JPH10239663A - 強誘電性液晶表示装置 - Google Patents
強誘電性液晶表示装置Info
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- JPH10239663A JPH10239663A JP9043181A JP4318197A JPH10239663A JP H10239663 A JPH10239663 A JP H10239663A JP 9043181 A JP9043181 A JP 9043181A JP 4318197 A JP4318197 A JP 4318197A JP H10239663 A JPH10239663 A JP H10239663A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、駆動回路を増やすことなく、また
高コストの駆動用ICが不要で、強誘電性液晶を安定に
駆動して階調表示が可能な強誘電性液晶表示装置を提供
することを目的としている。 【解決手段】 互いに対向する電極を有する一対の基板
と、その基板間に強誘電性液晶が介在されて成る強誘電
性液晶層とから構成される強誘電性液晶表示装置におい
て、一対の基板の一方1の上に金属電極2が配置され、
金属電極2と絶縁層5を介して非線形抵抗素子を構成す
るように設けられた第1の透明電極3と、金属電極2に
接続するように設けられた第2の透明電極4とから構成
される表示画素電極を備えて構成する。
高コストの駆動用ICが不要で、強誘電性液晶を安定に
駆動して階調表示が可能な強誘電性液晶表示装置を提供
することを目的としている。 【解決手段】 互いに対向する電極を有する一対の基板
と、その基板間に強誘電性液晶が介在されて成る強誘電
性液晶層とから構成される強誘電性液晶表示装置におい
て、一対の基板の一方1の上に金属電極2が配置され、
金属電極2と絶縁層5を介して非線形抵抗素子を構成す
るように設けられた第1の透明電極3と、金属電極2に
接続するように設けられた第2の透明電極4とから構成
される表示画素電極を備えて構成する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、フラットパネルデ
ィスプレイ等に用いられる強誘電性液晶表示装置に関す
るものである。
ィスプレイ等に用いられる強誘電性液晶表示装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】強誘電性液晶は、従来のネマティック液
晶と比較して、応答速度が非常に速く、メモリ性を有す
るなどの特徴をもち、大画面フラットパネルディスプレ
イへの応用が期待されている。
晶と比較して、応答速度が非常に速く、メモリ性を有す
るなどの特徴をもち、大画面フラットパネルディスプレ
イへの応用が期待されている。
【0003】ところが、強誘電性液晶は、一般的に双安
定な2つの配向状態しか取ることができないので、中間
調を得るための階調表示技術が困難であるとういう欠点
を有している。そこで、通常の強誘電性液晶表示装置に
おいて階調表示を行うために、2値表示の画素を用いて
分割した複数の画素の組み合わせで階調表示を行う画素
分割法、2値表示の画素を用いて複数回の走査によって
階調表示を行う時分割法、画素内部に電位勾配を生じさ
せて階調を得る電位勾配法などが用いられている。
定な2つの配向状態しか取ることができないので、中間
調を得るための階調表示技術が困難であるとういう欠点
を有している。そこで、通常の強誘電性液晶表示装置に
おいて階調表示を行うために、2値表示の画素を用いて
分割した複数の画素の組み合わせで階調表示を行う画素
分割法、2値表示の画素を用いて複数回の走査によって
階調表示を行う時分割法、画素内部に電位勾配を生じさ
せて階調を得る電位勾配法などが用いられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術において、画素分割法では、駆動回路が増え、素
子作製工程が複雑になり、かつ画素を分割するため強誘
電性液晶表示装置の開口率が著しく低下する等の問題が
あった。また、時分割法では、階調数を増やすと駆動パ
ルスの周波数が増加するため、駆動用ICがコスト高に
なる上に、強誘電性液晶表示装置自体からの発熱が著し
くなってしまうという問題があった。また、電位勾配法
では、温度や駆動履歴に対する安定性を欠く等の問題が
あった。
来技術において、画素分割法では、駆動回路が増え、素
子作製工程が複雑になり、かつ画素を分割するため強誘
電性液晶表示装置の開口率が著しく低下する等の問題が
あった。また、時分割法では、階調数を増やすと駆動パ
ルスの周波数が増加するため、駆動用ICがコスト高に
なる上に、強誘電性液晶表示装置自体からの発熱が著し
くなってしまうという問題があった。また、電位勾配法
では、温度や駆動履歴に対する安定性を欠く等の問題が
あった。
【0005】本発明は、上記のような課題を解決するた
めになされたものであって、駆動回路を増やすことな
く、また高コストの駆動用ICが不要で、強誘電性液晶
を安定に駆動して階調表示が可能な強誘電性液晶表示装
置を提供することを目的としている。
めになされたものであって、駆動回路を増やすことな
く、また高コストの駆動用ICが不要で、強誘電性液晶
を安定に駆動して階調表示が可能な強誘電性液晶表示装
置を提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項1に記載の発明では、互いに対向する電極を
有する一対の基板と、該基板間に強誘電性液晶が介在さ
れて成る強誘電性液晶層とから構成される強誘電性液晶
表示装置において、一対の基板の一方の上に金属電極が
配置され、その金属電極と絶縁層を介して非線形抵抗素
子を構成するように設けられた第1の透明電極と、金属
電極に接続するように設けられた第2の透明電極とから
構成される表示画素電極を備えて構成している。
め、請求項1に記載の発明では、互いに対向する電極を
有する一対の基板と、該基板間に強誘電性液晶が介在さ
れて成る強誘電性液晶層とから構成される強誘電性液晶
