JPH10321177A - 電子線装置の装置状態表示方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 表示装置を付加することなく、電子線装置の
装置状態を常時監視する電子線装置の装置状態表示方法
を提供する。 【解決手段】 電子線装置（電子線マイクロアナライザ
４）に接続された制御装置１が備えるモニター２の表示
方法において、モニター２は、表示内容を切り換え表示
可能とする第１表示領域２１と前記第１表示領域２１と
独立した第２表示領域２２を同一表示画面上に作成し、
第２表示領域２２に電子線装置（４）の装置状態を常時
表示する、これによって、表示装置を付加することな
く、電子線装置の装置状態を常に監視可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子線マイクロア
ナライザや走査電子顕微鏡等の電子線装置に関し、特に
電子線装置の装置状態を表示する表示方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子線マイクロアナライザや走査電子顕
微鏡等の電子線装置において、電子線装置の稼働中の状
態を知るために、電子線装置の真空度や電子線源の加速
電圧等の各種データを表示する必要がある。従来、この
ような電子線装置の装置状態を表示するために、専用の
表示ユニットを用いたり、あるいは装置制御用コンピュ
ータを備えた電子線装置の場合には、このコンピュータ
に接続した装置状態表示用のモニターを用いている。ま
た、上記専用の表示ユニットやモニターに表示する他
に、測定データをモニターやプリンタに表示あるいは記
録したり、また、電子線装置の機械的駆動部の動作を目
視することによっても、分析を実行中の装置状態をある
程度知ることができる。

【０００３】このような専用の表示ユニットや装置制御
用コンピュータに接続した装置状態表示用のモニターを
用いた表示方法では、電子線装置の装置状態のみを表示
することができるものの、装置状態表示に専用の表示装
置を必要とするという問題があり、また、そのために電
子線装置全体が大型化するという問題もある。また、測
定データや駆動部の動作によって間接的に測定状態を知
る方法では、測定状態を迅速かつ詳細に知ることができ
ないという問題がある。

【０００４】一方、近年のコンピュータシステムはＯＳ
のマルチタスク化やネットワーク化等の性能向上に伴っ
て、電子線装置の分析操作とデータ解析とを並行処理し
たり、電子線装置とコンピュータとをネットワークで接
続することによって、離れた場所に設置したコンピュー
タ上でデータ解析等のデータ処理を行うことも可能とな
り、一つの表示画面上に複数の表示内容をウィンドウ表
示を用いて表示することも行われている。

【０００５】そこで、電子線装置においても、ウィンド
ウ表示を利用して一つの表示画面上に複数の表示内容を
表示する方法も採用されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、１台の
コンピュータ上で分析操作とデータ解析を並行処理する
場合には、コンピュータ操作を容易とするために、分析
操作用のウィンドウや装置データ表示用のウィンドウを
アイコン化する等の処理を行って、表示画面上には処理
中にウィンドウのみを表示し、他のウィンドウはバック
グラウンドに隠した状態としている。そのため、電子線
装置の装置状態や測定の進捗状況を知るためには、その
度毎にオペレータの操作を必要とし、操作が煩雑となる
という問題がある。

【０００７】また、電子線装置により分析が長時間にわ
たる場合には、オペレータは必要なときのみ表示画面を
監視し、通常はコンピュータから離れることが多くな
る。このような場合には、別のオペレータによる誤操作
が生じ、場合によっては測定が不可能となるおそれもあ
る。

【０００８】そこで、本発明は前記した従来の問題点を
解決し、表示装置を付加することなく、電子線装置の装
置状態を常時監視することができる電子線装置の装置状
態表示方法を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の電子線装置の装
置状態表示方法は、電子線装置に接続された制御装置が
備えるモニターの表示方法において、モニター上に、表
示内容を切り換え表示可能とする第１表示領域と前記第
１表示領域と独立した第２表示領域を同一表示画面上に
作成し、第２表示領域に電子線装置の装置状態を常時表
示する表示方法であり、これによって、表示装置を付加
することなく、電子線装置の装置状態を常に監視可能と
するものである。

【００１０】制御装置は、インターフェース等を介して
電子線装置と接続し、電子線装置との間で制御コマンド
や測定データ等の信号授受を行って電子線装置の装置制
御を行い、分析操作や測定データの解析を行う装置であ
り、モニターを備える。このモニターは、同一表示画面
上に複数の表示領域を表示するウィンドウと呼ばれる表
示機能を備え、第１表示領域は表示内容を切り換え表示
可能とし、第２表示領域は電子線装置の装置状態を常時
表示する。これによって、電子線装置の装置状態を、制
御装置の動作内容や第１表示領域の表示内容にかかわら
ず常に第２表示領域に表示することができる。

