JPH1027963A - Multilayer printed wiring board and method of manufacturing the same - Google Patents
Multilayer printed wiring board and method of manufacturing the sameInfo
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- JPH1027963A JPH1027963A JP18062396A JP18062396A JPH1027963A JP H1027963 A JPH1027963 A JP H1027963A JP 18062396 A JP18062396 A JP 18062396A JP 18062396 A JP18062396 A JP 18062396A JP H1027963 A JPH1027963 A JP H1027963A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】耐熱性樹脂からなる樹脂絶縁層の表面に無電解
めっき膜のアンカーを形成することによって、密着強度
の優れた無電解めっき膜及び電解めっき膜からなる導体
パターンを形成し、信頼性に優れた高密度多層プリント
配線板を容易にかつ安価に提供することにある。
【解決手段】無電解めっき及び電解めっきからなる導体
パターンと耐熱性樹脂からなる樹脂絶縁層とが交互に積
層された多層プリント配線板において、前記樹脂絶縁層
4aの表面に厚さ0.1〜8μmの多孔質層を設けて無
電解めっき膜のアンカーを形成し、前記樹脂絶縁層4a
の樹脂成分が複数もしくは単一の熱硬化性のエポキシ化
合物からなり、その成分の一つが脂環式エポキシ類化合
物を含み、請求項に示す構造を有するようにしたもので
ある。
(57) Abstract: An electroless plating film having an excellent adhesion strength is formed by forming an electroless plating film anchor on the surface of a resin insulating layer made of a heat-resistant resin. An object of the present invention is to provide a high-density multilayer printed wiring board which is formed and has excellent reliability easily and inexpensively. In a multilayer printed wiring board in which conductor patterns made of electroless plating and electrolytic plating and resin insulating layers made of a heat-resistant resin are alternately laminated, a thickness of 0.1 to 0.1 mm is applied to the surface of the resin insulating layer 4a. An 8 μm porous layer is provided to form an anchor of the electroless plating film, and the resin insulating layer 4a
The resin component comprises a plurality or a single thermosetting epoxy compound, and one of the components contains an alicyclic epoxy compound and has a structure as set forth in the claims.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、多層プリント配線
板及びその製造方法に関するものであり、特に、無電解
めっき及び電解めっきからなる導体パターンと耐熱性樹
脂からなる樹脂絶縁層とが交互に積層された多層プリン
ト配線板及びその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multilayer printed wiring board and a method for manufacturing the same, and more particularly, to alternately laminating a conductor pattern made of electroless plating and electrolytic plating and a resin insulating layer made of a heat-resistant resin. And a method of manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、電子技術の進歩に伴い、大型コン
ピューターなどの電子機器に対する高密度化あるいは演
算機能の高速化が進められている。その結果、プリント
配線板においても高密度化を目的として配線回路が多層
に形成された多層プリント配線板が脚光を浴びてきた。
従来、多層プリント配線板としては、例えば内装回路を
接続し導通せしめた多層プリント配線板が代表的なもの
であった。しかしながら、このような多層プリント配線
板は、複数の内装回路をスルーホールを介して接続導通
させたものであるため、配線回路が複雑になりすぎて高
密度化あるいは高速化を実現することが困難であった。2. Description of the Related Art In recent years, with the advance of electronic technology, electronic devices such as large-sized computers have been increased in density or speed of arithmetic functions. As a result, multilayer printed wiring boards, in which wiring circuits are formed in multiple layers for the purpose of increasing the density of printed wiring boards, have been spotlighted.
Conventionally, a typical multilayer printed wiring board is, for example, a multilayer printed wiring board in which an internal circuit is connected and made conductive. However, in such a multilayer printed wiring board, since a plurality of internal circuits are connected and conducted through through holes, the wiring circuit becomes too complicated, and it is difficult to realize high density or high speed. Met.
【0003】このような問題点を克服することのできる
多層プリント配線板として、最近、導体パターンと有機
絶縁膜とを交互にビルトアップした多層プリント配線板
が開発されている。この多層プリント配線板は、超高密
度化と高速化に適合したものであるが、欠点は有機絶縁
膜上に無電解めっき膜を信頼性よく形成させることが困
難なことにあった。このために、かかる多層プリント配
線板においては、導体パターンを、蒸着やスパッタリン
グなどのPVD法もしくは前記PVD法と無電解めっき
との併用法で形成していたが、このようなPVD法によ
る導体パターン形成方法は生産性が劣り、コストが高い
という問題があった。As a multilayer printed wiring board capable of overcoming such a problem, recently, a multilayer printed wiring board in which conductive patterns and organic insulating films are alternately built up has been developed. This multilayer printed wiring board is suitable for ultra-high density and high speed, but has a drawback in that it is difficult to form an electroless plating film on an organic insulating film with high reliability. For this reason, in such a multilayer printed wiring board, the conductor pattern is formed by a PVD method such as vapor deposition or sputtering or a combination of the PVD method and the electroless plating. The forming method has problems that productivity is low and cost is high.
【0004】最近、このような有機絶縁膜上に無電解め
っき膜を信頼性よく形成する方法として、樹脂絶縁層中
に酸や酸化剤(クロム酸、クロム酸塩、過マンガン酸塩
等)などに可溶な成分を混合し溶解除去することによっ
て、無電解めっき膜に接する面を粗す方法が提案されて
いる。Recently, as a method of forming an electroless plating film on such an organic insulating film with high reliability, an acid or an oxidizing agent (chromic acid, chromate, permanganate, etc.) is contained in a resin insulating layer. There has been proposed a method of roughening a surface in contact with an electroless plating film by mixing and dissolving and removing components soluble in water.
【0005】例えば、特開昭64−47095号公報に
記載されているように耐熱性の樹脂絶縁層をマトリック
スとして、樹脂相中に酸化剤に可溶のエポキシ樹脂、ビ
スマレイミド・トリアジン樹脂、ポリエステル樹脂など
の樹脂と、酸化剤に不溶の樹脂や無機フィラーの混合に
より、樹脂絶縁層の表面を酸化剤で粗して無電解めっき
膜形成のアンカー効果を高めたものが提案されている。[0005] For example, as described in JP-A-64-47095, a heat-resistant resin insulating layer is used as a matrix, and an epoxy resin, a bismaleimide-triazine resin, and a polyester which are soluble in an oxidizing agent in a resin phase. There has been proposed a resin in which the surface of a resin insulating layer is roughened with an oxidizing agent to improve the anchor effect of forming an electroless plating film by mixing a resin such as a resin with a resin or an inorganic filler insoluble in the oxidizing agent.
