JPH10247616A - 露光装置、半導体生産システム及び半導体製造方法 - Google Patents
露光装置、半導体生産システム及び半導体製造方法Info
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- JPH10247616A JPH10247616A JP6398497A JP6398497A JPH10247616A JP H10247616 A JPH10247616 A JP H10247616A JP 6398497 A JP6398497 A JP 6398497A JP 6398497 A JP6398497 A JP 6398497A JP H10247616 A JPH10247616 A JP H10247616A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体露光に必要な露光作業情報を任意の装
置間で転送できるようにして露光作業情報の維持管理の
煩雑さを減らすことことが可能な半導体露光装置および
該露光装置を通信ネットワークで複数結合した半導体生
産システム、並びに該システムによる半導体製造方法を
提供することにある。 【解決手段】 他の露光装置または情報処理手段に対し
通信ネットワークを介して接続されたネットワーク型の
露光装置において、指示された種類の露光作業の露光作
業情報が記憶手段中にあるか否かを判定し、ないと判定
したときは、他の露光装置または情報処理手段に対して
それらがその露光作業情報を有しているか否かを問い合
わせ、その結果に基づいて開始を要求された露光作業を
行うことができるか否かを判断する作業情報管理手段を
具備することを特徴とするネットワーク型露光装置。
置間で転送できるようにして露光作業情報の維持管理の
煩雑さを減らすことことが可能な半導体露光装置および
該露光装置を通信ネットワークで複数結合した半導体生
産システム、並びに該システムによる半導体製造方法を
提供することにある。 【解決手段】 他の露光装置または情報処理手段に対し
通信ネットワークを介して接続されたネットワーク型の
露光装置において、指示された種類の露光作業の露光作
業情報が記憶手段中にあるか否かを判定し、ないと判定
したときは、他の露光装置または情報処理手段に対して
それらがその露光作業情報を有しているか否かを問い合
わせ、その結果に基づいて開始を要求された露光作業を
行うことができるか否かを判断する作業情報管理手段を
具備することを特徴とするネットワーク型露光装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体露光装置お
よび該露光装置を通信ネットワークで複数結合した半導
体生産システム、並びに該システムによる半導体製造方
法に関するものである。
よび該露光装置を通信ネットワークで複数結合した半導
体生産システム、並びに該システムによる半導体製造方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体生産システムにおいては、
通信ネットワークで結合した複数の露光装置と、各々の
露光装置における露光作業の種類を決定して、その露光
作業の開始要求を行うコンピュータ装置を有しており、
これから行なおうとする作業の内容を指示した露光作業
情報（ジョブと呼ばれる）は半導体を露光しようとする
当該半導体露光装置上に存在する必要があった。このた
め複数の半導体露光装置を利用する場合、すべての半導
体露光装置が、必要となる可能性のあるすべての露光作
業情報を露光装置内の記憶領域にもつ必要があった。
通信ネットワークで結合した複数の露光装置と、各々の
露光装置における露光作業の種類を決定して、その露光
作業の開始要求を行うコンピュータ装置を有しており、
これから行なおうとする作業の内容を指示した露光作業
情報（ジョブと呼ばれる）は半導体を露光しようとする
当該半導体露光装置上に存在する必要があった。このた
め複数の半導体露光装置を利用する場合、すべての半導
体露光装置が、必要となる可能性のあるすべての露光作
業情報を露光装置内の記憶領域にもつ必要があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
半導体生産システムは上記のように構成されていたの
で、必要となる可能性のあるすべての露光作業情報を調
べて、収集する必要があり、露光作業情報の維持管理が
煩雑になるという欠点があった。
半導体生産システムは上記のように構成されていたの
で、必要となる可能性のあるすべての露光作業情報を調
べて、収集する必要があり、露光作業情報の維持管理が
煩雑になるという欠点があった。
