JPH10250090A

JPH10250090A - カラーフィルタ製造装置及び製造方法及びカラーフィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置

Info

Publication number: JPH10250090A
Application number: JP5756397A
Authority: JP
Inventors: Masamichi Saito; 正道斉藤
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1997-03-12
Filing date: 1997-03-12
Publication date: 1998-09-22

Abstract

(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドの冷却を効率良く行なう
ことができるカラーフィルタの製造装置を提供する。【解決手段】インクジェットヘッド２０４をカラーフィ
ルタ基板２０５に対して相対的に走査させながらインク
を吐出させ、カラーフィルタ基板を着色することにより
カラーフィルタを製造する装置であって、インクジェッ
トヘッド２０４とカラーフィルタ基板２０５を相対的に
移動させるためのステージ２０３と、インクジェットヘ
ッド２０４をクリーニングするためのクリーニングユニ
ット２１２と、クリーニングユニット２１２によるクリ
ーニングと並行してインクジェットヘッド２０４を冷却
するための冷却機構とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーテレビ、パ
ーソナルコンピュータ等に使用されるカラー液晶ディス
プレイなどに用いられるカラーフィルタの製造装置及び
製造方法及びカラーフィルタ及び表示装置及びこの表示
装置を備えた装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータの発達、
特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶
ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要
が増加する傾向にある。しかしながら、さらなる普及の
ためには液晶ディスプレイのコストダウンが必要であ
り、特にコスト的に比重の高いカラーフイルタのコスト
ダウンに対する要求が高まっている。従来から、カラー
フイルタの要求特性を満足しつつ上記の要求に応えるべ
く種々の方法が試みられているが、いまだ全ての要求特
性を満足する方法は確立されていない。以下にそれぞれ
の方法を説明する。第１の方法は顔料分散法である。こ
の方法は、基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成
し、これをパターニングすることにより単色のパターン
を得る。更にこの工程を３回繰り返すことによりＲ、
Ｇ、Ｂのカラーフイルタ層を形成する。

【０００３】第２の方法は染色法である。染色法は、ガ
ラス基板上に染色用の材料である水溶性高分子材料を塗
布し、これをフオトリソグラフィー工程により所望の形
状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴に
浸漬して着色されたパターンを得る。これを３回繰り返
すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラーフイルタ層を形成す
る。

【０００４】第３の方法としては電着法がある。この方
法は、基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹
脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第１の色を
電着する。この工程を３回繰り返してＲ、Ｇ、Ｂのカラ
ーフイルタ層を形成し、最後に焼成するものである。

【０００５】第４の方法としては印刷法がある。この方
法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分散させ、印刷を３回繰
り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂを塗り分けた後、樹脂を熱
硬化させることにより着色層を形成するものである。ま
た、いずれの方法においても着色層上に保護層を形成す
るのが一般的である。

【０００６】これらの方法に共通している点は、Ｒ、
Ｇ、Ｂの３色を着色するために同一の工程を３回繰り返
す必要があり、コスト高になることである。また、工程
が多いほど歩留りが低下するという問題を有している。
更に、電着法においては、形成可能なパターン形状が限
定されるため、現状の技術ではＴＦＴ用には適用が難し
い。また、印刷法は、解像性、平滑性が悪いためファイ
ンピッチのパターンは形成が難しい。

【０００７】これらの欠点を補うべく、特開昭５９−７
５２０５号公報、特開昭６３−２３５９０１号公報ある
いは特開平１−２１７３２０号公報等には、インクジェ
ット方式を用いてカラーフイルタを製造する方法が開示
されている。これらの方法は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）の三色の色素を含有するインクをインクジェット
方式で光透過性の基板上に噴射し、各インクを乾燥させ
て着色画像部を形成するものである。こうしたインクジ
ェット方式では、Ｒ、Ｇ、Ｂの各画素の形成を一度に行
うことが可能で大幅な製造工程の簡略化と、大幅なコス
トダウン効果を得ることが出来る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このイ
ンクジェットを用いる技術においては、インクジェット
ヘッドの温度変化により位置決め精度が劣化するという
問題があった。特に、熱エネルギーを利用してインクを
吐出するヘッドにおいては、大きな問題である。

【０００９】これを解決する方法としては、ヘッドに、
温度を一定にするための冷媒を通したり、着弾位置の変
化量を測定し、ヘッドをθ方向に回転させることなどに
より変化量を補正する方法が考えられる。

【００１０】しかしながら、ヘッドに冷媒を流すとその
脈動による振動のために位置決め精度が劣化したり、冷
媒の配管によりヘッド周辺の構成が複雑になり、操作性
が低下することが考えられ、また、変化量を計測して補
正するには、インクの着弾位置を測定する工程が必要と
なり、生産性に影響を与えることが考えられる。

【００１１】従って、本発明は上述した事情に鑑みてな
されたもので、その目的は、インクジェットヘッドの冷
却を効率良く行なうことができるカラーフィルタの製造
装置及び製造方法を提供することである。

【００１２】また、本発明の他の目的は、上記の製造装
置及び製造方法により製造されたカラーフィルタ及び表
示装置及びこの表示装置を備えた装置を提供することで
ある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し目
的を達成するために、本発明に係わるカラーフィルタの
製造装置は、インクジェットヘッドをカラーフィルタ基
板に対して相対的に走査させながらインクを吐出させ、
前記カラーフィルタ基板を着色することによりカラーフ
ィルタを製造する装置であって、前記インクジェットヘ
ッドと前記カラーフィルタ基板を相対的に移動させるた
めの移動手段と、前記インクジェットヘッドをクリーニ
ングするためのクリーニング手段と、前記クリーニング
手段によるクリーニングと並行して前記インクジェット
ヘッドを冷却するための冷却手段とを具備することを特
徴としている。

【００１４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記クリーニング手段は、純水、有
機溶剤などの液体により湿らせたスポンジ状のブレード
により、前記インクジェットヘッドのインク吐出面を払
拭する払拭機構を備え、前記冷却手段は、前記スポンジ
状のブレードに前記純水、有機溶剤などの液体を供給
し、該純水、有機溶剤などの液体の温度を制御する供給
機構を備えることを特徴としている。

【００１５】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えることを特徴としている。

【００１６】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、インクジェットヘッドをカラーフィルタ基板
に対して相対的に走査させながらインクを吐出させ、前
記カラーフィルタ基板を着色することによりカラーフィ
ルタを製造する装置であって、前記インクジェットヘッ
ドと前記カラーフィルタ基板を相対的に移動させるため
の移動手段と、前記インクジェットヘッドをキャップす
るキャップ手段と、前記キャップ手段によるキャッピン
グと並行して前記インクジェットヘッドを冷却するため
の冷却手段とを具備することを特徴としている。

【００１７】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記冷却手段は、前記キャップ手段
の前記インクジェットヘッドとの接触部に、冷却媒体を
供給する媒体流路を備えることを特徴としている。

【００１８】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えることを特徴としている。

【００１９】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、インクジェットヘッドをカラーフィルタ基板
に対して相対的に走査させながらインクを吐出させ、前
記カラーフィルタ基板を着色することによりカラーフィ
ルタを製造する装置であって、前記インクジェットヘッ
ドと前記カラーフィルタ基板を相対的に移動させるため
の移動手段と、前記インクジェットヘッドをクリーニン
グするためのクリーニング手段と、前記クリーニング手
段によるクリーニングと並行して前記インクジェットヘ
ッドを冷却するための第１の冷却手段と、前記インクジ
ェットヘッドをキャップするキャップ手段と、前記キャ
ップ手段によるキャッピングと並行して前記インクジェ
ットヘッドを冷却するための第２の冷却手段とを具備す
ることを特徴としている。

