JPH10258357A - ガス雰囲気形成装置およびガス雰囲気はんだ付け装置 - Google Patents
ガス雰囲気形成装置およびガス雰囲気はんだ付け装置Info
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- JPH10258357A JPH10258357A JP9274080A JP27408097A JPH10258357A JP H10258357 A JPH10258357 A JP H10258357A JP 9274080 A JP9274080 A JP 9274080A JP 27408097 A JP27408097 A JP 27408097A JP H10258357 A JPH10258357 A JP H10258357A
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Abstract
ない不活性ガスの供給量であっても、ガス雰囲気はんだ
付け装置内が十分に濃度の高い不活性ガスの雰囲気を形
成する。 【解決手段】 放射状に形成され、一方の収束側にガス
供給口12を、他方にガス放出口13Aを形成し、ま
た、ガス供給口12側からガス放出口13A側に向けて
流動する不活性ガスの流動断面積が徐々に増大するよう
に形成し、さらに内部の不活性ガスの流路を蛇行せしめ
る流路形成板15を設けたガス供給口筐11のガス放出
口13Aから、溶融はんだ22とプリント配線板21と
が接触する領域へ向けて不活性ガスを供給してその雰囲
気を形成するようにガス雰囲気形成装置をガス雰囲気は
んだ付け装置に設ける。
Description
なるガス雰囲気を部分的に形成するためのガス雰囲気形
成装置およガス雰囲気はんだ付け装置に関するものであ
る。
気中に放置するとその表面が酸化して好ましくない。こ
のような場合においては、溶融した金属の表面に不活性
ガスを供給してその雰囲気を形成し、酸化を抑制するこ
とが行われている。例えば、実開昭52−39829号
公報にその例を見ることができる。この技術は、「ガス
吐出孔」すなわちノズルから噴出した不活性ガスを溶融
金属の表面に沿って吹き出すものである。
付けを行う装置において、溶融はんだの酸化を防止する
とともにはんだ付け性を改善する技術がある。例えば、
図11は従来のはんだ噴流槽を示すもので、図11
(a)は断面図、図11(b)は図11(a)のノズル
体の斜視図である。なお、図11は特開平7−1857
90号公報からの抜粋である。この技術は、先の実開昭
52−39829号公報の技術と同様の思想に基づく技
術であるが、特に4辺形の各辺に設けたノズルから不活
性ガスを噴出させて不活性ガスのガスカーテンを形成す
るように構成しているところに特徴がある。
1内の溶融はんだ2をポンプ3で送出して噴流波4を形
成する仕組みの装置で、その噴流波4の噴流面4aを囲
むように四角形のノズル体5を支柱6で支持して配置
し、その四辺形の内周辺に多数の噴出孔7、すなわちノ
ズルを多数個列状に配置することで、噴流波4に不活性
ガスによる不活性ガス層8を形成するように構成したも
のである。ガス供給パイプ9はノズル体5に不活性ガス
を供給する手段である。
け性の改善と溶融はんだの酸化防止を行う技術として、
特開平8−130365号公報の技術がある。この技術
は、はんだ槽の液面を覆うようにカバーを設け、さらに
該カバーの上部には下方に向けてガス噴射ノズルを設
け、このノズルから不活性ガスを噴出させてカバー内に
不活性ガス雰囲気を形成するように構成した技術であ
る。
9号公報の技術や図11に示す特開平7−185790
号公報の技術では、ノズルから高速で勢い良く噴出した
不活性ガスが周辺の大気(雰囲気)を巻き込んで流れ、
結果として形成される不活性ガス雰囲気における酸素濃
度を十分に低下させることができない問題があった。
術においても同様に、ガス噴射ノズルから高速で勢い良
く噴出した不活性ガスが、カバー内の雰囲気を巻き込む
と同時に該カバー内へ出入口から大気が巻き込まれて侵
