JPH10250043A - スクリーン印刷方法と装置 - Google Patents

スクリーン印刷方法と装置

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JPH10250043A
JPH10250043A JP6318997A JP6318997A JPH10250043A JP H10250043 A JPH10250043 A JP H10250043A JP 6318997 A JP6318997 A JP 6318997A JP 6318997 A JP6318997 A JP 6318997A JP H10250043 A JPH10250043 A JP H10250043A
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JP6318997A
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Masahiro Tanaka
巨浩 田中
Satoshi Yajima
聡 矢嶋
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Taiyo Yuden Co Ltd
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Taiyo Yuden Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 自動印刷工程を停止させることなく、スクリ
ーンのクリーニングを可能とし、人手を介することな
く、スクリーンのクリーニングをする。 【解決手段】 所定の印刷パターンが形成され、所要の
張力を与えて張られたスクリーン12に印刷ペーストを
付与し、スクリーン12にスキージ14を線接触させな
らが移動し、スクリーン12上に印刷ペーストを展開す
ると共に、スクリーン12の下面を印刷テーブル10上
の印刷物11の上に接触させて、印刷物11の印刷面に
所定のパターンで印刷ペーストを印刷する。この場合
に、第一の印刷テーブル10上の印刷物11の印刷面に
1回以上印刷する毎に、スクリーン12の下に第二の印
刷テーブル7上に載せられた清掃用シート17を配置
し、前記印刷物11の代わりに、スクリーン12を用い
てこの清掃用シート17上に印刷を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、積層電子部品や混
成集積回路を製造するため、導電ペーストや半田ペース
ト等の印刷ペーストを用いてセラミックグリーンシート
にスクリーン印刷する方法とその装置に関する。特に、
埃等によるスクリーンの目詰まりを解消し、常に高品質
な印刷を可能とするクリーニング機能を備えたスクリー
ン印刷方法と装置に関する。
【0002】
【従来の技術】積層電子部品を製造するためのセラミッ
クグリーンシート上に内部電極パターンを印刷したり、
混成集積回路基板上にチップ状部品を搭載するための半
田ペーストを印刷する際に、スクリーン印刷法が用いら
れる。このスクリーン印刷法に使用するスクリーンは、
所要の張力をかけた状態でスクリーン枠の内側にスクリ
ーンを張り、このスクリーンに印刷パターンに対応して
孔を有するマスクを張ったものである。このスクリーン
を、印刷テーブル上にセットしたセラミックグリーンシ
ート等の印刷物の印刷面上に配置し、スクリーン上に導
電ペースト等の印刷ペーストを付与する。そして、ブレ
ード状のスキージの刃先をスクリーン上に線接触させて
スクリーンを下方に撓ませた状態で、スキージをその幅
方向と直行する方向に移動させる。これにより、印刷ペ
ーストをスクリーン上に展開すると共に、前記マスクを
印刷物の印刷面に接触させる。これによって、印刷ペー
ストを、マスクの孔から印刷物の印刷面に押し出して塗
布し、印刷を行う。
【0003】このようなスクリーン印刷法では、同じス
クリーンを使用して順次別の印刷物が次々と繰り返し印
刷される。しかし、何度か印刷を繰り返していると、埃
や乾燥した印刷ペーストによってマスクの孔が目詰まり
を起こしてしまう。そのため従来では、マスクの目詰ま
りが起こる前に、定期的に印刷装置を停止してスクリー
ンの下面をクリーニング用の溶剤を含ませた布等で拭い
て清掃していた。或いは、適当な枚数の印刷物を印刷す
る毎に、印刷物の印刷パターンを検査し、印刷のカスレ