【0006】また、これらの効果をさらに高めた特開平
7−34505号公報にあるように酸化剤に対して可溶
な樹脂粒子の大きさを異なるもので疑似粒子を形成させ
て耐熱性マトリックス樹脂層に混ぜたものなどが提案さ
れている。しかしながら、これらの方法では耐熱性の樹
脂絶縁層に対して酸化剤などで溶解させる樹脂粒子の耐
熱性が劣っており、酸化剤によって表面の溶解性樹脂は
除去されるものの耐熱性樹脂絶縁層がマトリックスとな
る樹脂内部の溶解性樹脂はそのまま樹脂内に残存したま
ま無電解めっき膜が形成されることになる。よって、形
成された樹脂絶縁層の耐熱性は溶解性樹脂の耐熱性に依
存し、結果として耐熱性の低い樹脂絶縁層を形成してし
まうことが問題となっていた。[0006] Further, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-34505, in which these effects are further enhanced, pseudo particles are formed with different sizes of resin particles soluble in an oxidizing agent to form a heat resistant matrix resin. A mixture of layers has been proposed. However, in these methods, the heat resistance of the resin particles dissolved with an oxidizing agent or the like in the heat-resistant resin insulating layer is inferior. The electroless plating film is formed while the soluble resin in the resin serving as the matrix remains in the resin as it is. Therefore, the heat resistance of the formed resin insulating layer depends on the heat resistance of the soluble resin, and as a result, there is a problem that a resin insulating layer having low heat resistance is formed.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のごと
き従来の多層プリント配線板の有する問題点を解消し、
耐熱性樹脂からなる樹脂絶縁層の表面に無電解めっき膜
のアンカーを形成することによって、密着強度の優れた
無電解めっき膜及び電解めっき膜からなる導体パターン
を形成し、信頼性に優れた高密度多層プリント配線板を
容易にかつ安価に提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned problems of the conventional multilayer printed wiring board,
By forming an anchor of an electroless plating film on the surface of a resin insulating layer made of a heat resistant resin, a conductive pattern made of an electroless plating film and an electrolytic plating film having excellent adhesion strength is formed, and a high reliability having an excellent reliability is obtained. An object of the present invention is to provide a high-density multilayer printed wiring board easily and inexpensively.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明において上記課題
を達成するために、まず請求項1においては、無電解め
っき及び電解めっきからなる導体パターンと耐熱性樹脂
からなる樹脂絶縁層とが交互に積層された多層プリント
配線板において、前記樹脂絶縁層の表面に厚さ0.1〜
8μmの多孔質層を設けて無電解めっき膜のアンカーを
形成することを特徴とする多層プリント配線板としたも
のである。Means for Solving the Problems In order to achieve the above object in the present invention, first, in claim 1, a conductor pattern made of electroless plating and electrolytic plating and a resin insulating layer made of a heat resistant resin are alternately arranged. In the laminated multilayer printed wiring board, a thickness of 0.1 to
The present invention provides a multilayer printed wiring board characterized in that an 8 μm porous layer is provided to form an anchor for an electroless plating film.
【0009】また、請求項2においては、前記樹脂絶縁
層の樹脂成分が複数もしくは単一の熱硬化性のエポキシ
化合物からなり、その成分の一つが脂環式エポキシ類化
合物を含むものである。According to a second aspect of the present invention, the resin component of the resin insulating layer comprises a plurality or a single thermosetting epoxy compound, and one of the components includes an alicyclic epoxy compound.
【0010】また、請求項3においては、前記脂環式エ
ポキシ類化合物が、(化1)に示す構造を有するように
したものである。According to a third aspect of the present invention, the alicyclic epoxy compound has a structure represented by the following formula (1).
【0011】さらにまた、請求項4においては、以下の
(a)〜(e)の工程を備える多層プリント配線板の製
造方法としたものである。 (a)熱硬化性エポキシ化合物と脂環式エポキシ類化合
物を主成分とする感光性樹脂混合溶液を作製する工程; (b)導体パターンを形成した基板上に前記感光性樹脂
混合溶液を塗布し、樹脂絶縁層を形成する工程; (c)前記樹脂絶縁層の表面をアルカリ性溶液にて処理
することにより前記樹脂絶縁層表面に多孔質層を形成す
る工程; (d)前記多孔質層が形成された樹脂絶縁層上に、無電
解めっき及び電解めっきを行って導体層を形成し、パタ
ーニング処理して導体パターンを形成する工程; (e)上記(b)〜(d)の工程を必要回数繰り返して
多層プリント配線板を作製する工程。Further, the present invention provides a method for manufacturing a multilayer printed wiring board comprising the following steps (a) to (e). (A) a step of preparing a photosensitive resin mixed solution containing a thermosetting epoxy compound and an alicyclic epoxy compound as main components; (b) applying the photosensitive resin mixed solution onto a substrate on which a conductor pattern is formed; Forming a resin insulating layer; (c) forming a porous layer on the surface of the resin insulating layer by treating the surface of the resin insulating layer with an alkaline solution; (d) forming the porous layer. A step of forming a conductor layer by performing electroless plating and electrolytic plating on the resin insulating layer thus formed, and forming a conductor pattern by patterning; (e) performing the above steps (b) to (d) as many times as necessary A process of repeatedly producing a multilayer printed wiring board.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面を用いて詳細
に説明する。図1は本発明に係わる多層プリント配線板
の構成を示す断面図である。図2の(a)〜(f)は本
発明に係わる多層プリント配線板の製造工程を示す断面
図である。図3は本発明に係わる多層プリント配線板の
構成の一部をを示す模式断面図である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing a configuration of a multilayer printed wiring board according to the present invention. 2 (a) to 2 (f) are cross-sectional views showing the steps of manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention. FIG. 3 is a schematic sectional view showing a part of the configuration of the multilayer printed wiring board according to the present invention.
【0013】本発明の多層プリント配線板は、感光性樹
脂溶液と熱硬化性エポキシ化合物とを主成分とする感光
性樹脂混合溶液を塗布し、加熱硬化して耐熱性の樹脂絶
縁層を形成し、前記樹脂絶縁層の表面をアルカリ溶液に
て処理して0.1〜8μmの多孔質層を設けて無電解め
っき及び電解めっきして導体層を形成し、密着強度の優
れた導体パターンを作製するものである。[0013] The multilayer printed wiring board of the present invention is formed by applying a photosensitive resin mixed solution containing a photosensitive resin solution and a thermosetting epoxy compound as main components and heat-curing to form a heat-resistant resin insulating layer. The surface of the resin insulating layer is treated with an alkaline solution to provide a porous layer having a thickness of 0.1 to 8 μm, and electroless plating and electrolytic plating are performed to form a conductor layer, thereby producing a conductor pattern having excellent adhesion strength. Is what you do.