【００１１】第１表示領域は、分析条件の設定等を行う
分析操作等の装置制御や、電子線装置が測定した測定デ
ータや、測定データ等の解析を行うデータ解析を表示内
容とすることができ、切り換え表示することができる。
第２表示領域は、電子線装置の装置状態をグラフィック
表示や数値表示で表示することができる。

【００１２】本発明の電子線装置の装置状態表示方法に
よれば、制御装置は、インターフェース等を介して電子
線装置と接続し、電子線装置との間で制御コマンドや測
定データ等の信号授受を行って、電子線装置の装置制御
を行い、分析操作や測定データの解析を行い、モニター
上の第１表示領域にこれらの装置制御，測定データ，デ
ータ解析等に関する表示を必要に応じて切り換えて行
う。また、制御装置は、モニター上の第２表示領域に上
に表示し電子線装置の装置状態を常時表示する。

【００１３】本発明の実施態様は、第２表示領域に上に
表示する電子線装置の装置状態として、真空度、加速電
圧、エミッション電流、プローブ径、プローブ電流、吸
引電流を用いて表示することができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照しながら詳細に説明する。本発明の実施の形態の構
成例について、図１の本発明の電子線装置の装置状態表
示方法を説明するための概略構成図を用いて説明する。
なお、図１では、電子線装置として電子線マイクロアナ
ライザの場合を示し、また、本発明の電子線装置の装置
状態表示方法の説明に要する部分のみを示し、その他の
部分については省略している。

【００１５】図１に示す制御装置１は、電子線マイクロ
アナライザ４とインターフェース（図示していない）を
介して接続し、電子線マイクロアナライザ４に制御コマ
ンドを送信して装置の制御を行い、電子線マイクロアナ
ライザ４から電子線マイクロアナライザの真空度、加速
電圧、エミッション電流、プローブ径、プローブ電流
（吸収電流）等の装置状態データや、電子線マイクロア
ナライザが測定した測定データを受信する。

【００１６】図１中の制御装置１において、制御装置１
が備える各機能を、該機能を実現するプログラム（破線
内に示している）によって表す。制御装置１が備えるプ
ログラムは、制御装置全体を制御するメイン制御プログ
ラム１０と、電子線マイクロアナライザ４との間で信号
の授受を行って電子線マイクロアナライザ４の動作に関
連する制御を行う装置制御用プログラム１１と、電子線
マイクロアナライザ４の装置状態の表示制御を行う装置
状態表示用プログラム１２と、分析操作に関連する動作
および表示を制御する分析操作用プログラム１３と、電
子線マイクロアナライザ４の測定データの表示を制御す
る測定データ表示用プログラム１４と、測定データ等の
データを解析するためのデータ解析用プログラム１５と
を備える。

【００１７】ここで、メイン制御プログラム１０は、装
置制御用プログラム１１とデータ解析用プログラム１５
とを制御し、装置制御用プログラム１１は装置状態表示
用プログラム１２と分析操作用プログラム１３と測定デ
ータ表示用プログラム１４を制御する。したがって、デ
ータ解析用プログラム１５は電子線マイクロアナライザ
４と独立して実行することができ、データ解析と電子線
マイクロアナライザ４の動作とを並行して行うことがで
きる。また、装置状態表示用プログラム１２と分析操作
用プログラム１３と測定データ表示用プログラム１４
は、装置制御用プログラム１１中のデータを読み込むこ
とができ、電子線マイクロアナライザ４の動作に影響を
与えることなくプログラムを実行することができる。ま
た、メインプログラム１０は、入力装置３から装置制御
指示や自動分析指示等の指示コマンドが入力される。

【００１８】制御装置１はモニター２を備える。モニタ
ー２は第１表示領域２１と第２表示領域２２、およびア
イコン２３，２４を備える。第１表示領域２１は、分析
操作用プログラム１３、測定データ表示用プログラム１
４、およびデータ解析用プログラム１５によって表示制
御が行われる。分析操作用プログラム１３は、分析条件
等の分析操作に伴う各種設定のための表示制御を行い、
測定データ表示用プログラム１４は電子線マイクロアナ
ライザ４の測定データを測定制御用プログラム１１から
受け取って表示を行い、データ解析用プログラム１５は
図示しないデータ記憶装置の格納してある測定データや
その他のデータを用いて得た解析データを表示する。

