JPH10279067A - ハンドラのトレイ搬送装置 - Google Patents
ハンドラのトレイ搬送装置Info
- Publication number
- JPH10279067A JPH10279067A JP9089382A JP8938297A JPH10279067A JP H10279067 A JPH10279067 A JP H10279067A JP 9089382 A JP9089382 A JP 9089382A JP 8938297 A JP8938297 A JP 8938297A JP H10279067 A JPH10279067 A JP H10279067A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- empty
- uppermost
- elevator
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 トレイの厚さを変更した場合に、トレイ位置
検出センサの取付位置の変更を不要にする。 【解決手段】 空トレイ・バッファステージ９におい
て、最上段のトレイの上面の高さより僅かに低い位置に
１段構成のトレイ位置検出センサ３０が取付けられる。
制御部１８は、ローダ部１０より空トレイが空トレイ・
バッファステージ９の空トレイの上に重ねられると、エ
レベータ２１をΔＨ＝Ｗｄ−（Ｗｄ−Ｗｓ）／２（Ｗｄ
はトレイ２枚重ねの厚さ、Ｗｓはトレイ１枚分の厚さ）
だけ下降させ、然る後トレイ位置検出センサ３０がトレ
イを検出したとき、少なくとも２枚重ねであると判断
し、検出しないときは１枚のみで正常と判断する。
検出センサの取付位置の変更を不要にする。 【解決手段】 空トレイ・バッファステージ９におい
て、最上段のトレイの上面の高さより僅かに低い位置に
１段構成のトレイ位置検出センサ３０が取付けられる。
制御部１８は、ローダ部１０より空トレイが空トレイ・
バッファステージ９の空トレイの上に重ねられると、エ
レベータ２１をΔＨ＝Ｗｄ−（Ｗｄ−Ｗｓ）／２（Ｗｄ
はトレイ２枚重ねの厚さ、Ｗｓはトレイ１枚分の厚さ）
だけ下降させ、然る後トレイ位置検出センサ３０がトレ
イを検出したとき、少なくとも２枚重ねであると判断
し、検出しないときは１枚のみで正常と判断する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はＩＣテスタと組合
せて使用されるハンドラのトレイ搬送装置に関し、特に
トレイの厚さを変更したときの変更処理工数の低減に関
する。
せて使用されるハンドラのトレイ搬送装置に関し、特に
トレイの厚さを変更したときの変更処理工数の低減に関
する。
【０００２】
【従来の技術】図３、図４に示すように、ハンドラ１の
チェンバ（恒温槽）２内には、ロータリアーム（コンタ
クトアームとも言う）３、測定部４、ソークステージ
５、イグジット（ＥＸＩＴ）ステージ６の一部が配され
る。ロータリアーム３はソークステージ５に載置されて
いるＤＵＴ（被試験デバイス）７を吸着して測定部４へ
搬送し、測定終了後ＤＵＴ７をイグジットステージ６に
搬送する。イグジットステージ６は測定済のＤＵＴ７を
アンローダ部８へ搬送する。
チェンバ（恒温槽）２内には、ロータリアーム（コンタ
クトアームとも言う）３、測定部４、ソークステージ
５、イグジット（ＥＸＩＴ）ステージ６の一部が配され
る。ロータリアーム３はソークステージ５に載置されて
いるＤＵＴ（被試験デバイス）７を吸着して測定部４へ
搬送し、測定終了後ＤＵＴ７をイグジットステージ６に
搬送する。イグジットステージ６は測定済のＤＵＴ７を
アンローダ部８へ搬送する。
【０００３】アンローダ部８には、イグジットステージ
６からＤＵＴをピックアップするチャック８ｄを備え、
Ｙ方向（図の縦方向）に移動自在のＹキャリアアーム８
ｙとそのＹキャリアアーム８ｙをＸ方向（図の横方向）
に搬送するＸキャリアアーム８ｘが設けられており、イ
グジットステージ６から受け取ったＤＵＴを測定結果に
基づいて、例えば良品を収容するアンローダ８ａまたは
第１種の不良品を収納するアンローダ８ｂまたは第２種
の不良品を収容するアンローダ８ｃに分類して収容す
る。
６からＤＵＴをピックアップするチャック８ｄを備え、
Ｙ方向（図の縦方向）に移動自在のＹキャリアアーム８
ｙとそのＹキャリアアーム８ｙをＸ方向（図の横方向）
に搬送するＸキャリアアーム８ｘが設けられており、イ
