JPH0197809A - 表面欠陥の検出器 - Google Patents
表面欠陥の検出器Info
- Publication number
- JPH0197809A JPH0197809A JP62253858A JP25385887A JPH0197809A JP H0197809 A JPH0197809 A JP H0197809A JP 62253858 A JP62253858 A JP 62253858A JP 25385887 A JP25385887 A JP 25385887A JP H0197809 A JPH0197809 A JP H0197809A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- fixed part
- signal line
- work piece
- case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E04—BUILDING
- E04F—FINISHING WORK ON BUILDINGS, e.g. STAIRS, FLOORS
- E04F11/00—Stairways, ramps, or like structures; Balustrades; Handrails
- E04F11/18—Balustrades; Handrails
- E04F2011/1868—Miscellaneous features of handrails not otherwise provided for
- E04F2011/1872—Miscellaneous features of handrails not otherwise provided for illuminated
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は表面欠陥の検出器に係り、殊に、例えばエンジ
ンのシリンダーブロックの筒穴のような穴部の内壁面の
巣、傷等の表面不良或は内壁面の荒目の検査用として好
適な検出器に係る。
ンのシリンダーブロックの筒穴のような穴部の内壁面の
巣、傷等の表面不良或は内壁面の荒目の検査用として好
適な検出器に係る。
（従来の技術）
本発明は、例えば、投光器から一定の強さの光を投光し
、被測定物から反射した光を受光し、受光量の変化を解
析して表面吠態を判定する検出器を対象とする。
、被測定物から反射した光を受光し、受光量の変化を解
析して表面吠態を判定する検出器を対象とする。
このような検出器は、一般に、投光器及び受光器などを
含む検出部と、この検出部に接続された信号線とを有し
ている。
含む検出部と、この検出部に接続された信号線とを有し
ている。
（発明が解決しようとする問題点）
この検出器によって筒室内壁面の巣、傷等を検出する場
合、従来第２図及び第３図に示す方法で行われていた。
合、従来第２図及び第３図に示す方法で行われていた。
第２図の場合は、測定すべきワーク１の筒室２内に上記
の検出部３を入れ、筒室壁面に対峙させた後、ワーク１
をその中心軸線に関して回転させ、同時に上下方向へス
ライドさせて全壁面を探査するものであ、る。この方法
では、ワークを回転させる必要があるが、大きな非円形
のワークを精度よく、比較的高速で回転させることは意
外に困難である。
の検出部３を入れ、筒室壁面に対峙させた後、ワーク１
をその中心軸線に関して回転させ、同時に上下方向へス
ライドさせて全壁面を探査するものであ、る。この方法
では、ワークを回転させる必要があるが、大きな非円形
のワークを精度よく、比較的高速で回転させることは意
外に困難である。
これに対し第３図の場合は、ワーク１を静止させておき
、検出部３を回転させながら上方または下方へスライド
させるものであり、第２図の場合のような問題点は生じ
ないが、他方において、検出部３を回転させるため、信
号線４にねじれが生じ、このため検出部３の回転数は必
然的に制約され、測定対象が制限されるという問題があ
る。
、検出部３を回転させながら上方または下方へスライド
させるものであり、第２図の場合のような問題点は生じ
ないが、他方において、検出部３を回転させるため、信
号線４にねじれが生じ、このため検出部３の回転数は必
然的に制約され、測定対象が制限されるという問題があ
る。
本発明の目的は、ワークを回転させる必要がなり、シか
も検出部の回転数に制約されない検出器を提供すること
にある。
も検出部の回転数に制約されない検出器を提供すること
にある。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、検出部を、信号線に接続される固定部と、こ
の固定部に対して回転自在の探査部とに分けて構成し、
両者の間の情報伝達を光線にて行うことによって上記の
目的を達成するものである。
の固定部に対して回転自在の探査部とに分けて構成し、
両者の間の情報伝達を光線にて行うことによって上記の
目的を達成するものである。
（実施例）
第１図に示す本発明の実施例において、図中ｌＯはレー
ザ光線を放射するレーザダイオード（半導体レーザ）を
示し、このダイオードから放射されたレーザ光線は光学
系、即ち、コリメートレンズ１１、ビームスプリッタ１
２、プリズム１３、対物レンズ１４を経由してワーク１
の筒室壁面２に投光され、壁面から反射した光は対物レ
ンズ１４にて受光された後、プリズム！３、ビームスプ
リッタ１２及び集光レンズ！５を経由してフォトダイオ
ードＩ６に入る。この受光量の変化が後方の解析装置に