表示装置において、一対の基板の一方の上に金属電極が
配置され、その金属電極と絶縁層を介して非線形抵抗素
子を構成するように設けられた第1の透明電極と、金属
電極に接続するように設けられた第2の透明電極とから
構成される表示画素電極を備えて構成している。
【0007】さらに、請求項2に記載の発明では、上記
の強誘電性液晶表示装置において、絶縁層が金属電極の
一部を覆うように配置され、第1の透明電極が前記絶縁
層の配置された部分で非線形抵抗素子を構成するように
設けられ、第2の透明電極が絶縁層の配置されない部分
で金属電極に接触して設けられたこととしている。
の強誘電性液晶表示装置において、絶縁層が金属電極の
一部を覆うように配置され、第1の透明電極が前記絶縁
層の配置された部分で非線形抵抗素子を構成するように
設けられ、第2の透明電極が絶縁層の配置されない部分
で金属電極に接触して設けられたこととしている。
【0008】また、請求項3に記載の発明では、上記の
強誘電性液晶表示装置において、絶縁層が金属電極を覆
うように配置され、金属電極と第2の透明電極とを接続
する接続部が絶縁層の一部を貫いて設けれらたこととし
ている。
強誘電性液晶表示装置において、絶縁層が金属電極を覆
うように配置され、金属電極と第2の透明電極とを接続
する接続部が絶縁層の一部を貫いて設けれらたこととし
ている。
【0009】また、請求項4に記載の発明では、上記の
強誘電性液晶表示装置において、第1の透明電極とそれ
に対向する他方の基板の電極との距離が、第2の透明電
極とそれに対向する他方の基板の電極との距離とは異な
ることとしている。
強誘電性液晶表示装置において、第1の透明電極とそれ
に対向する他方の基板の電極との距離が、第2の透明電
極とそれに対向する他方の基板の電極との距離とは異な
ることとしている。
【0010】本発明では、上記のように、強誘電性液晶
表示装置の基板において、金属電極と、それを覆うよう
に配置された絶縁層と、第1の透明電極とが非線形素子
を構成している。このような非線形抵抗素子は、MIM
素子と呼ばれるものであり、例えば図1に示すような、
V−I特性に非線形性を示すものである。したがって、
強誘電性液晶表示装置を構成する強誘電性液晶層に非線
形抵抗素子を直列に接続して、図2に示すような信号波
形を印加しても、図3に示すような電界しか印加されな
い。一方、第2の透明電極では金属電極に接続されてい
るので、その部分の強誘電性液晶層に図2に示すような
信号波形を印加すれば、そのまま図2に示すような電界
か印加される。
表示装置の基板において、金属電極と、それを覆うよう
に配置された絶縁層と、第1の透明電極とが非線形素子
を構成している。このような非線形抵抗素子は、MIM
素子と呼ばれるものであり、例えば図1に示すような、
V−I特性に非線形性を示すものである。したがって、
強誘電性液晶表示装置を構成する強誘電性液晶層に非線
形抵抗素子を直列に接続して、図2に示すような信号波
形を印加しても、図3に示すような電界しか印加されな
い。一方、第2の透明電極では金属電極に接続されてい
るので、その部分の強誘電性液晶層に図2に示すような
信号波形を印加すれば、そのまま図2に示すような電界
か印加される。
【0011】本発明は、このような第1の透明電極と第
2の透明電極とを、単一の表示画素内に設けることによ
り、これらの特性を利用して、階調表示を実現するもの
である。さらに、第1の透明電極とそれに対向する他方
の基板の電極との距離を、第2の透明電極とそれに対向
する他方の基板の電極との距離と異なるように構成する
ことにより、より多階調の表示が可能となる。
2の透明電極とを、単一の表示画素内に設けることによ
り、これらの特性を利用して、階調表示を実現するもの
である。さらに、第1の透明電極とそれに対向する他方
の基板の電極との距離を、第2の透明電極とそれに対向
する他方の基板の電極との距離と異なるように構成する
ことにより、より多階調の表示が可能となる。
【0012】また、請求項5に記載の発明では、強誘電
性液晶が負の誘電異方性を有すると共に、その強誘電性
液晶の電圧−メモリパルス幅曲線が極小値を有すること
としている。
性液晶が負の誘電異方性を有すると共に、その強誘電性
液晶の電圧−メモリパルス幅曲線が極小値を有すること
としている。
【0013】請求項5に記載の発明によれば、負の誘電
異方性を示し、その電圧−メモリパルス幅曲線が極小値
を有する強誘電性液晶を用いることにより、その電圧−
メモリパルス幅曲線が極小値を有しない強誘電性液晶を
用いた場合に比べ、より多階調の表示を可能とすること
ができる。
異方性を示し、その電圧−メモリパルス幅曲線が極小値
を有する強誘電性液晶を用いることにより、その電圧−
メモリパルス幅曲線が極小値を有しない強誘電性液晶を
用いた場合に比べ、より多階調の表示を可能とすること
ができる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。 〔第1の実施形態〕図4は、本発明の第1の実施形態の
強誘電性液晶表示装置の下部の電極基板の概略構造を示
す要部斜視図である。図4に示すように、この電極基板
は、ガラス基板1上に、ライン状に形成された金属電極
2が配置され、その金属電極2を覆うように絶縁層5が
形成され、その絶縁層5を介して第1の透明電極3が導
電体膜6により接続されており、第2の透明電極4が金
属電極2に接続されて形成されている。ここで、第2の
透明電極4が金属電極2と接続されて形成されている部
分には、絶縁層5が形成されていないものである。
て、図面を参照して説明する。 〔第1の実施形態〕図4は、本発明の第1の実施形態の
強誘電性液晶表示装置の下部の電極基板の概略構造を示
す要部斜視図である。図4に示すように、この電極基板
は、ガラス基板1上に、ライン状に形成された金属電極
2が配置され、その金属電極2を覆うように絶縁層5が
形成され、その絶縁層5を介して第1の透明電極3が導
電体膜6により接続されており、第2の透明電極4が金
属電極2に接続されて形成されている。ここで、第2の
透明電極4が金属電極2と接続されて形成されている部