グジットステージ６から受け取ったＤＵＴを測定結果に
基づいて、例えば良品を収容するアンローダ８ａまたは
第１種の不良品を収納するアンローダ８ｂまたは第２種
の不良品を収容するアンローダ８ｃに分類して収容す
る。
【０００４】ローダ部１０にはＤＵＴを収容したトレイ
がエレベータ・ベース上に多段に重ねられ、最上段のト
レイのＤＵＴがローダキャリアアーム１１のチャック１
１ａにピックアップされてソークステージ５に供給され
る。空になった最上段のトレイはトレイキャリア１２に
より空トレイ・バッファステージ９の最上段のトレイの
上に搬送され数段に重ねられる。また空トレイ・バッフ
ァステージ９の空トレイは必要なときにトレイキャリア
１２によってアンローダ部８の試験済のＤＵＴで満杯に
なったトレイの上に重なるように搬送される。
がエレベータ・ベース上に多段に重ねられ、最上段のト
レイのＤＵＴがローダキャリアアーム１１のチャック１
１ａにピックアップされてソークステージ５に供給され
る。空になった最上段のトレイはトレイキャリア１２に
より空トレイ・バッファステージ９の最上段のトレイの
上に搬送され数段に重ねられる。また空トレイ・バッフ
ァステージ９の空トレイは必要なときにトレイキャリア
１２によってアンローダ部８の試験済のＤＵＴで満杯に
なったトレイの上に重なるように搬送される。
【０００５】ロータリアーム３は回転軸３ａを持ち、そ
の回転軸３ａより３本のアーム３ｂが１２０°間隔で放
射方向に突設される。各アーム３ｂの先端部にデバイス
チャックが昇降自在に取付けられる。ローダ部１０の最
上段の空トレイはトレイキャリア１２のトレイ・チャッ
ク１２ａで吸着され（図５）、その吸着された空トレイ
はシリンダ１２ｃにより所定の高さまで持ち上げられ
て、キャリア・アーム１２ｂに沿って空トレイ・バッフ
ァステージ９の上空に搬送される。シリンダ１２ｃによ
りトレイ・チャック１２ａは下降され、吸着された空ト
レイは解放され、前からあった最上段の空トレイの上に
重ねられる。
の回転軸３ａより３本のアーム３ｂが１２０°間隔で放
射方向に突設される。各アーム３ｂの先端部にデバイス
チャックが昇降自在に取付けられる。ローダ部１０の最
上段の空トレイはトレイキャリア１２のトレイ・チャッ
ク１２ａで吸着され（図５）、その吸着された空トレイ
はシリンダ１２ｃにより所定の高さまで持ち上げられ
て、キャリア・アーム１２ｂに沿って空トレイ・バッフ
ァステージ９の上空に搬送される。シリンダ１２ｃによ
りトレイ・チャック１２ａは下降され、吸着された空ト
レイは解放され、前からあった最上段の空トレイの上に
重ねられる。
【０００６】また例えばアンローダ部８ａにおいて、最
上段のトレイが試験済のＤＵＴで満杯になると、トレイ
・チャック１２ａにより空トレイ・バッファステージ９
の最上段の空トレイが吸着され、シリンダ１２ｃにより
所定の高さ迄持ち上げられた後、キャリア・アーム１２
ｂに沿ってアンローダ部８ａの上空に搬送され、シリン
ダ１２ｃにより所定の位置に下降され、トレイ・チャッ
クの吸着が解放されて、満杯となったトレイの上に重ね
られる。
上段のトレイが試験済のＤＵＴで満杯になると、トレイ
・チャック１２ａにより空トレイ・バッファステージ９
の最上段の空トレイが吸着され、シリンダ１２ｃにより
所定の高さ迄持ち上げられた後、キャリア・アーム１２
ｂに沿ってアンローダ部８ａの上空に搬送され、シリン
ダ１２ｃにより所定の位置に下降され、トレイ・チャッ
クの吸着が解放されて、満杯となったトレイの上に重ね
られる。
【０００７】上述において、ローダ部１０より空になっ
たトレイを空トレイ・バッファステージ９に搬送する場
合や、空トレイ・バッファステージ９より空トレイをア
ンローダ部８ａに搬送する場合、トレイ・チャック１２
ａが最上段の空トレイを吸着して持ち上げたとき、下の
トレイが一緒について来る場合があるので、この状態を
検出するために、発光素子２０ａ，２１ａ，受光素子２
０ｂ，２１ｂより成る２段の光（ビーム）センサ２０，
２１をローダ部１０及び空トレイ・バッファステージ９
の上空の筐体にそれぞれ取付けて、２枚重ねがあるか否
かをチェックする。
たトレイを空トレイ・バッファステージ９に搬送する場
合や、空トレイ・バッファステージ９より空トレイをア
ンローダ部８ａに搬送する場合、トレイ・チャック１２
ａが最上段の空トレイを吸着して持ち上げたとき、下の