【００２０】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記クリーニング手段は、純水、有
機溶剤などの液体により湿らせたスポンジ状のブレード
により、前記インクジェットヘッドのインク吐出面を払
拭する払拭機構を備え、前記第１の冷却手段は、前記ス
ポンジ状のブレードに前記純水、有機溶剤などの液体を
供給し、該純水、有機溶剤などの液体の温度を制御する
供給機構を備え、前記第２の冷却手段は、前記キャップ
手段の前記インクジェットヘッドとの接触部に、冷却媒
体を供給する媒体流路を備えることを特徴としている。

【００２１】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えることを特徴としている。

【００２２】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、インクジェットヘッドをカラーフィルタ基板
に対して相対的に走査させながらインクを吐出させ、前
記カラーフィルタ基板を着色することによりカラーフィ
ルタを製造する方法であって、前記インクジェットヘッ
ドと前記カラーフィルタ基板を相対的に走査させて、前
記インクジェットヘッドからインクを吐出させ、前記カ
ラーフィルタ基板を着色する着色工程と、前記インクジ
ェットヘッドのノズル面を払拭する払拭工程と、該払拭
工程と並行して前記インクジェットヘッドを冷却する冷
却工程とを具備することを特徴としている。

【００２３】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記冷却工程では、前記払拭工程に
おいて前記ノズル面を払拭する吸水性のブレードに吸収
されている液体により前記インクジェットヘッドを冷却
することを特徴としている。

【００２４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えることを特徴としている。

【００２５】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、インクジェットヘッドをカラーフィルタ基板
に対して相対的に走査させながらインクを吐出させ、前
記カラーフィルタ基板を着色することによりカラーフィ
ルタを製造する方法であって、前記インクジェットヘッ
ドと前記カラーフィルタ基板を相対的に走査させて、前
記インクジェットヘッドからインクを吐出させ、前記カ
ラーフィルタ基板を着色する着色工程と、前記インクジ
ェットヘッドのノズル面をキャッピングするキャッピン
グ工程と、該キャッピング工程と並行して前記インクジ
ェットヘッドを冷却する冷却工程とを具備することを特
徴としている。

【００２６】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記冷却工程では、前記キャッピン
グ工程で前記ノズル面をキャッピングするキャップ部材
中を流れる流体により、前記インクジェットヘッドを冷
却することを特徴としている。

【００２７】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えることを特徴としている。

【００２８】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、インクジェットヘッドをカラーフィルタ基板
に対して相対的に走査させながらインクを吐出させ、前
記カラーフィルタ基板を着色することによりカラーフィ
ルタを製造する方法であって、前記インクジェットヘッ
ドと前記カラーフィルタ基板を相対的に走査させて、前
記インクジェットヘッドからインクを吐出させ、前記カ
ラーフィルタ基板を着色する着色工程と、前記インクジ
ェットヘッドのノズル面を払拭する払拭工程と、該払拭
工程と並行して前記インクジェットヘッドを冷却する第
１の冷却工程と、前記インクジェットヘッドのノズル面
をキャッピングするキャッピング工程と、該キャッピン
グ工程と並行して前記インクジェットヘッドを冷却する
第２の冷却工程とを具備することを特徴としている。

【００２９】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記第１の冷却工程では、前記払拭
工程において前記ノズル面を払拭する吸水性のブレード
に吸収されている液体により前記インクジェットヘッド
を冷却し、前記第２の冷却工程では、前記キャッピング
工程で前記ノズル面をキャッピングするキャップ部材中
を流れる流体により、前記インクジェットヘッドを冷却
することを特徴としている。

【００３０】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えることを特徴としている。

【００３１】また、本発明に係わるカラーフィルタは、
インクジェットヘッドをカラーフィルタ基板に対して相
対的に走査させながらインクを吐出させ、前記カラーフ
ィルタ基板を着色することにより製造されたカラーフィ
ルタであって、前記インクジェットヘッドと前記カラー
フィルタ基板を相対的に走査させて、前記インクジェッ
トヘッドからインクを吐出させ、前記カラーフィルタ基
板を着色する着色工程と、前記インクジェットヘッドの
ノズル面を払拭する払拭工程と、該払拭工程と並行して
前記インクジェットヘッドを冷却する冷却工程とを経て
製造されたことを特徴としている。

【００３２】また、本発明に係わる表示装置は、インク
ジェットヘッドをカラーフィルタ基板に対して相対的に
走査させながらインクを吐出させ、前記カラーフィルタ
基板を着色することにより製造されたカラーフィルタを
備えた表示装置であって、前記インクジェットヘッドと
前記カラーフィルタ基板を相対的に走査させて、前記イ
ンクジェットヘッドからインクを吐出させ、前記カラー
フィルタ基板を着色する着色工程と、前記インクジェッ
トヘッドのノズル面を払拭する払拭工程と、該払拭工程
と並行して前記インクジェットヘッドを冷却する冷却工
程とを経て製造されたカラーフィルタと、光量を可変と
する光量可変手段とを一体に備えることを特徴としてい
る。

【００３３】また、本発明に係わる表示装置を備えた装
置は、インクジェットヘッドをカラーフィルタ基板に対
して相対的に走査させながらインクを吐出させ、前記カ
ラーフィルタ基板を着色することにより製造されたカラ
ーフィルタを有する表示装置を備えた装置であって、前
記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を相
対的に走査させて、前記インクジェットヘッドからイン
クを吐出させ、前記カラーフィルタ基板を着色する着色
工程と、前記インクジェットヘッドのノズル面を払拭す
る払拭工程と、該払拭工程と並行して前記インクジェッ
トヘッドを冷却する冷却工程とを経て製造されたカラー
フィルタと、光量を可変とする光量可変手段とを一体に
備える表示装置と、該表示装置に画像信号を供給する画
像信号供給手段とを具備することを特徴としている。

【００３４】また、本発明に係わるカラーフィルタは、
インクジェットヘッドをカラーフィルタ基板に対して相
対的に走査させながらインクを吐出させ、前記カラーフ
ィルタ基板を着色することにより製造されたカラーフィ
ルタであって、前記インクジェットヘッドと前記カラー
フィルタ基板を相対的に走査させて、前記インクジェッ
トヘッドからインクを吐出させ、前記カラーフィルタ基
板を着色する着色工程と、前記インクジェットヘッドの
ノズル面をキャッピングするキャッピング工程と、該キ
ャッピング工程と並行して前記インクジェットヘッドを
冷却する冷却工程とを経て製造されたことを特徴として
いる。

【００３５】また、本発明に係わる表示装置は、インク
ジェットヘッドをカラーフィルタ基板に対して相対的に
走査させながらインクを吐出させ、前記カラーフィルタ
基板を着色することにより製造されたカラーフィルタを
備えた表示装置であって、前記インクジェットヘッドと
前記カラーフィルタ基板を相対的に走査させて、前記イ
ンクジェットヘッドからインクを吐出させ、前記カラー
フィルタ基板を着色する着色工程と、前記インクジェッ
トヘッドのノズル面をキャッピングするキャッピング工
程と、該キャッピング工程と並行して前記インクジェッ
トヘッドを冷却する冷却工程とを経て製造されたカラー
フィルタと、光量を可変とする光量可変手段とを一体に
備えることを特徴としている。