入し、これらが激しく上下に流動して撹拌され、結果と
して形成される不活性ガス雰囲気における酸素濃度を十
分に低下させることができない問題があった。
き込まないように不活性ガス雰囲気を形成できるように
することによって、ガス濃度の高い雰囲気を形成できる
ようにすることにある。また、不活性ガスの供給量が少
なくても十分にガス濃度の高い雰囲気を形成できるよう
にすることにある。そして、ガス雰囲気はんだ付け装置
においては、少ない不活性ガス消費量で低い酸素濃度を
実現できるようにすることによって、高いはんだ付け品
質と低いランニングコストとを両立できるようにするこ
とにある。
めのガス雰囲気形成装置のガス供給において、ガスの流
速を低速にするとともに動圧を低下させることを目的と
して、放射状に形成されたガス供給口筐、例えば一方の
収束側の開口をガス供給口とし、他方の放射側の開口を
ガス放出口とする。
成板を設けて、そのガス供給口側からガス放出口へ向け
て流動するガス流路の断面積が徐々に増大するように形
成し、さらにガスを蛇行せしめる流路形成板を設ける。
はその流路の断面積の増大と蛇行形状の流路とにより、
流速が漸次に低下するとともにガス供給口における高速
流による動圧は抑制され、ガス放出口から拡散状態に近
い状態でガスが放出され、周辺雰囲気を巻き込むことな
く高濃度のガス雰囲気を形成することができる。
はんだ付け装置に使用することにより、溶融はんだと被
はんだ付けワークとが接触する領域を従来のはんだ付け
装置よりも一層低酸素濃度のガス雰囲気にすることがで
きる。そのため、はんだの酸化を良好に防止でき、さら
に、はんだ付け性も向上する。なおかつ、ガス消費量も
少なくすることができる。
て実施することができる。
る装置であって、放射状口筐の一方の収束側の開口にガ
ス供給口を形成するとともに、他方の放射側の開口をガ
ス放出口とし、前記放射状のガス供給口筐内に、そのガ
ス供給口側からガス放出口へ向けて流動するガスの流路
の断面積が徐々に増大するように形成し、さらにガスを
蛇行せしめる流路形成板を設けるように構成する。
に流れ、その間に動圧が低下するとともに流速も低下
し、ガス放出口からは拡散状態に近い状態でガスが放出
され、周辺雰囲気を巻き込むことなくガス濃度の高い雰
囲気を形成することができるようになる。
接触させてはんだ付けを行うはんだ付け装置であって、
少なくとも該溶融はんだと被はんだ付けワークとが接触
する領域へ向けて不活性ガスを供給するガス雰囲気形成
装置を備え、前記ガス雰囲気形成装置は、前記(1)の
ガス雰囲気形成装置と同様に、放射状のガス供給口筐の
一方の収束側の開口にガス供給口を設けるとともに、他
方の放射側の開口をガス放出口とし、該放射状口筐内
に、そのガス供給口側からガス放出口へ向けて流動する
ガスの流路の断面積が徐々に増大するように形成し、さ
らにガスを蛇行せしめる流路形成板を設けるように構成
する。
んだとが接触する領域に、流速が低速で拡散を積極的に
利用した不活性ガス雰囲気を形成することができるよう
になり、大気等の周辺雰囲気の巻き込みの少ない低酸素
濃度の不活性ガス雰囲気とすることができる。
装置において、少なくとも溶融はんだの噴流波部分を覆
うチャンバ体をはんだ槽に設けるとともに、該チャンバ
体には被はんだ付けワークを搬入し搬出する搬入口と搬
出口とを設け、さらに前記チャンバ体内を上部室と下部
室に仕切る仕切板を設けるとともに、該仕切板の中央位
置にはガス供給開口を設け、該ガス供給開口に不活性ガ
スを供給するガス雰囲気形成装置を臨ませて設けるよう
に構成する。
(1)のガス雰囲気形成装置と同様に、放射状のガス供
給口筐の収束側の開口にガス供給口を設けるとともに他
方の放射側の開口をガス放出口とし、該ガス供給口筐内
に、そのガス供給口側からガス放出口へ向けて流動する
ガスの流路の断面積が徐々に増大するように形成し、さ
らにガスを蛇行せしめる流路形成板を設けるように構成
する。
上下の2つの部屋に仕切られるので、チャンバ体の容積
を少なくすることなくチャンバ体内における雰囲気の対
流や不要な流動を抑制することができる。また、ガス雰