【0014】前記感光性樹脂混合溶液は感光性樹脂溶液
と熱硬化性エポキシ化合物(脂環式エポキシ類化合物と
熱硬化型エポキシ樹脂からなる)と無機フィラーと光開
始剤と分散剤と溶媒とを混合、攪拌して得られる。The photosensitive resin mixed solution comprises a photosensitive resin solution, a thermosetting epoxy compound (comprising an alicyclic epoxy compound and a thermosetting epoxy resin), an inorganic filler, a photoinitiator, a dispersant, and a solvent. It is obtained by mixing and stirring.
【0015】前記熱硬化性エポキシ化合物を形成してい
る脂環式エポキシ類化合物と熱硬化型エポキシ樹脂との
配合比は1:1〜1:0(重量比)であることが有用で
ある。特に、4:1〜2:1(重量比)の範囲であるこ
とが樹脂絶縁層表面に多孔質層を設ける上で好適であ
る。その理由として、前記脂環式エポキシ類化合物の配
合量が熱硬化型エポキシ樹脂の配合量より少ないと、熱
硬化後のアルカリ性溶液による処理がし難く、多孔質層
が形成され難くなり、樹脂絶縁層と無電解めっき膜との
充分な密着強度が得られないからである。It is useful that the compounding ratio of the alicyclic epoxy compound forming the thermosetting epoxy compound to the thermosetting epoxy resin is 1: 1 to 1: 0 (weight ratio). In particular, the ratio is preferably in the range of 4: 1 to 2: 1 (weight ratio) for providing the porous layer on the surface of the resin insulating layer. The reason is that if the compounding amount of the alicyclic epoxy compound is smaller than the compounding amount of the thermosetting epoxy resin, it is difficult to perform treatment with an alkaline solution after heat curing, and it is difficult to form a porous layer, and the resin insulation This is because sufficient adhesion strength between the layer and the electroless plating film cannot be obtained.
【0016】無機フィラーの配合量は、マトリックスを
構成する耐熱性樹脂100重量部(固形分)に対し、2
〜100重量部の範囲であることが有利であり、特に5
〜40重量部の範囲であることが樹脂絶縁層と無電解め
っき膜との充分な密着強度を得る上で好適である。前記
無機フィラーの配合量が2重量部より少ないと、樹脂絶
縁層と無電解めっき膜との充分な密着強度が得られない
からである。一方、100重量部より多くなると樹脂絶
縁層表面に多孔質層を形成することが困難となるからで
ある。The amount of the inorganic filler is 2 parts per 100 parts by weight (solid content) of the heat-resistant resin constituting the matrix.
Advantageously, it is in the range of from 100 to 100 parts by weight, in particular 5
It is preferable that the content be in the range of 40 to 40 parts by weight in order to obtain a sufficient adhesion strength between the resin insulating layer and the electroless plating film. If the amount of the inorganic filler is less than 2 parts by weight, sufficient adhesion strength between the resin insulating layer and the electroless plating film cannot be obtained. On the other hand, if it exceeds 100 parts by weight, it becomes difficult to form a porous layer on the surface of the resin insulating layer.
【0017】前記耐熱性樹脂を溶解する溶媒としては、
通常の溶剤、例えば、メチルエチルケトン、メチルイソ
ブチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、
ブチルカルビトール、ブチルセルロース、テトラリン、
ジメチルホルムアミド、n−メチルピロリドンなどを用
いることができる。As a solvent for dissolving the heat-resistant resin,
Common solvents, for example, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve,
Butyl carbitol, butyl cellulose, tetralin,
Dimethylformamide, n-methylpyrrolidone and the like can be used.
【0018】以下本発明の多層プリント配線板の製造法
について図2を用いて詳細に説明する。Hereinafter, a method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention will be described in detail with reference to FIG.
【0019】まず、絶縁基板1上に形成された第1導体
層2上にフォトレジストを塗布し、所定のパターンで露
光した後、現像してレジストパターン3を形成し(図2
(a)参照)、第1導体層2をエッチングして第1導体
パターン2aを形成する(図2(b)参照)。絶縁基板
1としては、例えば、プラスチック基板、セラミック基
板、金属基板、フィルム基板などを使用することがで
き、具体的にはガラスエポキシ基板、低温焼成セラミッ
ク基板、窒化アルミニウム基板、アルミニウム基板、鉄
基板、ポリイミドフィルム基板などを使用することがで
きる。導電性の基板を使用する場合あらかじめ両面に絶
縁層を形成してから使用する。First, a photoresist is applied to the first conductor layer 2 formed on the insulating substrate 1 and exposed in a predetermined pattern, and then developed to form a resist pattern 3 (FIG. 2).
(See (a)), the first conductor layer 2 is etched to form a first conductor pattern 2a (see FIG. 2B). As the insulating substrate 1, for example, a plastic substrate, a ceramic substrate, a metal substrate, a film substrate, or the like can be used. Specifically, a glass epoxy substrate, a low-temperature fired ceramic substrate, an aluminum nitride substrate, an aluminum substrate, an iron substrate, A polyimide film substrate or the like can be used. When a conductive substrate is used, an insulating layer is formed on both surfaces before use.
【0020】次に、第1導体パターン2aが形成された
基板上に前記感光性樹脂混合溶液を塗布し、皮膜乾燥し
て感光性樹脂絶縁層4を形成する(図2(c)参照)。
前記感光性樹脂絶縁層を形成する方法としては、前記感
光性樹脂混合液を塗布する方法、あるいは前記感光性樹
脂混合液をフィルム状に加工した感光性樹脂フィルムを
貼付する方法が適用できる。前記塗布方法としては、例
えば、ローラーコート法、ディップコート法、スプレー
コート法、スピンナーコート法、カーテンコート法、ス
クリーン印刷法などの各種手段を適用することができ
る。Next, the photosensitive resin mixed solution is applied on the substrate on which the first conductor pattern 2a is formed, and the coating is dried to form a photosensitive resin insulating layer 4 (see FIG. 2C).
As a method of forming the photosensitive resin insulating layer, a method of applying the photosensitive resin mixed solution or a method of attaching a photosensitive resin film obtained by processing the photosensitive resin mixed solution into a film can be applied. As the coating method, for example, various means such as a roller coating method, a dip coating method, a spray coating method, a spinner coating method, a curtain coating method, and a screen printing method can be applied.
【0021】前記感光性樹脂絶縁層の厚さは通常20〜
100μmが好適であるが、特に高い絶縁性が要求され
る場合にはそれ以上に厚くすることもできる。The photosensitive resin insulating layer usually has a thickness of 20 to
The thickness is preferably 100 μm, but it can be thicker if particularly high insulation is required.
