JPH10260144A - エネルギー分散型ｘ線マイクロアナライザ - Google Patents
エネルギー分散型ｘ線マイクロアナライザInfo
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- JPH10260144A JPH10260144A JP9087604A JP8760497A JPH10260144A JP H10260144 A JPH10260144 A JP H10260144A JP 9087604 A JP9087604 A JP 9087604A JP 8760497 A JP8760497 A JP 8760497A JP H10260144 A JPH10260144 A JP H10260144A
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- electron microscope
- energy dispersive
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 表示画面が小さくても、電子顕微鏡画像およ
びＥＤＸ画像の双方を見やすくしかも簡単な操作で表示
することが可能なエネルギー分散型Ｘ線マイクロアナラ
イザを提供すること。 【解決手段】 電子顕微鏡２とエネルギー分散型Ｘ線分
析装置３とこれらを制御するコンピュータ１とからな
り、電子顕微鏡２によって得られる電子顕微鏡画像５と
Ｘ線分析装置３によって得られるＸ線スペクトルおよび
Ｘ線画像６を、コンピュータ１に接続された表示装置４
の画面４Ａ上に表示するように構成されたエネルギー分
散型Ｘ線マイクロアナライザにおいて、前記両画像５，
６の表示パターンを予め設定しておき、分析モードに応
じた画像表示を行なえるようにした。
びＥＤＸ画像の双方を見やすくしかも簡単な操作で表示
することが可能なエネルギー分散型Ｘ線マイクロアナラ
イザを提供すること。 【解決手段】 電子顕微鏡２とエネルギー分散型Ｘ線分
析装置３とこれらを制御するコンピュータ１とからな
り、電子顕微鏡２によって得られる電子顕微鏡画像５と
Ｘ線分析装置３によって得られるＸ線スペクトルおよび
Ｘ線画像６を、コンピュータ１に接続された表示装置４
の画面４Ａ上に表示するように構成されたエネルギー分
散型Ｘ線マイクロアナライザにおいて、前記両画像５，
６の表示パターンを予め設定しておき、分析モードに応
じた画像表示を行なえるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、エネルギー分散
型Ｘ線マイクロアナライザに関する。
型Ｘ線マイクロアナライザに関する。
【０００２】
【従来の技術】エネルギー分散型Ｘ線マイクロアナライ
ザの一つに、走査型電子顕微鏡（以下、ＳＥＭという）
と、このＳＥＭに取り付けられた半導体Ｘ線検出器から
の信号を処理するエネルギー分散型のＸ線分析装置（以
下、ＥＤＸという）とからなるものがある。このエネル
ギー分散型Ｘ線マイクロアナライザは、数μｍという微
小領域の元素分析を行う装置で、ＳＥＭによる像観察と
同時に、Ｘ線分析装置によって観察している部分の「定
性分析」、「定量分析」、「Ｘ線像による元素分布の分
析」などを行うことができるところから、従来より金
属、セラミックス、半導体などの材料の研究に利用され
ているが、近年では、製品のトラブル解析など品質管理
の分野などにおいても利用されるようになってきてい
る。
ザの一つに、走査型電子顕微鏡（以下、ＳＥＭという）
と、このＳＥＭに取り付けられた半導体Ｘ線検出器から
の信号を処理するエネルギー分散型のＸ線分析装置（以
下、ＥＤＸという）とからなるものがある。このエネル
ギー分散型Ｘ線マイクロアナライザは、数μｍという微
小領域の元素分析を行う装置で、ＳＥＭによる像観察と
同時に、Ｘ線分析装置によって観察している部分の「定
性分析」、「定量分析」、「Ｘ線像による元素分布の分
析」などを行うことができるところから、従来より金
属、セラミックス、半導体などの材料の研究に利用され
ているが、近年では、製品のトラブル解析など品質管理
の分野などにおいても利用されるようになってきてい
る。
【０００３】上記エネルギー分散型Ｘ線マイクロアナラ
イザにおいて、微小部分の顕微拡大画像などＳＥＭによ
って得られる画像（以下、ＳＥＭ画像という）と、スペ