【００１９】第１表示領域２１の表示内容は、メイン制
御プログラム１１の制御によって切り換えることがで
き、第１表示領域２１に表示しない表示内容はアイコン
２３，２４に表示することができる。表示内容の切り換
えは、アイコン２３，２４の選択あるいは入力装置３か
らの指示により行うことができる。

【００２０】第２表示領域２２は装置状態表示用プログ
ラム１２によって表示制御が行われ、電子線マイクロア
ナライザ４の装置状態データを測定制御用プログラム１
１から受け取って表示を行う。この表示は、第１表示領
域２１の表示内容や制御装置１の動作と独立して常時行
うものであり、制御装置１の動作に影響を与えない程度
の周期（例えば、０．１秒〜数秒間隔）で、装置状態表
示用プログラム１２に格納されている装置状態データを
読み出して表示を行う。したがって、第１表示領域２１
の表示は、制御装置１や電子線マイクロアナライザ４の
動作に影響を与えることなく行うことができる。

【００２１】図１において、第２表示領域２２は、モニ
ター２の表示画面上において、第１表示領域２１と独立
して表示し、表示位置および表示の大きさは任意とする
ことができる。通常、第２表示領域２２の表示位置およ
び表示の大きさは、第１表示領域２１の表示に支障が生
じない位置および大きさに設定する。また、制御装置１
およびモニター２の操作を休止する場合には、第２表示
領域２２をモニターの表示画面中央に大きく表示し、電
子線マイクロアナライザ４が使用中であることの注意を
喚起することができる。

【００２２】また、第２表示領域２２もアイコン化する
ことができるが、このアイコン化の処理を装置制御用プ
ログラムが制御することによって、アイコン化の指示を
行った場合にも第２表示領域２２のアイコン化を禁止し
て、装置状態の常時の表示を確実に行うことができる。

【００２３】次に、図２を用いて第２表示領域２２の装
置状態表示用ウィンドウの表示例について説明する。図
２において、第２表示領域２２は、電子線マイクロアナ
ライザ４等の電子線装置の概略構成を模式的にグラフィ
ック表示し、装置状態をグラフィック表示あるいは数値
表示する。図２は、電子線、試料ステージ、Ｘ分光器等
が模式的にグラフィック表示し、電子線や試料ステージ
は走査動作と共に移動させ、また、Ｘ分光器３１は分光
結晶の位置を移動して表示することができる。この移動
表示によって、電子線装置が動作中であることを表示す
ることができる。なお、グラフィック表示は色分けによ
って見やすさを向上させることができる。

【００２４】また、加速電圧３２，エミッション電流３
３，プローブ径３４，真空度３５，プローブ電流３６，
吸引電流３７等の数値や、分析の進捗状況表示３８，３
９や残り時間４０や動作内容の表示４１等を関連する位
置に表示する。動作内容の表示４１として、実行中の分
析モード名やファイル名の他、測定に関するコメントを
表示することができる。また、上記数値は、異常時には
表示色を変化させることもできる。

【００２５】次に、本発明の電子線装置の装置状態表示
方法の動作を、図３のフローチャートを用いて説明す
る。メイン制御プログラム１０は、入力装置３から起動
制御信号が入力されると（ステップＳ１）、装置制御用
プログラム１１を起動する（ステップＳ２）。装置制御
用プログラム１１は、電子線装置（電子線マイクロアナ
ライザ４）と通信を開始する（ステップＳ３）。

【００２６】また、装置制御用プログラム１１は、装置
状態表示用プログラム１２を起動して第２表示領域２２
に装置状態表示用ウィンドウを作成し（ステップＳ
４）、電子線装置から受信した装置状態データを装置状
態表示用ウィンドウに表示する。この装置状態データの
表示は装置の動作中において常時行う（ステップＳ
５）。

【００２７】また、装置制御用プログラム１１は、分析
操作用プログラム１３を起動して第１表示領域２１に分
析操作用ウィンドウを作成し（ステップＳ６）、装置制
御用プログラム１１から表示内容を受け分析操作用ウィ
ンドウに表示する（ステップＳ７）。