【0022】次に、前記感光性樹脂絶縁層に所定のパタ
ーンが形成されたフォトマスクを使って露光、現像した
後、150℃以上の温度で加熱硬化してバイアホール形
成孔5を有する樹脂絶縁層4aを形成する(図2(d)
参照)。バイアホール形成孔は、ここでは、フォトプロ
セス法により作製したが、他の形成法として、レーザー
加工による方法も適用できる。Next, the photosensitive resin insulating layer is exposed and developed using a photomask in which a predetermined pattern is formed, and then heated and cured at a temperature of 150 ° C. or more to form a resin insulating layer having via hole forming holes 5. Form the layer 4a (FIG. 2D)
reference). Here, the via hole forming hole is formed by a photo process method, but a laser processing method can be applied as another forming method.
【0023】次に、前記樹脂絶縁層4aの表面及びバイ
アホール形成孔の側壁をアルカリ性溶液を用いて表面処
理することにより、樹脂表面に0.1〜8μmの多孔質
層を形成する。多孔質層の厚さは0.1μmより薄いと
接着性が極端に弱くなり、8μm以上の厚さになると樹
脂絶縁層の絶縁性が劣化し、耐熱性が低くなる。この表
面処理の方法としては、前記樹脂絶縁層が形成された基
板をアルカリ性溶液の中に浸漬するか、あるいは樹脂絶
縁層の表面にアルカリ性溶液をスプレーするなどの方法
を適用することができる。さらに、本工程で使用するア
ルカリ性溶液としては1〜10%の水酸化ナトリウム水
溶液または炭酸ナトリウム水溶液または炭酸水素ナトリ
ウム水溶液などのアルカリ水溶液と樹脂絶縁層との親和
性を高めるために界面活性剤を混合したものが挙げられ
る。Next, the surface of the resin insulating layer 4a and the side walls of the via hole forming holes are subjected to surface treatment using an alkaline solution to form a porous layer of 0.1 to 8 μm on the resin surface. When the thickness of the porous layer is less than 0.1 μm, the adhesiveness becomes extremely weak, and when the thickness is 8 μm or more, the insulating property of the resin insulating layer deteriorates, and the heat resistance decreases. As a method of this surface treatment, a method in which the substrate on which the resin insulating layer is formed is immersed in an alkaline solution, or a method in which an alkaline solution is sprayed on the surface of the resin insulating layer can be applied. Furthermore, as the alkaline solution used in this step, a surfactant is mixed with an alkaline aqueous solution such as a 1 to 10% aqueous solution of sodium hydroxide, an aqueous solution of sodium carbonate, or an aqueous solution of sodium hydrogen carbonate in order to increase the affinity between the resin insulating layer. What was done.
【0024】次に、表面に多孔質層が形成された樹脂絶
縁層上に無電解めっき及び電解めっきを行うことにより
バイアホール6及び第2導体層7を形成する(図2
(e)参照)。この無電解めっき及び電解めっきの種類
としては、例えば、銅めっき、ニッケルめっき、金めっ
き、銀めっき、錫めっき等があるが、銅めっきが一般的
である。Next, the via hole 6 and the second conductor layer 7 are formed by performing electroless plating and electrolytic plating on the resin insulating layer having the porous layer formed on the surface.
(E)). Examples of the types of the electroless plating and the electrolytic plating include copper plating, nickel plating, gold plating, silver plating, and tin plating, and copper plating is generally used.
【0025】次に、第2導体層7上にフォトレジストを
塗布し、フォトパターニングプロセスにより第2導体パ
ターン7aを形成する(図2(f)参照)。なお、導体
パターンの形成法としては、上記導体層を形成してから
フォトパターニングプロセスにより導体パターンを形成
する方法の他に、あらかじめ、導体パターンをめっきレ
ジストにて形成しておいて、無電解めっき及び電解めっ
きを行い直接導体パターンを形成する方法なども適用で
きる。Next, a photoresist is applied on the second conductor layer 7, and a second conductor pattern 7a is formed by a photo patterning process (see FIG. 2F). As a method for forming the conductor pattern, in addition to the method of forming the conductor layer by the photopatterning process after forming the conductor layer, the conductor pattern is formed in advance with a plating resist, and then the electroless plating is performed. Also, a method of directly forming a conductor pattern by performing electrolytic plating can be applied.
【0026】以上の工程により、2層の導体パターンを
有する本発明の多層プリント配線板が得られる。さら
に、2層以上の多層配線板を作製する場合には上記樹脂
絶縁層及び導体パターン形成工程を順次繰り返すことに
より、所望の多層プリント配線板が得られる。Through the above steps, a multilayer printed wiring board of the present invention having a two-layer conductor pattern is obtained. Further, in the case of manufacturing a multilayer wiring board having two or more layers, a desired multilayer printed wiring board can be obtained by sequentially repeating the resin insulating layer and the conductor pattern forming step.
【0027】[0027]
【実施例】以下、本発明の多層プリント配線板を製造す
る実施例について、図面を用いて詳細に説明する。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a multilayer printed wiring board according to an embodiment of the present invention.
【0028】<実施例1>まず、ビスフェノールA型エ
ポキシアクリレート(リポキシVR−90;昭和高分子
社製)52重量部と無水フタル酸15重量部をメチルエ
チルケトン溶媒中で110℃、30分撹拌してアルカリ
現像型感光性樹脂溶液(A)を調製した。Example 1 First, 52 parts by weight of a bisphenol A type epoxy acrylate (Lipoxy VR-90; manufactured by Showa Polymer Co., Ltd.) and 15 parts by weight of phthalic anhydride were stirred at 110 ° C. for 30 minutes in a methyl ethyl ketone solvent. An alkali developing type photosensitive resin solution (A) was prepared.
【0029】次に、ガラスエポキシ銅張積層板(FR−
4;日立化成工業社製)の第1導体層2(銅箔)上に感
光性ドライフィルム(デュポン社製)をラミネートし感
光層を形成した後、所望のパターンが形成されたフォト
マスクを使って、紫外線露光、焼き付けを行った。次い
で、1, 1ー トリクロロエタンで現像を行い、レジスト
パターン3を形成した(図2(a)参照)。Next, a glass epoxy copper-clad laminate (FR-
4: Laminate a photosensitive dry film (manufactured by DuPont) on the first conductor layer 2 (copper foil) of Hitachi Chemical Co., Ltd. to form a photosensitive layer, and then use a photomask on which a desired pattern is formed. UV exposure and printing were performed. Next, development was performed with 1,1-trichloroethane to form a resist pattern 3 (see FIG. 2A).