クトルやマッピング像などＸ線分析装置によって得られ
る画像（以下、ＥＤＸ画像という）をＣＲＴなどの表示
装置に表示する場合、従来、図４に示すような二つの手
法があった。
イザにおいて、微小部分の顕微拡大画像などＳＥＭによ
って得られる画像（以下、ＳＥＭ画像という）と、スペ
クトルやマッピング像などＸ線分析装置によって得られ
る画像（以下、ＥＤＸ画像という）をＣＲＴなどの表示
装置に表示する場合、従来、図４に示すような二つの手
法があった。
【０００４】一つの手法は、図４（Ａ）に示すように、
ＳＥＭ４１およびＥＤＸ４２を制御するコンピュータ４
３に対して二台のＣＲＴ４４，４５を接続し、一方のＣ
ＲＴ４４にＳＥＭ画像を、他方のＣＲＴ４５にＥＤＸ画
像をそれぞれ表示させるものであり、また、他の手法
は、同図（Ｂ）に示すように、一台のＣＲＴ４６のみ設
け、ウインドウ分割を適宜行ってＳＥＭ画像およびＥＤ
Ｘ画像を同時に表示させるものである。
ＳＥＭ４１およびＥＤＸ４２を制御するコンピュータ４
３に対して二台のＣＲＴ４４，４５を接続し、一方のＣ
ＲＴ４４にＳＥＭ画像を、他方のＣＲＴ４５にＥＤＸ画
像をそれぞれ表示させるものであり、また、他の手法
は、同図（Ｂ）に示すように、一台のＣＲＴ４６のみ設
け、ウインドウ分割を適宜行ってＳＥＭ画像およびＥＤ
Ｘ画像を同時に表示させるものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記図
４（Ａ）に示した手法においては、二台のＣＲＴ４４，
４５を設けるため、スペースコストがかかるとともに、
二台のＣＲＴ４４，４５をを交互に観察する必要がある
ため、操作性が悪いといった不都合がある。また、同図
（Ｂ）に示した手法においては、ＳＥＭ画像およびＥＤ
Ｘ画像の双方を同一の画面で観察できるという利点はあ
るものの、表示エリア分割などウインドウ整列操作が面
倒であるとともに、前記両画像を大きく見るためには大
画面のＣＲＴ４６が必要となり、それだけコストアップ
となるといった不都合がある。
４（Ａ）に示した手法においては、二台のＣＲＴ４４，
４５を設けるため、スペースコストがかかるとともに、
二台のＣＲＴ４４，４５をを交互に観察する必要がある
ため、操作性が悪いといった不都合がある。また、同図
（Ｂ）に示した手法においては、ＳＥＭ画像およびＥＤ
Ｘ画像の双方を同一の画面で観察できるという利点はあ
るものの、表示エリア分割などウインドウ整列操作が面
倒であるとともに、前記両画像を大きく見るためには大
画面のＣＲＴ４６が必要となり、それだけコストアップ
となるといった不都合がある。
【０００６】なお、このような問題は、ＳＥＭとＥＤＸ
とを組み合わせたエネルギー分散型Ｘ線マイクロアナラ
イザのみならず、電子顕微鏡として透過型電子顕微鏡
（以下、ＴＥＭという）とＥＤＸとを組み合わせたエネ
ルギー分散型Ｘ線マイクロアナライザにおいても同様に
生じているところである。
とを組み合わせたエネルギー分散型Ｘ線マイクロアナラ
イザのみならず、電子顕微鏡として透過型電子顕微鏡
（以下、ＴＥＭという）とＥＤＸとを組み合わせたエネ
ルギー分散型Ｘ線マイクロアナライザにおいても同様に
生じているところである。
【０００７】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、表示画面が小さくても、電子顕
微鏡画像およびＥＤＸ画像の双方を見やすくしかも簡単
な操作で表示することが可能なエネルギー分散型Ｘ線マ
イクロアナライザを提供することである。
たもので、その目的は、表示画面が小さくても、電子顕
微鏡画像およびＥＤＸ画像の双方を見やすくしかも簡単
な操作で表示することが可能なエネルギー分散型Ｘ線マ
イクロアナライザを提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明では、電子顕微鏡とエネルギー分散型Ｘ線
分析装置とこれらを制御するコンピュータとからなり、
電子顕微鏡によって得られる電子顕微鏡画像とエネルギ
ー分散型Ｘ線分析装置によって得られるＸ線スペクトル
および画像をそれぞれ処理し、コンピュータに接続され
た表示装置の画面上に表示するように構成されたエネル
ギー分散型Ｘ線マイクロアナライザにおいて、前記両画
像の表示パターンを予め設定しておき、分析モードに応
じた画像表示を行なえるようにしている。
