JPH05290783A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH05290783A JPH05290783A JP4112135A JP11213592A JPH05290783A JP H05290783 A JPH05290783 A JP H05290783A JP 4112135 A JP4112135 A JP 4112135A JP 11213592 A JP11213592 A JP 11213592A JP H05290783 A JPH05290783 A JP H05290783A
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- gain
- control characteristic
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 短時間で精度よくコントラスト補正ができる
走査電子顕微鏡を提供すること。 【構成】 像信号ピークホールド回路９は現状の像コン
トラストを求め、求めた像コントラストを減算回路１４
に送る。減算回路１４は、最適像コントラストと求めた
現状の像コントラストの差を演算する。この差分は制御
特性記憶部１５に送られる。制御特性記憶部１５には、
加速電圧信号Ｖ１が制御装置（図示せず）から送られて
おり、この場合、加速電圧Ｖ１における制御特性が用い
られる。ゲイン可変手段１６は制御特性記憶部１５から
の信号により可変ゲイン増幅器８のゲインを変化させ
る。この結果、陰極線管１２のスクリーンに最適なコン
トラストを有する像が直ちに表示される。
走査電子顕微鏡を提供すること。 【構成】 像信号ピークホールド回路９は現状の像コン
トラストを求め、求めた像コントラストを減算回路１４
に送る。減算回路１４は、最適像コントラストと求めた
現状の像コントラストの差を演算する。この差分は制御
特性記憶部１５に送られる。制御特性記憶部１５には、
加速電圧信号Ｖ１が制御装置（図示せず）から送られて
おり、この場合、加速電圧Ｖ１における制御特性が用い
られる。ゲイン可変手段１６は制御特性記憶部１５から
の信号により可変ゲイン増幅器８のゲインを変化させ
る。この結果、陰極線管１２のスクリーンに最適なコン
トラストを有する像が直ちに表示される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明はコントラスト補正や輝
度補正の機能を備えた走査電子顕微鏡に関する。
度補正の機能を備えた走査電子顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】 走査電子顕微鏡は、試料に電子線を２
次元的に走査して照射し、試料から放出される信号を検
出して表示画面に試料像を表示する装置である。
次元的に走査して照射し、試料から放出される信号を検
出して表示画面に試料像を表示する装置である。
【０００３】図３は走査電子顕微鏡の概略図を示したも
のである。電子銃１から射出された電子線は、集束レン
ズ２および対物レンズ４により集束されて試料５を照射
する。また、走査信号発生回路１３から偏向器３に走査
信号が送られてるので、電子線は試料５上を２次元的に
走査する。電子線の照射により試料５から２次電子が放
出し、この２次電子はシンチレータ６で光に変換され、
この光は光電子増倍管７で映像信号に変換される。この
映像信号は可変ゲイン増幅器８を介して陰極線管１２に
送られる。前記走査信号発生回路１３は、偏向器３に送
る走査信号に同期した走査信号を陰極線管１２に送るの
で、陰極線管１２のスクリーンには試料走査領域の像が
表示される。
のである。電子銃１から射出された電子線は、集束レン
ズ２および対物レンズ４により集束されて試料５を照射
する。また、走査信号発生回路１３から偏向器３に走査
信号が送られてるので、電子線は試料５上を２次元的に
走査する。電子線の照射により試料５から２次電子が放
出し、この２次電子はシンチレータ６で光に変換され、
この光は光電子増倍管７で映像信号に変換される。この
映像信号は可変ゲイン増幅器８を介して陰極線管１２に
送られる。前記走査信号発生回路１３は、偏向器３に送
る走査信号に同期した走査信号を陰極線管１２に送るの
で、陰極線管１２のスクリーンには試料走査領域の像が
表示される。
【０００４】さて、可変ゲイン増幅器８からの映像信号
は像信号ピークホールド回路９にも送られる。像信号ピ
ークホールド回路９は、１試料走査領域分の映像信号を
保持し、それらの信号から現状の像コントラストを表わ
す信号を求め、この信号を減算回路１０に送る。減算回
路１０は最適像コントラストを表わす信号を保持してお
り、この最適像コントラストを表わす信号と求めた現状
の像コントラストを表わす信号との差を演算する。この