等を発見したときに、前記のようにしてスクリーンを清
掃するという方法がとられていた。
【0004】
【発明が解決しようとしている課題】このようなスクリ
ーン印刷法では、工程の自動化が進んでいるが、繰り返
し印刷している途中で、スクリーンのクリーニングをす
るためには、その都度スクリーン印刷装置を停止し、人
手によってスクリーンの下面を拭かなければならない。
そのため、クリーニングの都度、スクリーン印刷装置の
自動動作が停止し、稼働率が下がると共に、クリーニン
グするための要因としての人手がかかるという課題があ
った。さらに、クリーニング用の溶剤を含ませた布等で
スクリーンの下面を拭き取る場合、丁寧に拭き取らない
と、汚れがスクリーンの下面の他の個所に転移してしま
うという課題もあった。
【0005】本発明は、このような従来の課題に鑑み、
自動印刷工程の中に容易に組み込むことが出来、それに
よって自動印刷工程を停止させることなく、スクリーン
のクリーニングを可能とし、人手を介することなく、完
全にスクリーンのクリーニングが出来るようなスクリー
ン印刷方法と装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明では、
前記の目的を達成するため、スクリーン12を使用して
印刷物11の印刷面に何度か印刷する度に、印刷物11
に代えて、清掃用シート17上にスクリーン12で印刷
することにより、清掃用シート17の粘着面にスクリー
ン12の下面や孔に着いた付着物を接着させ、除去する
ようにしたものである。
【0007】すなわち、本発明によるスクリーン印刷方
法は、所定の印刷パターンが形成され、所要の張力を与
えて張られたスクリーン12に印刷ペースト20を付与
し、スクリーン12にスキージ14を線接触させならが
移動し、スクリーン12上に印刷ペースト20を展開す
ると共に、スクリーン12の下面を印刷テーブル10上
の印刷物11の上に接触させて、印刷物11の印刷面に
所定のパターンで印刷ペースト20を印刷するに当た
り、第一の印刷テーブル10上の印刷物11の印刷面に
1回以上印刷する毎に、スクリーン12の下に第二の印
刷テーブル7上に清掃用シート17を配置し、前記印刷
物11の代わりに、スクリーン12を用いてこの清掃用
シート17上に印刷を行うことを特徴とする。
【0008】さらに、このようなスクリーン印刷方法を
行うためのスクリーン印刷装置は、所定の印刷パターン
が形成され、所要の張力を与えて張られたスクリーン1
2と、このスクリーン12の真下に配置され、印刷物1
1を載せる印刷テーブル10と、前記スクリーン12上
に線接触させならが移動し、スクリーン12上に印刷ペ
ースト20を展開すると共に、スクリーン12の下面を
前記印刷テーブル10上の印刷物11の上に接触させる
スキージ14とを備え、前記第一の印刷テーブル10を
スクリーン12の真下とその真下から待避した位置との
間でスクリーン12に対して相対往復移動させる機構
と、前記第一の印刷テーブル10とは別の第二の印刷テ
ーブル7と、第二の印刷テーブル7をスクリーン12の
真下とその真下から待避した位置との間でスクリーン1
2に対して相対往復移動させる機構と、前記第二の印刷
テーブル7上に清掃用シート17を供給する清掃用シー
ト供給機構とを有することを特徴とする。
【0009】ここでは清掃用シート17を、長尺なテー
プ状のものとし、その上に印刷が行われる度に、少なく
とも印刷される長さ分だけ送られるようにする。例え
ば、長尺な清掃用シート17を第二の印刷テーブル7上
に供給する供給リール4と、第二の印刷テーブル7を通
過した印刷済みの清掃用シート7を巻き取る回収リール
5とを備え、清掃用シート17の上に印刷が行われる度
に、供給リール4から長尺な清掃用シート17を第二の
印刷テーブル7上に少なくとも印刷される長さ分だけ供
給し、印刷済みの清掃用シート7を回収リール5に巻き
取る。清掃用シート7は、その片面に粘着剤を塗布して
粘着面としたものを使用し、その粘着面にスクリーンを
使用して印刷するのが好ましい。
【0010】このようなスクリーン印刷方法と装置で
は、スクリーン12を用いて順次繰り返し印刷する動作
の中で、印刷物11の代わりに、清掃用シート17に印
刷する動作を挿入するだけでよいので、スクリーン12
を用いた自動繰り返し印刷の動作を止めることなく、定
期的にスクリーン12のクリーニングが可能となる。し
