JPH10270148A - 熱処理炉の発熱抵抗体支持構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 熱処理炉の炉壁体内面に発熱抵抗体を簡単な
手段で、しかも脱落しないよう支持する発熱抵抗体支持
構造を提供する。 【解決手段】 炉壁体１の内周面に設けた筒軸方向の凹
部２に、炉の内側からコイル状発熱抵抗体Ｂのコイルピ
ッチ間を通した櫛歯形支持具Ａの櫛歯先端部を嵌合さ、
嵌合させた櫛歯先端部の両側面に設けてある溝部７と、
凹部２の対向面に設けてある溝部３とに係合する棒状楔
部材Ｃを挿入して構成する。 【効果】 櫛歯形支持具の組み込みが、炉壁体の内側か
ら炉壁体に向かう簡単な正面組み込みであるから、作業
は容易である。また、支持具を棒状楔部材の挿入によっ
て、炉壁体側に連結するので、支持具の脱落防止が簡単
にできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、熱処理炉の発熱抵
抗体支持構造に関するものであり、特に半導体ウエハ等
の熱処理に用いられれる熱処理炉の発熱抵抗体支持構造
として好適な熱処理炉の発熱抵抗体支持構造の改良に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の熱処理炉の発熱抵抗体支
持構造として、耐熱性および電気絶縁性を有するセラミ
ック等の材料で櫛歯形支持具を形成し、その支持具の櫛
歯間の隙間に、コイル状の発熱抵抗体のコイル部分を組
み付けた状態で、櫛歯形支持具の櫛歯先端部分を、断熱
材を筒形に成形するモールド型枠内にセットし、これに
よりモールドされた筒形炉壁体に前記櫛歯形支持具を固
定する発熱抵抗体支持構造（特開平８−６４５４６号参
照）が知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記発熱抵抗体支持構
造によれば、コイル状の発熱抵抗体を櫛歯形支持体を介
して炉壁側に強固に支持させることができる。

【０００４】しかし、前記発熱抵抗体支持構造にあって
は、まず櫛歯形支持具とコイル状の発熱抵抗体との組み
付けに特別な組み付け治具が必要となり、かつその組み
付け作業に手数がかかる難点がある。更に前記櫛歯形支
持具の一部を炉壁体に一体化するモールド工程を含むの
で、生産性にも難点がある。

【０００５】これに対し、断熱材で筒形に成形された炉
壁体の内周面に、筒軸方向に沿って延びる凹部を設け、
その凹部に耐熱性および電気絶縁性材料で成形した矩形
断面のブロックを積み重ねる状態で順次に嵌合させ、凹
部から外に突出するブロック部分間でコイル状の発熱抵
抗体のコイル部分を挟持するようにした発熱抵抗体支持
構造（実公平８−６２３７号公報）が知られている。

【０００６】上記構成によれば、発熱抵抗体を支持する
矩形断面のブロックを筒形炉壁体の内周面に設けてある
凹部に、炉壁体の内側から嵌合させながら、コイル状発
熱抵抗体のコイル部分を同時に支持できるので、作業性
は良好である。

【０００７】しかしながら、凹部に嵌合したブロック
は、そのままでは凹部から抜け出て脱落するおそれがあ
る。ブロックの脱落防止手段として、前記公報では、ブ
ロックの嵌合部分に貫通孔を設け、凹部に嵌合して積み
重ねたブロックを、その貫通孔を通して挿入した棒状部
材で保持する手段が採られている。しかし、積み重ねた
ブロックに棒状部材を単に挿入しただけでは、ブロック
の脱落防止にはならず、棒状部材を何等かの手段で炉体
壁側に連結する補助手段を必要とする。

【０００８】筒形に成形された炉壁体の内周面に設けた
凹部に、前述した櫛歯形支持具またはブロックを嵌合す
る構造で、前記棒状部材等を不要とするには、例えば炉
壁体の内周面に設けた凹部の対向面に溝部を設け、他
方、櫛歯形支持具またはブロック側に、前記溝部に嵌合
する突起部を設ける手段が考えられる。この場合には、
櫛歯形支持具またはブロックは、炉壁体の筒軸方向に設
けた凹部の端面側からでないと嵌合できない。凹部の端
面側からの嵌合では、コイル状発熱抵抗体の組み付け支
持作業は難しくなる。