囲気形成装置から放出される不活性ガスは、仕切板に設
けたガス供給開口から低速で、かつ拡散してチャンバ体
内へ供給されるので、溶融はんだと被はんだ付けワーク
とが接触する領域においてチャンバ体の外の大気を巻き
込むことなく、酸素濃度の低い安定した雰囲気を維持す
ることができる。
はんだ付けワークの搬入と搬出とに伴って大気が侵入し
たとしても、酸素濃度の急激で大幅な増加を生ずること
はなく、安定した酸素濃度を維持することができる。
装置において、仕切板に設けたガス供給開口の周辺の全
ての縁にガス供給口筐のガス放出口を臨ませて不活性ガ
スを放出するガス雰囲気形成装置を設けるように構成す
る。
ら圧送される状態で供給され拡散もするようになり、酸
素濃度を一層低くすることができるようになる。
気はんだ付け装置において、上部室の容積を小さくする
遮蔽板を設けたことにより、チャンバ体の容積を小さく
してガス雰囲気形成装置によって形成されたガス供給開
口の直下部分における酸素濃度を一層低くすることもで
きる。
に記載のガス雰囲気はんだ付け装置において、チャンバ
体の搬出口下方側の位置に、ガス供給口筐のガス放出口
を噴流波の方向へ向けて不活性ガスを放出するガス雰囲
気形成装置を設けるように構成する。
側、とくに噴流波と被はんだ付けワークとが離間するピ
ールバックポイントの酸素濃度を一層低くすることがで
きるようになる。
に記載のガス雰囲気はんだ付け装置において、少なくと
もチャンバ体の搬出口側に、雰囲気の通過を抑止するラ
ビリンス流路が形成されたラビリンス部を設けるように
構成する。
バ体内への大気の流入や逆にチャンバ体からの不活性ガ
ス雰囲気の流出が抑止され、酸素濃度の低い一層安定し
た不活性ガス雰囲気を形成することができるようにな
る。
びガス雰囲気はんだ付け装置の具体例を実施例で説明す
る。
全容を示す斜視図、図2は本発明のガス雰囲気形成装置
の第2の実施例の全容を示す斜視図である。また図3
は、図1および図2の側端面図、図3(a)は図1のI
−I線から見た側端面図で、図3(b)は図2のII−II
線から見た側端面図である。
ガス供給口筐11の一方の収束側端部11aにガス供給
口12を設けて形成し、さらにガス供給パイプ14を連
設してN2 ガス(窒素ガス)等の不活性ガスを供給す
る。ガス供給口筐11内には流路形成板15を等間隔で
上下の壁面に千鳥状に設けて蛇行流路16を形成する。
これにより、ガス供給口筐11の断面積が増大すること
に合わせてガス流路17の断面積が増大する。そしてガ
ス供給口筐11の他方の放射側開口11bをガス放出口
13,13Aとする。
1 のN2 ガスは、流路形成板15に衝突し、さらに蛇行
流路16を通る間に動圧が減じられて断面積の増大に合
わせて流速も低下し、ガス放出口13,13Aから速度
V2 の低速で放出される。この際、N2 ガス放出速度が
低速であるので、周辺雰囲気例えば大気の巻き込みは極
めて少なく、N2 ガス放出後は直ちにその流速は0に近
似し、拡散が支配的となってN2 ガスが広がる。したが
って、酸素濃度の低い安定した不活性ガス雰囲気を形成
することができる。また、N2 ガス供給流量も少なくて
済む。
成装置の相違する点は、図2においてガス放出口13A
の向きの形状が異なるだけで、このガス放出口13Aの
向きは用途に合わせて任意に選べばよい。
ガス雰囲気はんだ付け装置の第1の実施例を示す側断面
図である。また、図5は、図4のIII −III 線から見た
平面端面図で、ガス供給系はシンボル図で示してある。
この図4,図5に示すガス雰囲気はんだ付け装置は、図
2のガス雰囲気形成装置を使用したはんだ付け装置であ
り、その長所を積極的に利用したはんだ付け装置であ
る。これらの図において、図2,図3と同一符号は同一
部分を示す。
ス雰囲気形成装置を使用して、溶融はんだ22の噴流波
23と被はんだ付けワークであるプリント配線板21と
が接触する領域、さらにははんだ槽24の溶融はんだ2
2の液面22aに、低酸素濃度の不活性ガス雰囲気を形
成するように構成したはんだ付け装置である。
て溶融された溶融はんだ22を収容してあり、これをポ