かも、清掃用シート17上にスクリーン12を用いて印
刷を行うため、スクリーン12の下面は孔に付着した汚
れ等が、印刷ペーストと共に清掃用シート17上に接着
する。そして、清掃用シート17を第二の印刷テーブル
7上に密着させておくことによって、スクリーン12を
清掃用シート17から容易に版離れさせることが出来
る。このとき、スクリーン12に付着している汚れが清
掃用シート17に貼り付いたまま剥ぎ取られる。このた
め完全に、しかも汚れを他に転移させることなく、スク
リーン12をクリーニングすることが出来る。特に、清
掃用シートとして粘着シートを使用し、この粘着面上に
スクリーンを用いて印刷する場合は、固まった印刷ペー
ストのカスや塵が、粘着面に強固に接着した状態でスク
リーンの孔の周囲から剥がされるので、クリーニング効
果極めて高い。
【0011】
【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について、具体的且つ詳細に説明する。
図1は、本発明によるスクリーン印刷装置の例の全体を
示している。床上にガイドレール1が設置され、このガ
イドレール1に沿って印刷物保持ユニット9とクリーニ
ングユニット3とがスライド自在に設置されている。
【0012】印刷物保持ユニット9は、ガイドブッシュ
8、8によって前記ガイドレール1に設置され、図示し
ていない駆動機構により、ガイドレール1に沿って矢印
に示すように移動する。この印刷物保持ユニット9の上
には、平坦な上面を有する第一の印刷テーブル10が設
けられている。印刷物保持ユニット9が図1に示す位置
から左方向に移動し、スクリーン12の真下から待避し
た位置で、第一の印刷テーブル10の平坦な上面にセラ
ミックグリーンシート等の印刷物11が載せられ、固定
される。例えば、前記印刷物保持ユニット9がスクリー
ン12の真下に待避した位置の両側に、未印刷の印刷物
11を収納した図示してないストッカと、印刷済みの印
刷物11を収納したストッカとが配置される。前記の印
刷物11は、図示してない搬送機構により、第一の未印
刷の印刷物ストッカから第一の印刷テーブル10上に配
置され、印刷完了後に第一の印刷テーブル10から印刷
済みの印刷物ストッカへと搬送される。なお、印刷テー
ブル10上への印刷物11の固定手段としては、例えば
真空吸引力等が使用される。
【0013】図1において印刷物保持ユニット9が停止
した上には、スクリーン12が配置されている。例え
ば、正方形の額縁状のスクリーン枠13に所定の張力を
かけてメッシュ状のスクリーンを張り、このスクリーン
の中央に孔を有する薄い金属板からなるメタルマスクを
張ることにより、スクリーン12が構成されている。メ
タルマスクの孔は、印刷物11の印刷面に印刷すべき印
刷パターンの形状に対応している。スクリーン12とし
ては、このような薄い金属板からなるメタルマスクを使
用したものの他、乳剤を使用してホトエッチング等によ
り孔のパターン形成したもの等を使用することもでき
る。
【0014】スクリーン12の上には、駆動ユニット1
5により上下動されるスキージ14が配置されている。
このスキージ14は、ブレード状のもので、その先鋭な
刃先は、スクリーン14の上面の幅方向にわたって当て
られる。また、駆動ユニット15は、スクリーン12の
上に架設したガイドレール16に沿って図1に矢印に示
す方向に往復駆動される。
【0015】他方、前記ガイドレール1に沿ってスライ
ド自在に配置されたクリーニングユニット3は、ガイド
ブッシュ2、2によって前記ガイドレール1に設置さ
れ、図示していない駆動機構により、ガイドレール1に
沿って矢印に示すように移動する。このクリーニングユ
ニット3の上には、第二の印刷テーブル7が設けられ、
その上面は平坦となっている。この第二の印刷テーブル
7の前後には、図1において前後に長い円筒状の案内面
を有する一対のガイドローラ6、6が設けられている。
【0016】このクリーニングユニット3には、長尺な
清掃用シート17を巻き込んだ供給ロール4が設けら
れ、この供給リール4に巻き込まれた清掃用シート17
は、前記ガイドレール6から第二の印刷テーブル7上に
送られ、その上面に載せられた後、他方のガイドレール
6を経て、さらに別のガイドレール6、6…に案内され
て回収リール5に巻き取られる。供給リール4と回収リ
ール5とは、間欠的に同期して回転し、清掃用シート1
7を一定ピッチ毎に送る。その送りピッチは、後述する
