JPH10269682A - ハードディスク表面検査装置 - Google Patents
ハードディスク表面検査装置Info
- Publication number
- JPH10269682A JPH10269682A JP6773297A JP6773297A JPH10269682A JP H10269682 A JPH10269682 A JP H10269682A JP 6773297 A JP6773297 A JP 6773297A JP 6773297 A JP6773297 A JP 6773297A JP H10269682 A JPH10269682 A JP H10269682A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- disk
- intensity distribution
- light
- luminous intensity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光源の光度分布パターンを光センサ側で測定
しようとすると、操作が面倒であるとともに正確な測定
が困難であった。 【解決手段】 光源４を支持するとともに光軸Ｃと直交
して光度分布の増減する方向に光源４を往復移動させる
移動機構１０を備え、テスト用ディスク１１がセットさ
れている状態で、移動機構１０を駆動して光源４を往復
移動させている間に、テスト用ディスク１１に反射され
て１個の光センサ６に入力される反射光の光量の変化か
ら光源４の光度分布を測定する。
しようとすると、操作が面倒であるとともに正確な測定
が困難であった。 【解決手段】 光源４を支持するとともに光軸Ｃと直交
して光度分布の増減する方向に光源４を往復移動させる
移動機構１０を備え、テスト用ディスク１１がセットさ
れている状態で、移動機構１０を駆動して光源４を往復
移動させている間に、テスト用ディスク１１に反射され
て１個の光センサ６に入力される反射光の光量の変化か
ら光源４の光度分布を測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記憶装置の記
録担体に用いられる金属製ディスクいわゆるハードディ
スクの表面を光学的に検査するハードディスク表面検査
装置に関する。
録担体に用いられる金属製ディスクいわゆるハードディ
スクの表面を光学的に検査するハードディスク表面検査
装置に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】今回、別出願として本
出願人は、ハードディスクの表面を自動的に検査するハ
ードディスク表面検査装置を提案した。この装置は、光
センサとして、複数のリニアイメージセンサを用い、こ
れらリニアイメージセンサの素子方向をそれぞれディス
ク半径方向に配置するとともに、別途、明暗分布パター
ンを有する光源を、ディスク上方に設置しておいてディ
スク表面を照射し、その反射光をリニアイメージセンサ
が受光することで、ディスク表面を半径方向に主走査す
る。同時に、ディスクを回転させて回転方向に副走査す
ることにより、ディスクの全表面を走査する。次に、デ
ィスク表面の反射光を各光センサが受光し、その受光量
の分布パターンを作成し、さらに、その受光量分布パタ
ーンと光源の分布パターンと比較することでディスク表
面を検査するものである。
出願人は、ハードディスクの表面を自動的に検査するハ
ードディスク表面検査装置を提案した。この装置は、光
センサとして、複数のリニアイメージセンサを用い、こ
れらリニアイメージセンサの素子方向をそれぞれディス
ク半径方向に配置するとともに、別途、明暗分布パター
ンを有する光源を、ディスク上方に設置しておいてディ
スク表面を照射し、その反射光をリニアイメージセンサ
が受光することで、ディスク表面を半径方向に主走査す
る。同時に、ディスクを回転させて回転方向に副走査す
ることにより、ディスクの全表面を走査する。次に、デ
ィスク表面の反射光を各光センサが受光し、その受光量
の分布パターンを作成し、さらに、その受光量分布パタ
ーンと光源の分布パターンと比較することでディスク表
面を検査するものである。
【０００３】ここでは、光源の光度分布パターンを基準
として、それに光センサの受光量分布パターンを比較し
ているため、光源の光度分布パターンを予め正確に測定
しておかなければならない。その測定の方法として、表
面を鏡面に近い状態に研磨したテスト用ディスクをセッ
トしてその反射光を複数の光センサにより受光しそれぞ
れの受光量から、光センサと光センサの間の受光量を計
算により補間して全体の分布パターンを作成することも
可能であるが、この場合は測定が数点であるため、充分
な精度が得られない。
として、それに光センサの受光量分布パターンを比較し
ているため、光源の光度分布パターンを予め正確に測定
しておかなければならない。その測定の方法として、表
面を鏡面に近い状態に研磨したテスト用ディスクをセッ
トしてその反射光を複数の光センサにより受光しそれぞ
れの受光量から、光センサと光センサの間の受光量を計