【０００９】本発明は、上述した従来の発熱抵抗体支持
構造における組み付け作業性の問題点をすべて解消する
ためになされたものであって、発熱抵抗体の支持に有利
な前記櫛歯形支持具を用い、この櫛歯形支持具を炉壁体
の内周面に設けた筒軸方向の凹部に対し、炉壁体の内側
から嵌合することができ、かつ凹部から脱落しないよう
に簡単な手段で保持することを可能とした発熱抵抗体支
持構造を提供することを主たる目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明による熱処理炉の
発熱抵抗体支持構造は、上記目的を達成するために、断
熱材で成形された炉壁体の内面に、炉壁体の両端に達す
る複数の凹部を設け、前記凹部に、炉壁体の内部に置か
れた発熱抵抗体を一定のピッチで支持し得るようにした
櫛歯形支持具の櫛歯先端部を嵌合し、その嵌合した櫛歯
先端部の両側面と、前記凹部の対向面とに、前記凹部の
長手方向に沿ってそれぞれ形成してある溝部に共通に係
合する棒状楔部材を挿入した構成を要旨としている。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の形態とし
ては、環状の熱処理炉への適用が挙げられ、図１〜図３
に示すように、断熱材で筒状に成形された炉壁体１の内
周面に、筒軸方向に沿う複数の断面矩形の凹部２を設
け、前記凹部２に、炉壁体の内部に置かれたコイル状の
発熱抵抗体Ｂのコイルピッチ間を通して発熱抵抗体を支
持し得るようにした櫛歯形支持具Ａの断面矩形の櫛歯部
分５の先端部を嵌合し、その嵌合した櫛歯先端部の両側
面と、前記凹部の対向面とに、筒軸方向に沿ったそれぞ
れ形成してある溝部７、溝部３に共通に係合する棒状楔
部材Ｃを挿入して構成する。

【００１２】

【実施例】図１〜図３に、本発明の一実施例を示す。図
１〜図３において、１は断熱材料で筒形に成形された環
状炉の炉壁体である。この炉壁体の内周面には、９０度
の中心角を隔てた部位に、筒軸方向に沿う断面矩形の凹
部２がそれぞれ形成されている。また、前記凹部２の対
向面には、筒軸方向に沿う断面半円形の溝部３が形成さ
れている。

【００１３】Ａはコイル状の発熱抵抗体Ｂを支持するた
めのセラミック製櫛歯形支持具である。この櫛歯形支持
具Ａは、基部分４と、この基部分から突出する４本の断
面矩形の櫛歯部分５とから成り、櫛歯部分間の隙間６が
コイル状発熱抵抗体Ｂのコイル受入部とされている。ま
た、前記櫛歯部分５の先端部の両側面には、前記炉壁体
の内周面の凹部２の対向面に設けた半円形の溝部３と同
じ半円形の溝部７が形成されている。

【００１４】また、基部分４の両端は、櫛歯部分５より
突出する隆起部分８とされている。この隆起部分８によ
り、櫛歯形支持具Ａを積み重ねた際、一方の支持具の基
部分の端にある櫛歯部分５と、他方の支持具の基部分の
端に位置する櫛歯部分５との間に、発熱抵抗体Ｂのコイ
ル部分を挾み込ませる隙間が残されるようになってい
る。Ｃは櫛歯形支持具Ａでコイル状の発熱体Ｂを炉壁体
１に保持させる際に用いるセラミック製棒状楔部材であ
る。

【００１５】前記櫛歯形支持具Ａを用いてコイル状の発
熱抵抗体Ｂを炉壁体１に支持させるには、炉壁体１の内
部に置いたコイル状発熱抵抗体Ｂの内側から櫛歯形支持
具Ａを、その櫛歯部分５がコイルピッチ間を通るよう
に、発熱抵抗体Ｂに組み付けると共に櫛歯部分５の先端
部を炉壁体１の内周面の凹部２に嵌合させる。このよう
にして所要数の櫛歯形支持具Ａの櫛歯先端部を凹部２に
嵌合させたあと、凹部２に嵌合させた櫛歯先端部の両側
の半円形溝部７と凹部側の半円形溝部３とで作られる円
形の通孔にセラミック製の円形棒状楔部材Ｃを挿入す
る。この棒状楔部材Ｃの挿入により、凹部２内に嵌合さ
れた各支持具の櫛歯先端部は炉壁体側に楔止めされるの
で、櫛歯形支持具Ａの脱落はなくなり、炉壁体側に強固
に保持される。