差を表わす信号は制御特性記憶部１１に送られる。図４
は制御特性記憶部１１に記憶されているゲイン補正信号
を説明するために示したものである。図において、横軸
は、最適像コントラストと現状の像コントラストの差分
を表わし、縦軸は、可変ゲイン増幅器８のゲイン補正分
を表わす。すなわち、制御特性記憶部１１には、コント
ラストが最適でない場合に、最適なコントラストを有す
る像を得るために必要なゲイン補正量を表わす情報が記
憶されている。例えば、減算回路１０から送られてくる
差分がΔＣ１であれば、制御特性記憶部１１からはΔＧ
１の出力信号が可変ゲイン増幅器８に送られる。そし
て、可変ゲイン増幅器８のゲインはΔＧ１に対応した分
だけ変化する。この結果、陰極線管１２のスクリーンに
最適なコントラストを有する像が直ちに表示される。
は像信号ピークホールド回路９にも送られる。像信号ピ
ークホールド回路９は、１試料走査領域分の映像信号を
保持し、それらの信号から現状の像コントラストを表わ
す信号を求め、この信号を減算回路１０に送る。減算回
路１０は最適像コントラストを表わす信号を保持してお
り、この最適像コントラストを表わす信号と求めた現状
の像コントラストを表わす信号との差を演算する。この
差を表わす信号は制御特性記憶部１１に送られる。図４
は制御特性記憶部１１に記憶されているゲイン補正信号
を説明するために示したものである。図において、横軸
は、最適像コントラストと現状の像コントラストの差分
を表わし、縦軸は、可変ゲイン増幅器８のゲイン補正分
を表わす。すなわち、制御特性記憶部１１には、コント
ラストが最適でない場合に、最適なコントラストを有す
る像を得るために必要なゲイン補正量を表わす情報が記
憶されている。例えば、減算回路１０から送られてくる
差分がΔＣ１であれば、制御特性記憶部１１からはΔＧ
１の出力信号が可変ゲイン増幅器８に送られる。そし
て、可変ゲイン増幅器８のゲインはΔＧ１に対応した分
だけ変化する。この結果、陰極線管１２のスクリーンに
最適なコントラストを有する像が直ちに表示される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】 しかしながら、観察
条件、例えば加速電圧や試料の種類によっては前記制御
特性が最適でない場合があり、コントラスト補正に時間
がかかったり、また、コントラスト補正の精度が低下す
ることがある。 また、このような問題は輝度補正につ
いても同様に起こる。
条件、例えば加速電圧や試料の種類によっては前記制御
特性が最適でない場合があり、コントラスト補正に時間
がかかったり、また、コントラスト補正の精度が低下す
ることがある。 また、このような問題は輝度補正につ
いても同様に起こる。
【０００６】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
ので、その目的は、短時間で精度よくコントラスト補正
または輝度補正ができる走査電子顕微鏡を提供すること
である。
ので、その目的は、短時間で精度よくコントラスト補正
または輝度補正ができる走査電子顕微鏡を提供すること
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】 この目的を達成する本
発明の走査電子顕微鏡は、電子線の試料への照射に基づ
く映像信号を増幅する手段と、該増幅手段からの映像信
号が供給される表示手段と、前記増幅手段からの映像信
号に基づいて現状の像情報信号を求める情報検出手段
と、該情報検出手段で求められた現状の像情報信号と最
適像情報信号の差を演算する手段と、該像情報信号の差
および観察条件に対応して前記増幅手段のゲイン補正分
が記憶された制御特性記憶部と、前記像情報信号の差お
よび観察条件の信号の入力により制御特性記憶部から出
力されるゲイン補正信号に基づいて前記増幅手段のゲイ
ンを制御するゲイン可変手段とを備えた。
発明の走査電子顕微鏡は、電子線の試料への照射に基づ
く映像信号を増幅する手段と、該増幅手段からの映像信
号が供給される表示手段と、前記増幅手段からの映像信
号に基づいて現状の像情報信号を求める情報検出手段
と、該情報検出手段で求められた現状の像情報信号と最
適像情報信号の差を演算する手段と、該像情報信号の差
および観察条件に対応して前記増幅手段のゲイン補正分
が記憶された制御特性記憶部と、前記像情報信号の差お
よび観察条件の信号の入力により制御特性記憶部から出
力されるゲイン補正信号に基づいて前記増幅手段のゲイ
ンを制御するゲイン可変手段とを備えた。
【０００８】
【実施例】 以下、本発明を図面を参照して説明する。
【０００９】図１は本発明の実施例として示した走査電
子顕微鏡の概略図である。図において、前記図３と同一
番号を付したものは同一構成要素を示す。１４は減算回