【００３６】また、本発明に係わる表示装置を備えた装
置は、インクジェットヘッドをカラーフィルタ基板に対
して相対的に走査させながらインクを吐出させ、前記カ
ラーフィルタ基板を着色することにより製造されたカラ
ーフィルタを有する表示装置を備えた装置であって、前
記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を相
対的に走査させて、前記インクジェットヘッドからイン
クを吐出させ、前記カラーフィルタ基板を着色する着色
工程と、前記インクジェットヘッドのノズル面をキャッ
ピングするキャッピング工程と、該キャッピング工程と
並行して前記インクジェットヘッドを冷却する冷却工程
とを経て製造されたカラーフィルタと、光量を可変とす
る光量可変手段とを一体に備える表示装置と、該表示装
置に画像信号を供給する画像信号供給手段とを具備する
ことを特徴としている。

【００３７】また、本発明に係わるカラーフィルタは、
インクジェットヘッドをカラーフィルタ基板に対して相
対的に走査させながらインクを吐出させ、前記カラーフ
ィルタ基板を着色することにより製造されたカラーフィ
ルタであって、前記インクジェットヘッドと前記カラー
フィルタ基板を相対的に走査させて、前記インクジェッ
トヘッドからインクを吐出させ、前記カラーフィルタ基
板を着色する着色工程と、前記インクジェットヘッドの
ノズル面を払拭する払拭工程と、該払拭工程と並行して
前記インクジェットヘッドを冷却する第１の冷却工程
と、前記インクジェットヘッドのノズル面をキャッピン
グするキャッピング工程と、該キャッピング工程と並行
して前記インクジェットヘッドを冷却する第２の冷却工
程とを経て製造されたことを特徴としている。

【００３８】また、本発明に係わる表示装置を備えた装
置は、インクジェットヘッドをカラーフィルタ基板に対
して相対的に走査させながらインクを吐出させ、前記カ
ラーフィルタ基板を着色することにより製造されたカラ
ーフィルタを備えた表示装置であって、前記インクジェ
ットヘッドと前記カラーフィルタ基板を相対的に走査さ
せて、前記インクジェットヘッドからインクを吐出さ
せ、前記カラーフィルタ基板を着色する着色工程と、前
記インクジェットヘッドのノズル面を払拭する払拭工程
と、該払拭工程と並行して前記インクジェットヘッドを
冷却する第１の冷却工程と、前記インクジェットヘッド
のノズル面をキャッピングするキャッピング工程と、該
キャッピング工程と並行して前記インクジェットヘッド
を冷却する第２の冷却工程とを経て製造されたカラーフ
ィルタと、光量を可変とする光量可変手段とを一体に備
えることを特徴としている。

【００３９】また、本発明に係わる表示装置を備えた装
置は、インクジェットヘッドをカラーフィルタ基板に対
して相対的に走査させながらインクを吐出させ、前記カ
ラーフィルタ基板を着色することにより製造されたカラ
ーフィルタを有する表示装置を備えた装置であって、前
記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を相
対的に走査させて、前記インクジェットヘッドからイン
クを吐出させ、前記カラーフィルタ基板を着色する着色
工程と、前記インクジェットヘッドのノズル面を払拭す
る払拭工程と、該払拭工程と並行して前記インクジェッ
トヘッドを冷却する第１の冷却工程と、前記インクジェ
ットヘッドのノズル面をキャッピングするキャッピング
工程と、該キャッピング工程と並行して前記インクジェ
ットヘッドを冷却する第２の冷却工程とを経て製造され
たカラーフィルタと、光量を可変とする光量可変手段と
を一体に備える表示装置と、該表示装置に画像信号を供
給する画像信号供給手段とを具備することを特徴として
いる。

【００４０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態に
ついて、添付図面を参照して詳細に説明する。

【００４１】（第１の実施形態）まず、第１の実施形態
のカラーフィルタの製造装置について説明する前に、カ
ラーフィルタの製造工程について説明する。

【００４２】図１は、カラーフィルタの製造工程の例を
示した図である。

【００４３】本実施形態においては、基板１として一般
にガラス基板が用いられるが、液晶用カラーフィルタと
しての透明性、機械的強度等の必要特性を有するもので
あればガラス基板に限定されるものではない。

【００４４】図１（ａ）は、光透過部７と遮光部である
ブラックマトリクス２を備えたガラス基板１を示す。ま
ず、ブラックマトリクス２の形成された基板１上に光照
射又は光照射と加熱により硬化可能であり且つインク受
容性を有する樹脂組成物を塗布し、必要に応じてプリベ
ークを行って樹脂層３を形成する（図１（ｂ））。樹脂
層３の形成には、スピンコート、ロールコート、バーコ
ート、スプレーコート、ディップコート等の塗布方法を
用いることができ、特に限定されるものではない。

【００４５】次に、ブラックマトリクス２により遮光さ
れる部分の樹脂層をフォトマスク４を使用して予めパタ
ーン露光を行うことにより樹脂層の一部を硬化させてイ
ンクを吸収しない部位５（非着色部位）を形成し（図１
（ｃ））、その後インクジェットヘッドを用いてＲ、
Ｇ、Ｂの各色を一度に着色し（図１（ｄ））、必要に応
じてインクの乾燥を行う。

【００４６】パターン露光の際に使用されるフォトマス
ク４としては、ブラックマトリクスによる遮光部分を硬
化させるための開口部を有するものを使用する。この
際、ブラックマトリクスに接する部分での着色剤の色抜
けを防止するために、比較的多くのインクを付与するこ
とが必要である。そのためにブラックマトリクスの（遮
光）幅よりも狭い開口部を有するマスクを用いることが
好ましい。

【００４７】着色に用いるインクとしては、色素として
染料系又は顔料系共に用いることが可能であり、また液
状インク、ソリッドインク共に使用可能である。

【００４８】本発明で使用する硬化可能な樹脂組成物と
しては、インク受容性を有し、且つ光照射と加熱の少な
くとも一方の処理により硬化し得るものであればいずれ
でも使用可能であり、樹脂としては例えばアクリル系樹
脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、ヒドロキシプロピル
セルロース、ヒドロキシエチルセルロース、メチルセル
ロース、カルボキシメチルセルロースなどのセルロース
誘導体あるいはその変性物等が挙げられる。

【００４９】これらの樹脂を光あるいは光と熱により架
橋反応を進行させるために光開始剤（架橋剤）を用いる
ことも可能である。光開始剤としては、重クロム酸塩、
ビスアジド化合物、ラジカル系開始剤、カチオン系開始
剤、アニオン系開始剤等が使用可能である。またこれら
の光開始剤を混合して、あるいは他の増感剤と組み合わ
せて使用することもできる。更にオニウム塩などの光酸
発生剤を架橋剤として併用することも可能である。な
お、架橋反応をより進行させるために光照射の後に熱処
理を施してもよい。

【００５０】これらの組成物を含む樹脂層は、非常に耐
熱性、耐水性等に優れており、後工程における高温ある
いは洗浄工程に十分耐え得るものである。

【００５１】本発明で使用するインクジェット方式とし
ては、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた
バブルジェットタイプ、あるいは圧電素子を用いたピエ
ゾジェットタイプ等が使用可能であり、着色面積及び着
色パターンは任意に設定することができる。

【００５２】また、本例では基板上にブラックマトリク
スが形成された例を示しているが、ブラックマトリクス
は、硬化可能な樹脂組成物層を形成後、あるいは着色後
に樹脂層上に形成されたものであっても特に問題はな
く、その形態は本例に限定されるものではない。また、
その形成方法としては、基板上にスパッタもしくは蒸着
により金属薄膜を形成し、フォトリソ工程によりパター
ニングすることが好ましいが、これに限定されるもので
はない。