トレイが一緒について来る場合があるので、この状態を
検出するために、発光素子２０ａ，２１ａ，受光素子２
０ｂ，２１ｂより成る２段の光（ビーム）センサ２０，
２１をローダ部１０及び空トレイ・バッファステージ９
の上空の筐体にそれぞれ取付けて、２枚重ねがあるか否
かをチェックする。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来のハンドラのトレ
イ搬送装置では、トレイの厚さが変更されると、筐体に
取付けた２段の光（ビーム）センサの間隔を調整しなけ
ればならず、多くの人手と作業時間を要する問題があっ
た。この発明は、上記従来の問題を解決することを目的
としている。
イ搬送装置では、トレイの厚さが変更されると、筐体に
取付けた２段の光（ビーム）センサの間隔を調整しなけ
ればならず、多くの人手と作業時間を要する問題があっ
た。この発明は、上記従来の問題を解決することを目的
としている。
【０００９】
（１）請求項１の発明は、ローダ部と、アンローダ部
と、空トレイ・バッファステージと、トレイキャリア
と、制御部とを有するハンドラのトレイ搬送装置に関す
る。ローダ部は、ＤＵＴ（被試験デバイス）を収容した
トレイをエレベータ上に多段に載置し、その最上段のト
レイが所定の高さになるように常時調整され、その最上
段のトレイのＤＵＴをソークステージに供給する。アン
ローダ部は、イグジットステージより搬送された試験済
のＤＵＴを最上段のトレイに収納し、その最上段のトレ
イの下に、既に満杯になったトレイを多段にエレベータ
上に載置し、最上段のトレイの上面が所定の高さになる
ように常時調整される。空トレイ・バッファステージ
は、多段の空トレイをエレベータ上にストックし、最上
段の空トレイの上面が所定の高さになるように常時調整
される。トレイキャリアは、ローダ部の最上段のトレイ
が空になると、その空トレイを空トレイ・バッファステ
ージの最上段のトレイの上に重なるように搬送し、アン
ローダ部の最上段のトレイが試験済のＤＵＴで満杯にな
ると、そのトレイの上に重なるように、空トレイ・バッ
ファステージの最上段の空トレイを搬送する。制御部
は、各部の動作を制御する。
と、空トレイ・バッファステージと、トレイキャリア
と、制御部とを有するハンドラのトレイ搬送装置に関す
る。ローダ部は、ＤＵＴ（被試験デバイス）を収容した
トレイをエレベータ上に多段に載置し、その最上段のト
レイが所定の高さになるように常時調整され、その最上
段のトレイのＤＵＴをソークステージに供給する。アン
ローダ部は、イグジットステージより搬送された試験済
のＤＵＴを最上段のトレイに収納し、その最上段のトレ
イの下に、既に満杯になったトレイを多段にエレベータ
上に載置し、最上段のトレイの上面が所定の高さになる
ように常時調整される。空トレイ・バッファステージ
は、多段の空トレイをエレベータ上にストックし、最上
段の空トレイの上面が所定の高さになるように常時調整
される。トレイキャリアは、ローダ部の最上段のトレイ
が空になると、その空トレイを空トレイ・バッファステ
ージの最上段のトレイの上に重なるように搬送し、アン
ローダ部の最上段のトレイが試験済のＤＵＴで満杯にな
ると、そのトレイの上に重なるように、空トレイ・バッ
ファステージの最上段の空トレイを搬送する。制御部
は、各部の動作を制御する。
【００１０】請求項１のトレイ搬送装置では特に、１段
構成のトレイ位置検出センサが空トレイ・バッファステ
ージの前記所定の高さに調整される最上段のトレイの上
面の高さより僅かに低い位置に取付けられる。制御部
は、ローダ部より空トレイが空トレイ・バッファステー
ジの空トレイの上に重なるように搬送されると、その空
トレイ・バッファステージの前記エレベータをΔＨ＝Ｗ
ｄ−（Ｗｄ−Ｗｓ）／２（Ｗｄはトレイ２枚重ねの厚
さ、Ｗｓはトレイ１枚分の厚さ）だけ下降させ、然る後
トレイ位置検出センサがトレイを検出したとき、搬送さ
れたトレイは少なくとも２枚重ねであると判断し、検出
しないとき、搬送されたトレイは１枚のみで正常である
と判断する。
構成のトレイ位置検出センサが空トレイ・バッファステ
ージの前記所定の高さに調整される最上段のトレイの上
面の高さより僅かに低い位置に取付けられる。制御部
は、ローダ部より空トレイが空トレイ・バッファステー
ジの空トレイの上に重なるように搬送されると、その空
トレイ・バッファステージの前記エレベータをΔＨ＝Ｗ
ｄ−（Ｗｄ−Ｗｓ）／２（Ｗｄはトレイ２枚重ねの厚