路、１５は制御特性記憶部、１６はゲイン可変手段であ
る。このような装置におけるコントラスト補正を以下に
説明する。
子顕微鏡の概略図である。図において、前記図３と同一
番号を付したものは同一構成要素を示す。１４は減算回
路、１５は制御特性記憶部、１６はゲイン可変手段であ
る。このような装置におけるコントラスト補正を以下に
説明する。
【００１０】本発明の特徴は、各々の加速電圧または試
料における前記制御特性を求めて記憶することである。
まず、加速電圧Ｖ１における制御特性を求めることにつ
いて説明する。
料における前記制御特性を求めて記憶することである。
まず、加速電圧Ｖ１における制御特性を求めることにつ
いて説明する。
【００１１】まず、ゲイン可変手段１６は、可変ゲイン
増幅器８のゲインをある値Ｇ２に設定する。この値はゲ
イン可変手段１６に保持される。光電子増倍管７で映像
信号に変換された映像信号は可変ゲイン増幅器８を介し
て陰極線管１２に送られる。同時に、可変ゲイン増幅器
８からの映像信号は像信号ピークホールド回路９にも送
られる。像信号ピークホールド回路９は、１試料走査領
域分の映像信号を保持し、それらの信号から現状の像コ
ントラストを表わす信号を求め、求めた信号を減算回路
１４に送る。減算回路１４は最適像コントラストを表わ
す信号を保持しており、この最適像コントラストを表わ
す信号と求めた現状の像コントラストを表わす信号の差
を演算する。この差分は制御特性記憶部１５に送られ
る。図２は制御特性記憶部１５に記憶されるゲイン補正
信号を説明するために示したものである。図において、
横軸は、最適像コントラストと現状の像コントラストの
差分を表わし、縦軸は、可変ゲイン増幅器８のゲイン補
正分を表わす。ところで、減算回路１４から制御特性記
憶部１５に、差分ΔＣ２が送られたとする。減算回路１
４は、コントラストに差がある事を示す信号を前記ゲイ
ン可変手段１６に送る。この信号を受けたゲイン可変手
段１６は、可変ゲイン増幅器８のゲインを所定量だけ変
化させる。可変ゲイン増幅器８のゲインの変化により、
像信号ピークホールド回路９が求める像コントラストは
ゲイン変化前とは異なる。減算回路１４は、最適像コン
トラストと現状の像コントラストの差を演算し、差があ
る場合はゲイン可変手段１６に信号を送る。なお、減算
回路１４は、１回目の演算の結果ΔＣ２だけを前記制御
特性記憶部１５に送り、２回目以降の演算結果は制御特
性記憶部１５には送らない。減算回路１４から信号を受
けたゲイン可変手段１６は前記同様、可変ゲイン増幅器
８のゲインを所定量だけ変化させる。このような動作は
減算回路１４の演算で差が零になるまで行われ、差が零
になると、減算回路１４はゲイン可変手段１６に終了信
号を送る。この信号を受けたゲイン可変手段１６は、現
在の可変ゲイン増幅器８のゲインと保持しているゲイン
Ｇ２の差を求め、この差ΔＧ２を前記制御特性記憶部１
５に送る。制御特性記憶部１５は、減算回路１４から送
られた像コントラストの差分ΔＣ２に対応してこのゲイ
ンの差分ΔＧ２を記憶する。図２において、Ａ点がこの
関係を示している。
増幅器８のゲインをある値Ｇ２に設定する。この値はゲ
イン可変手段１６に保持される。光電子増倍管７で映像
信号に変換された映像信号は可変ゲイン増幅器８を介し
て陰極線管１２に送られる。同時に、可変ゲイン増幅器
８からの映像信号は像信号ピークホールド回路９にも送
られる。像信号ピークホールド回路９は、１試料走査領
域分の映像信号を保持し、それらの信号から現状の像コ
ントラストを表わす信号を求め、求めた信号を減算回路
１４に送る。減算回路１４は最適像コントラストを表わ
す信号を保持しており、この最適像コントラストを表わ
す信号と求めた現状の像コントラストを表わす信号の差
を演算する。この差分は制御特性記憶部１５に送られ
る。図２は制御特性記憶部１５に記憶されるゲイン補正
信号を説明するために示したものである。図において、
横軸は、最適像コントラストと現状の像コントラストの
差分を表わし、縦軸は、可変ゲイン増幅器８のゲイン補
正分を表わす。ところで、減算回路１４から制御特性記
憶部１５に、差分ΔＣ２が送られたとする。減算回路１
４は、コントラストに差がある事を示す信号を前記ゲイ
ン可変手段１６に送る。この信号を受けたゲイン可変手
段１６は、可変ゲイン増幅器８のゲインを所定量だけ変
化させる。可変ゲイン増幅器８のゲインの変化により、
像信号ピークホールド回路９が求める像コントラストは
ゲイン変化前とは異なる。減算回路１４は、最適像コン
トラストと現状の像コントラストの差を演算し、差があ
る場合はゲイン可変手段１６に信号を送る。なお、減算
回路１４は、１回目の演算の結果ΔＣ２だけを前記制御
特性記憶部１５に送り、２回目以降の演算結果は制御特
性記憶部１５には送らない。減算回路１４から信号を受