ように、スクリーン12を用いて清掃用シート17上に
印刷する長さ以上とする。
【0017】この清掃用シート17は、クリーンルーム
用低発塵ペーパやポリエチレンテレフタレート(PE
T)フィルム等の高分子フィルム、或いはそれらを基材
とし、その片面に粘着剤を薄く且つ均一に塗布したもの
である。例えば、日立化成株式会社製のヒタレックスG
P−5や日東電工株式会社製のS.P.V.等の幅広粘
着テープを使用することが出来る。この清掃用シート1
7は、第二の印刷テーブル7の上に載せられると共に、
第二の印刷テーブル7の上、すなわちガイドローラ6、
6の間で十分な張力が与えられ、第二の印刷テーブル7
上に固定される。なお、清掃用シート17を第二の印刷
テーブル7上にしっかりと保持するため、真空吸引手段
等を使用してもよい。なお、清掃用シート17として粘
着シートを使用する場合は、その粘着面が上を向くよう
第二の印刷テーブル7の上に載せるようにする。
【0018】次に、このスクリーン印刷装置を使用して
スクリーン12をクリーニングしながら印刷物11の印
刷面に印刷する方法について次に説明する。まず、印刷
物保持ユニット9が図1に示す位置から左方向に移動
し、スクリーン12の真下から待避した状態で、その印
刷テーブル10の所定の位置に印刷物11が載せられ
る。その後、印刷物保持ユニット9が図1に示す位置に
戻る。
【0019】この位置で、スクリーン12上に印刷ペー
ストが付与され、図示してないスクレーパによってこの
印刷ペーストがスクリーンの幅方向(図1において前後
方向)に延ばされる。その後図2に示すように、スキー
ジ14が下降され、その先端の刃先がスクリーン12に
線状に押し当てられ、これによってスクリーン12の張
力に抗してその線状部分が下降し、印刷物11上に当接
する。この状態でスキージが図2において左方向に移動
し印刷ペーストがスクリーン12上に展開される。これ
によって、スクリーン12の孔を介して印刷ペーストが
印刷物11の印刷面に押し出されて付着し、印刷物11
の印刷面にスクリーン12の孔のパターンに従ったパタ
ーンの印刷がなされる。
【0020】その後、スキージ14が上昇すると共に、
元の位置に戻る。さらに、印刷物保持ユニット9が図2
において左方向に待避し、印刷済みの印刷物11が第一
の印刷テーブル10から取り除かれ、図示してないスト
ッカに収納されると共に、次に印刷する印刷物11が供
給され、印刷ステージ10の上の所定の位置に載せられ
る。以下、前記と同様にして印刷物11の印刷面への印
刷が行われる。
【0021】このような印刷動作により、印刷物11の
印刷面への印刷を繰り返していると、スクリーン12の
孔には次第に汚れが付着してくる。この状態を模式的に
図8に示す。同図に示すように、汚れ等の付着物22
は、スクリーン12の孔18の周壁に付着し、孔18の
断面積を実質的に狭くする。このため、印刷パターンの
カスレや切れなどの原因となり、印刷不良を起こす。
【0022】そので、このようにスクリーン12の孔1
8に付着物22が付着し、印刷パターンに影響が出る前
に、スクリーン12のクリーニングを行う。すなわち、
前述のような動作により適当な枚数の印圧物11に印刷
を行った後、次の印刷物11を第一の印刷テーブル10
に載せるため、印刷物保持ユニット9がスクリーン12
の真下から待避している間に、クリーニングユニット3
が図1において左方向に進み、図3に示すように、第二
の印刷テーブル7がスクリーン12の真下に移動する。
【0023】ここで、清掃用シート17の上に前述のよ
うに印刷物11に印刷したのと同様にしてスクリーン1
2により印刷ペーストの印刷が行われる。このとき、清
掃用シート17には張力が与えられ、或いは真空吸引手
段等により、清掃用シート17が第二の印刷テーブル7
の上面に密着している。図5は、特に粘着シートからな
る清掃用シート17の粘着面にスクリーン12で印刷ペ
ースト20を印刷する動作を示す。図5において、符合
21は、清掃用シート17の表面に塗布された粘着剤層
を示す。
【0024】前述した通り、スクリーン12上に与えら
れた印刷ペースト20は、図示してないスクレーパによ
り、図5において紙面の前後方向に延ばされる。さら
に、スキージ14の先端の刃先がスクリーン12に線状
に押し当てられ、スクリーン12の張力に抗してその線
状部分が下降し、清掃用シート17の粘着面に当接す
