JPH10279072A - 鍔付容器の挟持装置 - Google Patents
鍔付容器の挟持装置Info
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- JPH10279072A JPH10279072A JP9841797A JP9841797A JPH10279072A JP H10279072 A JPH10279072 A JP H10279072A JP 9841797 A JP9841797 A JP 9841797A JP 9841797 A JP9841797 A JP 9841797A JP H10279072 A JPH10279072 A JP H10279072A
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- JP
- Japan
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- chuck
- container
- flange
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- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 鍔付容器の鍔部の位置と挟持装置のチャック
の位置が一致していない場合において、チャックの移動
にて鍔付容器を破損しないようにした鍔付容器の挟持装
置を提供すること。 【解決手段】 対向して配設したチャック１０，１１の
移動にて鍔付容器を挟持するようにした鍔付容器の挟持
装置において、ピニオン５の正逆回転により互いに接離
方向に移動するラック６，７をガイドロッド１２，１３
にそれぞれ支持するとともに、このガイドロッド１２、
１３に、ばね８，９にてラック６，７側に付勢したチャ
ック１０，１１を移動可能に支持するようにする。
の位置が一致していない場合において、チャックの移動
にて鍔付容器を破損しないようにした鍔付容器の挟持装
置を提供すること。 【解決手段】 対向して配設したチャック１０，１１の
移動にて鍔付容器を挟持するようにした鍔付容器の挟持
装置において、ピニオン５の正逆回転により互いに接離
方向に移動するラック６，７をガイドロッド１２，１３
にそれぞれ支持するとともに、このガイドロッド１２、
１３に、ばね８，９にてラック６，７側に付勢したチャ
ック１０，１１を移動可能に支持するようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、鍔付容器の挟持装
置に関し、特に、鍔付容器の鍔部の位置と挟持装置のチ
ャックの位置が一致していない場合において、チャック
の移動にて鍔付容器を破損しないようにした鍔付容器の
挟持装置に関するものである。
置に関し、特に、鍔付容器の鍔部の位置と挟持装置のチ
ャックの位置が一致していない場合において、チャック
の移動にて鍔付容器を破損しないようにした鍔付容器の
挟持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば、半導体ウエハー等は、複
数枚を鍔付容器（カセット）に収納して工場内を搬送す
るようにしている。そして、この鍔付容器は、対向して
配設したチャックを、駆動装置にて相反方向に同期して
移動することにより、鍔付容器の鍔部を挟持するように
した挟持装置に用いて、半導体製造装置と搬送台車との
間で受け渡しを行うようにしていた。
数枚を鍔付容器（カセット）に収納して工場内を搬送す
るようにしている。そして、この鍔付容器は、対向して
配設したチャックを、駆動装置にて相反方向に同期して
移動することにより、鍔付容器の鍔部を挟持するように
した挟持装置に用いて、半導体製造装置と搬送台車との
間で受け渡しを行うようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
鍔付容器の挟持装置は、鍔付容器の鍔部の位置と挟持装
置のチャックの位置が一致している場合には、対向して
配設したチャックを相反方向に移動することにより、鍔
付容器の鍔部を確実に挟持することができるように構成
されているが、この位置が一致していない場合には、チ
ャックを相反方向に移動することにより、チャックの先
端部分が鍔付容器の鍔部の先端に衝突し、さらにチャッ