分には、絶縁層5が形成されていないものである。
【0015】本実施形態では、上記の構成の電極基板を
以下のように作製した。まず、ガラス基板1上にTa膜
をスパッタ法により成膜し、エッチングにより所望の形
状にして、金属電極2を形成した。ここで、金属電極2
としては、配線抵抗の低減のために、Ta/Cu/Ta
のような積層構造としても良いものである。次に、この
ガラス基板1上に、ITO膜を形成し、図4に示すよう
な形状となるように、レジストを用いてエッチングし
た。ここで、第1の透明電極3は金属電極2と接続され
ておらず、第2の透明電極4は金属電極2と接続される
ように形成した。
以下のように作製した。まず、ガラス基板1上にTa膜
をスパッタ法により成膜し、エッチングにより所望の形
状にして、金属電極2を形成した。ここで、金属電極2
としては、配線抵抗の低減のために、Ta/Cu/Ta
のような積層構造としても良いものである。次に、この
ガラス基板1上に、ITO膜を形成し、図4に示すよう
な形状となるように、レジストを用いてエッチングし
た。ここで、第1の透明電極3は金属電極2と接続され
ておらず、第2の透明電極4は金属電極2と接続される
ように形成した。
【0016】次に、陽極酸化法により、金属電極2であ
るTa膜表面にTa2O5酸化膜を、絶縁層5として形成
した。なお、ここで、上記第1の透明電極3及び第2の
透明電極4となるITO膜の形成時に、上記のようにレ
ジストを用いたエッチングを行った場合には、そのレジ
スト膜を残したまま陽極酸化を行って、ITO膜表面を
保護することが好ましい。そして、絶縁層5と第1の透
明電極3とを結んで、即ち非線形抵抗素子であるMIM
素子を構成するように、導電体膜としてCr膜を成膜し
た。
るTa膜表面にTa2O5酸化膜を、絶縁層5として形成
した。なお、ここで、上記第1の透明電極3及び第2の
透明電極4となるITO膜の形成時に、上記のようにレ
ジストを用いたエッチングを行った場合には、そのレジ
スト膜を残したまま陽極酸化を行って、ITO膜表面を
保護することが好ましい。そして、絶縁層5と第1の透
明電極3とを結んで、即ち非線形抵抗素子であるMIM
素子を構成するように、導電体膜としてCr膜を成膜し
た。
【0017】図5は、上記の電極基板から構成した本実
施形態の強誘電性液晶表示装置の概略構造を示す要部断
面図であり、図4のX−X’切断線において切断したと
きのものである。図5に示すように、上記のような電極
基板上に配置された絶縁膜7により平坦化され、その絶
縁膜7上にラビング処理が施された配向膜8が配置さ
れ、ガラス基板1’上にITO膜から成る対向電極9と
絶縁膜7’とラビング処理が施された配向膜8’とが順
次配置された対向電極との間に、強誘電性液晶層10が
挟持されているものである。なお、強誘電性液晶層10
は、ギャップがスペーサ11により均一になるように保
持されており、周囲が封止剤11により封止されてい
る。また、配向膜8と配向膜8’とのラビング方向は、
一致するように両電極基板が対向されている。
施形態の強誘電性液晶表示装置の概略構造を示す要部断
面図であり、図4のX−X’切断線において切断したと
きのものである。図5に示すように、上記のような電極
基板上に配置された絶縁膜7により平坦化され、その絶
縁膜7上にラビング処理が施された配向膜8が配置さ
れ、ガラス基板1’上にITO膜から成る対向電極9と
絶縁膜7’とラビング処理が施された配向膜8’とが順
次配置された対向電極との間に、強誘電性液晶層10が
挟持されているものである。なお、強誘電性液晶層10
は、ギャップがスペーサ11により均一になるように保
持されており、周囲が封止剤11により封止されてい
る。また、配向膜8と配向膜8’とのラビング方向は、
一致するように両電極基板が対向されている。
【0018】本実施形態では、強誘電性液晶層10の強
誘電性液晶材料としてはメルク社製強誘電性液晶層SC
E−8を用い、絶縁膜7,7’の材料としては触媒化成
工業株式会社製ZQ−3を用い、配向膜8,8’チッソ
石油株式会社製PSI−A−X007を用いた。
誘電性液晶材料としてはメルク社製強誘電性液晶層SC
E−8を用い、絶縁膜7,7’の材料としては触媒化成
工業株式会社製ZQ−3を用い、配向膜8,8’チッソ
石油株式会社製PSI−A−X007を用いた。
【0019】次いで、本実施形態の液晶表示装置の駆動
方法について説明する。
方法について説明する。
【0020】本実施形態の駆動方法は、0<V2<V
4,V2−V1<V4−V3の条件を満たす電圧V1,
V2,V3,V4を用いて、画素が選択されるとその画
素内の強誘電性液晶が取り得るいずれかの安定状態とな
るように第1パルス電圧として電圧V1を印加した後に
引き続き第2パルス電圧として電圧V2を印加するか、
又は第1パルス電圧として電圧−V1を印加した後に第
2パルス電圧として電圧−V2を印加し、その後同一画
素内の強誘電性液晶の安定状態を維持するように第1パ
ルス電圧として電圧V3を印加した後に引き続き第2パ
ルス電圧として電圧V4を印加するか、又は第1パルス
電圧として電圧−V3を印加した後に第2パルス電圧と
して電圧−V4を印加するものである。
4,V2−V1<V4−V3の条件を満たす電圧V1,
V2,V3,V4を用いて、画素が選択されるとその画
素内の強誘電性液晶が取り得るいずれかの安定状態とな
るように第1パルス電圧として電圧V1を印加した後に
引き続き第2パルス電圧として電圧V2を印加するか、
又は第1パルス電圧として電圧−V1を印加した後に第
2パルス電圧として電圧−V2を印加し、その後同一画
素内の強誘電性液晶の安定状態を維持するように第1パ
ルス電圧として電圧V3を印加した後に引き続き第2パ
ルス電圧として電圧V4を印加するか、又は第1パルス
電圧として電圧−V3を印加した後に第2パルス電圧と
して電圧−V4を印加するものである。
【0021】このような駆動方法は、τ−Vminモード
と呼ばれる駆動方法を用いたものである。それに関し
て、Surguyらが、負の誘電異方性を示すと共にその電圧
−メモリパルス幅曲線が極小値を示す強誘電性液晶を用