【0030】次に、塩化第2銅エッチング液を用いて非
導体部の銅を除去した後、メチレンクロリドでレジスト
パターン3を剥離し、第1導体パターン2aを形成した
(図2(b)参照)。Next, after removing copper in the non-conductor portion using a cupric chloride etching solution, the resist pattern 3 was peeled off with methylene chloride to form a first conductor pattern 2a (see FIG. 2B). ).
【0031】次に、前記アルカリ現像型感光性樹脂溶液
(A)40重量部(固形分)、脂環式エポキシ類化合物
(EHPE3150;ダイセル化学社製)17.5重量
部、熱硬化型エポキシ樹脂(エピクロンHP7200
H;大日本インキ社製)8.5重量部、光開始剤(Lu
cirinTPO;BASF社製)1.0重量部、無機
フィラー(シリカ微粒子;電気化学工業社製)5. 0重
量部、分散剤(DISPERBYK;ビックケミー社
製)0.5重量部をメチルイソブチルケトン溶剤を加え
て連続式横型サンドミルにて約3時間分散させて、感光
性樹脂混合液(B)を作製した。Next, 40 parts by weight (solid content) of the alkali-developable photosensitive resin solution (A), 17.5 parts by weight of an alicyclic epoxy compound (EHPE3150; manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), and a thermosetting epoxy resin (Epiclon HP7200
H; manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, 8.5 parts by weight, photoinitiator (Lu
Cirin TPO; 1.0 part by weight from BASF; 5.0 parts by weight of an inorganic filler (silica fine particles; manufactured by Denki Kagaku Kogyo); and 0.5 parts by weight of a dispersant (DISPERBYK; manufactured by BYK Chemie), a methyl isobutyl ketone solvent. In addition, the mixture was dispersed in a continuous horizontal sand mill for about 3 hours to prepare a photosensitive resin mixed solution (B).
【0032】次に、第1導体パターン2aが形成された
絶縁基板1上に、前記感光性樹脂混合液(B)をカーテ
ンコートにて塗布し、70℃、20分乾燥して、約50
μm厚の感光性樹脂絶縁層4を形成した(図2(c)参
照)。Next, the photosensitive resin mixed solution (B) is applied on the insulating substrate 1 on which the first conductor pattern 2a is formed by curtain coating, dried at 70 ° C. for 20 minutes, and dried for about 50 minutes.
A photosensitive resin insulating layer 4 having a thickness of μm was formed (see FIG. 2C).
【0033】次に、感光性樹脂絶縁層4にフォトマスク
を使って超高圧水銀灯により約1000mJ/cm2 の
露光を行って、光硬化させた後、約1%炭酸ナトリウム
水溶液にて現像し、180℃、1時間の乾燥工程を経
て、バイアホール形成孔5を有する樹脂絶縁層4aを形
成した(図2(d)参照)。Next, the photosensitive resin insulating layer 4 is exposed to light of about 1000 mJ / cm 2 using an ultra-high pressure mercury lamp using a photomask, photo-cured, and developed with an aqueous solution of about 1% sodium carbonate. After a drying process at 180 ° C. for one hour, a resin insulating layer 4a having via hole forming holes 5 was formed (see FIG. 2D).
【0034】次に、熱硬化させた樹脂絶縁層4aを50
℃の約3%水酸化ナトリウム水溶液と10%MLB溶液
(界面活性剤;シプレイ社製)の混合液よりなるアルカ
リ性溶液で20分間処理した。ここで、樹脂絶縁層4a
を電子顕微鏡にて観察したところ、樹脂絶縁層4a表面
に約5μmの多孔質層4a' が形成されていることが確
認された(図3参照)。Next, the thermally cured resin insulation layer 4a is
The mixture was treated for 20 minutes with an alkaline solution consisting of a mixture of a 3% aqueous sodium hydroxide solution at 10 ° C. and a 10% MLB solution (surfactant; manufactured by Shipley). Here, the resin insulating layer 4a
Was observed with an electron microscope, and it was confirmed that a porous layer 4a ′ of about 5 μm was formed on the surface of the resin insulating layer 4a (see FIG. 3).
【0035】次に、樹脂絶縁層4aの表面に多孔質層4
a' が形成された基板をパラジウム触媒(シプレイ社
製)に浸漬した後、触媒を活性化させ、無電解めっき浴
に約30分浸漬して、約0.5μm厚の無電解めっき膜
を形成した。その後、約2時間の電解銅めっきを行っ
て、バイアホール6を有する約30μm厚の第2導体層
7を形成した(図2(e)参照)。Next, the porous layer 4 is formed on the surface of the resin insulating layer 4a.
After immersing the substrate on which a 'is formed in a palladium catalyst (manufactured by Shipley), the catalyst is activated and immersed in an electroless plating bath for about 30 minutes to form an electroless plating film having a thickness of about 0.5 μm. did. Thereafter, electrolytic copper plating was performed for about 2 hours to form a second conductor layer 7 having a via hole 6 and a thickness of about 30 μm (see FIG. 2E).
【0036】次に、第2導体層7上に感光性ドライフィ
ルム(デュポン社製)をラミネートし感光層を形成した
後、所望のパターンが形成されたフォトマスクを使って
紫外線露光、焼き付けを行い、1, 1ー トリクロロエタ
ンで現像を行い、レジストパターンを形成し、塩化第2
銅エッチング液を用いて非導体部の銅を除去した後、メ
チレンクロリドでレジストパターンを剥離し、第2導体
パターン7aを形成した(図2(f)参照)。以上の工
程で、2層の導体パターンからなる本発明の多層プリン
ト配線板が得られた。Next, after laminating a photosensitive dry film (manufactured by DuPont) on the second conductor layer 7 to form a photosensitive layer, ultraviolet exposure and baking are performed using a photomask on which a desired pattern is formed. Develop with 1,1,1-trichloroethane to form a resist pattern.
After the copper in the non-conductor portion was removed using a copper etchant, the resist pattern was peeled off with methylene chloride to form a second conductor pattern 7a (see FIG. 2 (f)). Through the above steps, a multilayer printed wiring board according to the present invention including two conductor patterns was obtained.
【0037】上記多層プリント配線板を半田浴(260
℃)中に約20秒間浸漬したが、変化は認められなかっ
た。また、導体パターンのめっきピール強度を測定した
ところ1. 0kg/cmであった。The above multilayer printed wiring board is soldered (260
C.) for about 20 seconds, no change was observed. Further, the plating peel strength of the conductor pattern was measured and found to be 1.0 kg / cm.
