JPH10257786A - 作動装置 - Google Patents
作動装置Info
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- JPH10257786A JPH10257786A JP9079236A JP7923697A JPH10257786A JP H10257786 A JPH10257786 A JP H10257786A JP 9079236 A JP9079236 A JP 9079236A JP 7923697 A JP7923697 A JP 7923697A JP H10257786 A JPH10257786 A JP H10257786A
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Abstract
とともに、励磁電流の切り換えを伸縮手段への電気信号
の供給に同期させる必要性をなくすことにある。 【解決手段】 作動装置は、電気または磁気により伸縮
する伸縮素子を用いた伸縮手段ならびに該伸縮手段の伸
縮にともなって相寄り相離れる方向へ変位する一対の固
定手段を備える伸縮装置と、該伸縮装置を制御する制御
装置とを含む。各固定手段は、磁性体を解除可能に吸着
する磁気吸着部と、該磁気吸着部を励磁状態および非励
磁状態に選択的に切り換える励磁コイルとを有する。制
御装置は、伸縮手段を一方向へ移動させるとき、固定手
段の一方を励磁状態におきかつ他方を非励磁状態におい
た状態で、伸縮手段の伸縮速度が伸び側と縮み側とで異
なる波形の電気信号を伸縮装置に供給する。これによ
り、励磁状態におかれた固定手段を変位させる。
Description
源、位置決め機構用の駆動源等として用いられる作動装
置に関する。
つとして、移動基準部に対して移動する伸縮装置と、該
伸縮装置を制御する制御装置とを備えたものがある(特
開平5−260771号公報)。伸縮装置は、複数の圧
電素子をその伸縮方向に積層した伸縮手段と、この伸縮
手段に圧電素子の伸縮方向に間隔をおいて連結された一
対の固定手段とを含む。固定手段は、移動基準部に解除
可能に磁気的に吸着する磁気的吸着部と、該磁気吸着部
を磁性体に吸着可能の励磁状態と吸着不能の非励磁状態
とに切り換える励磁コイルとを有する。
方の固定手段の励磁コイルに励磁電流を供給してその磁
気吸着部を励磁状態におき、他方の固定手段の励磁コイ
ルに励磁電流を供給することなくその磁気吸着部を非励
磁状態においた状態で、所定の電圧を圧電素子に印加し
て伸縮手段を伸長させる行程と、一方の固定手段の励磁
コイルに励磁電流を供給することなくその磁気吸着部を
非励磁状態におき、他方の固定手段の励磁コイルに励磁
電流を供給してその磁気吸着部を励磁状態においた状態
で、伸縮手段を収縮させる行程とを交互に行うことによ
り、伸縮装置を移動させる。
伸長から収縮におよびその逆に切り換えるたびに、励磁
コイルに供給する励磁電流をオンとオフとに切り換えな
ければならないから、励磁電流の切り換え速度が励磁コ
イルのインダクタンスに依存し、その結果励磁電流の切
り換え速度、ひいては伸縮装置の移動速度を高めること
に限界がある。また、磁気吸着部の励磁と非励磁との切
り換えを伸縮手段への電圧の印加に同期させなければな
らないから、制御装置が複雑である。
切り換えの回数を少なくするとともに、励磁電流の切り
換えを伸縮手段への電気信号の供給に同期させる必要性
をなくすことにある。
気または磁気により伸縮する伸縮素子を用いた伸縮手段
ならびに該伸縮手段の伸縮にともなって相寄り相離れる
方向へ変位するように伸縮手段にこれの伸縮方向へ間隔
をおいて連結された第1および第2の固定手段を備える
伸縮装置と、該伸縮装置を制御する制御装置とを含む。
第1および第2の固定手段は、磁性体を吸着可能の励磁
状態と磁性体を吸着不能の非励磁状態とに切り換え可能
の磁気吸着部と、該磁気吸着部を励磁状態および非励磁
状態に選択的に切り換える励磁コイルとを有する。制御
装置は、伸縮手段を一方向へ移動させるとき、第1およ
び第2の固定手段の一方を励磁状態におきかつ他方を非
励磁状態においた状態で、伸縮手段の伸縮速度が伸び側
と縮み側とで異なる波形の電気信号を伸縮装置に供給す
る。
号は、伸び側が縮み側に比べ急激に変化する傾きを持つ