ンプ25により吹き口26から噴出させて噴流波23を
形成する仕組みである。そしてこのはんだ槽24の上方
をチャンバ体27で覆い、プリント配線板21を矢印A
方向に搬送する搬送コンベア28(二点鎖線で示す)を
通した開口をそれぞれ搬入口29および搬出口30と
し、該搬入口29と搬出口30にはシート状のゴム等の
可撓性部材により形成したのれん31を吊り下げてあ
る。なお、搬送コンベア28(二点鎖線で示す)は具体
的に図示はしないが、プリント配線板21の両側端部2
1a(図5に示す)を支持して搬送する平行二条の搬送
体から構成されているもので、一般的に使用されている
ものである。
2によって上部室33と下部室34とに仕切られてお
り、この仕切板32の中央位置にはN2 ガスを供給する
ための開口すなわちガス供給開口35を設けてある。
囲気形成装置のガス放出口13Aを臨ませて設けてあ
る。なお、このガス雰囲気形成装置は、上部室33の仕
切板32の上に取り付けてあり、やや下方を向いたガス
放出口13Aが前述のガス供給開口35に臨ませてあ
る。
気形成装置のガス供給口筐11は1つであってもよい
が、図5に例示するように、例えば四角形のガス供給開
口35によって形成された4辺形の四周辺の全ての縁に
ガス供給口筐11のガス放出口13Aを臨ませて不活性
ガスを放出するように設けると、一層良好なガス雰囲気
形成が可能となる。
にN2 ガスボンベ等のN2 ガス供給装置41からN2 ガ
スが供給される。N2 ガスは開閉弁42を通った後にフ
ィルタ43で異物を除去し、圧力制御弁(圧力調節弁)
44で所望の圧力に降圧した後、全流量を調節する流量
調節弁45、全流量を測定する流量計46を通り、圧力
計47で圧力を測定し、その後は、各ガス雰囲気形成装
置ごとに供給されるガス流量を調節する流量調節弁4
8、その流量を測定する流量計49を通ってガス供給パ
イプ14からのガス雰囲気形成装置のガス供給口筐11
に供給される。
ス板36は、チャンバ体27の内部を観察することを目
的として設けたものである。
ンバ体27が仕切板32によって上下の2つの部屋、す
なわち上部室33と下部室34とに仕切られるので、チ
ャンバ体27内の容積を少なくすることなく小部屋に分
割し、いわゆるラビリンスの作用によって対流や不要な
流動を抑制することができるようになる。
筐11から放出される不活性ガスは、仕切板32に設け
たガス供給開口35から低速で放出され、溶融はんだ2
2の噴流波23とプリント配線板21とが接触する領域
に流れ込み、該領域に低酸素濃度の不活性ガス雰囲気を
形成する。続いてはんだ槽24の溶融はんだ22の液面
22aにもN2 ガスは流れ込み、同様に該液面22aに
も低酸素濃度の不活性ガス雰囲気を形成する。この際、
不活性ガスの拡散力によっても流れ込む。そして、最終
的にはチャンバ体27の搬入口29および搬出口30か
ら徐々に流出する。
速で激しく流動するようなことはなく、したがってチャ
ンバ体27外の大気が巻き込まれるようなこともない。
そして、押し出されるようにして流れ、流出して行く。
したがって、チャンバ体27内全体を安定した低い酸素
濃度に維持することができる。しかも少ないN2 ガス供
給流量で済む。
で、チャンバ体27の容積を大きくしても雰囲気の対流
や不必要な流動、すなわち外乱が生じにくい。そのた
め、プリント配線板21の搬入や搬出に伴ってのれん3
1が開閉してその際に大気が侵入したとしても、酸素濃
度の急激で大幅な増加を生じることはなく、安定した酸
素濃度を維持することができる。
すようにチャンバ体27内にチャンバ体27内を観察で
きる遮蔽板として第2のガラス板37をガス供給口筐1
1上に設ければ、上部室33の容積が小さくなるので、
実質的なチャンバ体27の容積は小さくなってしまうが
ガス雰囲気形成装置のガス供給開口35の直下部分の酸
素濃度を一層低くすることができる。また、38は前記
ガス供給口筐11上で第2のガラス板37を着脱可能に
保持する保持具である。
24からの放射熱によって温度上昇しており、これによ