クが接近すると、チャックの挟持力にて容器自体、さら
には、容器に収納されている半導体ウエハー等を破損す
るという問題点があった。
鍔付容器の挟持装置は、鍔付容器の鍔部の位置と挟持装
置のチャックの位置が一致している場合には、対向して
配設したチャックを相反方向に移動することにより、鍔
付容器の鍔部を確実に挟持することができるように構成
されているが、この位置が一致していない場合には、チ
ャックを相反方向に移動することにより、チャックの先
端部分が鍔付容器の鍔部の先端に衝突し、さらにチャッ
クが接近すると、チャックの挟持力にて容器自体、さら
には、容器に収納されている半導体ウエハー等を破損す
るという問題点があった。
【０００４】本発明は、上記従来の鍔付容器の挟持装置
の有する問題点に鑑み、鍔付容器の鍔部の位置と挟持装
置のチャックの位置が一致していない場合において、チ
ャックの移動にて鍔付容器を破損しないようにした鍔付
容器の挟持装置を提供することを目的とする。
の有する問題点に鑑み、鍔付容器の鍔部の位置と挟持装
置のチャックの位置が一致していない場合において、チ
ャックの移動にて鍔付容器を破損しないようにした鍔付
容器の挟持装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の鍔付容器の挟持装置は、対向して配設した
チャックの移動にて鍔付容器を挟持するようにした鍔付
容器の挟持装置において、ピニオンの正逆回転により互
いに接離方向に移動するラックをガイドロッドにそれぞ
れ支持するとともに、該ガイドロッドに、ばねにてラッ
ク側に付勢したチャックを移動可能に支持したことを特
徴とする。
め、本発明の鍔付容器の挟持装置は、対向して配設した
チャックの移動にて鍔付容器を挟持するようにした鍔付
容器の挟持装置において、ピニオンの正逆回転により互
いに接離方向に移動するラックをガイドロッドにそれぞ
れ支持するとともに、該ガイドロッドに、ばねにてラッ
ク側に付勢したチャックを移動可能に支持したことを特
徴とする。
【０００６】この鍔付容器の挟持装置は、ピニオンの正
逆回転により互いに接離方向に移動するラック及びチャ
ックをガイドロッドにそれぞれ個別に移動可能に支持す
るとともに、チャックをばねにてラック側に付勢するよ
うにしているので、鍔付容器の鍔部の位置と挟持装置の
チャックの位置が一致していない場合において、ピニオ
ンの正逆回転によりラックを移動すると、チャックが鍔
部に当接するまでは、ばねの付勢力によりチャックはラ
ックと共に移動するが、チャックが鍔部に当接した後
は、ラックのみが移動し、チャックはばねの付勢力に抗
して停止し、チャックの挟持力にて容器自体、さらに
は、容器に収納されている半導体ウエハー等を破損する
ことを未然に防止することができる。
逆回転により互いに接離方向に移動するラック及びチャ
ックをガイドロッドにそれぞれ個別に移動可能に支持す
るとともに、チャックをばねにてラック側に付勢するよ
うにしているので、鍔付容器の鍔部の位置と挟持装置の
チャックの位置が一致していない場合において、ピニオ
ンの正逆回転によりラックを移動すると、チャックが鍔
部に当接するまでは、ばねの付勢力によりチャックはラ
ックと共に移動するが、チャックが鍔部に当接した後
は、ラックのみが移動し、チャックはばねの付勢力に抗
して停止し、チャックの挟持力にて容器自体、さらに
は、容器に収納されている半導体ウエハー等を破損する
ことを未然に防止することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の鍔付容器の挟持装
置の実施の形態を図面に基づいて説明する。この鍔付容
器の挟持装置は、駆動装置として、本体フレーム１４に
モータ１を取り付け、このモータ１のモータ軸に直接又
は間接にウオーム２を配設し、ウオーム２に噛合するウ
オームホイール３を回動するようにする。ウオームホイ
ール３には、ピニオン５を同軸上に固定し、モータ１を
駆動することにより、ウオーム２及びウオームホイール
３を介してピニオン５を駆動するようにする。
置の実施の形態を図面に基づいて説明する。この鍔付容
器の挟持装置は、駆動装置として、本体フレーム１４に
モータ１を取り付け、このモータ１のモータ軸に直接又
は間接にウオーム２を配設し、ウオーム２に噛合するウ
オームホイール３を回動するようにする。ウオームホイ
ール３には、ピニオン５を同軸上に固定し、モータ１を