いて、図6に示すような駆動波形によるJOERS/Alvey駆
動方法を報告している(P.W.H.Surguy et al.,Ferroele
ctrics,122,63(1991))。
と呼ばれる駆動方法を用いたものである。それに関し
て、Surguyらが、負の誘電異方性を示すと共にその電圧
−メモリパルス幅曲線が極小値を示す強誘電性液晶を用
いて、図6に示すような駆動波形によるJOERS/Alvey駆
動方法を報告している(P.W.H.Surguy et al.,Ferroele
ctrics,122,63(1991))。
【0022】本実施形態においてτ−Vminモードに用
いた駆動方法では、上記のように、まず、選択された走
査電極上の画素へ、第1パルス電圧として電圧V1を印
加した後に引き続き第2パルス電圧として電圧V2を印
加するか、又は第1パルス電圧として電圧−V1を印加
した後に第2パルス電圧として電圧−V2を印加するこ
とにより、その画素内の強誘電性液晶を電圧印加前の安
定状態によらず、印加電圧の極性によって一方の安定状
態又は他方の安定状態とする。そして、次にその同じ画
素へ、第1パルス電圧として電圧V3を印加した後に引
き続き第2パルス電圧として電圧V4を印加するか、又
は第1パルス電圧として電圧−V3を印加した後に第2
パルス電圧として電圧−V4を印加することにより、そ
の画素内の強誘電性液晶の安定状態を維持するというも
のである。なお、ここで用いる電圧V1.V2,V3,
V4は、下記のような関係のものである。
いた駆動方法では、上記のように、まず、選択された走
査電極上の画素へ、第1パルス電圧として電圧V1を印
加した後に引き続き第2パルス電圧として電圧V2を印
加するか、又は第1パルス電圧として電圧−V1を印加
した後に第2パルス電圧として電圧−V2を印加するこ
とにより、その画素内の強誘電性液晶を電圧印加前の安
定状態によらず、印加電圧の極性によって一方の安定状
態又は他方の安定状態とする。そして、次にその同じ画
素へ、第1パルス電圧として電圧V3を印加した後に引
き続き第2パルス電圧として電圧V4を印加するか、又
は第1パルス電圧として電圧−V3を印加した後に第2
パルス電圧として電圧−V4を印加することにより、そ
の画素内の強誘電性液晶の安定状態を維持するというも
のである。なお、ここで用いる電圧V1.V2,V3,
V4は、下記のような関係のものである。
【0023】 0<V2<V4,V2−V1<V4−V3 すなわち、選択期間の最初の2タイムスロットにおい
て、書き換えに適用する波形よりも、安定状態維持に適
用する波形の方が、第2パルス電圧が高く、かつ第1パ
ルスと第2パルスとの電位差が大きい。また、電圧V
1,V2,V3,V4は、下記のようになる(Vs,V
dについては図2参照)。
て、書き換えに適用する波形よりも、安定状態維持に適
用する波形の方が、第2パルス電圧が高く、かつ第1パ
ルスと第2パルスとの電位差が大きい。また、電圧V
1,V2,V3,V4は、下記のようになる(Vs,V
dについては図2参照)。
【0024】V1=Vd,V2=Vs−Vd,V3=−
Vd,V4=Vs+Vd 本実施形態の強誘電性液晶表示装置の金属電極2−対向
電極9間に、図6(a),(b)のようなパルス波を印
加したところ、第1の透明電極3及び第2の透明電極4
のそれぞれにおいて、図7に示すようなτ−V曲線が得
られた。なお、図7において、a11は第1の透明電極3
についての図6(a)に対する100%スイッチ曲線、
b11は第1の透明電極3についての図6(b)に対する
0%スイッチ曲線、a12は第2の透明電極3についての
図6(a)に対する100%スイッチ曲線、b12は第2
の透明電極3についての図6(b)に対する0%スイッ
チ曲線をそれぞれ示す。これに基づけば、例えば、下記
表1に示すように、電圧及びパルス幅の組み合わせの印
加により、第1の透明電極3及び第2の透明電極4のそ
れぞれにおいて明状態と暗状態を制御して、3階調の表
示が可能となる。
Vd,V4=Vs+Vd 本実施形態の強誘電性液晶表示装置の金属電極2−対向
電極9間に、図6(a),(b)のようなパルス波を印
加したところ、第1の透明電極3及び第2の透明電極4
のそれぞれにおいて、図7に示すようなτ−V曲線が得
られた。なお、図7において、a11は第1の透明電極3
についての図6(a)に対する100%スイッチ曲線、
b11は第1の透明電極3についての図6(b)に対する
0%スイッチ曲線、a12は第2の透明電極3についての
図6(a)に対する100%スイッチ曲線、b12は第2
の透明電極3についての図6(b)に対する0%スイッ
チ曲線をそれぞれ示す。これに基づけば、例えば、下記
表1に示すように、電圧及びパルス幅の組み合わせの印
加により、第1の透明電極3及び第2の透明電極4のそ
れぞれにおいて明状態と暗状態を制御して、3階調の表
示が可能となる。
【0025】
【表1】
【0026】〔第2の実施形態〕図8は、本発明の第2
の実施形態の強誘電性液晶表示装置の下部の電極基板の
概略構造を示す要部斜視図である。図8に示すように、
この電極基板は、ガラス基板1上に、ライン状に形成さ
れた金属電極14が配置され、その金属電極14上に基
板全面を覆うように絶縁層15が形成され、その絶縁層
15上に第1の透明電極16及び、第2の透明電極17
が形成されている。そして、絶縁層15の一部を貫いて
金属電極14と第2の透明電極17とを接続するよう
に、接続部18が設けれている。また、第1の透明電極
16は、金属電極14及び絶縁層15と共に非線形抵抗
素子であるMIM素子を構成するように形成されてい
る。
の実施形態の強誘電性液晶表示装置の下部の電極基板の
概略構造を示す要部斜視図である。図8に示すように、
この電極基板は、ガラス基板1上に、ライン状に形成さ
れた金属電極14が配置され、その金属電極14上に基
板全面を覆うように絶縁層15が形成され、その絶縁層
15上に第1の透明電極16及び、第2の透明電極17
が形成されている。そして、絶縁層15の一部を貫いて
金属電極14と第2の透明電極17とを接続するよう