波形または縮み側が伸び側に比べ急激に変化する傾きを
持つ波形の電圧または電流である。前者の波形を有する
電気信号の場合、伸縮手段は、急激に伸び、緩やかに縮
む。これに対し、後者の波形を有する電気信号の場合、
伸縮手段は、緩やかに伸び、急激に縮む。いずれの場合
も、伸縮手段が伸縮する間、一方の固定手段は励磁状態
におかれ、他方の固定手段は非励磁状態におかれる。
かれている他方の固定手段を急激な速さで移動させるこ
とになるから、大きな加速度と大きな慣性力とを他方の
固定手段に生じさせ、その慣性力は励磁状態におかれて
いる一方の固定手段に大きな反作用力となって他方の固
定手段の側と反対の側の方向へ作用する。そのような大
きな反作用力は、一方の固定手段の磁気吸着部の吸着力
により発生する摩擦力に打ち勝って、一方の固定手段を
移動基準部に対し他方の固定手段の側と反対の側へ変位
させる。
の固定手段を一方の固定手段の側へ緩やかに引き寄せる
ことになるから、小さな加速度と小さな慣性力とを他方
の固定手段に生じさせ、その小さな慣性力は小さな反作
用力として一方の固定手段に作用する。しかし、そのよ
うな小さな反作用力では、一方の固定手段の磁気吸着部
により発生する摩擦力に打ち勝つことができないから、
一方の固定手段は移動基準部に対し変位されない。
激に変化する波形を有する電気信号を伸縮装置に一回以
上供給すると、励磁状態におかれている一方の固定手段
は非励磁状態におかれている他方の固定手段の側と反対
の側の方向へ変位され、他方の固定手段は、伸縮手段の
伸縮により一方の固定手段に対して往復移動され、一方
の固定手段の変位量に対応する距離だけ変位される。そ
れゆえに、伸縮装置は、前記のような波形の電圧または
電流が供給されるたびに、励磁状態におかれている一方
の固定手段の変位量に対応する距離だけ変位される。
変化する傾きを持つ波形を有する電気信号を伸縮手段に
供給する場合、伸縮装置は、伸縮手段が急激に収縮する
から、励磁状態におかれている一方の固定手段が非励磁
状態におかれている他方の固定手段の側の方向へ変位さ
れることにより、移動基準部に対し上記と逆の方向へ変
位される。
段の一方を励磁状態におきかつ他方を非励磁状態におい
た状態で、伸縮手段の伸縮速度が伸び側と縮み側とで異
なる波形の電気信号を伸縮装置に供給するから、伸縮手
段を伸縮させるときに励磁電流を切り換える必要がな
く、また励磁電流の切り換えを伸縮手段への電気信号の
供給に同期させる必要がない。
せるとき、第1および第2の固定手段の一方を非励磁状
態におきかつ他方を励磁状態においた状態で、伸縮手段
の伸縮速度が伸び側と縮み側とで異なる波形の電気信号
を伸縮装置に供給する手段とすることができる。このよ
うにすれば、伸縮装置を逆進させることができる。
急激に変化する傾きを持つ鋸歯状波、または、下降側が
上昇側に比べ急激に変化する傾きを持つ鋸歯状波とする
ことができる。
手段の伸縮速度が伸び側と縮み側とで異なる電圧とする
ことができる。
は、伸縮装置12と、該伸縮装置を制御する制御装置1
4とを含む。伸縮装置12は、電気または磁気により伸
縮する伸縮素子を用いた細長い伸縮器16と、該伸縮器
の端部に連結された一対の固定器18,20とを備え
る。
ように、電気的または磁気的に伸縮可能の複数の伸縮素
子をその伸縮方向に積層した積層体と、該積層体に電
圧、磁場等を作用させる電極またはコイルとを備えたも
のである。以下、圧電素子を伸縮素子に用いるものとし
て説明する。
励磁状態と、磁性体を吸着不能の非励磁状態とに選択的
に切り換え可能の磁気吸着部22を移動基準部の側に配
置している。磁気吸着部22は、励磁電流が後に説明す
る励磁コイルに供給されたか否かにより、励磁状態また
は非励磁状態におかれる。
例を後に詳細に説明するが、磁気吸着固定装置、磁気吸
着保持装置等と称されている磁気装置であり、たとえ
ば、特公5 8−43215号公報、特開昭60−130
106号公報、特公平1−13203号公報、特開平2
−261791号公報等に記載されている。
状の形を有しており、また両固定器18,20の吸着部
22は平坦面である。固定器18,20は、吸着部22
が同じ面内に位置するように、伸縮器16の伸縮方向の
端面に、接着、ねじ止め等の適宜な手法により連結され