さ、Ｗｓはトレイ１枚分の厚さ）だけ下降させ、然る後
トレイ位置検出センサがトレイを検出したとき、搬送さ
れたトレイは少なくとも２枚重ねであると判断し、検出
しないとき、搬送されたトレイは１枚のみで正常である
と判断する。
【００１１】（２）請求項２のトレイ搬送装置では特
に、１段構成のトレイ位置検出センサがアンローダ部の
所定の高さに調整される最上段のトレイの上面の高さよ
り僅かに低い位置に取付けられる。制御部は、空トレイ
・バッファステージより空トレイがアンローダ部の満杯
のトレイの上に重ねられると、そのアンローダ部の前記
エレベータをΔＨ＝Ｗｄ−（Ｗｄ−Ｗｓ）／２だけ下降
させ、然る後、トレイ位置検出センサがトレイを検出し
たとき、搬送されたトレイは少なくとも２枚重ねである
と判断し、検出しないとき、搬送されたトレイは１枚の
みで正常であると判断する。
に、１段構成のトレイ位置検出センサがアンローダ部の
所定の高さに調整される最上段のトレイの上面の高さよ
り僅かに低い位置に取付けられる。制御部は、空トレイ
・バッファステージより空トレイがアンローダ部の満杯
のトレイの上に重ねられると、そのアンローダ部の前記
エレベータをΔＨ＝Ｗｄ−（Ｗｄ−Ｗｓ）／２だけ下降
させ、然る後、トレイ位置検出センサがトレイを検出し
たとき、搬送されたトレイは少なくとも２枚重ねである
と判断し、検出しないとき、搬送されたトレイは１枚の
みで正常であると判断する。
【００１２】（３）請求項３の発明では、前記（１）ま
たは（２）において、トレイ位置検出センサが、一対の
発光素子及び受光素子より成り、発光素子の光を受光素
子が検出したか否かによりそれぞれトレイ無し、トレイ
有りを検出する。 （４）請求項４の発明では、前記（１）または（２）に
おいて、制御部が予め設定されたトレイの１枚分の厚さ
Ｗｓ及びトレイ２枚重ねの厚さＷｄよりエレベータの下
降距離ΔＨを計算して、記憶手段に記憶する。
たは（２）において、トレイ位置検出センサが、一対の
発光素子及び受光素子より成り、発光素子の光を受光素
子が検出したか否かによりそれぞれトレイ無し、トレイ
有りを検出する。 （４）請求項４の発明では、前記（１）または（２）に
おいて、制御部が予め設定されたトレイの１枚分の厚さ
Ｗｓ及びトレイ２枚重ねの厚さＷｄよりエレベータの下
降距離ΔＨを計算して、記憶手段に記憶する。
【００１３】（５）請求項５の発明では、前記（１）ま
たは（２）において、予め外部よりエレベータの下降距
離ΔＨを記憶手段に入力する。
たは（２）において、予め外部よりエレベータの下降距
離ΔＨを記憶手段に入力する。
【００１４】
【発明の実施の形態】この発明においても、従来と同様
にローダ部１０、空トレイ・バッファステージ９、アン
ローダ部８ａ，８ｂにおいて最上段のトレイは所定の位
置に常時調整される。この発明では、空トレイをローダ
部１０から空トレイ・バッファステージ９へ搬送する時
または空トレイ・バッファステージ９よりアンローダ部
８ａ，８ｂへ搬送する時に発生する恐れのあるトレイの
２枚重ねを検出するために、１段構成のトレイ位置検出
センサ３０が空トレイ・バッファステージ９，アンロー
ダ部８ａ，８ｂの所定の高さに調整される最上段のトレ
イの上面の高さより僅かに低い位置に取付けられる。図
１，図２の実施例では、トレイ位置検出センサ３０は一
対の発光素子３０ａ，受光素子３０ｂより成り、発光素
子の光を受光素子が検出したか否かにより、それぞれト
レイ無し、トレイ有りを検出する（請求項３）。
にローダ部１０、空トレイ・バッファステージ９、アン
ローダ部８ａ，８ｂにおいて最上段のトレイは所定の位
置に常時調整される。この発明では、空トレイをローダ
部１０から空トレイ・バッファステージ９へ搬送する時
または空トレイ・バッファステージ９よりアンローダ部
８ａ，８ｂへ搬送する時に発生する恐れのあるトレイの
２枚重ねを検出するために、１段構成のトレイ位置検出
センサ３０が空トレイ・バッファステージ９，アンロー
ダ部８ａ，８ｂの所定の高さに調整される最上段のトレ
イの上面の高さより僅かに低い位置に取付けられる。図
１，図２の実施例では、トレイ位置検出センサ３０は一
対の発光素子３０ａ，受光素子３０ｂより成り、発光素
子の光を受光素子が検出したか否かにより、それぞれト
レイ無し、トレイ有りを検出する（請求項３）。
【００１５】制御部１８は、空トレイがローダ部１０よ