駆動することにより、ウオーム２及びウオームホイール
３を介してピニオン５を駆動するようにする。
【０００８】ピニオン５には、上下に対向して２個のラ
ック６，７を噛合することにより、ピニオン５の正逆回
転により、２個のラック６，７を相反方向に同期して等
距離移動する、すなわち、互いに接近又は離反するよう
にする。
ック６，７を噛合することにより、ピニオン５の正逆回
転により、２個のラック６，７を相反方向に同期して等
距離移動する、すなわち、互いに接近又は離反するよう
にする。
【０００９】２個のラック６，７は、それぞれガイドロ
ッド１２，１３に貫通、支持され、このガイドロッド１
２，１３に沿って摺動するようにする。ガイドロッド１
２，１３は、本体フレーム１４に固定して取り付けるよ
うにする。
ッド１２，１３に貫通、支持され、このガイドロッド１
２，１３に沿って摺動するようにする。ガイドロッド１
２，１３は、本体フレーム１４に固定して取り付けるよ
うにする。
【００１０】このガイドロッド１２，１３には、ラック
６，７の外側に、ラック６，７に当接するようにして、
それぞれチャック１０，１１を摺動可能に、貫通、支持
する。各チャック１０，１１は、一端を本体フレーム１
４に固定したばね８，９の他端を係止し、このばね８，
９にて、各チャック１０，１１をラック６，７側、すな
わち、２個のチャック１０，１１が近接する方向に付勢
されるようにする。チャック１０，１１の先端には、鍔
付容器４の鍔部４ａを挟持することができるように断面
コ字形をした鍔部保持片１０ａ，１１ａを一体に形成す
る。
６，７の外側に、ラック６，７に当接するようにして、
それぞれチャック１０，１１を摺動可能に、貫通、支持
する。各チャック１０，１１は、一端を本体フレーム１
４に固定したばね８，９の他端を係止し、このばね８，
９にて、各チャック１０，１１をラック６，７側、すな
わち、２個のチャック１０，１１が近接する方向に付勢
されるようにする。チャック１０，１１の先端には、鍔
付容器４の鍔部４ａを挟持することができるように断面
コ字形をした鍔部保持片１０ａ，１１ａを一体に形成す
る。
【００１１】次に、この鍔付容器の挟持装置の動作につ
いて説明する。図３に示すように、対向するチャック１
０，１１の中心までの高さＨと、鍔付容器４の鍔部４ａ
までの高さｈとが一致した状態に鍔付容器４が置かれて
いる場合には、モータ１を駆動することにより、ウオー
ム２及びウオームホイール３を介して、ピニオン５を正
回転すると、ラック６，７は互いに接近する方向にガイ
ドロッド１２，１３に導かれて移動する。これに合わせ
て、チャック１０，１１も、ばね８，９の付勢力によ
り、ラック６，７と共に移動し、断面コ字形の鍔部保持
片１０ａ，１１ａ内に鍔部４ａが挿入され、鍔付容器４
の鍔部４ａは、チャック１０，１１間にて、ばね８，９
の付勢力によって挟持される。
いて説明する。図３に示すように、対向するチャック１
０，１１の中心までの高さＨと、鍔付容器４の鍔部４ａ
までの高さｈとが一致した状態に鍔付容器４が置かれて
いる場合には、モータ１を駆動することにより、ウオー
ム２及びウオームホイール３を介して、ピニオン５を正
回転すると、ラック６，７は互いに接近する方向にガイ
ドロッド１２，１３に導かれて移動する。これに合わせ
て、チャック１０，１１も、ばね８，９の付勢力によ
り、ラック６，７と共に移動し、断面コ字形の鍔部保持
片１０ａ，１１ａ内に鍔部４ａが挿入され、鍔付容器４
の鍔部４ａは、チャック１０，１１間にて、ばね８，９
の付勢力によって挟持される。
【００１２】また、鍔付容器４の鍔部４ａの挟持を解除
するには、モータ１を逆転させることにより、ピニオン
５を逆回転すると、ラック６，７は互いに離反する方向
にガイドロッド１２，１３に導かれて移動する。これに
合わせて、チャック１０，１１も、ばね８，９の付勢力
に抗して、ラック６，７と共に移動し、断面コ字形の鍔
部保持片１０ａ，１１ａ内から鍔部４ａが外れ、鍔付容
器４の鍔部４ａの挟持が解除される。
するには、モータ１を逆転させることにより、ピニオン
５を逆回転すると、ラック６，７は互いに離反する方向
にガイドロッド１２，１３に導かれて移動する。これに
合わせて、チャック１０，１１も、ばね８，９の付勢力
に抗して、ラック６，７と共に移動し、断面コ字形の鍔
部保持片１０ａ，１１ａ内から鍔部４ａが外れ、鍔付容