【００２８】以下、オペレータの指示に従って表示制御
を行う（ステップＳ８）。オペレータの指示が分析操作
の場合には（ステップＳ９）、装置制御用プログラム１
１は分析操作に関する制御コマンドを電子線装置に送信
し（ステップＳ１０）、電子線装置から装置状態データ
を受信して、分析操作用ウィンドウに表示する（ステッ
プＳ１１）。

【００２９】オペレータの指示が定量分析や定性分析等
の自動分析の場合には（ステップＳ１２）、装置制御用
プログラム１１は、測定データ表示用プログラム１４を
起動して第１表示領域２１に測定データ表示用ウィンド
ウを作成し（ステップＳ１３）、必要な場合には制御コ
マンドを電子線装置に送信して（ステップＳ１４）、電
子線装置から測定データを受信して、測定表示用ウィン
ドウに表示する（ステップＳ１５）。

【００３０】オペレータの指示がデータ解析の場合には
（ステップＳ１６）、メイン制御プログラム１１は、デ
ータ解析用プログラム１５を起動して第１表示領域２１
にデータ解析用ウィンドウを作成し（ステップＳ１
７）、図示しない記憶装置から必要なデータを読み込ん
で解析処理を行い（ステップＳ１８）、解析データをデ
ータ解析用ウィンドウに表示する（ステップＳ１９）。

【００３１】第１表示領域２１において、表示中以外の
ウィンドウを表示する指示がある場合には（ステップＳ
２０）、表示中のウィンドウをアイコン化して、指示さ
れたウィンドウを表示する（ステップＳ２１）。

【００３２】この動作によって、装置状態を装置状態表
示用ウィンドウに常に表示することができる。上記装置
状態表示用ウィンドウにおいて、オペレータの要求に応
じて表示内容の変更することもできる。上記実施形態
は、１台のコンピュータの場合について説明している
が、装置制御用のコンピュータとネットワーク接続され
た他のコンピュータにおいて、同様の表示制御を行い、
リモートモニターを行うこともできる。上記実施形態に
おいて、表示する測定データは、測定中の途中経過を表
示することもできる。

【００３３】本発明の電子線装置の装置状態表示方法に
よれば、比較的小さな表示領域にグラフィカル表示で装
置状態を表示することができるため、データ測定とデー
タ解析を１台のコンピュータおよびモニターで並列処理
する場合でも、データ解析作業を妨げることなく装置状
態の監視を行うことができ、また、測定中のデータの監
視をハードウエアの追加を行うことなく実現し、操作性
を向上させることができる。

【００３４】また、本発明の電子線装置の装置状態表示
方法によれば、電子線装置が稼働中あるいは測定中であ
る動作状態を容易に認識することができ、視認性を向上
させることができる。

【００３５】また、本発明の電子線装置の装置状態表示
方法によれば、装置状態を常時表示することによって、
オペレータが制御装置から離れた状況であっても、誤動
作の発生を防止することができ、測定データや電子線装
置および制御装置の安全性をはかることができる。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の電子線装
置の装置状態表示方法によれば、表示装置を付加するこ
となく、電子線装置の装置状態を常時監視することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電子線装置の装置状態表示方法を説明
するための概略構成図である。

【図２】本発明の第２表示領域２２の装置状態表示用ウ
ィンドウの表示例を説明するための概略図である。

【図３】本発明の電子線装置の装置状態表示方法の動作
を説明するためのフローチャートである。

【符号の説明】

１…制御装置、２…モニター、３…入力装置、４…電子
線マイクロアナライザ、１０…メイン制御プログラム、
１１…装置制御用プログラム、１２…装置状態表示用プ
ログラム、１３…分析操作用プログラム、１４…測定デ
ータ表示用プログラム、１５…データ解析用プログラ
ム、２１…第１表示領域、２２…第１表示領域、２３，
２４…アイコン、３１…Ｘ分光器、３２…加速電圧、３
３…エミッション電流、３４…プローブ径、３５…真空
度、３６…プローブ電流、３７…吸引電流、３８，３９
…分析の進捗状況表示、４０…残り時間、４１…動作内
容の表示。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子線装置に接続された制御装置が備え
   るモニターの表示方法において、モニター上に、表示内
   容を切り換え表示可能とする第１表示領域と前記第１表
   示領域と独立した第２表示領域を同一表示画面上に作成
   し、第２表示領域に電子線装置の装置状態を常時表示す
   ることを特徴とする電子線装置の装置状態表示方法。