【０００４】また、まったく使用されていない露光作業
情報を記憶領域にもつ可能性が生じるため、記憶領域の
容量も大きくする必要があり不経済であった。
情報を記憶領域にもつ可能性が生じるため、記憶領域の
容量も大きくする必要があり不経済であった。
【０００５】本発明の目的は、上記従来技術の課題を解
決し、半導体露光に必要な露光作業情報を任意の装置間
で転送できるようにして露光作業情報の維持管理の煩雑
さを減らすことことが可能な半導体露光装置および該露
光装置を通信ネットワークで複数結合した半導体生産シ
ステム、並びに該システムによる半導体製造方法を提供
することにある。
決し、半導体露光に必要な露光作業情報を任意の装置間
で転送できるようにして露光作業情報の維持管理の煩雑
さを減らすことことが可能な半導体露光装置および該露
光装置を通信ネットワークで複数結合した半導体生産シ
ステム、並びに該システムによる半導体製造方法を提供
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、露光作業情報を記憶する記憶手段と、露
光作業の開始要求に応じ、それに伴って指示された種類
の露光作業の露光作業情報により露光作業を制御する手
段とを有し、他の露光装置または情報処理手段に対し通
信ネットワークを介して接続されたネットワーク型の露
光装置において、指示された種類の露光作業の露光作業
情報が記憶手段中にあるか否かを判定し、ないと判定し
たときは、他の露光装置または情報処理手段に対してそ
れらがその露光作業情報を有しているか否かを問い合わ
せ、その結果に基づいて開始を要求された露光作業を行
うことができるか否かを判断する作業情報管理手段を具
備することを特徴とする。そして、作業情報管理手段
は、問合せに対して肯定的返答を行った露光装置または
情報処理手段より、指示された種類の露光作業の露光作
業情報を得る。通常、作業情報管理手段は、他の露光装
置から、前記と同様の問合せを受けたとき、その問合せ
に係る露光作業情報が記憶手段中にあるか否かを判定
し、その結果を、問合せを発した他の露光装置に対して
送信する。このとき、作業情報管理手段は、問合せを発
した他の露光装置に対して肯定的結果を送信する場合に
は、その送信内容に、問合せに係る作業情報を含めても
よい。
め、本発明は、露光作業情報を記憶する記憶手段と、露
光作業の開始要求に応じ、それに伴って指示された種類
の露光作業の露光作業情報により露光作業を制御する手
段とを有し、他の露光装置または情報処理手段に対し通
信ネットワークを介して接続されたネットワーク型の露
光装置において、指示された種類の露光作業の露光作業
情報が記憶手段中にあるか否かを判定し、ないと判定し
たときは、他の露光装置または情報処理手段に対してそ
れらがその露光作業情報を有しているか否かを問い合わ
せ、その結果に基づいて開始を要求された露光作業を行
うことができるか否かを判断する作業情報管理手段を具
備することを特徴とする。そして、作業情報管理手段
は、問合せに対して肯定的返答を行った露光装置または
情報処理手段より、指示された種類の露光作業の露光作
業情報を得る。通常、作業情報管理手段は、他の露光装
置から、前記と同様の問合せを受けたとき、その問合せ
に係る露光作業情報が記憶手段中にあるか否かを判定
し、その結果を、問合せを発した他の露光装置に対して
送信する。このとき、作業情報管理手段は、問合せを発
した他の露光装置に対して肯定的結果を送信する場合に
は、その送信内容に、問合せに係る作業情報を含めても
よい。
【０００７】このように、作業情報を送信する場合は、
問合せ元の作業情報管理手段は、露光作業情報を有して
いるか否かの問合せを、その作業情報をその問合せ先の
露光装置または情報処理手段から得る場合のコストが最
も少ない露光装置または情報処理手段から順に行い、最
初に肯定的な返答を送り返してきたものからその作業情
報を得てもよく、あるいは露光作業情報を有しているか
否かの問合せを、可能なすべての他の露光装置または情
報処理手段に対して行い、そのうちの肯定的な返答を送
り返してきたものうち、その露光装置または情報処理手
段から露光作業情報を得るのに要するコストが最小であ
るものからその露光作業情報を得てもよい。また、本発
明の半導体生産システムは、上述のネットワーク型露光
装置の複数またはこれに加えて上述の情報処理手段を有
することを特徴とする。
問合せ元の作業情報管理手段は、露光作業情報を有して
いるか否かの問合せを、その作業情報をその問合せ先の
露光装置または情報処理手段から得る場合のコストが最
も少ない露光装置または情報処理手段から順に行い、最
初に肯定的な返答を送り返してきたものからその作業情
報を得てもよく、あるいは露光作業情報を有しているか