器４の鍔部４ａの挟持が解除される。
【００１３】これに対して、図４〜図５に示すように、
対向するチャック１０，１１の中心までの高さＨと、鍔
付容器４の鍔部４ａまでの高さｈとが一致していない状
態に鍔付容器４が置かれている場合には、モータ１を駆
動することにより、ウオーム２及びウオームホイール３
を介して、ピニオン５を正回転すると、ラック６，７は
互いに接近する方向にガイドロッド１２，１３に導かれ
て移動する。これに合わせて、チャック１０，１１も、
チャック１０，１１の断面コ字形の鍔部保持片１０ａ，
１１ａが鍔付容器４の鍔部４ａに当接するまでは、ばね
８，９の付勢力により、ラック６，７と共に移動する
が、チャック１０．１１の断面コ字形の鍔部保持片１０
ａ，１１ａが鍔付容器４の鍔部４ａに当接した後は、ラ
ック６，７のみが移動し、チャック１０，１１はばね
８，９の付勢力に抗して停止し、ラック６，７とチャッ
ク１０，１１の間に隙間Ｇが生じる。これにより、鍔付
容器４の鍔部４ａにかかるチャック１０，１１の断面コ
字形の鍔部保持片１０ａ，１１ａによる挟持力は、ばね
８，９の付勢力のみであるため、鍔付容器４自体、さら
には、鍔付容器４に収納されている半導体ウエハーＷ等
を破損することを未然に防止することができる。
対向するチャック１０，１１の中心までの高さＨと、鍔
付容器４の鍔部４ａまでの高さｈとが一致していない状
態に鍔付容器４が置かれている場合には、モータ１を駆
動することにより、ウオーム２及びウオームホイール３
を介して、ピニオン５を正回転すると、ラック６，７は
互いに接近する方向にガイドロッド１２，１３に導かれ
て移動する。これに合わせて、チャック１０，１１も、
チャック１０，１１の断面コ字形の鍔部保持片１０ａ，
１１ａが鍔付容器４の鍔部４ａに当接するまでは、ばね
８，９の付勢力により、ラック６，７と共に移動する
が、チャック１０．１１の断面コ字形の鍔部保持片１０
ａ，１１ａが鍔付容器４の鍔部４ａに当接した後は、ラ
ック６，７のみが移動し、チャック１０，１１はばね
８，９の付勢力に抗して停止し、ラック６，７とチャッ
ク１０，１１の間に隙間Ｇが生じる。これにより、鍔付
容器４の鍔部４ａにかかるチャック１０，１１の断面コ
字形の鍔部保持片１０ａ，１１ａによる挟持力は、ばね
８，９の付勢力のみであるため、鍔付容器４自体、さら
には、鍔付容器４に収納されている半導体ウエハーＷ等
を破損することを未然に防止することができる。
【００１４】
【発明の効果】本発明の鍔付容器の挟持装置によれば、
鍔付容器の鍔部の位置と挟持装置のチャックの位置が一
致していない場合において、ピニオンの正逆回転により
ラックを移動すると、チャックが鍔部に当接するまで
は、ばねの付勢力によりチャックはラックと共に移動す
るが、チャックが鍔部に当接した後は、ラックのみが移
動し、チャックはばねの付勢力に抗して停止し、チャッ
クの挟持力にて容器自体、さらには、容器に収納されて
いる半導体ウエハー等を破損することを未然に防止する
ことができる。
鍔付容器の鍔部の位置と挟持装置のチャックの位置が一
致していない場合において、ピニオンの正逆回転により
ラックを移動すると、チャックが鍔部に当接するまで
は、ばねの付勢力によりチャックはラックと共に移動す
るが、チャックが鍔部に当接した後は、ラックのみが移
動し、チャックはばねの付勢力に抗して停止し、チャッ
クの挟持力にて容器自体、さらには、容器に収納されて
いる半導体ウエハー等を破損することを未然に防止する
ことができる。
【図１】本発明の鍔付容器の挟持装置の一実施例を示す
平面図である。
平面図である。
【図２】同正面図である。
【図３】鍔付容器の正常な挟持状態を示す説明図であ
る。
る。
【図４】本発明の鍔付容器の挟持装置の鍔付容器の異常
な挟持状態のときの正面図である。
な挟持状態のときの正面図である。
【図５】鍔付容器の異常な挟持状態を示す説明図であ
る。
る。
１ モータ ２ ウオーム ３ ウオームホイール ４ 鍔付容器 ４ａ 鍔部 ５ ピニオン ６ ラック ７ ラック ８ ばね ９ ばね １０ チャック １１ チャック １２ ガイドロッド １３ ガイドロッド １４ 本体フレーム
Claims (1)
- 【請求項１】 対向して配設したチャックの移動にて鍔
付容器を挟持するようにした鍔付容器の挟持装置におい
て、ピニオンの正逆回転により互いに接離方向に移動す