【００１６】前記実施例の櫛歯形支持具では、櫛歯部分
５は断面矩形とされているが、この櫛歯部分の断面形状
は前記凹部に嵌合することができ、かつ棒状楔部材によ
る楔止め用溝部を形成できるものであれば、他の断面形
状であってもよい。また、櫛歯部分の両側面の溝部７お
よび前記凹部２の対向面の溝部３は、断面矩形、三角形
等にしてもよい。その場合、棒状楔部材は前記溝部に対
応した断面を有する楔部材を使用すればよい。また、本
発明の熱処理炉の発熱抵抗体の支持構造は、実施例に示
したような環状の熱処理炉の発熱抵抗体支持構造だけで
はなく、平面状の炉壁に沿って配置される熱処理炉の発
熱抵抗体の支持構造としても適用することができる。

【００１７】

【発明の効果】以上、詳述したように、本発明によれ
ば、下記の通りの効果が得られる。 （１）発熱抵抗体を支持させた櫛歯形支持具は、その櫛
歯先端部を炉壁体の凹部に嵌合させたあと、棒状楔部材
で楔止めできるので、簡単な手段で支持具の脱落防止が
できる。 （２）櫛歯形支持具の組み込みが、炉壁体の内側から炉
壁体に向かう簡単な正面組み込みであることから組み込
み作業は容易であり、作業コストの低減化が図れる。 （３）櫛歯形支持具は構造が単純で安価に得られる。 （４）発熱抵抗体および櫛歯形支持具に異物が付着し難
い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す環状炉のコイル状発熱
抵抗体支持構造の縦断面図である。

【図２】図１の平面図である。

【図３】コイル状発熱抵抗体を支持する櫛歯形支持具の
斜視図である。

【符号の説明】

１ 環状炉の炉壁体 ２ 凹部 ３ 溝部 Ａ 櫛歯形支持具 ４ 基部分 ５ 櫛歯部分 ６ 隙間 ７ 溝部 ８ 隆起部分 Ｂ コイル状発熱抵抗体 Ｃ 棒状楔部材

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 断熱材で形成された炉壁体の内面に、炉
   壁の両端に達する凹部を設け、前記凹部に、炉壁体の内
   部に置かれた発熱抵抗体を一定のピッチで支持し得るよ
   うにした櫛歯形支持具の櫛歯先端部を嵌合し、その嵌合
   した櫛歯先端部の両側面と、前記凹部の対向面とに、前
   記凹部の長手方向に沿ってそれぞれ形成してある溝部に
   共通に係合する棒状楔部材を挿入して構成した熱処理炉
   の発熱抵抗体支持構造。
2. 【請求項２】 断熱材で筒状に成形された炉壁体の内周
   面に、筒軸方向に沿う複数の凹部を設け、前記凹部に、
   炉壁体の内部に置かれたコイル状の発熱抵抗体のコイル
   ピッチ間を通して発熱抵抗体を支持し得るようにした櫛
   歯形支持具の櫛歯先端部を嵌合し、その嵌合した櫛歯先
   端部の両側面と、前記凹部の対向面とに、筒軸方向に沿
   ってそれぞれ形成してある溝部に共通に係合する棒状楔
   部材を挿入して構成した熱処理炉の発熱抵抗体支持構
   造。
3. 【請求項３】 前記櫛歯形支持具は、基部分と、この基
   部分から突出する複数本の断面矩形の櫛歯部分と、基部
   分の両端を突出させた隆起部とから成り、前記櫛歯部分
   の先端部の両側面に溝部が形成されている請求項１また
   は２に記載の熱処理炉の発熱抵抗体支持構造。