り搬送されて空トレイ・バッファステージ９の空トレイ
の上に重ねられると（図２Ａ）、或いは空トレイ・バッ
ファステージ９より搬送されてアンローダ部８ａ，８ｂ
へ重ねられると、エレベータをΔＨ＝Ｗｄ−（Ｗｄ−Ｗ
ｓ）／２（Ｗｄはトレイ２枚重ねの厚さ、Ｗｓはトレイ
１枚分の厚さ）だけ下降させる（図２Ｂ）。然る後、制
御部１８は、トレイ位置検出センサ３０が、トレイを検
出したとき、搬送されたトレイは少なくとも２枚重ねで
あると判断し、例えば可視可聴の警報を発生させ、検出
しないとき、搬送されたトレイは１枚のみで正常である
と判断する。
り搬送されて空トレイ・バッファステージ９の空トレイ
の上に重ねられると（図２Ａ）、或いは空トレイ・バッ
ファステージ９より搬送されてアンローダ部８ａ，８ｂ
へ重ねられると、エレベータをΔＨ＝Ｗｄ−（Ｗｄ−Ｗ
ｓ）／２（Ｗｄはトレイ２枚重ねの厚さ、Ｗｓはトレイ
１枚分の厚さ）だけ下降させる（図２Ｂ）。然る後、制
御部１８は、トレイ位置検出センサ３０が、トレイを検
出したとき、搬送されたトレイは少なくとも２枚重ねで
あると判断し、例えば可視可聴の警報を発生させ、検出
しないとき、搬送されたトレイは１枚のみで正常である
と判断する。
【００１６】上述の２枚重ねが発生したときは、警報に
より作業員が余分のトレイを取り除く。また正常である
ときは、制御部１８は、最上段のトレイの上面が所定の
高さＨとなるようにエレベータを上昇させる（図２
Ｃ）。図の例では、発光素子３０ａの光が最上段のトレ
イの上端で遮断され、受光素子３０ｂで光を検出しなく
なる迄エレベータを上昇させる。
より作業員が余分のトレイを取り除く。また正常である
ときは、制御部１８は、最上段のトレイの上面が所定の
高さＨとなるようにエレベータを上昇させる（図２
Ｃ）。図の例では、発光素子３０ａの光が最上段のトレ
イの上端で遮断され、受光素子３０ｂで光を検出しなく
なる迄エレベータを上昇させる。
【００１７】トレイ位置検出センサ３０を用いてトレイ
の２枚重ねを検出するトレイ搬送機構を空トレイ・バッ
ファステージ９，アンローダ部８ａ，８ｂにそれぞれ設
けるのが望ましいが、この発明はその場合に限らず、少
なくともいずれか１つの部分で設けられていればよい。
前記エレベータの下降距離ΔＨと関連して、制御部１８
は、予め設定されたトレイ１枚分の厚さＷｓ及びトレイ
２枚重ねの厚さＷｄよりエレベータの下降距離ΔＨを計
算して記憶手段に記憶する（請求項４）。或いは他の方
法として、例えばオペレータがエレベータの下降距離Δ
Ｈを記憶手段に入力するようにしてもよい（請求項
５）。
の２枚重ねを検出するトレイ搬送機構を空トレイ・バッ
ファステージ９，アンローダ部８ａ，８ｂにそれぞれ設
けるのが望ましいが、この発明はその場合に限らず、少
なくともいずれか１つの部分で設けられていればよい。
前記エレベータの下降距離ΔＨと関連して、制御部１８
は、予め設定されたトレイ１枚分の厚さＷｓ及びトレイ
２枚重ねの厚さＷｄよりエレベータの下降距離ΔＨを計
算して記憶手段に記憶する（請求項４）。或いは他の方
法として、例えばオペレータがエレベータの下降距離Δ
Ｈを記憶手段に入力するようにしてもよい（請求項
５）。
【００１８】位置検出センサ３０として光（ビーム）セ
ンサに限らず、マイクロスイッチやその他のセンサを用
いることもできる。
ンサに限らず、マイクロスイッチやその他のセンサを用
いることもできる。
【００１９】
【発明の効果】この発明では、空トレイ・バッファステ
ージ９またはアンローダ部８ａまたは８ｂにおいて、所
定の高さに調整される最上段のトレイの上面の高さより
僅かに低い位置に１段構成のトレイ位置検出センサ３０
が取付けられると共に、空トレイ・バッファステージ９
またはアンローダ部８ａまたは８ｂの最上段のトレイの
上に空トレイが重ねられたとき、エレベータを前記の適
当距離ΔＨだけ降下させる。この構成によって、トレイ
１枚分の厚さＷｓを変更した場合、従来のように２段の
光（ビーム）センサ２０，２１の間隔を作業者がいちい
ち手作業で調整する必要がなく、オペレータがトレイ１
枚分の厚さＷｓ及びトレイ２枚重ねの厚さＷｄ，或いは
エレベータの下降距離ΔＨを再入力するだけで、搬送さ
れたトレイに２枚重ねが発生したか否かを容易に検出す
ることができる。
ージ９またはアンローダ部８ａまたは８ｂにおいて、所
定の高さに調整される最上段のトレイの上面の高さより
僅かに低い位置に１段構成のトレイ位置検出センサ３０