め、この発明では、電子顕微鏡とエネルギー分散型Ｘ線
分析装置とこれらを制御するコンピュータとからなり、
電子顕微鏡によって得られる電子顕微鏡画像とエネルギ
ー分散型Ｘ線分析装置によって得られるＸ線スペクトル
および画像をそれぞれ処理し、コンピュータに接続され
た表示装置の画面上に表示するように構成されたエネル
ギー分散型Ｘ線マイクロアナライザにおいて、前記両画
像の表示パターンを予め設定しておき、分析モードに応
じた画像表示を行なえるようにしている。
【０００９】分析モードに応じて、ＳＥＭ画像を優先し
て表示する（ＳＥＭ画像を表示画面の中央に大きくしか
もＥＤＸ画像より大きく表示する）か、ＥＤＸ画像を優
先して表示する（ＥＤＸ画像を表示画面の中央に大きく
しかもＳＥＭ画像より大きく表示する）かなど表示パタ
ーンを予め設定しておき、ファンクションキーやマウス
などの入力装置によって、表示画面の特定場所を指定す
ることにより、ＳＥＭ画面およびＥＤＸ画面を分析モー
ドに最適となるように表示する。
て表示する（ＳＥＭ画像を表示画面の中央に大きくしか
もＥＤＸ画像より大きく表示する）か、ＥＤＸ画像を優
先して表示する（ＥＤＸ画像を表示画面の中央に大きく
しかもＳＥＭ画像より大きく表示する）かなど表示パタ
ーンを予め設定しておき、ファンクションキーやマウス
などの入力装置によって、表示画面の特定場所を指定す
ることにより、ＳＥＭ画面およびＥＤＸ画面を分析モー
ドに最適となるように表示する。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１および図２は、この発明の一
実施例を示すもので、図１において、１はコンピュータ
で、ＳＥＭ２およびＥＤＸ３をそれぞれ制御する機能お
よびこれらの装置２，３からの信号を処理し、その結果
をメモリしたり、表示装置としてのＣＲＴ４に出力する
機能などを備えている。そして、このコンピュータ１に
は、次のような機能が装備されている。すなわち、分析
モードに応じて、ＳＥＭ画像を優先して表示するか、Ｅ
ＤＸ画像を優先して表示するかなど表示パターンが予め
設定され、これがプログラムとして格納されている。
実施例を示すもので、図１において、１はコンピュータ
で、ＳＥＭ２およびＥＤＸ３をそれぞれ制御する機能お
よびこれらの装置２，３からの信号を処理し、その結果
をメモリしたり、表示装置としてのＣＲＴ４に出力する
機能などを備えている。そして、このコンピュータ１に
は、次のような機能が装備されている。すなわち、分析
モードに応じて、ＳＥＭ画像を優先して表示するか、Ｅ
ＤＸ画像を優先して表示するかなど表示パターンが予め
設定され、これがプログラムとして格納されている。
【００１１】すなわち、例えば、ある試料における元素
分析を行う場合、試料のどの微小領域に電子線を照射す
るかを決定する（分析位置を指定する）必要があるが、
このモードにおいては、試料の画像を大きく表示する必
要があるところから、図２（Ａ）において符号５で示す
ように、ＳＥＭ画像を優先してこれを表示画面４Ａの大
部分を占めるように大きく表示し、ＥＤＸ画像について
はこれを単にモニターできる程度でよいから、符号６で
示すように、表示画面４Ａの片隅に小さく表示してあれ
ばよい。なお、図２（Ａ）において、符号７は試料を示
し、符号８は試料７における分析すべき箇所を示してい
る。
分析を行う場合、試料のどの微小領域に電子線を照射す
るかを決定する（分析位置を指定する）必要があるが、
このモードにおいては、試料の画像を大きく表示する必
要があるところから、図２（Ａ）において符号５で示す
ように、ＳＥＭ画像を優先してこれを表示画面４Ａの大
部分を占めるように大きく表示し、ＥＤＸ画像について
はこれを単にモニターできる程度でよいから、符号６で
示すように、表示画面４Ａの片隅に小さく表示してあれ
ばよい。なお、図２（Ａ）において、符号７は試料を示
し、符号８は試料７における分析すべき箇所を示してい
る。
【００１２】また、前記分析位置を指定した後、実際に
試料分析を行っているモードにおいては、スペクトルや
マッピング像など分析によって得られるＥＤＸ画像につ
いてはこれを優先して画面中央に表示する必要があるの
で、図２（Ｂ）において符号６で示すように、ＥＤＸ画
像を優先してこれを表示画面４Ａの大部分を占めるよう
に大きく表示し、ＳＥＭ画像についてはこれを単にモニ