けたゲイン可変手段１６は前記同様、可変ゲイン増幅器
８のゲインを所定量だけ変化させる。このような動作は
減算回路１４の演算で差が零になるまで行われ、差が零
になると、減算回路１４はゲイン可変手段１６に終了信
号を送る。この信号を受けたゲイン可変手段１６は、現
在の可変ゲイン増幅器８のゲインと保持しているゲイン
Ｇ２の差を求め、この差ΔＧ２を前記制御特性記憶部１
５に送る。制御特性記憶部１５は、減算回路１４から送
られた像コントラストの差分ΔＣ２に対応してこのゲイ
ンの差分ΔＧ２を記憶する。図２において、Ａ点がこの
関係を示している。
【００１２】次に、可変ゲイン増幅器８のゲインを前記
設定した値Ｇ２と異なる値、例えばＧ３に設定する。減
算回路１４の１回目の演算の結果がΔＣ３であれば、そ
の差分ΔＣ３は制御特性記憶部１５に記憶される。そし
て、前記同様な動作が、減算回路１４の演算結果が零に
なるまで行われる。この時の可変ゲイン増幅器８のゲイ
ンと、ゲイン可変手段１６の保持しているゲインＧ３と
の差分ΔＧ３は制御特性記憶部１５に送られる。図２に
おいて、Ｂ点がこの関係を示している。
設定した値Ｇ２と異なる値、例えばＧ３に設定する。減
算回路１４の１回目の演算の結果がΔＣ３であれば、そ
の差分ΔＣ３は制御特性記憶部１５に記憶される。そし
て、前記同様な動作が、減算回路１４の演算結果が零に
なるまで行われる。この時の可変ゲイン増幅器８のゲイ
ンと、ゲイン可変手段１６の保持しているゲインＧ３と
の差分ΔＧ３は制御特性記憶部１５に送られる。図２に
おいて、Ｂ点がこの関係を示している。
【００１３】以後、同様な動作が行なわれ、Ｃ，Ｄ……
の点が求められる。そして、制御特性記憶部１５は最小
二乗法により、加速電圧Ｖ１におけるゲイン補正信号を
求める。
の点が求められる。そして、制御特性記憶部１５は最小
二乗法により、加速電圧Ｖ１におけるゲイン補正信号を
求める。
【００１４】以上説明したような制御特性を求める動作
を、各加速電圧および試料を変えて行なう。
を、各加速電圧および試料を変えて行なう。
【００１５】次に、例えば加速電圧Ｖ１で試料を観察す
る場合について図１に示した装置の動作を説明する。
る場合について図１に示した装置の動作を説明する。
【００１６】光電子増倍管７で映像信号に変換された映
像信号は可変ゲイン増幅器８を介して陰極線管１２に送
られる。同時に、可変ゲイン増幅器８からの映像信号は
像信号ピークホールド回路９にも送られる。像信号ピー
クホールド回路９は、１試料走査領域分の映像信号を保
持し、それらの信号から現状の像コントラストを表わす
信号を求め、この信号を減算回路１４に送る。減算回路
１４は最適像コントラストを表わす信号を保持してお
り、この最適像コントラストを表わす信号と求めた現状
の像コントラストを表わす信号の差を演算する。この差
分は制御特性記憶部１５に送られる。なお、この時、コ
ントラストに差があることを示す信号が前記ゲイン可変
手段１６に送られないように制御する。制御特性記憶部
１５には、加速電圧信号Ｖ１が制御装置（図示せず）か
ら送られており、この場合、加速電圧Ｖ１における制御
特性が用いられる。例えば、減算回路１４から送られて
くる差分がΔＣ２であれば、制御特性記憶部１５からは
ΔＧ２の出力信号がゲイン可変手段１６に送られる。ゲ
イン可変手段１６はこの信号により可変ゲイン増幅器８
のゲインをΔＧ２に対応した分だけ変化させる。この結
果、陰極線管１２のスクリーンに最適なコントラストを
有する像が直ちに表示される。
像信号は可変ゲイン増幅器８を介して陰極線管１２に送
られる。同時に、可変ゲイン増幅器８からの映像信号は
像信号ピークホールド回路９にも送られる。像信号ピー
クホールド回路９は、１試料走査領域分の映像信号を保
持し、それらの信号から現状の像コントラストを表わす
信号を求め、この信号を減算回路１４に送る。減算回路
１４は最適像コントラストを表わす信号を保持してお
り、この最適像コントラストを表わす信号と求めた現状
の像コントラストを表わす信号の差を演算する。この差
分は制御特性記憶部１５に送られる。なお、この時、コ
ントラストに差があることを示す信号が前記ゲイン可変
手段１６に送られないように制御する。制御特性記憶部
１５には、加速電圧信号Ｖ１が制御装置（図示せず）か
ら送られており、この場合、加速電圧Ｖ１における制御
特性が用いられる。例えば、減算回路１４から送られて
くる差分がΔＣ２であれば、制御特性記憶部１５からは
ΔＧ２の出力信号がゲイン可変手段１６に送られる。ゲ
イン可変手段１６はこの信号により可変ゲイン増幅器８
のゲインをΔＧ２に対応した分だけ変化させる。この結
果、陰極線管１２のスクリーンに最適なコントラストを
有する像が直ちに表示される。
【００１７】なお、可変ゲイン増幅器８のゲインを変化
させるかわりに、光電子増倍管７のゲインを変化させて