ている。固定器の形状は、六角柱状、八角柱状、円柱状
等、四角柱状以外の他の形状であってもよい。
する第1の制御回路24と、固定器18,20の励磁コ
イルへの励磁電流の供給を制御する第2の制御回路26
とを備える。伸縮器16を伸縮させるとき、第1の制御
回路24は図2(A)に示す波形を有する電気信号をリ
ード線28を介して伸縮器16に供給し、第2の制御回
路26は励磁電流を固定器18または20にリード線3
0または32を介して供給する。
(固定器20の側から固定器18の側に向かう方向)へ
移動させるとき、固定器18,20の磁気吸着面22が
磁性体からなる移動基準部(図示の例では、移動基準
面)に吸着するように励磁電流が固定器18に供給され
るのに対し、固定器20に供給されない状態で、図2
(A)に示す波形をを有する電圧が伸縮器16に供給さ
れる。
気的に吸着し、固定器20が移動基準面に吸着しない状
態で、伸縮器16が伸縮される。伸縮器16に印加され
る電圧は、急速に立ち上がり、緩やかに立ち下がる鋸歯
状波であり、伸び側が縮み側に比べ急激に変化する傾き
を持つ波形を有する。このため、伸縮器16は、図2
(B)に示すように電圧が印加されるたびに、急速に伸
長し、次いで緩やかに収縮する。電圧の印加回数は、伸
縮装置12の移動させるべき距離に依存する。
ある固定器20を急激な速さで移動させ、大きな加速度
と大きな慣性力とをその固定器20に生じさせる。その
慣性力は、励磁状態にある固定器18に大きな反作用力
となって固定器20の側と反対の側の方向へ(図1にお
いて、左方向きに)作用する。そのような大きな反作用
力は、励磁状態にある固定器18の磁気吸着部22の吸
着力により移動基準部との間に発生する摩擦力に打ち勝
って、その固定器18を移動基準部に対し非励磁状態に
ある固定器20の側と反対の側(図1において、左方)
へ変位させる。
固定器20を固定器18の側へ緩やかに引き寄せること
になるから、小さな加速度と小さな慣性力とを固定器2
0に生じさせる。小さな慣性力は、小さな反作用力とし
て固定器18に作用する。しかし、そのような小さな反
作用力では、固定器18の磁気吸着部22により移動基
準部との間に発生する摩擦力に打ち勝つことができない
から、固定器18は移動基準部に対し変位されない。
持した状態で、図2(A)に示す波形を有する電圧を伸
縮器16に繰り返し印加すると、固定器18は非励磁状
態の固定器20の側と反対の側の方向へ漸次変位され、
また固定器20は、伸縮器16の伸縮により固定器18
に対して往復移動され、固定器18の変位によりその変
位量に対応する距離だけ変位される。それゆえに、伸縮
装置14は、図2(A)に示す波形の電圧が印加供給さ
れるたびに、励磁状態におかれている固定器18の変位
量に対応する距離だけ変位される。
へ移動させるときは、固定器18を非励磁状態に維持
し、固定器20を励磁状態に維持した状態で、図2
(A)に示す電圧を伸縮器16に印加すればよい。この
ようにすれば、固定器20が移動基準部に磁気吸着した
状態で、伸縮器16が伸縮される。
に示すように、縮み側が伸び側に比べ急激に変化する傾
きを持つ波形の鋸歯状波であってもよい。この場合、伸
縮装置12を図1において左方から右方へ移動させると
きは、固定器18を励磁状態に維持し、固定器20を非
励磁状態に維持した状態で、図2(C)に示す電圧を伸
縮器16に印加し、伸縮装置12を図1において右方か
ら左方へ移動させるときは、固定器18を非励磁状態に
維持し、固定器20を励磁状態に維持した状態で、図2
(C)に示す電圧を伸縮器16に印加する。このように
すれば、伸縮器16は、図2(D)に示すように伸縮す
る。
ある固定器18または20を移動基準部に対し変位させ
るような大きな反作用力を生じない。しかし、伸縮器1
6の急激な縮みは、励磁状態の伸縮器18または20を
非励磁状態の固定器20または18の側へ変位させる大
きな反作用力を生じる。このため、伸縮装置12は、伸
縮器16が伸縮するたびに、励磁状態にある伸縮器18
または20の変位量だけ変位する。
励磁状態におきかつ他方を非励磁状態においた状態で、
伸縮器16の伸縮速度が伸び側と縮み側とで異なる波形
の電気信号を伸縮器16に供給すると、伸縮器16を伸
縮させるときに固定器18または20に供給する励磁電
