms Gmbh | 光ビーム経路におけるビーム調整のための装置および方法 |
| JP2013120274A (ja) * | 2011-12-07 | 2013-06-17 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点光スキャナおよび共焦点顕微鏡 |
| CN110233973A (zh) * | 2019-05-28 | 2019-09-13 | 怀光智能科技（武汉）有限公司 | 一种玻片扫描仪光源 |
-
1997
- 1997-02-18 JP JP9049881A patent/JPH10232352A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US9122061B2 (en) | 2011-12-07 | 2015-09-01 | Yokogawa Electric Corporation | Confocal optical scanner and confocal microscope |
| CN110233973A (zh) * | 2019-05-28 | 2019-09-13 | 怀光智能科技（武汉）有限公司 | 一种玻片扫描仪光源 |
| CN110233973B (zh) * | 2019-05-28 | 2021-01-15 | 怀光智能科技（武汉）有限公司 | 一种玻片扫描仪光源 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040511 |