よって解析され、筒室壁面における巣、傷などの有無が
判別される。
ザ光線を放射するレーザダイオード（半導体レーザ）を
示し、このダイオードから放射されたレーザ光線は光学
系、即ち、コリメートレンズ１１、ビームスプリッタ１
２、プリズム１３、対物レンズ１４を経由してワーク１
の筒室壁面２に投光され、壁面から反射した光は対物レ
ンズ１４にて受光された後、プリズム！３、ビームスプ
リッタ１２及び集光レンズ！５を経由してフォトダイオ
ードＩ６に入る。この受光量の変化が後方の解析装置に
よって解析され、筒室壁面における巣、傷などの有無が
判別される。
上記のレーザダイオード１０及びフォトダイオード１Ｂ
は公知の態様にて信号線（図示せず）に接続されている
。これら両ダイオードｔｏ、ｉｓは、コリメートレンズ
１１１ ビームスプリブタ１２及び集光レンズ１５と共
に固定部ケースＩ７もしくは該ケースと一体の部材（図
示せず）に取り付けられている。
は公知の態様にて信号線（図示せず）に接続されている
。これら両ダイオードｔｏ、ｉｓは、コリメートレンズ
１１１ ビームスプリブタ１２及び集光レンズ１５と共
に固定部ケースＩ７もしくは該ケースと一体の部材（図
示せず）に取り付けられている。
一方、プリズム１３及び対物レンズ１４は可動部ケース
！８内に装着されている。ケース１８はプリズム！３及
び対物レンズ、１４を保持する鏡胴１８ａと、との鏡胴
に対して直角に延び、しかもコリメートレンズ１１と同
一の軸線上に配置され、光線のための通路を形成してい
る円筒状の支持部１８ｂとより成っており、支持部１８
ｂは軸受Ｉ９により固定部ケース１７に回転可能に支持
されている。
！８内に装着されている。ケース１８はプリズム！３及
び対物レンズ、１４を保持する鏡胴１８ａと、との鏡胴
に対して直角に延び、しかもコリメートレンズ１１と同
一の軸線上に配置され、光線のための通路を形成してい
る円筒状の支持部１８ｂとより成っており、支持部１８
ｂは軸受Ｉ９により固定部ケース１７に回転可能に支持
されている。
ケース１８を支持部１８ｂの軸線に関して回転駆動させ
るためにモータ２０が設けてあり、このモータは皿伏の
ロータ２０ａの縁部内周面に取り付けられた回転子コイ
ル２０ｂと、固定部ケース１７に取り付けられた固定子
コイル２０ｃとををしており、ロータ２０ａは適宜の取
付部材２１によってケース１８の支持部ｔａｂに装着さ
れている。
るためにモータ２０が設けてあり、このモータは皿伏の
ロータ２０ａの縁部内周面に取り付けられた回転子コイ
ル２０ｂと、固定部ケース１７に取り付けられた固定子
コイル２０ｃとををしており、ロータ２０ａは適宜の取
付部材２１によってケース１８の支持部ｔａｂに装着さ
れている。
上記から明らかなように、検出部を構成する部材の内、
レーザダイオード１０、コリメートレンズ１１、ビーム
スプリッタ１２、集光レンズ１５、フォトダイオード１
６は固定部を形成しており、またプリズム！３、対物レ
ンズＩ４は上記の固定部に対して回転自在の探査部を形
成し、両者の間では光線によって情報の伝達が行われる
。
レーザダイオード１０、コリメートレンズ１１、ビーム
スプリッタ１２、集光レンズ１５、フォトダイオード１
６は固定部を形成しており、またプリズム！３、対物レ
ンズＩ４は上記の固定部に対して回転自在の探査部を形
成し、両者の間では光線によって情報の伝達が行われる
。
作動の際には、探査部の回転軸線がワーク１の筒室２の
軸線と同一線上に置かれた後、モータ２０によって探査
部が回転せしめられ、同時に検出部全体が適宜の手段に
より下方または上方ヘスライドされる。もちろん、この
動作の期間中レーザダイオード１０からレーザ光線が放
射されており、従って、筒室２の壁面はくまなく探査さ
れる。
軸線と同一線上に置かれた後、モータ２０によって探査
部が回転せしめられ、同時に検出部全体が適宜の手段に
より下方または上方ヘスライドされる。もちろん、この
動作の期間中レーザダイオード１０からレーザ光線が放
射されており、従って、筒室２の壁面はくまなく探査さ
れる。
なお、上記の鏡胴１８ａの対物レンズ！４の保持部を下
方に向けて直角に折り曲げ、折曲個所にプリズムを配置
すれば、筒室２の底面のような平面部の傷も、フライス
盤の加工要領で検査可能である。
方に向けて直角に折り曲げ、折曲個所にプリズムを配置
すれば、筒室２の底面のような平面部の傷も、フライス
盤の加工要領で検査可能である。
（効果）
上記のように本発明によれば、ワークを回転させる必要
はなく、また信号線に制約を受けることなく探査部を所
要の回転数だけ所望の速度で回転できるので、回転させ
ることが難しい大きなワークに対して筒室側壁の外観検
査を筒室の深さなどに関係なく、所望の範囲に亘って正
確且つ迅速に自動的に行うことが可能である。
はなく、また信号線に制約を受けることなく探査部を所
要の回転数だけ所望の速度で回転できるので、回転させ
ることが難しい大きなワークに対して筒室側壁の外観検
査を筒室の深さなどに関係なく、所望の範囲に亘って正
確且つ迅速に自動的に行うことが可能である。
第１図は本゛発明による検出器の概略的中央縦断面図、
第２図は従来の検出方法を示す概略図、第３図は従来の
他の検出方法を示す概略図である。 ＩＯ・・・レーザダイオード（半導体レーザ）、１１・
・・コリメートレンズ、！２・・・ビームスプリッタ、
１３・・・プリズム、＋４・・・対物レンズ、１５・・
・集光レンズ、＋６・・・フォトダイオード、１７・・
・固定部ケース、１８・・・可動部ケース、２０・・・