が取付けられると共に、空トレイ・バッファステージ９
またはアンローダ部８ａまたは８ｂの最上段のトレイの
上に空トレイが重ねられたとき、エレベータを前記の適
当距離ΔＨだけ降下させる。この構成によって、トレイ
１枚分の厚さＷｓを変更した場合、従来のように２段の
光（ビーム）センサ２０，２１の間隔を作業者がいちい
ち手作業で調整する必要がなく、オペレータがトレイ１
枚分の厚さＷｓ及びトレイ２枚重ねの厚さＷｄ，或いは
エレベータの下降距離ΔＨを再入力するだけで、搬送さ
れたトレイに２枚重ねが発生したか否かを容易に検出す
ることができる。
【図１】この発明の実施例の要部を示す原理的な斜視
図。
図。
【図２】最上段のトレイ上に重なるように搬送されたト
レイの高さをエレベータにより変化させた場合の図１の
空トレイ・バッファステージ９におけるトレイ群の要部
を示す原理的な正面図。
レイの高さをエレベータにより変化させた場合の図１の
空トレイ・バッファステージ９におけるトレイ群の要部
を示す原理的な正面図。
【図３】ハンドラの構成の概略を示す平面図。
【図４】従来のハンドラのトレイ搬送装置の要部を示す
原理的な斜視図。
原理的な斜視図。
【図５】図４のローダ部１０において、最上段の空トレ
イ１をトレイ・チャックで持ち上げる前後の状態を示す
原理的な正面図。
イ１をトレイ・チャックで持ち上げる前後の状態を示す
原理的な正面図。
Claims (5)
- 【請求項１】 ＤＵＴ（被試験デバイス）を収容したト
レイをエレベータ上に多段に載置し、その最上段のトレ
イが所定の高さになるように常時調整され、その最上段
のトレイのＤＵＴをソークステージに供給するローダ部
と、 イグジットステージより搬送された試験済のＤＵＴを最
上段のトレイに収納し、その最上段のトレイの下に、既
に満杯になったトレイをエレベータ上に多段に載置し、
最上段のトレイの上面が所定の高さになるように常時調
整されるアンローダ部と、 多段の空トレイをエレベータ上にストックし、最上段の
空トレイの上面が所定の高さになるように常時調整され
る空トレイ・バッファステージと、 前記ローダ部の最上段のトレイが空になると、その空ト
レイを前記空トレイ・バッファステージの最上段のトレ
イの上に重なるように搬送し、前記アンローダ部の最上
段のトレイが試験済のＤＵＴで満杯になると、そのトレ
イの上に重なるように、前記空トレイ・バッファステー
ジの最上段の空トレイを搬送するトレイキャリアと、 各部の動作を制御する制御部と、 を有するハンドラのトレイ搬送装置において、 １段構成のトレイ位置検出センサが、前記空トレイ・バ
ッファステージの前記所定の高さに調整される最上段の
トレイの上面の高さより僅かに低い位置に取付けられ、 前記制御部は、前記ローダ部より空トレイが前記空トレ
イ・バッファステージの空トレイの上に重ねられると、
その空トレイ・バッファステージの前記エレベータをΔ
Ｈ＝Ｗｄ−（Ｗｄ−Ｗｓ）／２（Ｗｄはトレイ２枚重ね
の厚さ、Ｗｓはトレイ１枚分の厚さ）だけ下降させ、然
る後前記トレイ位置検出センサがトレイを検出したと
き、搬送されたトレイは少なくとも２枚重ねであると判
断し、検出しないとき、搬送されたトレイは１枚のみで
正常であると判断することを特徴とする、 ハンドラのトレイ搬送装置。 - 【請求項２】 ＤＵＴ（被試験デバイス）を収容したト
レイをエレベータ上に多段に載置し、その最上段のトレ
イが所定の高さになるように常時調整され、その最上段
のトレイのＤＵＴをソークステージに供給するローダ部
と、 イグジットステージより搬送された試験済のＤＵＴを最
上段のトレイに収納し、その最上段のトレイの下に、既
に満杯になったトレイをエレベータ上に多段に載置し、
最上段のトレイの上面が所定の高さになるように常時調
整されるアンローダ部と、 多段の空トレイをエレベータ上にストックし、最上段の
空トレイの上面が所定の高さになるように常時調整され
る空トレイ・バッファステージと、 前記ローダ部の最上段のトレイが空になると、その空ト
レイを前記空トレイ・バッファステージの最上段のトレ
イの上に重なるように搬送し、前記アンローダ部の最上
段のトレイが試験済のＤＵＴで満杯になると、そのトレ
イの上に重なるように、前記空トレイ・バッファステー
ジの最上段の空トレイを搬送するトレイキャリアと、 各部の動作を制御する制御部と、 を有するハンドラのトレイ搬送装置において、 １段構成のトレイ位置検出センサが、前記アンローダ部