もよい。
させるかわりに、光電子増倍管７のゲインを変化させて
もよい。
【００１８】また、本発明は、輝度の補正にも適用する
ことができる。
ことができる。
【００１９】
【発明の効果】 本発明の装置は、観察条件毎に制御特
性を記憶しているので、観察条件がかわってもコントラ
スト補正または輝度補正を短時間で精度よく行なう事が
できる。
性を記憶しているので、観察条件がかわってもコントラ
スト補正または輝度補正を短時間で精度よく行なう事が
できる。
【図１】本発明の実施例として示した走査電子顕微鏡の
概略図。
概略図。
【図２】制御特性を示したもの。
【図３】従来の走査電子顕微鏡の概略図。
【図４】制御特性を示したもの。
１ 電子銃 ２ 集束レンズ ３ 偏向器 ４ 対物レンズ ５ 試料 ６ シンチレータ ７ 光電子増倍管 ８ 可変ゲイン増幅器 ９ 像信号ピークホールド回路 １０、１４ 減算回路 １１、１５ 制御特性記憶部 １２ 陰極線管 １３ 走査信号発生回路 １６ ゲイン可変手段
Claims (1)
- 【請求項１】 電子線の試料への照射に基づく映像信号
を増幅する手段と、該増幅手段からの映像信号が供給さ
れる表示手段と、前記増幅手段からの映像信号に基づい
て現状の像情報信号を求める情報検出手段と、該情報検
出手段で求められた現状の像情報信号と最適像情報信号
の差を演算する手段と、該像情報信号の差および観察条
件に対応して前記増幅手段のゲイン補正分が記憶された
制御特性記憶部と、前記像情報信号の差および観察条件
の信号の入力により制御特性記憶部から出力されるゲイ
ン補正信号に基づいて前記増幅手段のゲインを制御する
ゲイン可変手段とを備えた走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4112135A JPH05290783A (ja) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4112135A JPH05290783A (ja) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05290783A true JPH05290783A (ja) | 1993-11-05 |
Family
ID=14579092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4112135A Withdrawn JPH05290783A (ja) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05290783A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007192741A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Sharp Corp | 元素分析方法及び元素分析装置 |
| DE102008038216A1 (de) * | 2008-08-18 | 2010-03-11 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Verfahren zum Erzeugen von Korpuskularstrahlbildern mit einem Korpuskularstrahlgerät |
-
1992
- 1992-04-03 JP JP4112135A patent/JPH05290783A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007192741A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Sharp Corp | 元素分析方法及び元素分析装置 |
| DE102008038216A1 (de) * | 2008-08-18 | 2010-03-11 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Verfahren zum Erzeugen von Korpuskularstrahlbildern mit einem Korpuskularstrahlgerät |
| US8153967B2 (en) | 2008-08-18 | 2012-04-10 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Method of generating particle beam images using a particle beam apparatus |
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