【００５３】次いで光照射のみ、熱処理のみ、又は光照
射及び熱処理を行って硬化可能な樹脂組成物を硬化させ
（図１（ｅ））、必要に応じて保護層８を形成（図１
（ｆ）する。なお、図中ｈνは光の強度を示し、熱処理
の場合は、ｈνの光の代わりに熱を加える。保護層８と
しては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用
タイプの第２の樹脂組成物を用いて形成するか、あるい
は無機材料を用いて蒸着またはスパッタによって形成す
ることができ、カラーフィルタとした場合の透明性を有
し、その後のＩＴＯ形成プロセス、配向膜形成プロセス
等に十分耐えうるものであれば使用可能である。

【００５４】図２は上記のカラーフィルタを組み込んだ
カラー液晶表示装置３０の基本構成を示す断面図であ
る。

【００５５】カラー液晶表示装置は、一般的にカラーフ
ィルタ基板１と対向基板２１を合わせこみ、液晶化合物
１８を封入することにより形成される。液晶表示装置の
一方の基板２１の内側に、ＴＦＴ(Thin Film Transisto
r)（不図示）と透明な画素電極２０がマトリックス状に
形成される。また、もう一方の基板１の内側には、画素
電極に対向する位置にＲＧＢの色材が配列するようカラ
ーフィルタ５４が設置され、その上に透明な対向電極
（共通電極）１６が一面に形成される。ブラックマトリ
クス２は、通常カラーフィルター基板１側に形成され
る。さらに、両基板の面内には配向膜１９が形成されて
おり、これをラビング処理することにより液晶分子を一
定方向に配列させることができる。また、それぞれのガ
ラス基板の外側には偏光板１１,２２が接着されてお
り、液晶化合物１８は、これらのガラス基板の間隙（２
〜５μｍ程度）に充填される。また、バックライトとし
ては蛍光灯（不図示）と散乱板（不図示）の組み合わせ
が一般的に用いられており、液晶化合物をバックライト
光の透過率を変化させる光シャッターとして機能させる
ことにより表示を行うこのような液晶表示装置を情報処
理装置に適用した場合の例を図３乃至図５を参照して説
明する。

【００５６】図３は上記の液晶表示装置をワードプロセ
ッサ、パーソナルコンピュータ、ファクシミリ装置、複
写装置としての機能を有する情報処理装置に適用した場
合の概略構成を示すブロック図である。

【００５７】図中、１８０１は装置全体の制御を行う制
御部で、マイクロプロセッサ等のＣＰＵや各種Ｉ／Ｏポ
ートを備え、各部に制御信号やデータ信号等を出力した
り、各部よりの制御信号やデータ信号を入力して制御を
行っている。１８０２はディスプレイ部で、この表示画
面には各種メニューや文書情報及びイメージリーダ１８
０７で読み取ったイメージデータ等が表示される。１８
０３はディスプレイ部１８０２上に設けられた透明な感
圧式のタッチパネルで、指等によりその表面を押圧する
ことにより、ディスプレイ部１８０２上での項目入力や
座標位置入力等を行うことができる。

【００５８】１８０４はＦＭ(Frequency Modulation)音
源部で、音楽エディタ等で作成された音楽情報をメモリ
部１８１０や外部記憶装置１８１２にデジタルデータと
して記憶しておき、それらメモリ等から読み出してＦＭ
変調を行うものである。ＦＭ音源部１８０４からの電気
信号はスピーカ部１８０５により可聴音に変換される。
プリンタ部１８０６はワードプロセッサ、パーソナルコ
ンピュータ、ファクシミリ装置、複写装置の出力端末と
して用いられる。

【００５９】１８０７は原稿データを光電的に読取って
入力するイメージリーダ部で、原稿の搬送経路中に設け
られており、ファクシミリ原稿や複写原稿の他各種原稿
の読取りを行う。

【００６０】１８０８はイメージリーダ部１８０７で読
取った原稿データのファクシミリ送信や、送られてきた
ファクシミリ信号を受信して復号するファクシミリ（Ｆ
ＡＸ）の送受信部であり、外部とのインタフェース機能
を有する。１８０９は通常の電話機能や留守番電話機能
等の各種電話機能を有する電話部である。

【００６１】１８１０はシステムプログラムやマネージ
ャープログラム及びその他のアプリケーションプログラ
ム等や文字フォント及び辞書等を記憶するＲＯＭや、外
部記憶装置１８１２からロードされたアプリケーション
プログラムや文書情報、さらにはビデオＲＡＭ等を含む
メモリ部である。

【００６２】１８１１は文書情報や各種コマンド等を入
力するキーボード部である。

【００６３】１８１２はフロッピーディスクやハードデ
ィスク等を記憶媒体とする外部記憶装置で、この外部記
憶装置１８１２には文書情報や音楽あるいは音声情報、
ユーザのアプリケーションプログラム等が格納される。

【００６４】図４は図３に示す情報処理装置の模式的概
観図である。

【００６５】図中、１９０１は上記の液晶表示装置を利
用したフラットパネルディスプレイで、各種メニューや
図形情報及び文書情報等を表示する。このディスプレイ
１９０１上ではタッチパネル１８０３の表面は指等で押
圧することにより座標入力や項目指定入力を行うことが
できる。１９０２は装置が電話機として機能するときに
使用されているハンドセットである。キーボード１９０
３は本体と着脱可能にコードを介して接続されており、
各種文書機能や各種データ入力を行うことができる。ま
た、このキーボード１９０３には各種機能キー１９０４
等が設けられている。１９０５は外部記憶装置１８１２
へのフロッピーディスクの挿入口である。

【００６６】１９０６はイメージリーダ部１８０７で読
取られる原稿を載置する用紙載置部で、読取られた原稿
は装置後部より排出される。またファクシミリ受信等に
おいては、インクジェットプリンタ１９０７よりプリン
トされる。

【００６７】上記情報処理装置をパーソナルコンピュー
タやワードプロセッサとして機能する場合、キーボード
部１８１１から入力された各種情報が制御部１８０１に
より所定のプログラムに従って処理され、プリンタ部１
８０６に画像として出力される。

【００６８】ファクシミリ装置の受信機として機能する
場合、通信回線を介してＦＡＸ送受信部１８０８から入
力したファクシミリ情報が制御部１８０１により所定の
プログラムに従って受信処理され、プリンタ部１８０６
に受信画像として出力される。

【００６９】また、複写装置として機能する場合、イメ
ージリーダ部１８０７によって原稿を読取り、読取られ
た原稿データが制御部１８０１を介してプリンタ部１８
０６に複写画像として出力される。なお、ファクシミリ
装置の受信機として機能する場合、イメージリーダ部１
８０７によって読取られた原稿データは、制御部１８０
１により所定のプログラムに従って送信処理された後、
ＦＡＸ送受信部１８０８を介して通信回線に送信され
る。

【００７０】なお、上述した情報処理装置は図５に示す
ようにインクジェットプリンタを本体に内蔵した一体型
としてもよく、この場合は、よりポータブル性を高める
ことが可能となる。同図において、図４と同一機能を有
する部分には、対応する符号を付す。