り蛇行する流路が形成されたガス供給口筐11からなる
ガス雰囲気形成装置を通って放出される不活性ガスが温
められ、チャンバ体27内の雰囲気温度を低下させるよ
うなこともない。すなわち、図示しない予熱装置によっ
て予め予熱されたプリント配線板21が、チャンバ体2
7内に搬送されて温度低下を生ずるようなこともなくな
り、予熱状態を保持したままではんだ付けを行うことが
できる。
にガス供給開口35によって形成された四辺の四周のす
べての縁にガス雰囲気形成装置を設けてそのガス放出口
13Aをガス供給開口35に臨ませている。そのため、
このガス供給開口35の上部室33側から下部室34側
へ押し込まれるようにして不活性ガスが圧送されて流
れ、噴流波23およびはんだ槽24の溶融はんだ22の
液面22aに流れ込み拡散し、一層酸素濃度の低い安定
した不活性ガス雰囲気を形成することができるようにな
る。
リント配線板21を搬送コンベア28(二点鎖線で示
す)により搬送してはんだ付けすると、プリント配線板
21を低酸素濃度の雰囲気中ではんだ付けすることが可
能となり、プリント配線板21に塗布するフラックス量
が少なくても、微小な被はんだ付け部分にも溶融はんだ
22を良好に供給することが可能となり、いわゆるマイ
クロソルダリングが可能となる。また、フラックス塗布
量が少ないことから、はんだ付け後にプリント配線板2
1に残っているフラックス残渣は極めて少なく、はんだ
付け後のフラックス洗浄を解消することもできるように
なる等々の長所が得られる。
く安定している場合に安定して維持されるものであるの
で、本実施例のガス雰囲気はんだ付け装置を使用すれ
ば、高品質で安定したはんだ付けを行えるようになる。
また、本実施例では、N2 ガスの供給流量が少なくても
安定で低い酸素濃度を得ることができるので、N2 ガス
消費量も少なくランニングコストも低くすることができ
る。
気はんだ付け装置に、図2のガス雰囲気形成装置をもう
一つ追加して使用した本発明のガス雰囲気はんだ付け装
置の第2の実施例を示す側断面図で、図4と同一符号は
同一部分を示し、チャンバ体27の搬出口30の下方側
の位置、つまり搬送コンベア28(二点鎖線で示す)の
下方側の位置にもガス供給口筐11を設け、このガス供
給口筐11のガス放出口13Aから噴流波23の方向へ
向けて不活性ガスを放出するガス雰囲気形成装置を設け
たものである。
22の液面22aにも積極的にN2ガス、すなわち不活
性ガスが供給されてその酸化を一層抑止できるととも
に、プリント配線板21が噴流波23に接触しながらか
つ離間する際の離間点、すなわちピールバックポイント
における酸素濃度も一層低くかつ安定化することができ
るようになる。また、チャンバ体27内の酸素濃度も一
層低くなる。そしてその結果、はんだ付け性は一層向上
する。
の搬出口30側にラビリンス部を設けた本発明のガス雰
囲気はんだ付け装置の第3の実施例を示す側断面図であ
る。また、図8は図7のIV−IV線による断面図である。
これらの図において、図6と同一符号は同一部分を示
し、搬送コンベア28(二点鎖線で示す)の下側でチャ
ンバ体27の搬出口30となる下方側に、ガス供給口筐
11を設け、このガス供給口筐11のガス放出口13A
を噴流波23の方向へ向けて不活性ガスを放出するガス
雰囲気形成装置を設けたものである。また、ラビリンス
部51を形成するラビリンスブロック52は箱形の形状
を成し、抑止板53を複数設けている。
ク52を受け台54の上に載置してチャンバ体27に結
合するように構成してあり、ラビリンスブロック52は
搬送コンベア28(二点鎖線で示す)の下側と上側とに
設けてある。すなわち、搬送コンベア28(二点鎖線で
示す)の下側のラビリンスブロック52は受け台54の
上に載置してチャンバ体27と結合し、搬送コンベア2
8(二点鎖線で示す)の上側のラビリンスブロック52
は搬送コンベア28(二点鎖線で示す)の図示しないコ
ンベアフレーム上に載置してチャンバ体27と結合して
構成してある。そして、この上下2つのラビリンスブロ
ック52により、チャンバ体27の搬出口30にはラビ