算により補間して全体の分布パターンを作成することも
可能であるが、この場合は測定が数点であるため、充分
な精度が得られない。
【０００４】そこで充分な精度を得ようとすると、１個
の光センサを光軸と直交する方向に移動させて、受光量
を連続して測定することが必要となる。しかし、この方
法を実際の装置で実現しようとすると、既設の光センサ
の１個を測定用とし、残りの光センサを一時的に取り外
してから、測定用の光センサを移動させなければなら
ず、その作業が煩わしい。また、光源は、球切れ等のた
め、途中で交換する場合があり、その場合、新規に取り
替えた光源についても、再度テスト用ディスクをセット
して反射光を測定し光度分布パターンを作成する煩わし
さがある。さらには、これらの測定で正確な光度分布パ
ターンが得られない場合は、検査精度を低下させること
になった。
の光センサを光軸と直交する方向に移動させて、受光量
を連続して測定することが必要となる。しかし、この方
法を実際の装置で実現しようとすると、既設の光センサ
の１個を測定用とし、残りの光センサを一時的に取り外
してから、測定用の光センサを移動させなければなら
ず、その作業が煩わしい。また、光源は、球切れ等のた
め、途中で交換する場合があり、その場合、新規に取り
替えた光源についても、再度テスト用ディスクをセット
して反射光を測定し光度分布パターンを作成する煩わし
さがある。さらには、これらの測定で正確な光度分布パ
ターンが得られない場合は、検査精度を低下させること
になった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで上記課題を解決す
るために、本発明は、光軸と直交する方向に中心が明る
く外方が暗い光度分布を有する光源を検査対象ディスク
上方に設置して検査ディスクを照射するとともに、光セ
ンサを検査対象ディスクの上方に複数個配設しておき、
検査対象ディスク上の同一ポイントを同時に半径方向に
主走査しながら検査対象ディスクを回転させて副走査を
することにより各光センサに入力されたディスクからの
反射光の受光量の分布パターンを作成し、その受光量分
布パターンと光源の分布パターンとを比較することによ
り欠陥の有無を判定するハードディスク表面検査装置に
おいて、光源を支持するとともに光軸と直交して光度分
布の増減する方向に光源を往復移動させる光源移動機構
を備え、テスト用ディスクがセットされている状態で、
光源移動機構を駆動して光源を往復移動させている間
に、光源から出射されてテスト用ディスクに反射され１
個の光センサに入力される反射光の光量の変化から光源
の光度分布を測定することを特徴とする。
るために、本発明は、光軸と直交する方向に中心が明る
く外方が暗い光度分布を有する光源を検査対象ディスク
上方に設置して検査ディスクを照射するとともに、光セ
ンサを検査対象ディスクの上方に複数個配設しておき、
検査対象ディスク上の同一ポイントを同時に半径方向に
主走査しながら検査対象ディスクを回転させて副走査を
することにより各光センサに入力されたディスクからの
反射光の受光量の分布パターンを作成し、その受光量分
布パターンと光源の分布パターンとを比較することによ
り欠陥の有無を判定するハードディスク表面検査装置に
おいて、光源を支持するとともに光軸と直交して光度分
布の増減する方向に光源を往復移動させる光源移動機構
を備え、テスト用ディスクがセットされている状態で、
光源移動機構を駆動して光源を往復移動させている間
に、光源から出射されてテスト用ディスクに反射され１
個の光センサに入力される反射光の光量の変化から光源
の光度分布を測定することを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、図に沿って本発明の実施形
態を説明する。図１は本発明に係るハードディスク表面
検査装置の実施形態の構成の概要を示す説明図である。
図において、１は検査対象のディスクであり、ターンテ
ーブル２上に載置されている。ターンテーブル２は、水
平方向に往復動する駆動部本体３に支持されて回転駆動
される。ターンテーブル２の上方には、出射光軸Ｃをデ
ィスク１に対して斜め方向にした光源４が配設されてい
る。この光源４は移動機構１０により定位置に支持され
ているとともに、後述する光源の光度分布を測定する際
に、光軸Ｃと直交する方向であって光度分布の増減する
方向に往復駆動される。光源４の出射光は、図中に示す
ようにその光軸Ｃと直交する方向に中心が明るく、外側
が暗い光度分布を有する。
態を説明する。図１は本発明に係るハードディスク表面
検査装置の実施形態の構成の概要を示す説明図である。
図において、１は検査対象のディスクであり、ターンテ
ーブル２上に載置されている。ターンテーブル２は、水
平方向に往復動する駆動部本体３に支持されて回転駆動
される。ターンテーブル２の上方には、出射光軸Ｃをデ
ィスク１に対して斜め方向にした光源４が配設されてい
る。この光源４は移動機構１０により定位置に支持され
ているとともに、後述する光源の光度分布を測定する際
に、光軸Ｃと直交する方向であって光度分布の増減する