【００７１】次に、図６は、本発明の実施形態に係わる
カラーフィルタの製造装置の概略図である。

【００７２】図６において、２０１は装置搭載用の定
盤、２０２は定盤２０１を支持し、外部振動を遮断する
ための除振台、２０３は定盤２０１上に設けられた大ス
トローク移動を行うＸＹステージ、２０４はＲ（赤）、
Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色のインクジェットヘッドから
なるインクジェットヘッドユニット、２０５はカラーフ
ィルタを形成する基板（図１における基板１に相当しブ
ラックマトリクス２及び樹脂層３が形成されている）、
２０６は基板２０５のＸ，Ｙ，θ方向のアライメントを
とるためのアライメント検出用光学系、２０７は基板２
０５のＺ方向位置を検出するためのＺ検出用光学系、２
０８はインクジェットヘッドユニット２０４が吐出する
インクの基板２０５上への着弾位置を検出するための着
弾位置検出用光学系、２０９はインクジェットヘッドユ
ニット２０４のθ方向の回転位置や走査方向（Ｙ方向）
に直交する方向（Ｘ方向）の位置などを調整するための
ヘッド位置調整ユニット、２１０は測長用のレーザ、２
１１は測長用の超平面ミラー、２１２はインクジェット
ヘッドのインク吐出ノズル面を払拭するためのクリーニ
ングユニット、２１３はインクジェットヘッドのインク
吐出ノズル面のインクの乾燥を防止するためのキャップ
ユニット、２１４はクリーニングユニット２１２を洗浄
するための洗浄ユニット、２１５はクリーニングユニッ
ト２１２及びキャップユニット２１３をインクジェット
ヘッドユニット２０４の下まで移動する駆動系である。

【００７３】図７は、ＸＹステージ２０３の詳細図であ
り、ＸＹステージの稼働部には、基板２０５のＺ方向の
傾きを調整するためのＺチルト調整ユニット及び基板２
０５をθ方向に回転させて位置調整するためのθ調整ユ
ニットが構成されており、２２０は基板保持プレート、
２２１はＺチルト用アクチュエータ、２２２はＺチルト
用ガイド、２２３はθ方向アクチュエータ、２２４はθ
方向ガイド、２２５はＸＹ稼働部ベースである。

【００７４】次に、図８は、上記のカラーフィルタ製造
装置に使用されるインクジェットヘッドＩＪＨの構造を
示す図である。図６では、ヘッドユニット２０４内にお
いて、インクジェットヘッドＩＪＨはＲ,Ｇ,Ｂの３色に
対応して３個設けられているが、これらの３個のヘッド
は夫々同一の構造であるので、図８にはこれらの３個の
ヘッドのうちの１つの構造を代表して示している。

【００７５】図８において、インクジェットヘッドＩＪ
Ｈは、インクを加熱するための複数のヒータ１０２が形
成された基板であるヒータボード１０４と、このヒータ
ボード１０４の上にかぶせられる天板１０６とから概略
構成されている。天板１０６には、複数の吐出口１０８
が形成されており、吐出口１０８の後方には、この吐出
口１０８に連通するトンネル状の液路１１０が形成され
ている。各液路１１０は、隔壁１１２により隣の液路と
隔絶されている。各液路１１０は、その後方において１
つのインク液室１１４に共通に接続されており、インク
液室１１４には、インク供給口１１６を介してインクが
供給され、このインクはインク液室１１４から夫々の液
路１１０に供給される。

【００７６】ヒータボード１０４と、天板１０６とは、
各液路１１０に対応した位置に各ヒータ１０２が来る様
に位置合わせされて図８の様な状態に組み立てられる。
図８においては、２つのヒータ１０２しか示されていな
いが、ヒータ１０２は、夫々の液路１１０に対応して１
つずつ配置されている。そして、図８の様に組み立てら
れた状態で、ヒータ１０２に所定の駆動パルスを供給す
ると、ヒータ１０２上のインクが沸騰して気泡を形成
し、この気泡の体積膨張によりインクが吐出口１０８か
ら押し出されて吐出される。従って、ヒータ１０２に加
える駆動パルスを制御、例えば電力の大きさを制御する
ことにより気泡の大きさを調整することが可能であり、
吐出口から吐出されるインクの体積を自在にコントロー
ルすることができる。

【００７７】次に、図９は、上記のカラーフィルタの製
造装置によるカラーフィルタの着色動作を説明するため
のフローチャートである。

【００７８】カラーフィルタの製造時には、図９に示す
ように、基板２０５をＸＹステージ２０３に搭載すると
（ステップＳ５１）、基板２０５の表面がアライメント
検出用光学系２０６の検出範囲（焦点深度）に収まるよ
うにＸＹステージ２０３のＺチルト調整機構２２１,２
２２により基板２０５の傾きを調整する（ステップＳ５
２）。

【００７９】その後、アライメント検出用光学系２０６
により、基板２０５上のアライメントマークが基準位置
にくるように、Ｘ，Ｙ，θの３方向のズレ量を検出す
る。ここで、アライメント検出用光学系２０６は、ＣＣ
Ｄ等のセンサでアライメントマークを読み取り、そこで
得られた画像情報を画像処理部で解析しズレ量を算出す
る。この検出は、複数のマークを複数の検出光学系で検
出して行ってもよいし、複数の検出マークを１ヶ所の検
出光学系でステージを移動させて行ってもよい。この検
出結果に基づき、θ成分のズレは、ＸＹステージ２０３
のθ調整機構２２３,２２４により補正し、Ｘ方向のズ
レはＸＹステージ２０３のＸ位置を合わせることにより
補正する。また、Ｙ方向のズレ（インクジェットヘッド
ユニット２０４の走査方向）はＸＹステージ２０３のＹ
位置合わせ、あるいはインクジェットヘッドユニット２
０４からの吐出タイミングを制御することにより行う
（ステップＳ５４）。

【００８０】さらに、図１０に示すように、インクジェ
ットヘッドユニット２０４から吐出されるインクは基板
２０５の表面に対して垂直に飛翔するとは限らず、傾い
て飛翔する場合には、基板２０５およびインクジェット
ヘッドユニット２０４間の隙間が、例えばｌからｌ＋δ
に変動すると着弾位置がｄからｄ（ｌ＋ｄ／ｌ）に変動
する。したがって、Ｚ検出用光学系２０７によりインク
ジェットヘッドユニット２０４と基板２０５の間の隙間
および基板２０５の傾きを求め、隙間が一定となるよう
に制御しながらインクジェットヘッドユニット２０４で
着色する（ステップＳ５６）。精度によっては基板２０
５の搭載時に基板２０５の傾きを測定し、ＸＹステージ
のＺチルト調整機構２２１,２２２により傾きを補正し
て着色中は固定でもよい。

【００８１】また、インクジェットヘッドユニット２０
４のインクの着弾位置は、インクジェットヘッドユニッ
ト２０４を装置に取り付けた際、インクを吐出し、着弾
位置検出用光学系２０８によりＸＹステージ２０３の基
準に対する着弾位置のズレ量を検出し、ヘッド位置調整
ユニット２０９により調整しておく。

【００８２】着色終了後、基板２０５の排出動作および
搭載動作（ステップＳ５７，Ｓ５１）と並行してインク
ジェットヘッドのクリーニングシーケンス（ステップＳ
５８）を行う。