【0038】ここでは、2層の導体パターンを有する多
層プリント配線板について説明したが、さらに、2層以
上の多層配線板を作製する場合には、上記工程を必要回
数繰り返すことにより、所望の多層プリント配線板が得
られる。Here, a multilayer printed wiring board having a two-layer conductor pattern has been described. In the case of manufacturing a multilayer wiring board having two or more layers, the above-described steps are repeated a required number of times to obtain a desired multilayered wiring board. A printed wiring board is obtained.
【0039】<実施例2>まず、ビスフェノールA型エ
ポキシアクリレート(リポキシVR−90;昭和高分子
社製)52重量部と無水フタル酸15重量部をメチルエ
チルケトン溶媒中で110℃、30分撹拌してアルカリ
現像型感光性樹脂溶液(A)を調製した。<Example 2> First, 52 parts by weight of bisphenol A type epoxy acrylate (Ripoxy VR-90; manufactured by Showa Polymer Co., Ltd.) and 15 parts by weight of phthalic anhydride were stirred at 110 ° C for 30 minutes in a methyl ethyl ketone solvent. An alkali developing type photosensitive resin solution (A) was prepared.
【0040】次に、ガラスエポキシ銅張積層板(FR−
4;日立化成工業社製)の第1導体層2(銅箔)上に、
実施例1と同様の工程で、レジストパターン3を形成し
た(図2(a)参照)。Next, a glass epoxy copper-clad laminate (FR-
4; manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) on the first conductor layer 2 (copper foil)
A resist pattern 3 was formed in the same steps as in Example 1 (see FIG. 2A).
【0041】次に、実施例1と同様の工程で、第1導体
パターン2aを形成した(図2(b)参照)。Next, a first conductor pattern 2a was formed in the same process as in Example 1 (see FIG. 2B).
【0042】次に、前記アルカリ現像型感光性樹脂溶液
(A)30重量部(固形分)、脂環式エポキシ類化合物
(EHPE3150;ダイセル化学社製)15重量部、
熱硬化型エポキシ樹脂(エピクロンHP7200H;大
日本インキ社製)5. 0重量部、光開始剤(Lucir
inTPO;BASF社製)1. 0重量部、無機フィラ
ー(サイリシア;富士シリシア化学社製)5. 0重量
部、分散剤(DISPERBYK;ビックケミー社製)
0. 5重量部をメチルイソブチルケトン溶剤を加えて連
続式横型サンドミルにて約3時間分散させて、感光性樹
脂混合液(C)を作製した。Next, 30 parts by weight (solid content) of the alkali-developable photosensitive resin solution (A), 15 parts by weight of an alicyclic epoxy compound (EHPE3150; manufactured by Daicel Chemical Co., Ltd.)
5.0 parts by weight of a thermosetting epoxy resin (Epiclon HP7200H; manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.), a photoinitiator (Lucir)
inTPO: 1.0 part by weight from BASF; inorganic filler (Sylysia; from Fuji Silysia Chemical Ltd.) 5.0 parts by weight; dispersant (DISPERBYK; from Big Chemie)
0.5 parts by weight of a solvent for methyl isobutyl ketone was added thereto and dispersed in a continuous horizontal sand mill for about 3 hours to prepare a photosensitive resin mixed solution (C).
【0043】次に、第1導体パターン2aが形成された
絶縁基板1上に、前記感光性樹脂混合液(C)をカーテ
ンコートにて塗布し、80℃、10分乾燥して、約50
μm厚の感光性樹脂絶縁層4を形成した(図2(c)参
照)。Next, the photosensitive resin mixture (C) is applied on the insulating substrate 1 on which the first conductor pattern 2a is formed by curtain coating, dried at 80 ° C. for 10 minutes, and dried for about 50 minutes.
A photosensitive resin insulating layer 4 having a thickness of μm was formed (see FIG. 2C).
【0044】次に、感光性樹脂絶縁層4に所望のパター
ンが形成されたフォトマスクを使って超高圧水銀灯によ
り約1000mJ/cm2 の露光を行って、光硬化させ
た後、約1%炭酸ナトリウム水溶液にて現像し、200
℃、1時間の乾燥工程を経て、バイアホール形成孔5を
有する樹脂絶縁層4aを形成した(図2(c)参照)。Next, using a photomask in which a desired pattern is formed on the photosensitive resin insulating layer 4, exposure is performed at about 1000 mJ / cm 2 by an ultra-high pressure mercury lamp, and photo-curing is performed. Develop with sodium aqueous solution, 200
The resin insulating layer 4a having the via hole forming hole 5 was formed through a drying process at 1 ° C. for 1 hour (see FIG. 2C).
【0045】次に、熱硬化させた樹脂絶縁層4aを50
℃の約3%水酸化ナトリウム水溶液と10%MLB溶液
(界面活性剤;シプレイ社製)の混合液よりなるアルカ
リ性溶液で20分間処理した。ここで、樹脂絶縁層4a
を電子顕微鏡にて観察したところ、樹脂絶縁層4a表面
に約7μmの多孔質層4a' が形成されていることが確
認された(図3参照)。Next, the thermally cured resin insulating layer 4a is
The mixture was treated for 20 minutes with an alkaline solution consisting of a mixture of a 3% aqueous sodium hydroxide solution at 10 ° C. and a 10% MLB solution (surfactant; manufactured by Shipley). Here, the resin insulating layer 4a
When observed with an electron microscope, it was confirmed that a porous layer 4a 'of about 7 μm was formed on the surface of the resin insulating layer 4a (see FIG. 3).
【0046】次に、樹脂絶縁層4aの表面に多孔質層4
a' が形成された基板をパラジウム触媒(シプレイ社
製)に浸漬した後、触媒を活性化させ、無電解めっき浴
に約30分浸漬して、約0.5μm厚の無電解めっき膜
を形成した。その後、約2時間の電解銅めっきを行っ
て、バイアホール6を有する約30μm厚の第2導体層
7を形成した(図2(e)参照)。Next, the porous layer 4 is formed on the surface of the resin insulating layer 4a.
After immersing the substrate on which a 'is formed in a palladium catalyst (manufactured by Shipley), the catalyst is activated and immersed in an electroless plating bath for about 30 minutes to form an electroless plating film having a thickness of about 0.5 μm. did. Thereafter, electrolytic copper plating was performed for about 2 hours to form a second conductor layer 7 having a via hole 6 and a thickness of about 30 μm (see FIG. 2E).
【0047】次に、実施例1と同様の工程で、樹脂絶縁
層4a上の第2導体層7をパターニング処理して第2導
体パターン7aを形成した(図2(f)参照)。以上の
工程で2層の導体パターンからなる本発明の多層プリン
ト配線板が得られた。Next, in the same process as in Example 1, the second conductor layer 7 on the resin insulation layer 4a was patterned to form a second conductor pattern 7a (see FIG. 2F). Through the above steps, a multilayer printed wiring board according to the present invention comprising a two-layer conductor pattern was obtained.