流を切り換える必要がなく、また励磁電流の切り換えを
伸縮手段への電気信号の供給に同期させる必要がない。
4は、固定器18,20を励磁状態と非励磁状態とに選
択的におくための直流電源および切り換えスイッチ、な
らびに、圧電素子に所定の波形の電圧を繰り返し供給す
るための電源および制御回路があればよく、そのような
制御装置は、構造が簡単で、廉価になる。
に供給する励磁電流をオンとオフとに頻繁に切り換える
必要がないから、電気信号の周波数を高めて、伸縮装置
を高速で移動させることができる。
装置および作動装置の実施例について説明する。
である必要はなく、例えば、図3に示す伸縮装置36の
吸着部38のように同一の曲率半径を有する凹面であっ
てもよいし、同一の曲率半径を有する球面であってもよ
い。吸着部が凹面の場合、移動基準部は丸棒状の凸面と
なり、吸着部が球面の場合、移動基準部は球面となる。
20の移動を正確な直線的変位に制限する手段として作
用するガイド42を備える。制限手段すなわちガイド4
2は、伸縮装置40の伸縮方向へ連続的に伸びる溝44
を有しており、該溝に固定器18,20の吸着部22と
反対の側の部位を滑動可能に受け入れている。これによ
り、固定器18,20の移動は、正確な直線的移動に制
限される。
20の移動を正確な直線的変位に制限する手段として、
2点間の相対的な変位を正確な直線的変位に制限するい
わゆる平行ばね48を用いている。伸縮装置46におい
ては、固定器18は制限手段すなわち平行ばね48の一
方の変位部48aを介して伸縮器16の一端に連結さ
れ、固定器20は平行ばね48の他方の変位部48bを
介して伸縮器16の他端に連結されている。
と他の伸縮装置52とにより、二次元的に変位する。伸
縮装置52は、3つの伸縮器54,56,58と、2つ
の固定器60,62とを備える。伸縮装置52の伸縮器
54,56,58は伸縮器16と同じであり、固定器6
0,62は伸縮装置12の固定器18または20と同じ
である。
0,62に連結されており、伸縮器56はその端面にお
いて固定器18,60に連結されており、伸縮器58は
その端面において固定器20,62に連結されている。
方向(図6において、左下と右上を結ぶ方向)へ移動す
べきとき、固定器18,20または60,62が励磁状
態におかれ、固定器60,62または18,20が非励
磁状態におかれた状態で、伸縮器56,58に所定の波
形の電圧が供給される。
の伸縮方向(図6において、左右方向)への変位を生じ
させるとき、固定器18,60または20,62が励磁
状態におかれ、固定器20,62または18,60が非
励磁状態におかれた状態で、伸縮器16,54に所定の
波形の電圧が供給される。
器、たとえば62と、これに連結された伸縮器54,5
8を省略してもよい。
置66,68を含む。伸縮装置66は、前記した伸縮器
16と同種の伸縮器70と、該伸縮器の伸縮方向におけ
る端部に連結された固定器72,74とを備える。伸縮
装置68は、前記した伸縮器16と同種の伸縮器76,
78と、固定器80とを備える。
2,80に連結されており、伸縮器78はその端面にお
いて固定器74,80に連結されている。固定器72,
74,80は、六角柱状の形を有する点を除いて前記し
た固定器18等と同じである。従って磁性体を吸着可能
の励磁状態と磁性体を吸着不能の非励磁状態とに選択的
に切換え可能の磁気的な吸着部を有する。
80のいずれか1つ、たとえば72が励磁状態におか
れ、他の固定器74,80が非励磁状態におかれた状態
で、伸縮器70,76に同じ波形の電圧が同期して供給
されることにより、移動する。このときの移動方向は、
励磁状態におかれた固定器72と作動装置64の中心を
結ぶ直線方向である。
施例を説明する。
料製のヨーク102と、該ヨーク内に収容された電磁石
104とを含む。ヨーク102は、筒部106と、該筒
部の一端を閉鎖する底部108とにより、平面形状が円
形または角形のキャップ状に形成されている。電磁石1
04の鉄心110は、ヨーク102の底部108と一体
的に形成されている。電磁石104の励磁コイル112
は、鉄心110の周りに配置されており、また樹脂11
4内に埋め込まれている。
ク102の開口端を閉鎖するように筒部106と鉄心1
10とに接着等により固定された非磁性体118により