リンスブロック52によるトンネル状のラビリンス流路
55が形成される。
3は、その板面を搬送コンベア28(二点鎖線で示す)
の搬送方向Aと直交する向きで複数並べて設けてあり、
これによりラビリンスブロック52内を複数の小部屋に
分割してある。そのため、トンネル状に形成されたラビ
リンス部51はラビリンス流路55が形成され、チャン
バ体27内からチャンバ体27外への雰囲気の流出やチ
ャンバ体27外からチャンバ体27内への大気の流入が
抑止される。
0側にのみラビリンス部51を設けた理由は、図4や図
6,図7に示すように搬送コンベア28(二点鎖線で示
す)に仰角を設けてプリント配線板21を仰角搬送する
場合に、チャンバ体27の搬出口30側からチャンバ体
27内の雰囲気が流出し易いためである。もちろん、チ
ャンバ体27の搬入口29側にもラビリンス部51を設
けても良いし、場合によっては、搬入口29側のみにラ
ビリンス部51を設けても良い。
送走行やそれによるプリント配線板21の搬送に伴っ
て、チャンバ体27内の雰囲気がチャンバ体27外へ持
ちだされたり、逆にチャンバ体27外の大気がチャンバ
体27内に持ち込まれたりするので、それらも考慮して
ラビリンス部51を設ける位置を決めれば良い。また、
図4のガス雰囲気はんだ付け装置にラビリンス部51を
設けても良い結果が得られる。
をチャンバ体27の搬出口30側に設けることにより、
チャンバ体27内の雰囲気は一層安定した状態で低酸素
濃度に維持することができるようになる。また、図4や
図6のガス雰囲気はんだ付け装置と対比してN2 ガスの
供給流量を少なくしても、同様の酸素濃度を得ることが
できるようになる。したがって、さらに一層向上したは
んだ付けの安定性を得ることができるようになり、ラン
ニングコストも低減することができるようになる。
け装置におけるガス供給系を示すシンボル図で、図5と
同一符号は同一部分を示す。図6,図7に示すチャンバ
体27の搬出口30の下方側(搬送コンベア28(二点
鎖線で示す)の下方側)の位置にガス雰囲気形成装置で
あるガス供給口筐11を新たに設けたことにより、図9
のガス供給系においては図5のガス供給系に加えて新た
にN2 ガスを供給する流路を分岐して設けたものであ
る。
放出方向調節器を設けた例を示す斜視図である。
ス放出口13にガス放出方向調節器61を回動軸63に
よって回動可能に取り付けたもので、ガス放出方向調節
器61に形成されたガス放出口62から放出されるガス
を所要の方向に設定できるように構成したものである。
プリント配線板21の幅や長さが変わった場合でも、そ
の幅や長さに合わせてガス放出口62から放出されるガ
スの放出方向を変えて最適の状態に調節することができ
るようになる。
ス雰囲気形成装置によれば、周辺雰囲気を巻き込まない
ようにガス雰囲気を形成できるので、ガス濃度の高い雰
囲気を形成できるようになる。また、少ないガス消費量
でも十分にガス濃度の高い雰囲気を形成できるようにな
る。
によれば、前記の請求項1記載のガス雰囲気形成装置を
用い、はんだ付け作業を行う領域を安定で低い酸素濃度
の不活性ガス雰囲気にすることができるので、品質のよ
いはんだ付けを行うことができるようになる。また、溶
融はんだの酸化を大幅に抑制することができるようにな
る。
によれば、チャンバ体内の不要な雰囲気流動を抑制しつ
つ安定で低い酸素濃度の不活性ガス雰囲気を形成するこ
とができるようになり、また不活性ガス消費量も少なく
て済むので、高いはんだ付け品質と低いランニングコス
トとを両立することができるようになる。
によれば、チャンバ体内に供給される不活性ガスの流動
を一層安定にすることができるようになり、請求項3記
載の効果を一層向上させることができるようになる。
によれば、ガス雰囲気形成装置によって形成されたガス
供給開口の直下部分における酸素濃度を一層低くするこ
とができるようになる。
によれば、ピールバックポイントおよびはんだ槽中の溶
融はんだ液面における酸素濃度を一層低減させることが
できるようになり、さらに、被はんだ付けワークがチャ
ンバ体に搬入されても該チャンバ体内を隈なく低酸素濃