る。この状態でスキージが図2において左方向に移動し
前記印刷ペーストがスクリーン12上に展開される。こ
れによって、スクリーン12の孔18を介して印刷ペー
スト20が清掃用シート17の粘着面に押し出されて付
着する。このとき、印刷ペースト20と共にスクリーン
12の孔18から押し出された付着物19が、印刷ペー
スト20と共に清掃用シート17の粘着面に接着する。
その後、スキージ14が通り過ぎると、スクリーン12
はその張力によって清掃用シート17の粘着面から離れ
るが、このとき、付着物19や印刷ペースト20は、ス
クリーン12より清掃用シート7の粘着面により強い力
で接着しているため、スクリーン12から剥がれ、清掃
用シート17の粘着面に付着したまま残る。これによっ
て、スクリーン12の孔18等から付着物19が完全に
取り除かれる。これによって、スクリーン12がクリー
ニングされる。清掃用シート17の粘着面は、印刷物1
1の表面に比べて極めて強い接着力を有するすため、印
刷物11の印刷動作時にスクリーン12に付着し、その
ままスクリーン12に残った付着物19も確実に取り除
くことが出来る。
【0025】その後、クリーニングユニット3が元に戻
ると共に、供給リール4から清掃用シート17が1ピッ
チ分送られ、回収リール5にその分の清掃用シート17
が巻き取られ、印刷ペースト20や付着物19が付着し
ていない清浄な粘着面を有する新たな粘着フィルム17
の部分が第二の印刷テーブル7の上に載せられる。その
後、印刷物保持ユニット9が図1及び図2に示すよう
に、スクリーン12の真下に移動し、前述のようにして
印刷物11の印刷面への印刷が行われる。
【0026】このクリーニング動作は、予め定められた
印刷物11の印刷枚数毎に行われる。このクリーニング
動作の間の印刷回数は、スクリーン12のクリーニング
の後、スクリーン12に付着物19が着き、それが印刷
パターンに影響を与えるに至るまでの印刷回数を試験等
により把握し、それに十分余裕を持たせた少ない印刷回
数を設定する。このようなクリーニング動作を含むスク
リーン印刷工程は、装置をシーケンサやコンピュータで
制御し、それに設定した回数に従って自動的に行われ
る。なお、以上の例では、スクリーン12を固定とし、
印刷物保持ユニット9とクリーニングユニット3とを移
動させるようにしたが、印刷物保持ユニット9とクリー
ニングユニット3とを固定とし、スクリーン12を移動
させるようにしてもよい。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によるスク
リーン印刷方法と装置では、スクリーン12を用いた自
動繰り返し印刷の動作を止めることなく、定期的にスク
リーン12のクリーニングが可能となる。また完全に、
且つ汚れを他に転移させることなく、スクリーン12を
クリーニングすることが出来る。これにより、人手をか
けずに、能率的に、且つ高い印刷品質でスクリーン印刷
を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるスクリーン印刷装置の例を示す概
略側面図である。
【図2】同スクリーン印刷装置により印刷物に印刷を行
う状態の要部概略側面図である。
【図3】同スクリーン印刷装置により清掃用シートに印
刷し、スクリーンのクリーニングを行う状態の要部概略
側面図である。
【図3】同スクリーン印刷装置にスクリーンの汚れの状
態を模式的に示すスクリーンの要部拡大縦断側面図であ
る。
【図5】同スクリーン印刷装置により清掃用シートに印
刷し、スクリーンのクリーニングを行う状態の要部概略
拡大縦断側面図である。
【符号の説明】
4 供給リール 5 回収リール 7 第二の印刷テーブル 10 第一の印刷テーブル 11 印刷物 12 スクリーン 14 スキージ 17 清掃用シート 20 印刷ペースト
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成9年5月31日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】誓誓
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるスクリーン印刷装置の例を示す概
略側面図である。
【図2】同スクリーン印刷装置により印刷物に印刷を行
う状態の要部概略側面図である。
【図3】同スクリーン印刷装置により清掃用シートに印