ターできる程度でよいから、符号５で示すように、表示
画面４Ａの片隅に小さく表示してあればよい。
試料分析を行っているモードにおいては、スペクトルや
マッピング像など分析によって得られるＥＤＸ画像につ
いてはこれを優先して画面中央に表示する必要があるの
で、図２（Ｂ）において符号６で示すように、ＥＤＸ画
像を優先してこれを表示画面４Ａの大部分を占めるよう
に大きく表示し、ＳＥＭ画像についてはこれを単にモニ
ターできる程度でよいから、符号５で示すように、表示
画面４Ａの片隅に小さく表示してあればよい。
【００１３】上記ＳＥＭ画像５およびＥＤＸ画像６のレ
イアウトは、ワンタッチで切り換えられるように、例え
ばファンクションキーに割り付けられている。
イアウトは、ワンタッチで切り換えられるように、例え
ばファンクションキーに割り付けられている。
【００１４】上記構成のエネルギー分散型Ｘ線マイクロ
アナライザにおいては、ＳＥＭ画像５とＥＤＸ画像６を
分析モードに応じた最適な表示パターンで表示できるよ
うに構成されているとともに、そのレイアウト状態がフ
ァンクションキーに予め割り付けてあるので、ＳＥＭ画
像５とＥＤＸ画像６とを分析モードに最も適した状態で
表示することができるので、表示画面４Ａが小さくても
そのときの分析モードに最適な画像を大きく、見やすく
表示することができるとともに、その表示のための操作
も簡単に行うことができる。
アナライザにおいては、ＳＥＭ画像５とＥＤＸ画像６を
分析モードに応じた最適な表示パターンで表示できるよ
うに構成されているとともに、そのレイアウト状態がフ
ァンクションキーに予め割り付けてあるので、ＳＥＭ画
像５とＥＤＸ画像６とを分析モードに最も適した状態で
表示することができるので、表示画面４Ａが小さくても
そのときの分析モードに最適な画像を大きく、見やすく
表示することができるとともに、その表示のための操作
も簡単に行うことができる。
【００１５】上述の実施例においては、ＳＥＭ２および
ＥＤＸ３を１台のコンピュータ１で制御し、ＳＥＭ画像
５およびＥＤＸ画像６を一つのＣＲＴ４の表示画面４Ａ
に表示させるようにしているが、この発明はこれに限ら
れるものではなく、例えば、ＳＥＭ２およびＥＤＸ３を
それぞれ別のコンピュータで制御するが、ＳＥＭ画像５
およびＥＤＸ画像６を共通のＣＲＴで表示するような場
合にも適用できる。以下、これを図３を参照しながら説
明する。
ＥＤＸ３を１台のコンピュータ１で制御し、ＳＥＭ画像
５およびＥＤＸ画像６を一つのＣＲＴ４の表示画面４Ａ
に表示させるようにしているが、この発明はこれに限ら
れるものではなく、例えば、ＳＥＭ２およびＥＤＸ３を
それぞれ別のコンピュータで制御するが、ＳＥＭ画像５
およびＥＤＸ画像６を共通のＣＲＴで表示するような場
合にも適用できる。以下、これを図３を参照しながら説
明する。
【００１６】図３において、８，９はそれぞれＳＥＭ
２、ＥＤＸ３を制御するパーソナルコンピュータ（パソ
コン）である。１０，１１はＳＥＭ２、ＥＤＸ３に共通
の表示装置としてのＣＲＴ、入力装置としてのキーボー
ドである。そして、例えばＳＥＭ用のパソコン８にはビ
デオキャプチャの機能が備えられており、１２はそのビ
デオキャプチャボードで、ＥＤＸ３側のパソコン９のコ
ネクタとは信号ケーブル１３で接続されている。なお、
１４はキーボード１１からパソコン９を制御するための
通信線である。
２、ＥＤＸ３を制御するパーソナルコンピュータ（パソ
コン）である。１０，１１はＳＥＭ２、ＥＤＸ３に共通
の表示装置としてのＣＲＴ、入力装置としてのキーボー
ドである。そして、例えばＳＥＭ用のパソコン８にはビ
デオキャプチャの機能が備えられており、１２はそのビ
デオキャプチャボードで、ＥＤＸ３側のパソコン９のコ
ネクタとは信号ケーブル１３で接続されている。なお、
１４はキーボード１１からパソコン９を制御するための
通信線である。
【００１７】このように構成されたエネルギー分散型Ｘ
線マイクロアナライザにおいても、ＥＤＸ用のパソコン
９にメモリされている内容をＳＥＭ用のパソコン８によ
るビデオキャプチャによってＳＥＭ用のＣＲＴ１０に表
示させることができる。この場合においても、分析モー
ドに応じてワンタッチでＳＥＭ画像およびＥＤＸ画像の
レイアウトを変えることができる。
線マイクロアナライザにおいても、ＥＤＸ用のパソコン
９にメモリされている内容をＳＥＭ用のパソコン８によ