に、接続部18が設けれている。また、第1の透明電極
16は、金属電極14及び絶縁層15と共に非線形抵抗
素子であるMIM素子を構成するように形成されてい
る。
【0027】本実施形態では、上記の構成の電極基板を
以下のように作製した。まず、ガラス基板13上にMo
膜をスパッタ法により成膜し、エッチングにより所望の
形状にして、金属電極14を形成した。なお、金属電極
14としては、Al,Ni,Pt,Ag,Cu,Ta等
の各種の金属材料を用いても良い。次に、このガラス基
板13上にフォトレジストを塗布し、図9に示すよう
に、金属電極14にパンターニングされたフォトレジス
ト19が残るように、露光現像して余分なフォトレジス
トを剥離した。さらに、このガラス基板13上に、プラ
ズマCVD法により、硬質炭素膜を絶縁層15として成
膜した。なお、絶縁層15は、蒸着、スパッタ法等によ
り、SiNx,SiC,Ta2O5等を成膜して形成して
も良い。
以下のように作製した。まず、ガラス基板13上にMo
膜をスパッタ法により成膜し、エッチングにより所望の
形状にして、金属電極14を形成した。なお、金属電極
14としては、Al,Ni,Pt,Ag,Cu,Ta等
の各種の金属材料を用いても良い。次に、このガラス基
板13上にフォトレジストを塗布し、図9に示すよう
に、金属電極14にパンターニングされたフォトレジス
ト19が残るように、露光現像して余分なフォトレジス
トを剥離した。さらに、このガラス基板13上に、プラ
ズマCVD法により、硬質炭素膜を絶縁層15として成
膜した。なお、絶縁層15は、蒸着、スパッタ法等によ
り、SiNx,SiC,Ta2O5等を成膜して形成して
も良い。
【0028】次に、金属電極14上のフォトレジスト1
9を剥離して、絶縁層15のその部分に空孔を形成し
た。この絶縁層15の空孔中に、Cuを電界メッキして
接続部18を形成した。なお、接続部18の形成は、各
種金属材料を用いることができ、金属材料を蒸着やスパ
ッタ法等により成膜した後、フォトリソによって、絶縁
層15の空孔部以外の膜を除去するようにしても良い。
9を剥離して、絶縁層15のその部分に空孔を形成し
た。この絶縁層15の空孔中に、Cuを電界メッキして
接続部18を形成した。なお、接続部18の形成は、各
種金属材料を用いることができ、金属材料を蒸着やスパ
ッタ法等により成膜した後、フォトリソによって、絶縁
層15の空孔部以外の膜を除去するようにしても良い。
【0029】最後に、この絶縁層15上に、スパッタ法
によりITO膜を成膜し、図8に示すような形状となる
ようにレジストを用いてエッチングすることにより、第
1の透明電極16及び第2の透明電極17を形成した。
すなわち、第1の透明電極16は金属電極14及び絶縁
層15と共に非線形抵抗素子であるMIM素子構造を構
成し、第2の透明電極17は接続部18を介して金属電
極14と接続されるように形成した。
によりITO膜を成膜し、図8に示すような形状となる
ようにレジストを用いてエッチングすることにより、第
1の透明電極16及び第2の透明電極17を形成した。
すなわち、第1の透明電極16は金属電極14及び絶縁
層15と共に非線形抵抗素子であるMIM素子構造を構
成し、第2の透明電極17は接続部18を介して金属電
極14と接続されるように形成した。
【0030】次いで、この本実施形態の電極基板を用い
て、上記第1の実施形態と同様にして、強誘電性液晶表
示装置を作製した。そして、本実施形態の強誘電性液晶
表示装置においても、上記第1の実施形態と同様の駆動
方法を用いて、金属電極14とその対向電極と間に、前
述の図6(a),(b)のようなパルス波を印加したと
ころ、第1の透明電極16及び第2の透明電極17のそ
れぞれにおいて、図10に示すようなτ−V曲線が得ら
れた。なお、図10において、a21は第1の透明電極1
6についての図6(a)に対する100%スイッチ曲
線、b21は第1の透明電極16についての図6(b)に
対する0%スイッチ曲線、a22は第2の透明電極17に
ついての図6(a)に対する100%スイッチ曲線、b
22は第2の透明電極17についての図6(b)に対する
0%スイッチ曲線をそれぞれ示す。
て、上記第1の実施形態と同様にして、強誘電性液晶表
示装置を作製した。そして、本実施形態の強誘電性液晶
表示装置においても、上記第1の実施形態と同様の駆動
方法を用いて、金属電極14とその対向電極と間に、前
述の図6(a),(b)のようなパルス波を印加したと
ころ、第1の透明電極16及び第2の透明電極17のそ
れぞれにおいて、図10に示すようなτ−V曲線が得ら
れた。なお、図10において、a21は第1の透明電極1
6についての図6(a)に対する100%スイッチ曲
線、b21は第1の透明電極16についての図6(b)に
対する0%スイッチ曲線、a22は第2の透明電極17に
ついての図6(a)に対する100%スイッチ曲線、b
22は第2の透明電極17についての図6(b)に対する
0%スイッチ曲線をそれぞれ示す。
【0031】これに基づけば、例えば、下記表2に示す
ように、電圧及びパルス幅の組み合わせの印加により、
第1の透明電極16及び第2の透明電極17のそれぞれ
において明状態と暗状態を制御して、4階調の表示が可
能となった。
ように、電圧及びパルス幅の組み合わせの印加により、
第1の透明電極16及び第2の透明電極17のそれぞれ
において明状態と暗状態を制御して、4階調の表示が可
能となった。
【0032】
【表2】
【0033】なお、表2においては、第1の透明電極1
6と第2の透明電極17との面積比を、1:2又は2:
1とすることにより、4階調を得たものである。
6と第2の透明電極17との面積比を、1:2又は2:
1とすることにより、4階調を得たものである。
【0034】本実施形態の強誘電性液晶表示装置におい
て、上記第1の実施形態の強誘電性液晶表示装置が3階
調であったのと異なり、4階調表示が可能となるのは、
絶縁層15の抵抗により、第1の透明電極16と第2の
透明電極17とにおいてVdだけでなくVsもにも差が
生じたためと考えられる(Vs,Vdについては図2参
照)。
て、上記第1の実施形態の強誘電性液晶表示装置が3階