【００８３】ここで、図１１は、クリーニングユニット
２１２のクリーニング機構の詳細図である。図中、２３
０は各色ヘッドのノズル面を払拭するためのスポンジ状
のブレードであり、２３１はブレード２３０を上下方向
と前後方向に移動させるブレードユニットステージ、２
３２はブレード２３０の湿り具合を調整するブレード吸
引用配管である。ヘッドクリーニングシーケンスは、ク
リーニングユニット２１２が、ヘッドユニット２０４の
下部まで移動し、その場所で、ブレードユニットステー
ジ２３１が上昇し、前後動作することにより湿ったスポ
ンジ状のブレード２３０でインクジェットヘッドのノズ
ル面を拭くことにより行う。また、ブレード２３０を湿
らすには、洗浄ユニット２１４によりブレード２３０に
純水をかけインクを流してブレード２３０を洗浄し、真
空ポンプにより吸引用配管２３２を介してブレード２３
０を吸引することにより適度な湿り具合にする。湿り具
合は、吸引時間をコントロールすることにより調整す
る。

【００８４】図１２は、洗浄時の模式図であり、２３３
はブレード２３０に純水を掛けるための洗浄シャワーユ
ニットである。シャワーユニット２３３には、多数のノ
ズル２３４が構成されており、洗浄水がむらなくブレー
ドに掛かるようにしている。

【００８５】図１３は、洗浄水の温度をコントロールす
る系統図であり、２３５は冷却ユニット、２３６は洗浄
水温度調節タンクであり、冷却ユニット２３５により冷
却された冷媒を配管２６０内を循環させ、この配管２６
０により洗浄水温度調節タンク２３６を冷却することに
より純水の温度をコントロールする。

【００８６】ここで、洗浄に使用する純水の温度を制御
することにより、ブレード２３０の温度を制御すること
が可能である。即ち、温度調節された純水が吸収された
ブレード２３０でインクジェットヘッドのノズル面を払
拭することにより、ブレード２３０によりインクジェッ
トヘッドが冷却されることとなる。

【００８７】また、クリーニング動作は、図９の製造装
置の動作フローチャートに示すように、毎基板ごとに、
着色済み基板の排出、新基板の投入の間に行い、基板２
０５ごとのインクジェットヘッドのノズル面の条件を一
定にしている。これにより、基板ごとのヘッドの温度
が、製造タクトタイムに何ら影響を与えることなく、管
理されることとなる。

【００８８】実際に、製造装置の周囲温度２３℃に対
し、洗浄用の純水の温度を１８℃にしたところ、本実施
形態の方法を用いない場合にはヘッド温度の上昇が７℃
程度であったものが、本実施形態の方法を用いた場合に
は２℃程度にすることができた。この時の温度変化によ
るヘッドの長さ方向の伸びは、全長で２μｍ程度であっ
た。カラーフィルタの画素幅は約１００μｍであるの
で、この２μｍ程度のインクの着弾位置のずれは着弾誤
差の許容範囲内の変動であり、実使用上問題の無い値と
なった。

【００８９】なお、上記の実施形態では、ブレードの洗
浄に純水を用いているが、これに限らず、有機溶剤など
の液体を用いてもよい。

【００９０】（第２の実施形態）本発明の第２の実施形
態について説明する。

【００９１】図９の製造装置の動作フローチャートにお
いて、ヘッドクリーニング後、基板２０５の準備待ち状
態時には、ヘッドのインク吐出面の乾燥を防止するた
め、ヘッドにキャップをして待機するのが望ましい。キ
ャップは、キャップユニット２１３に構成されており、
必要時にキャップユニット２１３がヘッド下部に移動
し、キャップが上昇することにより、ヘッドに密着す
る。このため、クリーニングユニットと同一の駆動系に
構成することにより、駆動機構を少なくすることができ
る。図９の製造装置の動作フローチャートに示すよう
に、シーケンス的にも同一駆動系にして問題無い。

【００９２】図１４は、ヘッドにキャップした時のキャ
ップユニット２１３の模式図であり、２４０はキャッ
プ、２４１はキャップを上下する機構、２４３はヘッド
保持部材である。図１５は、図１４のＡ−Ａ断面図であ
り、２４２はヘッドのノズル面に接触するキャップ先端
部に形成された冷媒を流す冷却流体流路である。この流
路２４２に冷媒を流すことにより、ヘッドキャップ時に
ヘッドを冷却することが可能である。着色中は、キャッ
プが待避しているため冷媒の脈動がヘッドの位置決め精
度に影響することがなく、ヘッドの冷却を行うことがで
きる。

【００９３】（第３の実施形態）本発明の効果を最大限
に生かすためには、第１の実施形態と第２の実施形態を
組み合わせることが望ましい。この時、キャップ２４０
をヘッドに密着させている時間は、基板２０５の投入時
間間隔に左右され、必ずしも一定とはならない。そのた
め、キャップ２４０に流す冷媒の温度は、ヘッドユニッ
ト２０４の周囲温度に等しく、冷媒の流量を多くするこ
とが望ましい。また、ブレード２３０の冷却流体温度
は、周囲温度より低い温度に制御し、ブレード２３０に
よりヘッドの冷却効果を高め、キャップによる冷却は微
調機能とすることが望ましい。

【００９４】実際に、製造装置の周囲温度２３℃に対
し、洗浄用の純水温度を１８℃にし、キャップに流す冷
媒の温度を２３℃、流量０．５ｌ／ｍｉｎにしたとこ
ろ、ヘッド温度の上昇を２℃以下にすることができた。

【００９５】なお、本発明は、その主旨を逸脱しない範
囲で上記実施形態を修正又は変形したものに適用可能で
ある。

【００９６】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネル
ギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱
変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギーにより
インクの状態変化を生起させる方式のプリント装置につ
いて説明したが、かかる方式によれば記録の高密度化、
高精細化が達成できる。

【００９７】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に１対１で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状をすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。

【００９８】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。

【００９９】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に熱作用面が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第
４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれ
るものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、
共通するスロットを電気熱変換体の吐出部とする構成を
開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構
成としても良い。

【０１００】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよい。

【０１０１】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよい。

【０１０２】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定にでき
るので好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニ
ング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるい
はこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせに
よる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モ
ードを行うことも安定した記録を行うために有効であ
る。

【０１０３】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであっても、室温で軟化もしくは液化する
ものを用いても良く、使用記録信号付与時にインクが液
状をなすものであればよい。

【０１０４】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、
またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し
加熱によって液化するインクを用いても良い。いずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒
体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質の
インクを使用する場合も本発明は適用可能である。この
ような場合インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あ
るいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるよう
な、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物
として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向す
るような形態としてもよい。本発明においては、上述し
た各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰
方式を実行するものである。

【０１０５】

【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、ヘ
ッドのクリーニングブレードあるいはキャップを用いて
ヘッドの冷却を行うことにより、ヘッドの温度変化によ
るインクの着弾位置精度の低下を抑え、かつ、冷却機構
の振動や脈動による影響を抑えることができ、高精度な
描画を行うことができるとともに、基板全域においてム
ラの無い均一なカラーフィルタを形成することができ
る。