モータ。 代理人弁理士 １）代 蒸 治 第１図 第２図 第３図
他の検出方法を示す概略図である。 ＩＯ・・・レーザダイオード（半導体レーザ）、１１・
・・コリメートレンズ、！２・・・ビームスプリッタ、
１３・・・プリズム、＋４・・・対物レンズ、１５・・
・集光レンズ、＋６・・・フォトダイオード、１７・・
・固定部ケース、１８・・・可動部ケース、２０・・・
モータ。 代理人弁理士 １）代 蒸 治 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 光線をワーク表面に照射し、その反射光量の変化により
表面不良を判別する表面欠陥検出器において、信号線に
よって他の部分と接続関係にある検出部が、上記の信号
線と接続される部材を有する固定部と、信号線とはかか
わりのない部材のみを有し、上記固定部に対して回転自
在となされた探査部とから構成されており、固定部と探
査部との間の情報伝達が光線にて行われていることを特
徴とする、表面欠陥の検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62253858A JPH0197809A (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 | 表面欠陥の検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62253858A JPH0197809A (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 | 表面欠陥の検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0197809A true JPH0197809A (ja) | 1989-04-17 |
Family
ID=17257112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62253858A Pending JPH0197809A (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 | 表面欠陥の検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0197809A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5172039A (en) * | 1991-09-16 | 1992-12-15 | Staodyn, Inc. | Device utilizing capacitive coupling to provide an output indicative of angular relationship |
| JP2006506628A (ja) * | 2002-11-18 | 2006-02-23 | ナノフォーカス アクチエンゲゼルシャフト | 共焦点顕微鏡を用いてシリンダ内壁の表面を測定するための装置及び方法 |
| US7602487B2 (en) | 2006-05-16 | 2009-10-13 | Kirin Techno-System Corporation | Surface inspection apparatus and surface inspection head apparatus |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6186607A (ja) * | 1984-10-04 | 1986-05-02 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 耐火物内張容器の耐火物溶損形状測定装置 |
-
1987
- 1987-10-09 JP JP62253858A patent/JPH0197809A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6186607A (ja) * | 1984-10-04 | 1986-05-02 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 耐火物内張容器の耐火物溶損形状測定装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5172039A (en) * | 1991-09-16 | 1992-12-15 | Staodyn, Inc. | Device utilizing capacitive coupling to provide an output indicative of angular relationship |
| JP2006506628A (ja) * | 2002-11-18 | 2006-02-23 | ナノフォーカス アクチエンゲゼルシャフト | 共焦点顕微鏡を用いてシリンダ内壁の表面を測定するための装置及び方法 |
| US7602487B2 (en) | 2006-05-16 | 2009-10-13 | Kirin Techno-System Corporation | Surface inspection apparatus and surface inspection head apparatus |
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