調であったのと異なり、4階調表示が可能となるのは、
絶縁層15の抵抗により、第1の透明電極16と第2の
透明電極17とにおいてVdだけでなくVsもにも差が
生じたためと考えられる(Vs,Vdについては図2参
照)。
【0035】〔第3の実施形態〕上記第2の実施形態で
は、第1の透明電極と第2の透明電極とにおいてVdが
異なることによって、より多階調の表示が可能になった
ものと考えられた。これを確認するため、第3の実施形
態として、第1の透明電極とその第1の透明電極に対向
する他方の基板の電極との距離が、第2の透明電極とそ
の第2の透明電極に対向する他方の基板の電極との距離
とは異なるような構成としたものについて説明する。
は、第1の透明電極と第2の透明電極とにおいてVdが
異なることによって、より多階調の表示が可能になった
ものと考えられた。これを確認するため、第3の実施形
態として、第1の透明電極とその第1の透明電極に対向
する他方の基板の電極との距離が、第2の透明電極とそ
の第2の透明電極に対向する他方の基板の電極との距離
とは異なるような構成としたものについて説明する。
【0036】図11は本発明の第3の実施形態の強誘電
性液晶表示装置の下部の電極基板の概略構造を示す要部
断面図であり、図12はその平面図である。なお、図1
2では、実際には隠れて見えない線も実線で描いてい
る。
性液晶表示装置の下部の電極基板の概略構造を示す要部
断面図であり、図12はその平面図である。なお、図1
2では、実際には隠れて見えない線も実線で描いてい
る。
【0037】図11及び図12に示すように、この電極
基板は、ガラス基板20上に、ライン状に形成された金
属電極21が配置され、その金属電極21上に基板全面
を覆うように第1の絶縁層22が形成され、その第1の
絶縁層22上の一部に第1の透明電極24が形成されて
いる。さらに、第1の透明電極24上に第1の絶縁層2
2全面を覆うように、第2の絶縁層23が形成され、そ
の第2の絶縁層23上に、第2の透明電極25が形成さ
れている。そして、第1の絶縁層22及び第2の絶縁層
23の一部を貫いて金属電極21と第2の透明電極25
とを接続するように、接続部26が設けれている。ま
た、第1の透明電極24は、金属電極21及び第1の絶
縁層22と共に非線形抵抗素子であるMIM素子を構成
するように形成されている。
基板は、ガラス基板20上に、ライン状に形成された金
属電極21が配置され、その金属電極21上に基板全面
を覆うように第1の絶縁層22が形成され、その第1の
絶縁層22上の一部に第1の透明電極24が形成されて
いる。さらに、第1の透明電極24上に第1の絶縁層2
2全面を覆うように、第2の絶縁層23が形成され、そ
の第2の絶縁層23上に、第2の透明電極25が形成さ
れている。そして、第1の絶縁層22及び第2の絶縁層
23の一部を貫いて金属電極21と第2の透明電極25
とを接続するように、接続部26が設けれている。ま
た、第1の透明電極24は、金属電極21及び第1の絶
縁層22と共に非線形抵抗素子であるMIM素子を構成
するように形成されている。
【0038】なお、図11では第1の透明電極24と第
2の透明電極25とが同一断面にあるように描いている
が、これは説明のために便宜上こうしたものであり、実
際には図12に示すように、同一の金属電極21の上部
にこれらの透明電極24,25が形成されているもので
ある。
2の透明電極25とが同一断面にあるように描いている
が、これは説明のために便宜上こうしたものであり、実
際には図12に示すように、同一の金属電極21の上部
にこれらの透明電極24,25が形成されているもので
ある。
【0039】本実施形態では、上記の構成の電極基板を
以下のように作製した。まず、ガラス基板20上にMo
膜をスパッタ法により成膜し、エッチングにより所望の
形状にして、金属電極21を形成した。なお、金属電極
21としては、Al,Ni,Pt,Ag,Cu,Ta等
の各種の金属材料を用いても良い。次に、このガラス基
板20上にフォトレジストを塗布し、上記第2の実施形
態と同様にして、前述の図9に示すように、金属電極2
1にパンターニングされたフォトレジスト(図9の19
に相当)が残るように、露光現像して余分なフォトレジ
ストを剥離した。さらに、このガラス基板20上に、プ
ラズマCVD法により、硬質炭素膜を第1の絶縁層22
として成膜した。なお、絶縁層22は、蒸着、スパッタ
法等により、SiNx,SiC,Ta2O5等を成膜して
形成しても良い。
以下のように作製した。まず、ガラス基板20上にMo
膜をスパッタ法により成膜し、エッチングにより所望の
形状にして、金属電極21を形成した。なお、金属電極
21としては、Al,Ni,Pt,Ag,Cu,Ta等
の各種の金属材料を用いても良い。次に、このガラス基
板20上にフォトレジストを塗布し、上記第2の実施形
態と同様にして、前述の図9に示すように、金属電極2
1にパンターニングされたフォトレジスト(図9の19
に相当)が残るように、露光現像して余分なフォトレジ
ストを剥離した。さらに、このガラス基板20上に、プ
ラズマCVD法により、硬質炭素膜を第1の絶縁層22
として成膜した。なお、絶縁層22は、蒸着、スパッタ
法等により、SiNx,SiC,Ta2O5等を成膜して
形成しても良い。
【0040】次に、第1の絶縁層22上に、スパッタ法
によりITO膜を成膜し、図12に示すような形状とな
るようにレジストを用いてエッチングすることにより、
第1の透明電極24を形成した。ここで、第1の透明電
極24は、金属電極21及び第1の絶縁層22と共に非
線形抵抗素子であるMIM素子を構成するように形成し
たものである。それから、第1の透明電極22が形成さ
れた第1の絶縁層22上に、触媒化成工業株式会社製Z
Q−3を用いて第2の絶縁層23を形成した。
によりITO膜を成膜し、図12に示すような形状とな
るようにレジストを用いてエッチングすることにより、
第1の透明電極24を形成した。ここで、第1の透明電
極24は、金属電極21及び第1の絶縁層22と共に非
線形抵抗素子であるMIM素子を構成するように形成し