否かの問合せを、可能なすべての他の露光装置または情
報処理手段に対して行い、そのうちの肯定的な返答を送
り返してきたものうち、その露光装置または情報処理手
段から露光作業情報を得るのに要するコストが最小であ
るものからその露光作業情報を得てもよい。また、本発
明の半導体生産システムは、上述のネットワーク型露光
装置の複数またはこれに加えて上述の情報処理手段を有
することを特徴とする。
【０００８】この半導体生産システムにおいて、通常、
情報処理手段は、各露光装置における露光作業の種類を
決定し、各露光装置に対して、その露光作業の開始要求
を行う。また、作業開始要求を受けた露光装置は、情報
処理手段からの露光作業の開始要求に伴って指示された
種類の露光作業の露光作業情報がその露光装置に無い場
合、他の露光装置または情報処理手段に対してその露光
作業情報をその露光装置または情報処理手段が有するか
否かを問い合わせ、それに対する返答に基き指示された
種類の露光作業を行い得るか否かを判断し、その結果を
情報処理手段に対して送信する。
情報処理手段は、各露光装置における露光作業の種類を
決定し、各露光装置に対して、その露光作業の開始要求
を行う。また、作業開始要求を受けた露光装置は、情報
処理手段からの露光作業の開始要求に伴って指示された
種類の露光作業の露光作業情報がその露光装置に無い場
合、他の露光装置または情報処理手段に対してその露光
作業情報をその露光装置または情報処理手段が有するか
否かを問い合わせ、それに対する返答に基き指示された
種類の露光作業を行い得るか否かを判断し、その結果を
情報処理手段に対して送信する。
【０００９】さらに、本発明の半導体製造方法は、指示
された種類の露光作業を、その露光作業の作業情報に基
づき、露光装置を用いて行い、作業情報を露光装置が有
する場合は、露光作業をその作業情報に基づいて行い、
有していない場合は、通信ネットワークを介してその露
光装置に接続された他の露光装置または情報処理手段か
らその作業情報を得、その作業情報に基づいて露光作業
を行うことを特徴とする。
された種類の露光作業を、その露光作業の作業情報に基
づき、露光装置を用いて行い、作業情報を露光装置が有
する場合は、露光作業をその作業情報に基づいて行い、
有していない場合は、通信ネットワークを介してその露
光装置に接続された他の露光装置または情報処理手段か
らその作業情報を得、その作業情報に基づいて露光作業
を行うことを特徴とする。
【００１０】この、露光作業情報の取得は、他の露光装
置または情報処理手段に対してそれらがその露光作業情
報を有しているか否かを問い合わせ、その問合せに対し
て肯定的返答を行った露光装置または情報処理手段よ
り、指示された種類の露光作業の露光作業情報を得る。
また、露光作業情報を有しているか否かの問合せは、そ
の作業情報をその問合せ先の露光装置または情報処理手
段から得る場合のコストが最も少ない露光装置または情
報処理手段から順に行い、最初に肯定的な返答を送り返
してきたものからその作業情報を得てもよいし、あるい
は、可能なすべての他の露光装置または情報処理手段に
対して問合せはを行い、そのうちの肯定的な返答を送り
返してきたものうち、その露光装置または情報処理手段
から露光作業情報を得るのに要するコストが最小である
ものからその露光作業情報を得る。
置または情報処理手段に対してそれらがその露光作業情
報を有しているか否かを問い合わせ、その問合せに対し
て肯定的返答を行った露光装置または情報処理手段よ
り、指示された種類の露光作業の露光作業情報を得る。
また、露光作業情報を有しているか否かの問合せは、そ
の作業情報をその問合せ先の露光装置または情報処理手
段から得る場合のコストが最も少ない露光装置または情
報処理手段から順に行い、最初に肯定的な返答を送り返
してきたものからその作業情報を得てもよいし、あるい
は、可能なすべての他の露光装置または情報処理手段に
対して問合せはを行い、そのうちの肯定的な返答を送り
返してきたものうち、その露光装置または情報処理手段
から露光作業情報を得るのに要するコストが最小である
ものからその露光作業情報を得る。
【００１１】
【作用】上記の構成により、露光作業に必要な露光作業
情報が自露光装置内にない場合でも、生産システムを構
成するいずれかの装置内に該当する露光作業情報が存在
する場合には、オペレーター等が該当する露光作業情報
の存在を検索することなく、露光作業開始の可否を判断
することができる。また、他の装置から該当する露光作
業情報を取得することによって、生産システムを構成す
るどの装置内に露光作業情報があっても露光作業を開始
することができる。
情報が自露光装置内にない場合でも、生産システムを構