規定される。非磁性体118は、フィルム状部材、シー
ト状部材、および板状部材のいずれであってもよい。
とにより形成される。吸着部116は、励磁電流が励磁
コイル112に供給されることにより、励磁状態におか
れ、励磁電流が励磁コイル112に供給されないと、非
励磁状態におかれる。
磁性体118が配置されているから、非磁性体118が
配置されていない固定器に比べ、磁性体製の移動基準部
における残留磁気による残留吸着力が減少する。
い。この場合、残留磁気による残留吸着力を減少させる
べく、図8(B)に示す固定器120のように、鉄心1
10を磁気吸着部124から後退させて、鉄心110と
吸着部124との間に磁気的間隙122を形成してもよ
い。
料製のヨーク132と、該ヨーク内に収容された電磁石
134と、ヨーク132内に配置された永久磁石136
とを含む。ヨーク132は、筒部138と、該筒部の一
端を閉鎖する底部140とにより、平面形状が円形また
は角形のキャップ状に形成されている。
4と、該主体部の一端に形成されたフランジ部146と
を備えており、またフランジ部146が底部140の側
にあって筒部138および底部140から間隔をおくよ
うに、ヨーク132内に配置されている。電磁石134
の励磁コイル148は、鉄心142の周りに配置されて
おり、また樹脂150に埋め込まれている。
板状の磁石であり、また底部140とフランジ部146
との間に配置されて、底部140およびフランジ部14
6に磁気的に接触されている。以下の説明では、永久磁
石136は、図示のように、底部140の側がS、鉄心
142の側がNとなるように磁化されているものとする
が、これと逆に磁化されていてもよい。
ク132の筒部138と鉄心142の主体部144とに
より形成される。筒部138とフランジ部146との間
の空隙154は、永久磁石136からの磁束の漏洩磁路
として作用する。
いないとき、永久磁石136からの磁束が吸着部152
を経る磁束と漏洩磁路154を経る磁束とに分割される
から、吸着部152は弱い励磁状態におかれる。励磁コ
イル148に励磁電流が供給されると、永久磁石136
の磁束成分と電磁石134の磁束成分とが吸着部152
と漏洩磁路154とを経ることになる。
せる励磁電流が励磁コイル148に供給されていると、
吸着部152を経ようとする永久磁石136および電磁
石134の両磁束成分の向きが同じであるのに対し、漏
洩磁路154を経ようとする永久磁石136および電磁
石134の両磁束成分の向きが逆であるから、漏洩磁路
154を経ようとする両磁束成分は漏洩磁路154を経
ることを阻止し合う。その結果、吸着部152は、該吸
着部を経る電磁石134および永久磁石136の両磁束
成分により、強い励磁状態におかれる。
励磁電流が励磁コイル148に供給されていると、吸着
部152を経ようとする永久磁石136および電磁石1
34の両磁束成分の向きが逆であるのに対し、漏洩磁路
154を経ようとする永久磁石136および電磁石13
4の両磁束成分の向きが同じであるから、吸着部152
を経ようとする両磁束成分は吸着部152を経ることを
阻止し合う。その結果、吸着部152は非励磁状態にお
かれる。
全な非励磁状態におくためには、吸着部152を経よう
とする電磁石134および永久磁石136の両磁束成分
を同じにすればよい。また、残留磁気による残留吸着力
を減少させるべく、図8(A)に示す固定器100のよ
うに吸着部に非磁性体を配置してもよいし、図8(B)
に示す固定器120のように鉄心を吸着部から後退させ
て、鉄心と吸着部との間に磁気的間隙を形成してもよ
い。
イル148に供給されていないときも、吸着部152が
弱い励磁状態におかれるから、固定器130は移動基準
面に対して変位しない。また、吸着部152を励磁状態
におくときと非励磁状態におくときのいずれも励磁電流
を励磁コイル148に供給するから、吸着部152を励
磁状態におくときと非励磁状態におくときのいずれか一
方のみに励磁電流を励磁コイルに供給する場合に比べ、
励磁電流量が少なく、コイルによる発熱が少ない。
料製のヨーク162と、該ヨーク内に収容された極性可
逆永久磁石164と、ヨーク162内に配置された複数
の極性不可逆永久磁石166と、極性可逆永久磁石16
4の極性を切り換えるべく永久磁石164の周りに配置