るビデオキャプチャによってＳＥＭ用のＣＲＴ１０に表
示させることができる。この場合においても、分析モー
ドに応じてワンタッチでＳＥＭ画像およびＥＤＸ画像の
レイアウトを変えることができる。
【００１８】なお、この発明は、上記各実施例に限られ
るものではなく、ＴＥＭとＥＤＸとを組み合わせたエネ
ルギー分散型Ｘ線マイクロアナライザにも同様に適用で
きることはいうまでもない。
るものではなく、ＴＥＭとＥＤＸとを組み合わせたエネ
ルギー分散型Ｘ線マイクロアナライザにも同様に適用で
きることはいうまでもない。
【００１９】また、表示装置としてはＣＲＴ以外の液晶
を用いたものも採用できる。
を用いたものも採用できる。
【００２０】
【発明の効果】この発明のエネルギー分散型Ｘ線マイク
ロアナライザにおいては、電子顕微鏡画像およびＸ線画
像の表示パターンを予め設定しておき、分析モードに応
じた画像表示を行なえるようにして、分析モードに応じ
て電子顕微鏡画像あるいはＥＤＸ画像のいずれかを優先
して表示できるので、表示画面が小さくても、分析モー
ドに応じて電子顕微鏡画像あるいはＥＤＸ画像の観察が
容易となる。そして、画面の切り換えがワンタッチで行
えるので、操作が容易である。
ロアナライザにおいては、電子顕微鏡画像およびＸ線画
像の表示パターンを予め設定しておき、分析モードに応
じた画像表示を行なえるようにして、分析モードに応じ
て電子顕微鏡画像あるいはＥＤＸ画像のいずれかを優先
して表示できるので、表示画面が小さくても、分析モー
ドに応じて電子顕微鏡画像あるいはＥＤＸ画像の観察が
容易となる。そして、画面の切り換えがワンタッチで行
えるので、操作が容易である。
【００２１】特に、請求項２に記載のエネルギー分散型
Ｘ線マイクロアナライザによれば、大きなスペースも必
要とせず、また、一つの画面を観察するだけでよいとい
った実用的な効果を奏し、電子顕微鏡とＸ線分析装置と
を一体化した所謂一体化システムをコンパクトで操作性
の優れたものに構成できる。
Ｘ線マイクロアナライザによれば、大きなスペースも必
要とせず、また、一つの画面を観察するだけでよいとい
った実用的な効果を奏し、電子顕微鏡とＸ線分析装置と
を一体化した所謂一体化システムをコンパクトで操作性
の優れたものに構成できる。
【図１】この発明のエネルギー分散型Ｘ線マイクロアナ
ライザの一例を概略的に示す図である。
ライザの一例を概略的に示す図である。
【図２】前記エネルギー分散型Ｘ線マイクロアナライザ
の動作説明図である。
の動作説明図である。
【図３】この発明の他の実施例を示す概略構成図であ
る。
る。
【図４】従来技術を説明するための図である。
１…コンピュータ、２…電子顕微鏡、３…Ｘ線分析装
置、４…表示装置、５…ＳＥＭ画像、６…ＥＤＸ画像、
８，９…コンピュータ、１０…表示装置。
置、４…表示装置、５…ＳＥＭ画像、６…ＥＤＸ画像、
８，９…コンピュータ、１０…表示装置。
Claims (3)
- 【請求項１】 電子顕微鏡とエネルギー分散型Ｘ線分析
装置とこれらを制御するコンピュータとからなり、電子
顕微鏡によって得られる電子顕微鏡画像とエネルギー分
散型Ｘ線分析装置によって得られるＸ線スペクトルおよ
び画像をそれぞれ処理し、コンピュータに接続された表
示装置の画面上に表示するように構成されたエネルギー
分散型Ｘ線マイクロアナライザにおいて、前記両画像の
表示パターンを予め設定しておき、分析モードに応じた
画像表示を行なえるようにしたことを特徴とするエネル
ギー分散型Ｘ線マイクロアナライザ。 - 【請求項２】 電子顕微鏡およびエネルギー分散型Ｘ線
分析装置が一台のコンピュータで制御され、電子顕微鏡
画像およびＸ線スペクトルおよび画像が前記コンピュー
タに接続された一つの表示装置に表示されるようにして
ある請求項１に記載のエネルギー分散型Ｘ線マイクロア
ナライザ。 - 【請求項３】 電子顕微鏡およびＸ線分析装置がそれぞ
れ独立した別のコンピュータで制御され、電子顕微鏡画
像およびＸ線スペクトルおよび画像が前記コンピュータ
にそれぞれ接続された表示装置に表示されるようにして
ある請求項１に記載のエネルギー分散型Ｘ線マイクロア
ナライザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9087604A JPH10260144A (ja) | 1997-03-20 | 1997-03-20 | エネルギー分散型ｘ線マイクロアナライザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9087604A JPH10260144A (ja) | 1997-03-20 | 1997-03-20 | エネルギー分散型ｘ線マイクロアナライザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10260144A true JPH10260144A (ja) | 1998-09-29 |
Family
ID=13919586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9087604A Pending JPH10260144A (ja) | 1997-03-20 | 1997-03-20 | エネルギー分散型ｘ線マイクロアナライザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10260144A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004191187A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Hitachi Ltd | 欠陥組成分析方法及び装置 |
| JP2007181522A (ja) * | 2006-01-05 | 2007-07-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波診断装置 |
| WO2012141396A1 (en) * | 2011-04-14 | 2012-10-18 | Coxem Co., Ltd | Combine apparatus of scanning electron microscope and energy dispersive x-ray spectroscopy |
| JP2015184040A (ja) * | 2014-03-20 | 2015-10-22 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | エネルギー分散型ｘ線分析装置及びエネルギー分散型ｘ線分析方法 |
-
1997
- 1997-03-20 JP JP9087604A patent/JPH10260144A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004191187A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Hitachi Ltd | 欠陥組成分析方法及び装置 |
| JP2007181522A (ja) * | 2006-01-05 | 2007-07-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波診断装置 |
| WO2012141396A1 (en) * | 2011-04-14 | 2012-10-18 | Coxem Co., Ltd | Combine apparatus of scanning electron microscope and energy dispersive x-ray spectroscopy |
| KR101240290B1 (ko) | 2011-04-14 | 2013-03-11 | (주)코셈 | 주사전자현미경과 ｘ선분석기의 통합장치 |
| JP2015184040A (ja) * | 2014-03-20 | 2015-10-22 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | エネルギー分散型ｘ線分析装置及びエネルギー分散型ｘ線分析方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040210 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
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|
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