成するいずれかの装置内に該当する露光作業情報が存在
する場合には、オペレーター等が該当する露光作業情報
の存在を検索することなく、露光作業開始の可否を判断
することができる。また、他の装置から該当する露光作
業情報を取得することによって、生産システムを構成す
るどの装置内に露光作業情報があっても露光作業を開始
することができる。
【００１２】
【００１３】
【実施例】以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明の一実施例に係る半導体生産システ
ムの要部構成を示すブロック図であり、同図において、
１０および２０は半導体露光装置、３０は生産システム
を管理するホストコンピュータである。
する。図１は本発明の一実施例に係る半導体生産システ
ムの要部構成を示すブロック図であり、同図において、
１０および２０は半導体露光装置、３０は生産システム
を管理するホストコンピュータである。
【００１４】半導体露光装置１０は通信制御プログラム
１１、機器制御プログラム１２、露光作業情報管理プロ
グラム１３、記憶装置１４を備え、通信制御プログラム
１１によってネットワーク４０を介して他の半導体露光
装置２０およびホストコンピュータ３０と通信する。こ
こで、機器制御プログラム１２は半導体露光に必要な機
器（不図示）の制御を行なう。また、記憶装置１４には
露光作業に必要な露光作業情報（ジョブとよばれる）が
記憶されている。
１１、機器制御プログラム１２、露光作業情報管理プロ
グラム１３、記憶装置１４を備え、通信制御プログラム
１１によってネットワーク４０を介して他の半導体露光
装置２０およびホストコンピュータ３０と通信する。こ
こで、機器制御プログラム１２は半導体露光に必要な機
器（不図示）の制御を行なう。また、記憶装置１４には
露光作業に必要な露光作業情報（ジョブとよばれる）が
記憶されている。
【００１５】露光作業情報管理プログラム１３は露光作
業に必要なジョブの有無のチェックおよび記憶装置１４
との間での入出力の管理を行なう。また露光作業情報管
理プログラム１３は他装置への露光作業情報の問合せを
行なう機能をもつと同時に、他装置からの露光作業情報
の問合せに応答する機能をもつ。半導体露光装置２０の
構成も同様である。
業に必要なジョブの有無のチェックおよび記憶装置１４
との間での入出力の管理を行なう。また露光作業情報管
理プログラム１３は他装置への露光作業情報の問合せを
行なう機能をもつと同時に、他装置からの露光作業情報
の問合せに応答する機能をもつ。半導体露光装置２０の
構成も同様である。
【００１６】ホストコンピュータ３０は通信制御プログ
ラム３１、生産管理プログラム３２、露光情報管理プロ
グラム３３および記憶装置３４を備える。これらプログ
ラム３１および３３の機能は、半導体露光装置１０にお
けるプログラム１１および１３と同様である。
ラム３１、生産管理プログラム３２、露光情報管理プロ
グラム３３および記憶装置３４を備える。これらプログ
ラム３１および３３の機能は、半導体露光装置１０にお
けるプログラム１１および１３と同様である。
【００１７】生産管理プログラム３２はネットワーク４
０で結合されている半導体露光装置１０、２０に対して
露光作業の開始を指示するとともに、それらが使用すべ
き露光作業情報の種類を指定する。
０で結合されている半導体露光装置１０、２０に対して
露光作業の開始を指示するとともに、それらが使用すべ
き露光作業情報の種類を指定する。
【００１８】本実施例においては、半導体露光装置１０
が露光作業情報１５および１６（それぞれジョブＡ、ジ
ョブＢと名付けられている）をもっており、半導体露光
装置２０が露光作業情報２５（ジョブＣと名付けられて
いる）をもっており、そして、ホストコンピュータ３０
が露光作業情報３５および３６（それぞれジョブＤ、ジ
ョブＥと名付けられている）をもっているとする。今ホ
ストコンピュータ３０の生産管理プログラム３２が半導
体露光装置１０に対し、ジョブＣという名称の露光作業
情報を用いて露光作業を行なう旨を指示したとする。こ
のときホストコンピュータ３０から半導体露光装置１０
に対して送られるメッセージは図２に示すメッセージ５
０の形式である。このメッセージを受けると、半導体露
光装置１０の露光作業情報管理プログラム１３は、記憶
装置１４内にジョブＣという名称の露光作業情報が存在
するかどうかを調べる。存在するとすればその露光作業
情報を用いて露光作業を開始するが、本例においてはジ
ョブＣという名称の露光作業情報が記憶装置４０内に存
在しない。そこで露光作業情報管理プログラム１３は、
図３に示すフローチャートにしたがって露光作業情報の
問合せを行なう。なお、本実施例においては、最初にホ