【0048】以上のように作製した多層プリント配線板
を半田浴(260℃)中に約20秒間浸漬したが、変化
は認められなかった。また、導体パターンのめっきピー
ル強度を測定したところ約1. 2kg/cmであった。The multilayer printed wiring board produced as described above was immersed in a solder bath (260 ° C.) for about 20 seconds, but no change was observed. The measured peel strength of the conductive pattern was about 1.2 kg / cm.
【0049】ここでは、2層の導体パターンを有する多
層プリント配線板について説明したが、さらに、2層以
上の多層配線板を作製する場合には、上記工程を必要回
数繰り返すことにより、所望の多層プリント配線板が得
られる。Here, a multilayer printed wiring board having a two-layer conductor pattern has been described. In the case of manufacturing a multilayer wiring board having two or more layers, the above-described steps are repeated as many times as necessary to obtain a desired multilayer. A printed wiring board is obtained.
【0050】<比較例1>まず、ビスフェノールA型エ
ポキシアクリレート(リポキシVR−90;昭和高分子
社製)52重量部と無水フタル酸15重量部をメチルエ
チルケトン溶媒中で110℃、30分撹拌してアルカリ
現像型感光性樹脂溶液(A)を調製した。Comparative Example 1 First, 52 parts by weight of bisphenol A type epoxy acrylate (Lipoxy VR-90; manufactured by Showa Polymer Co., Ltd.) and 15 parts by weight of phthalic anhydride were stirred at 110 ° C. for 30 minutes in a methyl ethyl ketone solvent. An alkali developing type photosensitive resin solution (A) was prepared.
【0051】次に、実施例1と同様の工程で、ガラスエ
ポキシ銅張積層板(FR−4;日立化成工業社製)の絶
縁基板1上に第1導体パターン2aを形成した。Next, a first conductor pattern 2a was formed on the insulating substrate 1 of a glass epoxy copper clad laminate (FR-4; manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) in the same process as in Example 1.
【0052】次に、前記アルカリ現像型感光性樹脂溶液
(A)30重量部(固形分)、脂環式エポキシ類化合物
(EHPE3150;ダイセル化学社製)5重量部、熱
硬化型エポキシ樹脂(エピクロンHP7200H;大日
本インキ社製)20重量部、光開始剤(Lucirin
TPO;BASF社製)1. 0重量部、無機フィラー
(シリカ微粒子;電気化学工業社製)5. 0重量部、分
散剤(DISPERBYK;ビックケミー社製)0. 5
重量部をメチルイソブチルケトン溶剤を加えて連続式横
型サンドミルにて約3時間分散させて、感光性樹脂混合
液(D)を作成した。Next, 30 parts by weight (solid content) of the alkali-developable photosensitive resin solution (A), 5 parts by weight of an alicyclic epoxy compound (EHPE3150; manufactured by Daicel Chemical Co., Ltd.), and a thermosetting epoxy resin (Epiclon) HP7200H; manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, 20 parts by weight, photoinitiator (Lucirin)
1.0 parts by weight of TPO; manufactured by BASF; 5.0 parts by weight of an inorganic filler (silica fine particles; manufactured by Denki Kagaku Kogyo); and 0.5 of a dispersant (DISPERBYK; manufactured by Big Chemie).
The weight part was added to a methyl isobutyl ketone solvent and dispersed in a continuous horizontal sand mill for about 3 hours to prepare a photosensitive resin mixed solution (D).
【0053】次に、第1導体パターン2aが形成された
絶縁基板1上に、前記感光性樹脂混合液(D)をカーテ
ンコートにて塗布し、70℃、20分乾燥して、約50
μm厚の感光性樹脂絶縁層4を形成した。Next, the photosensitive resin mixed solution (D) is applied on the insulating substrate 1 on which the first conductive pattern 2a is formed by curtain coating, dried at 70 ° C. for 20 minutes, and dried for about 50 minutes.
A photosensitive resin insulating layer 4 having a thickness of μm was formed.
【0054】次に、感光性樹脂絶縁層4に所望のパター
ンが形成されたフォトマスクを使って超高圧水銀灯によ
り約1000mJ/cm2 の露光を行って、光硬化させ
た後、約1%炭酸ナトリウム水溶液にて現像し、180
℃1時間の乾燥工程を経て、バイアホール形成孔5を有
する樹脂絶縁層4aを形成した。Next, using a photomask in which a desired pattern is formed on the photosensitive resin insulating layer 4, an exposure of about 1000 mJ / cm 2 is performed by an ultra-high pressure mercury lamp, and photo-cured. Develop with sodium aqueous solution, 180
After a drying process at 1 ° C. for 1 hour, a resin insulating layer 4 a having via hole forming holes 5 was formed.
【0055】次に、熱硬化させた樹脂絶縁層4aを50
℃の約3%水酸化ナトリウム水溶液と10%MLB溶液
(界面活性剤;シプレイ社製)の混合液よりなるアルカ
リ性溶液で20分間処理した。表面処理した樹脂絶縁層
4aを電子顕微鏡にて観察したところ、樹脂絶縁層4a
表面には多孔質層が形成されていないことが確認され
た。Next, the thermally cured resin insulation layer 4a is
The mixture was treated for 20 minutes with an alkaline solution consisting of a mixture of a 3% aqueous sodium hydroxide solution at 10 ° C. and a 10% MLB solution (surfactant; manufactured by Shipley). When the surface-treated resin insulating layer 4a was observed with an electron microscope, the resin insulating layer 4a
It was confirmed that no porous layer was formed on the surface.
【0056】次に、パラジウム触媒(シプレイ社製)に
浸漬した後、触媒を活性化させ、無電解めっき浴に約3
0分浸漬して、約0. 5μm厚の無電解めっき膜を形成
した。その後、約2時間の電解銅めっきを行って、バイ
アホール6を有する約30μm厚の第2導体層7を形成
した。Next, after being immersed in a palladium catalyst (manufactured by Shipley), the catalyst was activated and placed in an electroless plating bath for about 3 hours.
By immersion for 0 minutes, an electroless plating film having a thickness of about 0.5 μm was formed. Thereafter, electrolytic copper plating was performed for about 2 hours to form a second conductor layer 7 having a via hole 6 and a thickness of about 30 μm.
【0057】次に、実施例1と同様の工程で、樹脂絶縁
層4a上の第2導体層7をパターニング処理して第2導
体パターン7aを形成し、多層プリント配線板を作製し
た。Next, in the same process as in Example 1, the second conductor layer 7 on the resin insulating layer 4a was patterned to form a second conductor pattern 7a, thereby producing a multilayer printed wiring board.