たものである。それから、第1の透明電極22が形成さ
れた第1の絶縁層22上に、触媒化成工業株式会社製Z
Q−3を用いて第2の絶縁層23を形成した。
【0041】次に、金属電極21上のフォトレジスト
(図9の19に相当)を剥離して、第1の絶縁層22及
び第2の絶縁層23のその部分に空孔を形成した。この
第1の絶縁層22及び第2の絶縁層23の空孔中に、C
uを電界メッキして接続部26を形成した。なお、接続
部26の形成は、各種金属材料を用いることができ、金
属材料を蒸着やスパッタ法等により成膜した後、フォト
リソによって、第1の絶縁層22及び第2の絶縁層23
の空孔部以外の膜を除去するようにしても良い。
(図9の19に相当)を剥離して、第1の絶縁層22及
び第2の絶縁層23のその部分に空孔を形成した。この
第1の絶縁層22及び第2の絶縁層23の空孔中に、C
uを電界メッキして接続部26を形成した。なお、接続
部26の形成は、各種金属材料を用いることができ、金
属材料を蒸着やスパッタ法等により成膜した後、フォト
リソによって、第1の絶縁層22及び第2の絶縁層23
の空孔部以外の膜を除去するようにしても良い。
【0042】最後に、この第2の絶縁層23上に、スパ
ッタ法によりITO膜を成膜し、図12に示すような形
状となるようにレジストを用いてエッチングすることに
より、第2の透明電極25を形成した。すなわち、第2
の透明電極25は、接続部26を介して金属電極21と
接続されるように形成した。
ッタ法によりITO膜を成膜し、図12に示すような形
状となるようにレジストを用いてエッチングすることに
より、第2の透明電極25を形成した。すなわち、第2
の透明電極25は、接続部26を介して金属電極21と
接続されるように形成した。
【0043】次いで、この本実施形態の電極基板を用い
て、上記第1及び第2の実施形態と同様にして、強誘電
性液晶表示装置を作製した。そして、本実施形態の強誘
電性液晶表示装置においても、上記第1及び第2の実施
形態と同様の駆動方法を用いて、金属電極21とその対
向電極と間に、前述の図6(a),(b)のようなパル
ス波を印加したところ、第1の透明電極24及び第2の
透明電極25のそれぞれにおいて、図13に示すような
τ−V曲線が得られた。なお、図13において、a31は
第1の透明電極24についての図6(a)に対する10
0%スイッチ曲線、b31は第1の透明電極24について
の図6(b)に対する0%スイッチ曲線、a32は第2の
透明電極25についての図6(a)に対する100%ス
イッチ曲線、b32は第2の透明電極25についての図6
(b)に対する0%スイッチ曲線をそれぞれ示す。
て、上記第1及び第2の実施形態と同様にして、強誘電
性液晶表示装置を作製した。そして、本実施形態の強誘
電性液晶表示装置においても、上記第1及び第2の実施
形態と同様の駆動方法を用いて、金属電極21とその対
向電極と間に、前述の図6(a),(b)のようなパル
ス波を印加したところ、第1の透明電極24及び第2の
透明電極25のそれぞれにおいて、図13に示すような
τ−V曲線が得られた。なお、図13において、a31は
第1の透明電極24についての図6(a)に対する10
0%スイッチ曲線、b31は第1の透明電極24について
の図6(b)に対する0%スイッチ曲線、a32は第2の
透明電極25についての図6(a)に対する100%ス
イッチ曲線、b32は第2の透明電極25についての図6
(b)に対する0%スイッチ曲線をそれぞれ示す。
【0044】これに基づけば、例えば、下記表3に示す
ように、電圧及びパルス幅の組み合わせの印加により、
第1の透明電極24及び第2の透明電極25のそれぞれ
において明状態と暗状態を制御して、4階調の表示が可
能となった。
ように、電圧及びパルス幅の組み合わせの印加により、
第1の透明電極24及び第2の透明電極25のそれぞれ
において明状態と暗状態を制御して、4階調の表示が可
能となった。
【0045】
【表3】
【0046】このように、本実施形態の強誘電性液晶表
示装置によれば、第1の透明電極24とその対向電極と
の距離と、第2の透明電極25とその対向電極との距離
とを異ならせることにより、4階調表示を行い得る電圧
とパルス幅との組み合わせの領域を拡大可能なことが確
認できた。
示装置によれば、第1の透明電極24とその対向電極と
の距離と、第2の透明電極25とその対向電極との距離
とを異ならせることにより、4階調表示を行い得る電圧
とパルス幅との組み合わせの領域を拡大可能なことが確
認できた。
【0047】なお、上記第1〜3の実施形態において、
いずれも非線形抵抗素子としてMIM素子を採用した
が、これに限定されるものではなく、非線形を示すもの
であれば他の非線形抵抗素子を用いても良い。
いずれも非線形抵抗素子としてMIM素子を採用した
が、これに限定されるものではなく、非線形を示すもの
であれば他の非線形抵抗素子を用いても良い。
【0048】
【発明の効果】以上のように、本発明の強誘電性液晶表
示装置によれば、駆動時におけるバイアス電圧に対する
応答が異なる表示領域の組み合わせを同一画素内に形成
することができ、駆動回路の増加を招くことなく、また
高コストの駆動用ICが不要で、かつ強誘電性液晶を安
定に駆動して、多階調表示を得ることができる。
示装置によれば、駆動時におけるバイアス電圧に対する
応答が異なる表示領域の組み合わせを同一画素内に形成
することができ、駆動回路の増加を招くことなく、また
高コストの駆動用ICが不要で、かつ強誘電性液晶を安
定に駆動して、多階調表示を得ることができる。
【図1】非線形抵抗素子のV−I特性における非線形性
を示す図である。
を示す図である。
【図2】強誘電性液晶表示装置を構成する強誘電性液晶
層にMIM素子を直列に接続して印加する信号波形を示
す図である。
層にMIM素子を直列に接続して印加する信号波形を示
す図である。
【図3】図2に示すような信号波形を印加したときに実
際に強誘電性液晶層に印加される電界を示す図である。
際に強誘電性液晶層に印加される電界を示す図である。
【図4】本発明の第1の実施形態の強誘電性液晶表示装
置の下部の電極基板の概略構造を示す要部斜視図であ