ストコンピュータ３０に問い合せ、次いで半導体露光装
置２０に問合せを行なうものとする。
が露光作業情報１５および１６（それぞれジョブＡ、ジ
ョブＢと名付けられている）をもっており、半導体露光
装置２０が露光作業情報２５（ジョブＣと名付けられて
いる）をもっており、そして、ホストコンピュータ３０
が露光作業情報３５および３６（それぞれジョブＤ、ジ
ョブＥと名付けられている）をもっているとする。今ホ
ストコンピュータ３０の生産管理プログラム３２が半導
体露光装置１０に対し、ジョブＣという名称の露光作業
情報を用いて露光作業を行なう旨を指示したとする。こ
のときホストコンピュータ３０から半導体露光装置１０
に対して送られるメッセージは図２に示すメッセージ５
０の形式である。このメッセージを受けると、半導体露
光装置１０の露光作業情報管理プログラム１３は、記憶
装置１４内にジョブＣという名称の露光作業情報が存在
するかどうかを調べる。存在するとすればその露光作業
情報を用いて露光作業を開始するが、本例においてはジ
ョブＣという名称の露光作業情報が記憶装置４０内に存
在しない。そこで露光作業情報管理プログラム１３は、
図３に示すフローチャートにしたがって露光作業情報の
問合せを行なう。なお、本実施例においては、最初にホ
ストコンピュータ３０に問い合せ、次いで半導体露光装
置２０に問合せを行なうものとする。
【００１９】この問合せを開始すると、露光作業情報管
理プログラム１３は、まず、問合せを行なう装置として
ホストコンピュータ３０を選び（ステップＳ１）、ホス
トコンピュータ３０に対してメッセージ５１を送信して
露光作業情報の問合せを行ない応答を待つ（ステップＳ
２）。この問合せに応じ、ホストコンピュータ３０の露
光作業情報管理プログラム３３は、記憶装置３４の中に
ジョブＣが存在するか否かを調べる。本例においては記
憶装置３４の中にジョブＣは存在しない。そのためホス
トコンピュータ３０は半導体露光装置１０に対して否定
応答メッセージ５２を送る。
理プログラム１３は、まず、問合せを行なう装置として
ホストコンピュータ３０を選び（ステップＳ１）、ホス
トコンピュータ３０に対してメッセージ５１を送信して
露光作業情報の問合せを行ない応答を待つ（ステップＳ
２）。この問合せに応じ、ホストコンピュータ３０の露
光作業情報管理プログラム３３は、記憶装置３４の中に
ジョブＣが存在するか否かを調べる。本例においては記
憶装置３４の中にジョブＣは存在しない。そのためホス
トコンピュータ３０は半導体露光装置１０に対して否定
応答メッセージ５２を送る。
【００２０】否定応答メッセージ５２を受け取った半導
体露光装置１０はそれが肯定応答でないことを判定し
（ステップＳ３）、すべての装置に対して問合せを行っ
たか否かの判定（ステップＳ４）について、まだすべて
の装置に対して問合せを行なっていないと判定し、次に
問合せを行なう装置として半導体露光装置２０を選び
（ステップＳ１）、そして、メッセージ５１によって露
光作業情報の問合せを行ない応答を待つ（ステップＳ
２）。このメッセージを受け取ると、半導体露光装置２
０の露光作業情報管理プログラム２３は、記憶装置２４
の中にジョブＣが存在するか否かを調べる。本例におい
ては記憶装置２４の中にジョブＣが存在する。そのため
半導体露光装置２０は半導体露光装置１０に対して肯定
応答メッセージ５３を送る。肯定応答メッセージ５３を
受け取った半導体露光装置１０はそれが肯定応答である
と判定し（ステップＳ３）、ホスト３０に対して露光作
業を開始できる旨のメッセージ５４を送り（ステップＳ
７）、そして、露光作業情報の問合せ処理を終了する。
体露光装置１０はそれが肯定応答でないことを判定し
（ステップＳ３）、すべての装置に対して問合せを行っ
たか否かの判定（ステップＳ４）について、まだすべて
の装置に対して問合せを行なっていないと判定し、次に
問合せを行なう装置として半導体露光装置２０を選び
（ステップＳ１）、そして、メッセージ５１によって露
光作業情報の問合せを行ない応答を待つ（ステップＳ
２）。このメッセージを受け取ると、半導体露光装置２
０の露光作業情報管理プログラム２３は、記憶装置２４
の中にジョブＣが存在するか否かを調べる。本例におい
ては記憶装置２４の中にジョブＣが存在する。そのため
半導体露光装置２０は半導体露光装置１０に対して肯定
応答メッセージ５３を送る。肯定応答メッセージ５３を
受け取った半導体露光装置１０はそれが肯定応答である
と判定し（ステップＳ３）、ホスト３０に対して露光作
業を開始できる旨のメッセージ５４を送り（ステップＳ
７）、そして、露光作業情報の問合せ処理を終了する。
【００２１】もしここでジョブＣが見つからなかった場