【0058】以上のように作成した多層プリント配線板
を半田浴(260℃)中に約20秒間浸漬した結果、導
体パターンが部分的に基板から剥離していることが分か
った。また、導体パターンのめっきピール強度を測定し
たところ約0.2kg/cmであった。The multilayer printed wiring board prepared as described above was immersed in a solder bath (260 ° C.) for about 20 seconds. As a result, it was found that the conductor pattern was partially peeled from the substrate. The measured peel strength of the conductive pattern was about 0.2 kg / cm.
【0059】[0059]
【発明の効果】本発明の多層プリント配線板は、脂環式
エポキシ類化合物を含む感光性樹脂混合液で形成された
樹脂絶縁層をアルカリ溶液で処理することにより樹脂絶
縁層表面に多孔質層が形成されるため、無電解めっき及
び電解めっきにて形成された導体パターンと樹脂絶縁層
との密着が強固で、耐熱性の高い多層プリント配線板を
提供することができる。According to the multilayer printed wiring board of the present invention, a porous layer is formed on the surface of the resin insulating layer by treating the resin insulating layer formed of a photosensitive resin mixture containing an alicyclic epoxy compound with an alkaline solution. Is formed, the adhesion between the conductive pattern formed by electroless plating and electrolytic plating and the resin insulating layer is strong, and a multi-layer printed wiring board with high heat resistance can be provided.
【図1】本発明に係わる多層プリント配線板の構成を示
す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a configuration of a multilayer printed wiring board according to the present invention.
【図2】(a)〜(f)本発明に係わる多層プリント配
線板の製造工程を示す断面図である。FIGS. 2A to 2F are cross-sectional views illustrating steps of manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention.
【図3】本発明に係わる多層プリント配線板の構成の一
部を示す模式断面図である。FIG. 3 is a schematic sectional view showing a part of the configuration of the multilayer printed wiring board according to the present invention.
1………絶縁基板 2………第1導体層 2a……第1導体パターン 3………レジストパターン 4………感光性樹脂絶縁層 4a……樹脂絶縁層 4a' ……多孔質層 5………バイアホール形成孔 6………バイアホール 7………第2導体層 7a……第2導体パターン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Insulating substrate 2 ... 1st conductor layer 2a ... 1st conductor pattern 3 ... Resist pattern 4 ... Photosensitive resin insulation layer 4a ... Resin insulation layer 4a '... Porous layer 5 … Via hole forming hole 6… Via hole 7… Second conductor layer 7 a… Second conductor pattern
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡辺 二郎 東京都台東区台東1丁目5番1号 凸版印 刷株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (72) Inventor Jiro Watanabe 1-5-1, Taito, Taito-ku, Tokyo Toppan Printing Co., Ltd.
Claims (4)
パターンと耐熱樹脂からなる樹脂絶縁層とが交互に積層
された多層プリント配線板において、前記樹脂絶縁層の
表面に厚さ0.1〜8μmの多孔質層を設けて無電解め
っき膜のアンカーを形成することを特徴とする多層プリ
ント配線板。1. A multilayer printed wiring board in which conductive patterns made of electroless plating and electrolytic plating and resin insulating layers made of a heat-resistant resin are alternately laminated, a surface of the resin insulating layer having a thickness of 0.1 to 8 μm. A multilayer printed wiring board characterized in that an anchor of an electroless plating film is formed by providing a porous layer as described above.
単一の熱硬化性のエポキシ化合物からなり、その成分の
一つが脂環式エポキシ類化合物を含むことを特徴とする
請求項1記載の多層プリント配線板。2. The method according to claim 1, wherein the resin component of the resin insulating layer comprises a plurality or a single thermosetting epoxy compound, and one of the components includes an alicyclic epoxy compound. Multilayer printed wiring board.
記載の多層プリント配線板。3. The alicyclic epoxy compound according to claim 1, 3. A structure as set forth in claim 1, wherein:
The multilayer printed wiring board according to the above.
を特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか一項に記載
の多層プリント配線板の製造方法。 (a)熱硬化性エポキシ化合物と脂環式エポキシ類化合
物を主成分とする感光性樹脂混合溶液を作製する工程; (b)導体パターンを形成した基板上に前記感光性樹脂
混合溶液を塗布し、加熱硬化して樹脂絶縁層を形成する
工程; (c)前記樹脂絶縁層の表面をアルカリ性溶液にて処理
することにより前記樹脂絶縁層表面に多孔質層を形成す
る工程; (d)前記多孔質層が形成された樹脂絶縁層上に、無電
解めっき及び電解めっきを行って導体層を形成し、パタ
ーニング処理して導体パターンを形成する工程; (e)上記(b)〜(d)の工程を必要回数繰り返して
多層プリント配線板を作製する工程。4. The method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to claim 1, comprising the following steps (a) to (e). (A) a step of preparing a photosensitive resin mixed solution containing a thermosetting epoxy compound and an alicyclic epoxy compound as main components; (b) applying the photosensitive resin mixed solution onto a substrate on which a conductor pattern is formed; Forming a resin insulating layer by heat curing; (c) forming a porous layer on the surface of the resin insulating layer by treating the surface of the resin insulating layer with an alkaline solution; Forming a conductive layer by performing electroless plating and electrolytic plating on the resin insulating layer on which the porous layer has been formed, and performing a patterning process to form a conductive pattern; (e) the steps (b) to (d) A step of manufacturing a multilayer printed wiring board by repeating the steps as necessary.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18062396A JPH1027963A (en) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | Multilayer printed wiring board and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18062396A JPH1027963A (en) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | Multilayer printed wiring board and method of manufacturing the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1027963A true JPH1027963A (en) | 1998-01-27 |
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ID=16086455
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|---|---|---|---|
| JP18062396A Pending JPH1027963A (en) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | Multilayer printed wiring board and method of manufacturing the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1027963A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007186685A (en) * | 2005-12-16 | 2007-07-26 | Canon Inc | Epoxy resin composition, cured resin, and liquid discharge head. |
| JP2017197848A (en) * | 2017-07-28 | 2017-11-02 | アキレス株式会社 | Plated article excellent in adhesion, and production method thereof |
-
1996
- 1996-07-10 JP JP18062396A patent/JPH1027963A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007186685A (en) * | 2005-12-16 | 2007-07-26 | Canon Inc | Epoxy resin composition, cured resin, and liquid discharge head. |
| JP2017197848A (en) * | 2017-07-28 | 2017-11-02 | アキレス株式会社 | Plated article excellent in adhesion, and production method thereof |
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