【０１０６】

【図面の簡単な説明】

【図１】カラーフィルタの製造工程を示した図である。

【図２】カラーフィルタを組み込んだカラー液晶表示装
置の基本構成を示す図である。

【図３】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示し
た図である。

【図４】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示し
た図である。

【図５】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示し
た図である。

【図６】本発明の実施形態に係わるカラーフィルタの製
造装置の主要部の斜視図である。

【図７】ＸＹステージの主要部の側面図である。

【図８】カラーフィルタの製造装置に使用されるインク
ジェットヘッドの構造を示す図である。

【図９】カラーフィルタの着色工程を示すフローチャー
トである。

【図１０】インクの着弾位置がずれる状態を示した図で
ある。

【図１１】クリーニングユニットのブレード部分の構成
を示す斜視図である。

【図１２】ブレードを洗浄する様子を示す図である。

【図１３】ブレードの洗浄水の温調系統図である。

【図１４】キャップユニットの構成を示す図である。

【図１５】図１４のＡ−Ａ断面図である。

【符号の説明】

２０１定盤２０２除振台２０３ＸＹステージ２０４インクジェットヘッドユニット２０５基板２０６アライメント検出用光学系２０７Ｚ検出用光学系２０８着弾位置検出用光学系２０９ヘッド位置調整ユニット２１０測長用レーザ２１１超平面ミラー２１２クリーニングユニット２１３キャップユニット２１４洗浄ユニット２１５クリーニング及びキャップユニットの前後駆動
系２２０基板保持プレート２２１Ｚチルト用アクチュエータ２２２Ｚチルト用ガイド２２３ θ方向アクチュエータ２２４ θ方向ガイド２２５ＸＹ稼働部ベース２３０ブレード２３１ブレードユニットステージ２３２ブレード吸引用配管２３３洗浄シャワーユニット２３４シャワーノズル２３５冷却ユニット２３６洗浄水温度調節タンク２４０キャップ２４１キャップユニットステージ２４２冷却流体流路２４３ヘッド保持部材