方向に往復駆動される。光源４の出射光は、図中に示す
ようにその光軸Ｃと直交する方向に中心が明るく、外側
が暗い光度分布を有する。
【０００７】また、光源４の出射光がディスク１上の検
査ポイントＰで反射された反射光の延長線上であってそ
の光軸と直交する方向に、光源４の光度分布に対応して
３個の光センサ５〜７が配設されている。光センサ５〜
７は、検知した反射光の光量に応じた検知信号を判定部
８へ送る。また、駆動部本体３、光源４および移動機構
１０は、駆動制御部９により動作の制御がなされる。こ
の判定部８では、光センサ５〜７からの検知信号をディ
ジタル信号に変換し、その値から受光量の分布パターン
を作成する。次に、作成した受光量分布パターンと、光
源４の光度分布パターンとから反射率を算出し、その値
によりディスク１上の検査ポイントＰの状態の良否を判
定し、判定結果を出力する。
査ポイントＰで反射された反射光の延長線上であってそ
の光軸と直交する方向に、光源４の光度分布に対応して
３個の光センサ５〜７が配設されている。光センサ５〜
７は、検知した反射光の光量に応じた検知信号を判定部
８へ送る。また、駆動部本体３、光源４および移動機構
１０は、駆動制御部９により動作の制御がなされる。こ
の判定部８では、光センサ５〜７からの検知信号をディ
ジタル信号に変換し、その値から受光量の分布パターン
を作成する。次に、作成した受光量分布パターンと、光
源４の光度分布パターンとから反射率を算出し、その値
によりディスク１上の検査ポイントＰの状態の良否を判
定し、判定結果を出力する。
【０００８】次に、光源４を、新規にまたは交換のため
装置にセットした場合に、その光源４についての光度分
布パターンを測定する手順について説明する。最初に、
表面を鏡面状態に研磨したテスト用ディスク１１を、タ
ーンテーブル２にセットしてから、駆動制御部９により
光源４を点灯させるとともに移動機構１０を起動して、
光源４をその中央の光軸Ｃの両側であって光度分布の増
減する方向に往復移動させる。このとき、光軸Ｃがテス
ト用ディスク１１により反射された反射光の延長上に位
置する光センサ６の検知信号のみを判定部８に取り込む
ものとする。
装置にセットした場合に、その光源４についての光度分
布パターンを測定する手順について説明する。最初に、
表面を鏡面状態に研磨したテスト用ディスク１１を、タ
ーンテーブル２にセットしてから、駆動制御部９により
光源４を点灯させるとともに移動機構１０を起動して、
光源４をその中央の光軸Ｃの両側であって光度分布の増
減する方向に往復移動させる。このとき、光軸Ｃがテス
ト用ディスク１１により反射された反射光の延長上に位
置する光センサ６の検知信号のみを判定部８に取り込む
ものとする。
【０００９】それにより、図２に示されるように、光軸
Ｃの位置から出射される出射光の光度が光源４固有の光
度分布パターンに応じて増減する。つまり、移動機構１
０が光源４を一方の端部から他方の端部まで定速度で移
動させると、光センサ６の受光量から、時間の関数とし
た光源４の光度分布パターンを抽出することができる。
得られたパターンは判定部８内に光源の分布パターンと
して記憶し、以後の処理に用いる。ここで、移動機構１
０の送り量を信号として駆動制御部９から判定部８へ送
れば、その移動量と受光量とから光度分布パターンを抽
出することができる。光源４の光度分布の測定が終了し
たら、光源４を中央の定位置に復帰させることで、新規
な光源４による検査の開始が可能になる。
Ｃの位置から出射される出射光の光度が光源４固有の光
度分布パターンに応じて増減する。つまり、移動機構１
０が光源４を一方の端部から他方の端部まで定速度で移
動させると、光センサ６の受光量から、時間の関数とし
た光源４の光度分布パターンを抽出することができる。
得られたパターンは判定部８内に光源の分布パターンと
して記憶し、以後の処理に用いる。ここで、移動機構１
０の送り量を信号として駆動制御部９から判定部８へ送
れば、その移動量と受光量とから光度分布パターンを抽
出することができる。光源４の光度分布の測定が終了し
たら、光源４を中央の定位置に復帰させることで、新規
な光源４による検査の開始が可能になる。
【００１０】このように、本発明の実施形態では、光源
４に移動機構１０を設置して、光源４をその光度が増減
する方向に移動させ、１個の光センサ６に入射される受
光量の変化から光源４の光度分布パターンを自動的に抽
出するようにしたため、光センサ５〜７を移動させたり
取り外す操作が不用になるとともに、測定精度も向上す
る。なお、この実施形態では、光度分布パターンの測定
のために、光センサ６を用いたが、他の光センサ５，７
を用いることももちろん可能である。
４に移動機構１０を設置して、光源４をその光度が増減
する方向に移動させ、１個の光センサ６に入射される受
光量の変化から光源４の光度分布パターンを自動的に抽
出するようにしたため、光センサ５〜７を移動させたり
取り外す操作が不用になるとともに、測定精度も向上す
る。なお、この実施形態では、光度分布パターンの測定
のために、光センサ６を用いたが、他の光センサ５，７
を用いることももちろん可能である。