合には、必要な露光作業情報が生産システム内に存在し
ないものと判断し（ステップＳ５）、ホストコンピュー
タ３０に対して露光作業を開始できない旨のメッセージ
５５を送信し（ステップＳ６）、露光作業情報の問合せ
処理を終了する。なお、露光作業情報の問合せの順序は
任意であり、あらかじめ定めておいた順序にしたがって
問合せを行なえばよい。露光作業情報を得るコストが小
さいところから順番に問合せを行ない、露光作業情報が
存在する旨の応答を最初に得た装置から露光作業情報を
受け取るようにするのが最も経済的である。
合には、必要な露光作業情報が生産システム内に存在し
ないものと判断し（ステップＳ５）、ホストコンピュー
タ３０に対して露光作業を開始できない旨のメッセージ
５５を送信し（ステップＳ６）、露光作業情報の問合せ
処理を終了する。なお、露光作業情報の問合せの順序は
任意であり、あらかじめ定めておいた順序にしたがって
問合せを行なえばよい。露光作業情報を得るコストが小
さいところから順番に問合せを行ない、露光作業情報が
存在する旨の応答を最初に得た装置から露光作業情報を
受け取るようにするのが最も経済的である。
【００２２】本実施例においては露光作業情報自体の転
送については述べていないが、メッセージ５６のよう
な、露光作業情報が存在する旨の肯定メッセージととも
に、露光作業情報自体を含むメッセージを送信してもよ
い。また、すべての装置に問合せを行ない、求める露光
作業情報をもつ装置のうち露光作業情報を得るのに要す
るコストが最小になる装置に対し、あらためて露光作業
情報を要求してもよい。
送については述べていないが、メッセージ５６のよう
な、露光作業情報が存在する旨の肯定メッセージととも
に、露光作業情報自体を含むメッセージを送信してもよ
い。また、すべての装置に問合せを行ない、求める露光
作業情報をもつ装置のうち露光作業情報を得るのに要す
るコストが最小になる装置に対し、あらためて露光作業
情報を要求してもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば通
信ネットワークに結ばれた複数の半導体露光装置の利用
において、すべての半導体露光装置が必要となる可能性
のあるすべての露光作業情報をもつ必要がなくなり、露
光作業情報の維持管理が容易になる効果がある。
信ネットワークに結ばれた複数の半導体露光装置の利用
において、すべての半導体露光装置が必要となる可能性
のあるすべての露光作業情報をもつ必要がなくなり、露
光作業情報の維持管理が容易になる効果がある。
【図１】 本発明の一実施例に係る半導体生産システム
の要部構成を示すブロック図である。
の要部構成を示すブロック図である。
【図２】 装置間のメッセージの内容を示す図である。
【図３】 露光作業情報の問合せ処理を示すフローチャ
ートである。
ートである。
１０，２０：半導体露光装置、１１，２１，３１：通信
制御プログラム、１２，２２：機器制御プログラム、１
３，２３，３３：露光作業情報管理プログラム、１４，
２４，３４：記憶装置、１５，１６，２５，３５，３
６：露光作業情報、３０：ホストコンピュータ、３２：
生産管理プログラム、４０：ネットワーク、５０：露光
作業開始メッセージ、５１：問合せメッセージ、５２：
否定メッセージ、５３：肯定メッセージ、５４，５６：
開始可能メッセージ、５５：開始不可メッセージ。
制御プログラム、１２，２２：機器制御プログラム、１
３，２３，３３：露光作業情報管理プログラム、１４，
２４，３４：記憶装置、１５，１６，２５，３５，３
６：露光作業情報、３０：ホストコンピュータ、３２：
生産管理プログラム、４０：ネットワーク、５０：露光
作業開始メッセージ、５１：問合せメッセージ、５２：
否定メッセージ、５３：肯定メッセージ、５４，５６：
開始可能メッセージ、５５：開始不可メッセージ。
Claims (13)
- 【請求項１】 露光作業情報を記憶する記憶手段と、露
光作業の開始要求に応じ、それに伴って指示された種類
の露光作業の露光作業情報により露光作業を制御する手
段とを有し、他の露光装置または情報処理手段に対し通
信ネットワークを介して接続されたネットワーク型の露
光装置において、 指示された種類の露光作業の露光作業情報が前記記憶手
段中にあるか否かを判定し、ないと判定したときは、前
記他の露光装置または情報処理手段に対してそれらがそ
の露光作業情報を有しているか否かを問い合わせ、その
結果に基づいて前記開始を要求された露光作業を行うこ
とができるか否かを判断する作業情報管理手段を具備す
ることを特徴とするネットワーク型露光装置。 - 【請求項２】 前記作業情報管理手段は、前記問合せに
対して肯定的返答を行った露光装置または情報処理手段
より、前記指示された種類の露光作業の露光作業情報を