るラックをガイドロッドにそれぞれ支持するとともに、
該ガイドロッドに、ばねにてラック側に付勢したチャッ
クを移動可能に支持したことを特徴とする鍔付容器の挟
持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9841797A JPH10279072A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 鍔付容器の挟持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9841797A JPH10279072A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 鍔付容器の挟持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10279072A true JPH10279072A (ja) | 1998-10-20 |
Family
ID=14219257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9841797A Pending JPH10279072A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 鍔付容器の挟持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10279072A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006210373A (ja) * | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Yaskawa Electric Corp | ウェハのアライナー装置 |
| CN106313115A (zh) * | 2016-09-22 | 2017-01-11 | 安徽工程大学 | 一种可拆卸式工业机器人力矩平衡装置及其安装方法 |
| CN107127768A (zh) * | 2017-06-06 | 2017-09-05 | 佛山市建金建电子科技有限公司 | 一种含有紫外线装置的机器人 |
| JP2019010717A (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-24 | ライフロボティクス株式会社 | ロボットハンド |
| WO2024093400A1 (en) * | 2022-10-30 | 2024-05-10 | Tcl Zhonghuan Renewable Energy Technology Co., Ltd. | Material frame unlocking device |
-
1997
- 1997-03-31 JP JP9841797A patent/JPH10279072A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006210373A (ja) * | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Yaskawa Electric Corp | ウェハのアライナー装置 |
| CN106313115A (zh) * | 2016-09-22 | 2017-01-11 | 安徽工程大学 | 一种可拆卸式工业机器人力矩平衡装置及其安装方法 |
| CN107127768A (zh) * | 2017-06-06 | 2017-09-05 | 佛山市建金建电子科技有限公司 | 一种含有紫外线装置的机器人 |
| JP2019010717A (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-24 | ライフロボティクス株式会社 | ロボットハンド |
| WO2024093400A1 (en) * | 2022-10-30 | 2024-05-10 | Tcl Zhonghuan Renewable Energy Technology Co., Ltd. | Material frame unlocking device |
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