【００１１】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、光源
を支持するとともに光軸と直交して光度分布の増減する
方向に光源を往復移動させる光源移動機構を備え、テス
ト用ディスクがセットされている状態で、光源移動機構
を駆動して光源を往復移動させている間に、テスト用デ
ィスクに反射されて１個の光センサに入力される反射光
の光量の変化から光源の光度分布を測定することができ
るため、他の光センサを取り外す等の余分な作業が不要
になり、使い勝手が向上する。また、光源を自動的に移
動させて測定するため、測定精度も向上する。
を支持するとともに光軸と直交して光度分布の増減する
方向に光源を往復移動させる光源移動機構を備え、テス
ト用ディスクがセットされている状態で、光源移動機構
を駆動して光源を往復移動させている間に、テスト用デ
ィスクに反射されて１個の光センサに入力される反射光
の光量の変化から光源の光度分布を測定することができ
るため、他の光センサを取り外す等の余分な作業が不要
になり、使い勝手が向上する。また、光源を自動的に移
動させて測定するため、測定精度も向上する。
【図１】本発明に係るハードディスク表面検査装置の実
施形態の構成の概要を示す説明図である。
施形態の構成の概要を示す説明図である。
【図２】図１の実施形態の動作原理を示す説明図であ
る。
る。
１ ディスク ２ ターンテーブル ３ 駆動部本体 ４ 光源 ５〜７ 光センサ ８ 判定部 ９ 駆動制御部 １０ 移動機構 １１ テスト用ディスク Ｃ 光軸 Ｐ 検査ポイント
Claims (1)
- 【請求項１】 光軸と直交する方向に中心が明るく外方
が暗い光度分布を有する光源を検査対象ディスク上方に
設置して検査ディスクを照射するとともに、光センサを
検査対象ディスクの上方に複数個配設しておき、検査対
象ディスク上の同一ポイントを同時に半径方向に主走査
しながら検査対象ディスクを回転させて副走査をするこ
とにより各光センサに入力されたディスクからの反射光
の受光量の分布パターンを作成し、その受光量分布パタ
ーンと光源の分布パターンとを比較することにより欠陥
の有無を判定するハードディスク表面検査装置におい
て、 光源を支持するとともに光軸と直交して光度分布の増減
する方向に光源を往復移動させる光源移動機構と、 テスト用ディスクがセットされている状態で光源移動機
構を駆動して光源を往復移動させている間に、光源から
出射されてテスト用ディスクに反射され１個の光センサ
に入力される反射光の光量の変化から光源の光度分布を
測定する手段と、 を備えたことを特徴とするハードディスク表面検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6773297A JPH10269682A (ja) | 1997-03-21 | 1997-03-21 | ハードディスク表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6773297A JPH10269682A (ja) | 1997-03-21 | 1997-03-21 | ハードディスク表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10269682A true JPH10269682A (ja) | 1998-10-09 |
Family
ID=13353431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6773297A Withdrawn JPH10269682A (ja) | 1997-03-21 | 1997-03-21 | ハードディスク表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10269682A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3249351A4 (en) * | 2015-01-23 | 2018-08-15 | KYOCERA Corporation | Measuring apparatus and measuring method |
-
1997
- 1997-03-21 JP JP6773297A patent/JPH10269682A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3249351A4 (en) * | 2015-01-23 | 2018-08-15 | KYOCERA Corporation | Measuring apparatus and measuring method |
| US10240917B2 (en) | 2015-01-23 | 2019-03-26 | Kyocera Corporation | Measuring apparatus and measuring method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040601 |