された励磁コイル168と、永久磁石164,166に
磁気的に接続された補助ヨーク170とを含む。
端を閉鎖する底部174とにより、平面形状が円形また
は角形のキャップ状に形成されている。永久磁石164
は、その磁化方向がヨーク162の軸線方向となるよう
にヨーク162内に配置されている。永久磁石164の
一方の磁極面は、底部174に磁気的に当接されてい
る。永久磁石166の磁極面は、補助ヨーク170と筒
部172とに当接されている。永久磁石164,16
6、励磁コイル168および補助ヨーク170は、ヨー
ク162内に充填された樹脂176により相対的相互に
固定されている。
ク170とにより規定される。極性不可逆永久磁石16
6は、図示のように、筒部172の側がS、補助ヨーク
170の側がNとなるように磁化されているものとする
が、これと逆に磁化されていてもよい。
に第1の励磁電流が供給されたことにより、極性不可逆
永久磁石164が図示のように磁化されると、吸着部1
78は励磁状態におかれる。これに対し、第1の励磁電
流と逆向きの第2の励磁電流が供給されたことにより、
極性不可逆永久磁石164が図示と逆に磁化されると、
磁気吸着部178を経ようとする永久磁石164,16
6の両磁束成分の向きが逆になるから、吸着部178を
経ようとする両磁束成分は吸着部178を経ることを阻
止し合う。その結果、吸着部178は非励磁状態におか
れる。
留吸着力を減少させるべく、図8(A)に示す固定器1
00のように吸着部に非磁性体を配置してもよいし、図
8(B)に示す固定器120のように補助ヨークを吸着
部から後退させて、補助ヨークと吸着部との間に磁気的
間隙を形成してもよい。
166の磁化方向を反転させるときのみ、励磁電流を励
磁コイル168に供給すればよいから、吸着部178を
励磁状態におく間または非励磁状態におく間励磁電流を
励磁コイルに供給する場合に比べ、励磁電流量が少な
く、コイルによる発熱が少ない。
永久磁石166を設けなくてもよい。この場合、極性可
逆永久磁石164は、吸着面178を励磁状態におくべ
くときだけ着磁され、吸着部178を非励磁状態におく
とき脱磁される。これによっても、極性可逆永久磁石1
64を着磁するときと脱磁するときだけ、励磁電流を励
磁コイル168に供給すればよいから、吸着部178を
励磁状態におく間または非励磁状態におく間励磁電流を
励磁コイルに供給する場合に比べ、励磁電流量が少な
く、コイルによる発熱が少ない。
とえば、伸縮器に作用させる電気信号の波形は、鋸歯状
波以外の波形としてもよい。また、電歪素子を伸縮素子
として用いる場合、伸縮器に供給する電気信号は、伸縮
器の伸び側と縮み側とで異なる傾きの電流波形の信号と
することができる。
伸縮状態を説明するための図である。
る。
る。
る。
(伸縮手段) 18,20,60,62,72,74,80,100,
120,130,160 固定器(固定手段) 22,38,116,124,152,178 磁気吸
着部 102,132,162 ヨーク 104,134 電磁石 110,142 鉄心 112,148,168 励磁コイル
Claims (5)
- 【請求項1】 電気または磁気により伸縮する伸縮素子
を用いた伸縮手段ならびに該伸縮手段の伸縮にともなっ
て相寄り相離れる方向へ変位するように前記伸縮手段に
これの伸縮方向へ間隔をおいて連結された第1および第
2の固定手段を備える伸縮装置と、該伸縮装置を制御す
る制御装置とを含み、前記第1および第2の固定手段
は、磁性体を吸着可能の励磁状態と磁性体を吸着不能の
非励磁状態とに切り換え可能の磁気吸着部と、該磁気吸
着部を励磁状態および非励磁状態に選択的に切り換える
励磁コイルとを有し、前記制御装置は、前記伸縮手段を
一方向へ移動させるとき、前記第1および第2の固定手
段の一方を励磁状態におきかつ他方を非励磁状態におい
た状態で、前記伸縮手段の伸縮速度が伸び側と縮み側と
で異なる波形の電気信号を前記伸縮装置に供給する、作
動装置。 - 【請求項2】 前記制御装置は、前記伸縮手段を他の方
向へ移動させるとき、前記第1および第2の固定手段の
一方を非励磁状態におきかつ他方を励磁状態においた状
態で、前記伸縮手段の伸縮速度が伸び側と縮み側とで異
なる波形の電気信号を前記伸縮装置に供給する、請求項