得るものであることを特徴とする請求項１記載のネット
ワーク型露光装置。 - 【請求項３】 前記作業情報管理手段は、前記他の露光
装置から、前記と同様の問合せを受けたとき、その問合
せに係る露光作業情報が前記記憶手段中にあるか否かを
判定し、その結果を、前記問合せを発した他の露光装置
に対して送信するものであることを特徴とする請求項２
記載のネットワーク型露光装置。 - 【請求項４】 前記作業情報管理手段は、前記問合せを
発した他の露光装置に対して肯定的結果を送信する場合
には、その送信内容に、前記問合せに係る作業情報を含
めることを特徴とする請求項３記載のネットワーク型露
光装置。 - 【請求項５】 前記作業情報管理手段は、前記露光作業
情報を有しているか否かの問合せを、その作業情報をそ
の問合せ先の露光装置または情報処理手段から得る場合
のコストが最も少ない露光装置または情報処理手段から
順に行い、最初に肯定的な返答を送り返してきたものか
らその作業情報を得るものであることを特徴とする請求
項２〜４記載のネットワーク型露光装置。 - 【請求項６】 前記作業情報管理手段は、前記露光作業
情報を有しているか否かの問合せを、可能なすべての前
記他の露光装置または情報処理手段に対して行い、その
うちの肯定的な返答を送り返してきたもののうち、その
露光装置または情報処理手段から露光作業情報を得るの
に要するコストが最小であるものからその露光作業情報
を得るものであることを特徴とする請求項２〜４記載の
ネットワーク型露光装置。 - 【請求項７】 請求項１〜６のいずれかのネットワーク
型露光装置の複数またはこれに加えて請求項１〜６中の
情報処理手段を有することを特徴とする半導体生産シス
テム。 - 【請求項８】 前記情報処理手段は、各露光装置におけ
る露光作業の種類を決定し、各露光装置に対して、その
露光作業の開始要求を行うものであることを特徴とする
請求項７記載の半導体生産システム。 - 【請求項９】 前記露光装置は、前記情報処理手段から
の露光作業の開始要求に伴って指示された種類の露光作
業の露光作業情報がその露光装置に無い場合、他の露光
装置または前記情報処理手段に対してその露光作業情報
をその露光装置または情報処理手段が有するか否かを問
い合わせ、それに対する返答に基き前記指示された種類
の露光作業を行い得るか否かを判断し、その結果を前記
情報処理手段に対して送信するものであることを特徴と
する請求項８記載の半導体生産システム。 - 【請求項１０】 指示された種類の露光作業を、その露
光作業の作業情報に基づき、露光装置を用いて行う半導
体製造方法において、前記作業情報を前記露光装置が有
する場合は、前記露光作業をその作業情報に基づいて行
い、有していない場合は、通信ネットワークを介してそ
の露光装置に接続された他の露光装置または情報処理手
段からその作業情報を得、その作業情報に基づいて前記
露光作業を行うことを特徴とする半導体製造方法。 - 【請求項１１】 前記露光作業情報の取得は、前記他の
露光装置または情報処理手段に対してそれらがその露光
作業情報を有しているか否かを問い合わせ、その問合せ
に対して肯定的返答を行った露光装置または情報処理手
段より、前記指示された種類の露光作業の露光作業情報
を得ることを特徴とする請求項１０記載の半導体製造方
法。 - 【請求項１２】 前記露光作業情報を有しているか否か
の問合せは、その作業情報をその問合せ先の露光装置ま
たは情報処理手段から得る場合のコストが最も少ない露
光装置または情報処理手段から順に行い、最初に肯定的
な返答を送り返してきたものからその作業情報を得るこ
とを特徴とする請求項１１記載の半導体製造方法。 - 【請求項１３】 前記露光作業情報を有しているか否か
の問合せは、可能なすべての前記他の露光装置または情
報処理手段に対して行い、そのうちの肯定的な返答を送
り返してきたものうち、その露光装置または情報処理手
段から露光作業情報を得るのに要するコストが最小であ
るものからその露光作業情報を得ることを特徴とする請
求項１１記載の半導体製造方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6398497A JP3472066B2 (ja) | 1997-03-04 | 1997-03-04 | 露光装置、半導体生産システム及び半導体製造方法 |
| TW087102644A TW376542B (en) | 1997-03-04 | 1998-02-24 | Exposure unit, exposure system and device manufacturing method |