る。
置の下部の電極基板の概略構造を示す要部斜視図であ
る。
【図5】図4の電極基板から構成される強誘電性液晶表
示装置の概略構造を示し、図5のX−X’切断線で切断
したときの要部断面図である。
示装置の概略構造を示し、図5のX−X’切断線で切断
したときの要部断面図である。
【図6】τ−Vminモードを用いた駆動方法の駆動波形
を示す図である。
を示す図である。
【図7】図5の強誘電性液晶表示装置の金属電極2−対
向電極9間に図6(a),(b)のようなパルス波を印
加したときに、第1の透明電極3及び第2の透明電極4
のそれぞれにおいて得られたτ−V曲線を示す図であ
る。
向電極9間に図6(a),(b)のようなパルス波を印
加したときに、第1の透明電極3及び第2の透明電極4
のそれぞれにおいて得られたτ−V曲線を示す図であ
る。
【図8】第2の実施形態の強誘電性液晶表示装置の下部
の電極基板の概略構造を示す要部斜視図である。
の電極基板の概略構造を示す要部斜視図である。
【図9】図8の電極基板の作製時において金属電極14
上のフォトレジストのパターニングパターンを示す図で
ある。
上のフォトレジストのパターニングパターンを示す図で
ある。
【図10】図8の電極基板から構成される強誘電性液晶
表示装置の金属電極14とその対向電極と間に図6
(a),(b)のようなパルス波を印加したときに、第
1の透明電極16及び第2の透明電極17のそれぞれに
おいて得られたτ−V曲線を示す図である。
表示装置の金属電極14とその対向電極と間に図6
(a),(b)のようなパルス波を印加したときに、第
1の透明電極16及び第2の透明電極17のそれぞれに
おいて得られたτ−V曲線を示す図である。
【図11】第3の実施形態の強誘電性液晶表示装置の下
部の電極基板の概略構造を示す要部断面図である。
部の電極基板の概略構造を示す要部断面図である。
【図12】図11の電極基板の平面図である。
【図13】図11及び図12の電極基板から構成される
強誘電性液晶表示装置の金属電極21とその対向電極と
間に図6(a),(b)のようなパルス波を印加したと
きに、第1の透明電極24及び第2の透明電極25のそ
れぞれにおいて得られたτ−V曲線を示す図である。
強誘電性液晶表示装置の金属電極21とその対向電極と
間に図6(a),(b)のようなパルス波を印加したと
きに、第1の透明電極24及び第2の透明電極25のそ
れぞれにおいて得られたτ−V曲線を示す図である。
1,13,20 ガラス基板 2,14,21 金属電極 3,16,24 第1の透明電極 4,17,25 第2の透明電極 5,7,7’,15,22,23 絶縁層 6 導電体膜 9 対向電極 10 強誘電性液晶層 18,26 接続部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01L 49/02 H01L 49/02
Claims (5)
- 【請求項1】 互いに対向する電極を有する一対の基板
と、該基板間に強誘電性液晶が介在されて成る強誘電性
液晶層とから構成される強誘電性液晶表示装置におい
て、 前記一対の基板の一方の上に金属電極が配置され、該金
属電極と絶縁層を介して非線形抵抗素子を構成するよう
に設けられた第1の透明電極と、前記金属電極に接続す
るように設けられた第2の透明電極とから構成される表
示画素電極を備えたことを特徴とする強誘電性液晶表示
装置。 - 【請求項2】 前記絶縁層が前記金属電極の一部を覆う
ように配置され、前記第1の透明電極が前記絶縁層の配
置された部分で非線形抵抗素子を構成するように設けら
れ、前記第2の透明電極が前記絶縁層の配置されない部
分で前記金属電極に接触して設けられたことを特徴とす
る請求項1に記載の強誘電性液晶表示装置。 - 【請求項3】 前記絶縁層が前記金属電極を覆うように
配置され、前記金属電極と前記第2の透明電極とを接続
する接続部が前記絶縁層の一部を貫いて設けれらたこと
を特徴とする請求項1に記載の強誘電性液晶表示装置。 - 【請求項4】 前記第1の透明電極と該第1の透明電極
に対向する他方の基板の電極との距離が、前記第2の透
明電極と該第2の透明電極に対向する他方の基板の電極
との距離とは異なることを特徴とする請求項1から3の
いずれか1項に記載の強誘電性液晶表示装置。 - 【請求項5】 前記強誘電性液晶が負の誘電異方性を有
すると共に、該強誘電性液晶の電圧−メモリパルス幅曲
線が極小値を有することを特徴とする請求項1から4の
いずれか1項に記載の強誘電性液晶表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9043181A JPH10239663A (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | 強誘電性液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9043181A JPH10239663A (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | 強誘電性液晶表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10239663A true JPH10239663A (ja) | 1998-09-11 |
Family
ID=12656736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9043181A Pending JPH10239663A (ja) | 1997-02-27 | 1997-02-27 | 強誘電性液晶表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10239663A (ja) |
-
1997
- 1997-02-27 JP JP9043181A patent/JPH10239663A/ja active Pending
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