1に記載の作動装置。 - 【請求項3】 前記電気信号の波形は、上昇側が下降側
に比べ急激に変化する傾きを持つ、請求項1または2に
記載の作動装置。 - 【請求項4】 前記電気信号の波形は、下降側が上昇側
に比べ急激に変化する傾きを持つ、請求項1または2に
記載の作動装置。 - 【請求項5】 前記伸縮素子は圧電素子であり、前記電
気信号は前記伸縮手段の伸縮速度が伸び側と縮み側とで
異なる電圧波形を有する、請求項1,2,3または4に
記載の作動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9079236A JPH10257786A (ja) | 1997-03-14 | 1997-03-14 | 作動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9079236A JPH10257786A (ja) | 1997-03-14 | 1997-03-14 | 作動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10257786A true JPH10257786A (ja) | 1998-09-25 |
| JPH10257786A5 JPH10257786A5 (ja) | 2004-12-24 |
Family
ID=13684240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9079236A Ceased JPH10257786A (ja) | 1997-03-14 | 1997-03-14 | 作動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10257786A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007307696A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-29 | Fanuc Ltd | 加工装置 |
| JP2011205896A (ja) * | 2005-06-14 | 2011-10-13 | Nissan Motor Co Ltd | 回転電機 |
| WO2013069591A1 (ja) * | 2011-11-11 | 2013-05-16 | オリンパス株式会社 | 慣性駆動アクチュエータ |
| EP2731255A4 (en) * | 2011-07-08 | 2015-04-22 | Olympus Corp | INERTIAL DRIVE ACTUATOR |
-
1997
- 1997-03-14 JP JP9079236A patent/JPH10257786A/ja not_active Ceased
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| US9634532B2 (en) | 2011-07-08 | 2017-04-25 | Olympus Corporation | Inertial drive actuator |
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| US9385579B2 (en) | 2011-11-11 | 2016-07-05 | Olympus Corporation | Inertial drive actuator |
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|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
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|
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|
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|
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