刷し、スクリーンのクリーニングを行う状態の要部概略
側面図である。
【図4】同スクリーン印刷装置にスクリーンの汚れの状
態を模式的に示すスクリーンの要部拡大縦断側面図であ
る。
【図5】同スクリーン印刷装置により清掃用シートに印
刷し、スクリーンのクリーニングを行う状態の要部概略
拡大縦断側面図である。
【符号の説明】 4 供給リール 5 回収リール 7 第二の印刷テーブル 10 第一の印刷テーブル 11 印刷物 12 スクリーン 14 スキージ 17 清掃用シート 20 印刷ペースト

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定の印刷パターンが形成され、所要の
    張力を与えて張られたスクリーン(12)に印刷ペース
    ト(20)を付与し、スクリーン(12)にスキージ
    (14)を線接触させならが移動し、スクリーン(1
    2)上に印刷ペースト(20)を展開すると共に、スク
    リーン(12)の下面を印刷テーブル(10)上の印刷
    物(11)の上に接触させて、印刷物(11)の印刷面
    に所定のパターンで印刷ペースト(20)を印刷するス
    クリーン印刷方法において、第一の印刷テーブル(1
    0)上の印刷物(11)の印刷面に1回以上印刷する毎
    に、印スクリーン(12)の下に第二の印刷テーブル
    (7)上に清掃用シート(17)を配置し、前記印刷物
    (11)の代わりに、スクリーン(12)を用いてこの
    清掃用シート(17)上に印刷を行うことを特徴とする
    スクリーン印刷方法。
  2. 【請求項2】 清掃用シート(17)は、長尺なテープ
    状のものであり、その上に印刷が行われる度に、少なく
    とも印刷される長さ分だけ送られることを特徴とする請
    求項1に記載のスクリーン印刷方法。
  3. 【請求項3】 清掃用シート(17)が粘着シートから
    なり、その粘着面を上に向けて第二の印刷テーブル
    (7)上に載せられ、粘着面上に印刷されることを特徴
    とする請求項1または2に記載のスクリーン印刷方法。
  4. 【請求項4】 所定の印刷パターンが形成され、所要の
    張力を与えて張られたスクリーン(12)と、このスク
    リーン(12)の真下に配置され、印刷物(11)を載
    せる印刷テーブル(10)と、前記スクリーン(12)
    上に線接触させならが移動し、スクリーン(12)上に
    印刷ペースト(20)を展開すると共に、スクリーン
    (12)の下面を前記印刷テーブル(10)上の印刷物
    (11)の上に接触させるスキージ(14)とを備える
    スクリーン印刷装置において、前記第一の印刷テーブル
    (10)をスクリーン(12)の真下とその真下から待
    避した位置との間でスクリーン(12)に対して相対往
    復移動させる機構と、前記第一の印刷テーブル(10)
    とは別の第二の印刷テーブル(7)と、第二の印刷テー
    ブル(7)をスクリーン(12)の真下とその真下から
    待避した位置との間でスクリーン(12)に対して相対
    往復移動させる機構と、前記第二の印刷テーブル(7)
    上に清掃用シート(17)を供給する清掃用シート供給
    機構とを有することを特徴とするスクリーン印刷装置。
  5. 【請求項5】 長尺な清掃用シート(17)を第二の印
    刷テーブル(7)上に供給する供給リール(4)と、第
    二の印刷テーブル(7)を通過した印刷済みの清掃用シ
    ート(7)を巻き取る回収リール(5)とを有すること
    を特徴とする請求項4に記載のスクリーン印刷装置。
  6. 【請求項6】 清掃用シート(17)が粘着シートから
    なり、その粘着面を上に向けて第二の印刷テーブル
    (7)上に載せられる、粘着面上に印刷されることを特
    徴とする請求項4または5に記載のスクリーン印刷方
    法。
JP6318997A 1997-03-17 1997-03-17 スクリーン印刷方法と装置 Withdrawn JPH10250043A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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