度の不活性ガス雰囲気とすることができるようになる。
その結果、さらに安定で均一なはんだ付けを行うことが
できるようになる。
によれば、チャンバ体からの雰囲気流出やチャンバ体へ
の大気の流入を抑止することができるようになるので、
チャンバ体内の酸素濃度を一層安定化することができる
ようになり、さらに、酸素濃度を低い値に維持すること
も可能となる。すなわち、不活性ガス供給流量を少なく
しても安定で低い酸素濃度の不活性ガス雰囲気を形成す
ることができるようになり、低いランニングコストで極
めて安定、かつ均一なはんだ付けを行うことができるよ
うになる。
全容を示す斜視図である。
全容を示す斜視図である。
1(a)のI−I線から見た側端面図、図3(b)は図
2のII−II線から見た側端面図である。
ガス雰囲気はんだ付け装置の第1の実施例を示す側断面
図である。
る。
使用した本発明のガス雰囲気はんだ付け装置の第2の実
施例を示す側断面図である。
部を設けた本発明のガス雰囲気はんだ付け装置の第3の
実施例を示す側断面図である。
るガス供給系を示すシンボル図である。
設けた例を示す斜視図である。
(a)は断面図、図11(b)は図11(a)のノズル
体の斜視図である。
Claims (7)
- 【請求項1】 放射状に形成されたガス供給口筐の一方
の収束側の開口をガス供給口とし、他方の放射側の開口
をガス放出口とし、 前記ガス供給口から前記ガス放出口へ向けて流動するガ
スの流路の断面積が徐々に増大するように形成し、さら
に前記ガスを蛇行せしめる流路形成板を設けた、ことを
特徴とするガス雰囲気形成装置。 - 【請求項2】 溶融はんだと被はんだ付けワークを接触
させてはんだ付けを行うガス雰囲気はんだ付け装置であ
って、少なくとも前記溶融はんだと前記被はんだ付けワ
ークとが接触する領域へ向けて不活性ガスを供給するガ
ス雰囲気形成装置を備え、 前記ガス雰囲気形成装置は、放射状に形成されたガス供
給口筐の一方の収束側の開口をガス供給口とし、他方の
放射側の開口をガス放出口とし、 前記ガス供給口から前記ガス放出口へ向けて流動するガ
スの流路の断面積が徐々に増大するように形成し、さら
に前記ガスを蛇行せしめる流路形成板を設けた、ことを
特徴とするガス雰囲気はんだ付け装置。 - 【請求項3】 少なくとも溶融はんだの噴流波部分を覆
うチャンバ体をはんだ槽に設けるとともに、前記チャン
バ体には被はんだ付けワークを搬入し搬出する搬入口と
搬出口とを設け、 また、前記チャンバ体内を上部室と下部室とに仕切る仕
切板を設けるとともに、前記仕切板の中央位置にガス供
給開口を設け、このガス供給開口に不活性ガスを供給す
るガス雰囲気形成装置を臨ませて設け、 さらに前記ガス雰囲気形成装置は、放射状に形成された
ガス供給口筐の一方の収束側開口をガス供給口とし、他
方の放射側の開口をガス放出口とし、 前記ガス供給口から前記ガス放出口へ向けて流動するガ
スの流路の断面積が徐々に増大するように形成し、さら
に前記ガスを蛇行せしめる流路形成板を設けた、ことを
特徴とするガス雰囲気はんだ付け装置。 - 【請求項4】 仕切板に設けたガス供給開口の周辺の全
ての縁に、ガス供給口筐のガス放出口を臨ませて不活性
ガスを放出するガス雰囲気形成装置を設けた、ことを特
徴とする請求項3記載のガス雰囲気はんだ付け装置。 - 【請求項5】 上部室の容積を小さくする遮蔽板を設け
た、ことを特徴とする請求項3または4記載のガス雰囲
気はんだ付け装置。 - 【請求項6】 チャンバ体の搬出口下方側の位置に、ガ
ス供給口筺のガス放出口を噴流波の方向へ向けて不活性
ガスを放出するガス雰囲気形成装置を設けた、ことを特
徴とする請求項3ないし5のいずれかに記載のガス雰囲
気はんだ付け装置。 - 【請求項7】 少なくともチャンバ体の搬出口側に、雰
囲気の通過を抑止するラビリンス流路を形成して成るラ
ビリンス部を設けた、ことを特徴とする請求項3ないし
6のいずれかに記載のガス雰囲気はんだ付け装置。
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