| EP98301384A EP0863439B1 (en) | 1997-03-04 | 1998-02-25 | Exposure unit, exposure system and device manufacturing method |
| DE69838154T DE69838154T2 (de) | 1997-03-04 | 1998-02-25 | Belichtungseinheit, Belichtungssystem und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung |
| US09/034,019 US6185474B1 (en) | 1997-03-04 | 1998-03-02 | Exposure unit, exposure system and device manufacturing method |
| KR1019980007071A KR19980079878A (ko) | 1997-03-04 | 1998-03-04 | 노광장치, 노광시스템 및 디바이스제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6398497A JP3472066B2 (ja) | 1997-03-04 | 1997-03-04 | 露光装置、半導体生産システム及び半導体製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10247616A true JPH10247616A (ja) | 1998-09-14 |
| JP3472066B2 JP3472066B2 (ja) | 2003-12-02 |
Family
ID=13245071
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6398497A Expired - Fee Related JP3472066B2 (ja) | 1997-03-04 | 1997-03-04 | 露光装置、半導体生産システム及び半導体製造方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3472066B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001284214A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-12 | Canon Inc | 露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 |
| US6801826B2 (en) | 2001-08-16 | 2004-10-05 | Nec Corporation | System and method for manufacturing semiconductor devices controlled by customer |
| JP2007123608A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Nikon Corp | デバイス製造処理システム、露光装置及び露光方法、測定検査装置及び測定検査方法、並びにデバイス製造方法 |
-
1997
- 1997-03-04 JP JP6398497A patent/JP3472066B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001284214A (ja) * | 2000-03-30 | 2001-10-12 | Canon Inc | 露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 |
| US6801826B2 (en) | 2001-08-16 | 2004-10-05 | Nec Corporation | System and method for manufacturing semiconductor devices controlled by customer |
| JP2007123608A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Nikon Corp | デバイス製造処理システム、露光装置及び露光方法、測定検査装置及び測定検査方法、並びにデバイス製造方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3472066B2 (ja) | 2003-12-02 |
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