の前記所定の高さに調整される最上段のトレイの上面の
高さより僅かに低い位置に取付けられ、 前記制御部は、前記空トレイ・バッファステージより空
トレイが前記アンローダ部の前記満杯のトレイの上に重
ねられると、そのアンローダ部の前記エレベータをΔＨ
＝Ｗｄ−（Ｗｄ−Ｗｓ）／２だけ下降させ、然る後トレ
イ位置検出センサが、トレイを検出したとき、搬送され
たトレイは少なくとも２枚重ねであると判断し、検出し
ないとき、搬送されたトレイは１枚のみで正常であると
判断することを特徴とする、 ハンドラのトレイ搬送装置。 - 【請求項３】 請求項１または２において、前記トレイ
位置検出センサが、一対の発光素子及び受光素子より成
り、発光素子の光を受光素子が検出したか否かによりそ
れぞれトレイ無し、トレイ有りを検出することを特徴と
するハンドラのトレイ搬送装置。 - 【請求項４】 請求項１または２において、前記制御部
が予め設定されたトレイ１枚分の厚さＷｓ及びトレイ２
枚重ねの厚さＷｄより前記エレベータの下降距離ΔＨを
計算して、記憶手段に記憶することを特徴とするハンド
ラのトレイ搬送装置。 - 【請求項５】 請求項１または２において、予め外部よ
り前記エレベータの下降距離ΔＨを記憶手段に入力する
ことを特徴とするハンドラのトレイ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08938297A JP3644567B2 (ja) | 1997-04-08 | 1997-04-08 | ハンドラのトレイ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08938297A JP3644567B2 (ja) | 1997-04-08 | 1997-04-08 | ハンドラのトレイ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10279067A true JPH10279067A (ja) | 1998-10-20 |
| JP3644567B2 JP3644567B2 (ja) | 2005-04-27 |
Family
ID=13969133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08938297A Expired - Fee Related JP3644567B2 (ja) | 1997-04-08 | 1997-04-08 | ハンドラのトレイ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3644567B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100865025B1 (ko) | 2007-07-23 | 2008-10-23 | 장준영 | 테스트 핸들러에서 반도체 디바이스의 겹침 검출 장치 |
| US7642799B2 (en) | 2006-08-21 | 2010-01-05 | Yamaha Corporation | Test chip socket and method for testing a chip |
| CN109967387A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-07-05 | 江苏欣达通信科技股份有限公司 | 一种智能检测回盘系统 |
| JP2024028858A (ja) * | 2017-12-19 | 2024-03-05 | ボストン セミ イクイップメント エルエルシー | キットを用いないピックアンドプレースハンドラ |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5589525B2 (ja) * | 2010-04-20 | 2014-09-17 | 澁谷工業株式会社 | 物品分類装置 |
| WO2020154325A1 (en) | 2019-01-22 | 2020-07-30 | Shanghai Yanfeng Jinqiao Automotive Trim Systems Co. Ltd. | Vehicle interior component |
-
1997