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＢ４１Ｊ 29/00 Ｐ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インクジェットヘッドをカラーフィルタ
基板に対して相対的に走査させながらインクを吐出さ
せ、前記カラーフィルタ基板を着色することによりカラ
ーフィルタを製造する装置であって、前記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を
相対的に移動させるための移動手段と、前記インクジェットヘッドをクリーニングするためのク
リーニング手段と、前記クリーニング手段によるクリーニングと並行して前
記インクジェットヘッドを冷却するための冷却手段とを
具備することを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
【請求項２】前記クリーニング手段は、純水、有機溶
剤などの液体により湿らせたスポンジ状のブレードによ
り、前記インクジェットヘッドのインク吐出面を払拭す
る払拭機構を備え、前記冷却手段は、前記スポンジ状の
ブレードに前記純水、有機溶剤などの液体を供給し、該
純水、有機溶剤などの液体の温度を制御する供給機構を
備えることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィル
タの製造装置。
【請求項３】前記インクジェットヘッドは、熱エネル
ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
発生体を備えることを特徴とする請求項１に記載のカラ
ーフィルタの製造装置。
【請求項４】インクジェットヘッドをカラーフィルタ
基板に対して相対的に走査させながらインクを吐出さ
せ、前記カラーフィルタ基板を着色することによりカラ
ーフィルタを製造する装置であって、前記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を
相対的に移動させるための移動手段と、前記インクジェットヘッドをキャップするキャップ手段
と、前記キャップ手段によるキャッピングと並行して前記イ
ンクジェットヘッドを冷却するための冷却手段とを具備
することを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
【請求項５】前記冷却手段は、前記キャップ手段の前
記インクジェットヘッドとの接触部に、冷却媒体を供給
する媒体流路を備えることを特徴とする請求項４に記載
のカラーフィルタの製造装置。
【請求項６】前記インクジェットヘッドは、熱エネル
ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
発生体を備えることを特徴とする請求項４に記載のカラ
ーフィルタの製造装置。
【請求項７】インクジェットヘッドをカラーフィルタ
基板に対して相対的に走査させながらインクを吐出さ
せ、前記カラーフィルタ基板を着色することによりカラ
ーフィルタを製造する装置であって、前記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を
相対的に移動させるための移動手段と、前記インクジェットヘッドをクリーニングするためのク
リーニング手段と、前記クリーニング手段によるクリーニングと並行して前
記インクジェットヘッドを冷却するための第１の冷却手
段と、前記インクジェットヘッドをキャップするキャップ手段
と、前記キャップ手段によるキャッピングと並行して前記イ
ンクジェットヘッドを冷却するための第２の冷却手段と
を具備することを特徴とするカラーフィルタの製造装
置。
【請求項８】前記クリーニング手段は、純水、有機溶
剤などの液体により湿らせたスポンジ状のブレードによ
り、前記インクジェットヘッドのインク吐出面を払拭す
る払拭機構を備え、前記第１の冷却手段は、前記スポン
ジ状のブレードに前記純水、有機溶剤などの液体を供給
し、該純水、有機溶剤などの液体の温度を制御する供給
機構を備え、前記第２の冷却手段は、前記キャップ手段
の前記インクジェットヘッドとの接触部に、冷却媒体を
供給する媒体流路を備えることを特徴とする請求項７に
記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項９】前記インクジェットヘッドは、熱エネル
ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
発生体を備えることを特徴とする請求項７に記載のカラ
ーフィルタの製造装置。
【請求項１０】インクジェットヘッドをカラーフィル
タ基板に対して相対的に走査させながらインクを吐出さ
せ、前記カラーフィルタ基板を着色することによりカラ
ーフィルタを製造する方法であって、前記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を
相対的に走査させて、前記インクジェットヘッドからイ
ンクを吐出させ、前記カラーフィルタ基板を着色する着
色工程と、前記インクジェットヘッドのノズル面を払拭する払拭工
程と、該払拭工程と並行して前記インクジェットヘッドを冷却
する冷却工程とを具備することを特徴とするカラーフィ
ルタの製造方法。
【請求項１１】前記冷却工程では、前記払拭工程にお
いて前記ノズル面を払拭する吸水性のブレードに吸収さ
れている液体により前記インクジェットヘッドを冷却す
ることを特徴とする請求項１０に記載のカラーフィルタ
の製造方法。
【請求項１２】前記インクジェットヘッドは、熱エネ
ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
ー発生体を備えることを特徴とする請求項１０に記載の
カラーフィルタの製造方法。
【請求項１３】インクジェットヘッドをカラーフィル
タ基板に対して相対的に走査させながらインクを吐出さ
せ、前記カラーフィルタ基板を着色することによりカラ
ーフィルタを製造する方法であって、前記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を
相対的に走査させて、前記インクジェットヘッドからイ
ンクを吐出させ、前記カラーフィルタ基板を着色する着
色工程と、前記インクジェットヘッドのノズル面をキャッピングす
るキャッピング工程と、該キャッピング工程と並行して前記インクジェットヘッ
ドを冷却する冷却工程とを具備することを特徴とするカ
ラーフィルタの製造方法。
【請求項１４】前記冷却工程では、前記キャッピング
工程で前記ノズル面をキャッピングするキャップ部材中
を流れる流体により、前記インクジェットヘッドを冷却
することを特徴とする請求項１３に記載のカラーフィル
タの製造方法。
【請求項１５】前記インクジェットヘッドは、熱エネ
ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
ー発生体を備えることを特徴とする請求項１３に記載の
カラーフィルタの製造方法。
【請求項１６】インクジェットヘッドをカラーフィル
タ基板に対して相対的に走査させながらインクを吐出さ
せ、前記カラーフィルタ基板を着色することによりカラ
ーフィルタを製造する方法であって、前記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を
相対的に走査させて、前記インクジェットヘッドからイ
ンクを吐出させ、前記カラーフィルタ基板を着色する着
色工程と、前記インクジェットヘッドのノズル面を払拭する払拭工
程と、該払拭工程と並行して前記インクジェットヘッドを冷却
する第１の冷却工程と、前記インクジェットヘッドのノズル面をキャッピングす
るキャッピング工程と、該キャッピング工程と並行して前記インクジェットヘッ
ドを冷却する第２の冷却工程とを具備することを特徴と
するカラーフィルタの製造方法。
【請求項１７】前記第１の冷却工程では、前記払拭工
程において前記ノズル面を払拭する吸水性のブレードに
吸収されている液体により前記インクジェットヘッドを
冷却し、前記第２の冷却工程では、前記キャッピング工
程で前記ノズル面をキャッピングするキャップ部材中を
流れる流体により、前記インクジェットヘッドを冷却す
ることを特徴とする請求項１６に記載のカラーフィルタ
の製造方法。
【請求項１８】前記インクジェットヘッドは、熱エネ
ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
ー発生体を備えることを特徴とする請求項１６に記載の
カラーフィルタの製造方法。
【請求項１９】インクジェットヘッドをカラーフィル
タ基板に対して相対的に走査させながらインクを吐出さ
せ、前記カラーフィルタ基板を着色することにより製造
されたカラーフィルタであって、前記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を
相対的に走査させて、前記インクジェットヘッドからイ
ンクを吐出させ、前記カラーフィルタ基板を着色する着
色工程と、前記インクジェットヘッドのノズル面を払拭
する払拭工程と、該払拭工程と並行して前記インクジェ
ットヘッドを冷却する冷却工程とを経て製造されたこと
を特徴とするカラーフィルタ。
【請求項２０】インクジェットヘッドをカラーフィル
タ基板に対して相対的に走査させながらインクを吐出さ
せ、前記カラーフィルタ基板を着色することにより製造
されたカラーフィルタを備えた表示装置であって、前記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を
相対的に走査させて、前記インクジェットヘッドからイ
ンクを吐出させ、前記カラーフィルタ基板を着色する着
色工程と、前記インクジェットヘッドのノズル面を払拭
する払拭工程と、該払拭工程と並行して前記インクジェ
ットヘッドを冷却する冷却工程とを経て製造されたカラ
ーフィルタと、光量を可変とする光量可変手段とを一体に備えることを
特徴とする表示装置。
【請求項２１】インクジェットヘッドをカラーフィル
タ基板に対して相対的に走査させながらインクを吐出さ
せ、前記カラーフィルタ基板を着色することにより製造
されたカラーフィルタを有する表示装置を備えた装置で
あって、前記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を
相対的に走査させて、前記インクジェットヘッドからイ
ンクを吐出させ、前記カラーフィルタ基板を着色する着
色工程と、前記インクジェットヘッドのノズル面を払拭
する払拭工程と、該払拭工程と並行して前記インクジェ
ットヘッドを冷却する冷却工程とを経て製造されたカラ
ーフィルタと、光量を可変とする光量可変手段とを一体
に備える表示装置と、該表示装置に画像信号を供給する画像信号供給手段とを
具備することを特徴とする、表示装置を備えた装置。
【請求項２２】インクジェットヘッドをカラーフィル
タ基板に対して相対的に走査させながらインクを吐出さ
せ、前記カラーフィルタ基板を着色することにより製造
されたカラーフィルタであって、前記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を
相対的に走査させて、前記インクジェットヘッドからイ
ンクを吐出させ、前記カラーフィルタ基板を着色する着
色工程と、前記インクジェットヘッドのノズル面をキャ
ッピングするキャッピング工程と、該キャッピング工程
と並行して前記インクジェットヘッドを冷却する冷却工
程とを経て製造されたことを特徴とするカラーフィル
タ。
【請求項２３】インクジェットヘッドをカラーフィル
タ基板に対して相対的に走査させながらインクを吐出さ
せ、前記カラーフィルタ基板を着色することにより製造
されたカラーフィルタを備えた表示装置であって、前記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を
相対的に走査させて、前記インクジェットヘッドからイ
ンクを吐出させ、前記カラーフィルタ基板を着色する着
色工程と、前記インクジェットヘッドのノズル面をキャ
ッピングするキャッピング工程と、該キャッピング工程
と並行して前記インクジェットヘッドを冷却する冷却工
程とを経て製造されたカラーフィルタと、光量を可変とする光量可変手段とを一体に備えることを
特徴とする表示装置。
【請求項２４】インクジェットヘッドをカラーフィル
タ基板に対して相対的に走査させながらインクを吐出さ
せ、前記カラーフィルタ基板を着色することにより製造
されたカラーフィルタを有する表示装置を備えた装置で
あって、前記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を
相対的に走査させて、前記インクジェットヘッドからイ
ンクを吐出させ、前記カラーフィルタ基板を着色する着
色工程と、前記インクジェットヘッドのノズル面をキャ
ッピングするキャッピング工程と、該キャッピング工程
と並行して前記インクジェットヘッドを冷却する冷却工
程とを経て製造されたカラーフィルタと、光量を可変と
する光量可変手段とを一体に備える表示装置と、該表示装置に画像信号を供給する画像信号供給手段とを
具備することを特徴とする、表示装置を備えた装置。
【請求項２５】インクジェットヘッドをカラーフィル
タ基板に対して相対的に走査させながらインクを吐出さ
せ、前記カラーフィルタ基板を着色することにより製造
されたカラーフィルタであって、前記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を
相対的に走査させて、前記インクジェットヘッドからイ
ンクを吐出させ、前記カラーフィルタ基板を着色する着
色工程と、前記インクジェットヘッドのノズル面を払拭
する払拭工程と、該払拭工程と並行して前記インクジェ
ットヘッドを冷却する第１の冷却工程と、前記インクジ
ェットヘッドのノズル面をキャッピングするキャッピン
グ工程と、該キャッピング工程と並行して前記インクジ
ェットヘッドを冷却する第２の冷却工程とを経て製造さ
れたことを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項２６】インクジェットヘッドをカラーフィル
タ基板に対して相対的に走査させながらインクを吐出さ
せ、前記カラーフィルタ基板を着色することにより製造
されたカラーフィルタを備えた表示装置であって、前記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を
相対的に走査させて、前記インクジェットヘッドからイ
ンクを吐出させ、前記カラーフィルタ基板を着色する着
色工程と、前記インクジェットヘッドのノズル面を払拭
する払拭工程と、該払拭工程と並行して前記インクジェ
ットヘッドを冷却する第１の冷却工程と、前記インクジ
ェットヘッドのノズル面をキャッピングするキャッピン
グ工程と、該キャッピング工程と並行して前記インクジ
ェットヘッドを冷却する第２の冷却工程とを経て製造さ
れたカラーフィルタと、光量を可変とする光量可変手段とを一体に備えることを
特徴とする表示装置。
【請求項２７】インクジェットヘッドをカラーフィル
タ基板に対して相対的に走査させながらインクを吐出さ
せ、前記カラーフィルタ基板を着色することにより製造
されたカラーフィルタを有する表示装置を備えた装置で
あって、前記インクジェットヘッドと前記カラーフィルタ基板を
相対的に走査させて、前記インクジェットヘッドからイ
ンクを吐出させ、前記カラーフィルタ基板を着色する着
色工程と、前記インクジェットヘッドのノズル面を払拭
する払拭工程と、該払拭工程と並行して前記インクジェ
ットヘッドを冷却する第１の冷却工程と、前記インクジ
ェットヘッドのノズル面をキャッピングするキャッピン
グ工程と、該キャッピング工程と並行して前記インクジ
ェットヘッドを冷却する第２の冷却工程とを経て製造さ
れたカラーフィルタと、光量を可変とする光量可変手段
とを一体に備える表示装置と、該表示装置に画像信号を供給する画像信号供給手段とを
具備することを特徴とする、表示装置を備えた装置。