- 1997-04-08 JP JP08938297A patent/JP3644567B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7642799B2 (en) | 2006-08-21 | 2010-01-05 | Yamaha Corporation | Test chip socket and method for testing a chip |
| KR100865025B1 (ko) | 2007-07-23 | 2008-10-23 | 장준영 | 테스트 핸들러에서 반도체 디바이스의 겹침 검출 장치 |
| JP2024028858A (ja) * | 2017-12-19 | 2024-03-05 | ボストン セミ イクイップメント エルエルシー | キットを用いないピックアンドプレースハンドラ |
| CN109967387A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-07-05 | 江苏欣达通信科技股份有限公司 | 一种智能检测回盘系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3644567B2 (ja) | 2005-04-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5680936A (en) | Printed circuit board sorting device | |
| KR101145511B1 (ko) | 기판 운송 시스템에 대한 고속 로더의 캘리브레이션 | |
| JP2921937B2 (ja) | Ｉｃ検査装置 | |
| US11066248B2 (en) | Article transport device | |
| JP4500770B2 (ja) | 搬送装置、電子部品ハンドリング装置および電子部品ハンドリング装置における搬送方法 | |
| KR19980703276A (ko) | 처리방법 및 이에 이용하기 위한 로보트 | |
| CN105584769A (zh) | 物品收存设备 | |
| JPH09199889A (ja) | キャリア移送装置 | |
| JPH0974128A (ja) | Ｉｃパッケージの真空吸着ハンド | |
| JPH10279067A (ja) | ハンドラのトレイ搬送装置 | |
| CN103387108B (zh) | 基板检测装置 | |
| KR20020076553A (ko) | 반도체 패키지의 마킹장치 | |
| JP3492793B2 (ja) | Ｉｃテスタ用ハンドラにおける再検査方法 | |
| KR100699544B1 (ko) | 반도체장치 제조용 스트립 처리장치 | |
| JPH11114505A (ja) | ディスクの板厚別仕分け装置 | |
| JP2003198193A (ja) | 電子部品搬送装置 | |
| JP3638735B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| KR20230019757A (ko) | 전자부품 테스트 핸들러 | |
| JPH01253091A (ja) | 自動販売機における商品載置台昇降制御装置 | |
| JP2005000725A (ja) | 電子部品の選別装置 | |
| JP3131728B2 (ja) | 搬送物段積み装置 | |
| JPH11325879A (ja) | 容器の検査装置 | |
| JP2024117203A (ja) | 処理装置 | |
| JP2024014457A (ja) | 処理装置 | |
| JPH0914953A (ja) | 成形品検査機 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041012 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050111 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426 Effective date: 20050127 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050127 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |