JPH10282031A - ガス検知装置及びガス検知方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】検出精度の高いガス検知装置及び検出精度を高
めることができるガス検知方法を提供する。 【解決手段】金属酸化物半導体を感ガス体２４とするガ
スセンサＳは、感ガス体２４に負荷抵抗ＲＬが直列接続
される。ガスセンサＳは、感ガス体２４を加熱するため
のヒータ２５が感ガス体２４内に埋設されている。交番
電圧出力回路１は、感ガス体２４と負荷抵抗ＲＬとの直
列回路に交番電圧よりなる検出用電圧を印加する。検知
回路４は、感ガス体２４の表面にガスが接触することに
よって起きる感ガス体２４の抵抗値の変化に伴う負荷抵
抗ＲＬ両端の電圧Ｖout 変化によりガスを検知するよう
になっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガス検知装置及び
ガス検知方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、金属酸化物半導体を感ガス体
とするガスセンサを用いたガス検知装置が提供されてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
ガス検知装置においては、感ガス体と負荷抵抗との直列
回路の両端間に直流電圧よりなる検出用電圧を印加し、
感ガス体の表面にガスが接触することによって起きる感
ガス体の抵抗値の変化に伴う負荷抵抗の両端電圧の変化
によりガスを検知するようになっているが、感度の湿度
依存性があり、雰囲気中の湿度の影響を受けて検出精度
が悪くなってしまうという問題があった。この種の問題
を解決ために、感ガス体の材料についての研究が各所で
行われているが、問題の解決には至っていない。また、
サーミスタや湿度センサを使用した補償回路を設けるこ
とも検討されているが、上記問題を十分には解決してい
ない。

【０００４】本発明は上記事由に鑑みて為されたもので
あり、その目的は、検出精度の高いガス検知装置及び検
出精度を高めることができるガス検知方法を提供するこ
とにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、上記
目的を達成するために、金属酸化物半導体を感ガス体と
して用いたガスセンサと、感ガス体に直列に接続される
負荷抵抗と、感ガス体と負荷抵抗との直列回路に交番電
圧よりなる検出用電圧を印加する交番電圧出力回路と、
負荷抵抗の両端電圧の変化によりがスを検知する検知回
路とを備えて成ることを特徴とするものであり、検出用
電圧として直流電圧を用いた場合に比べて感度を高める
ことができるとともに感度の湿度依存性を小さくするこ
とができ、検出精度を高めることができる。

【０００６】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、検出用電圧の周波数を略１０Ｈｚ乃至略１ＭＨｚと
したものであり、望ましい実施態様である。請求項３の
発明は、請求項１又は請求項２の発明において、感ガス
体を加熱するためのヒータと、ヒータへの通電を制御す
ることにより検知対象ガスの種類に応じて感ガス体の温
度を可変する手段とを備え、該手段によって感ガス体の
温度が高温になる高温期間と温度が低温になる低温期間
とを交互に設定し、上記検知回路は、高温期間もしくは
低温期間又は両期間に検知対象ガスの検知を行う検知期
間が設定されているので、検知対象ガスの選択の自由度
が高くなるとともに、節電を図ることが可能となる。

【０００７】請求項４の発明は、請求項３の発明におい
て、メタン、プロパン、水素などの可燃性ガス及び一酸
化炭素を検知対象ガスとするガス検知装置であって、高
温期間の温度は可燃性ガスの感度に対する一酸化炭素の
感度が十分低くなる温度に設定され、低温期間の温度は
一酸化炭素の感度に対する可燃性ガスの感度が十分低く
なる温度に設定されているので、高温期間に可燃性ガス
を検知し、低温期間に一酸化炭素を検知することにより
可燃性ガス及び一酸化炭素の両方を高感度で検知するこ
とが可能となる。

【０００８】請求項５の発明は、金属酸化物半導体を感
ガス体として用いたガスセンサの当該感ガス体に直列に
負荷抵抗を接続し、当該感ガス体と負荷抵抗との直列回
路に交番電圧よりなる検出用電圧を印加して、負荷抵抗
の両端電圧の変化によりガスを検知することを特徴と
し、検出用電圧として直流電圧を用いた場合に比べて感
度が高くなるとともに感度の湿度依存性が小さくなり、
検出精度が高くなる。

【０００９】請求項６の発明は、請求項５の発明におい
て、検出用電圧の周波数を略１０Ｈｚ乃至略１ＭＨｚと
したものであり、望ましい実施態様である。請求項７の
発明は、請求項５又は請求項６の発明において、ガスセ
ンサにヒータを設け、ヒータへの通電を制御することに
より感ガス体の温度が高温になる高温期間と温度が低温
になる低温期間とを交互に設定し、高温期間もしくは低
温期間又は両期間にガス検知を行う検知期間を設定する
ので、検知対象ガスの選択の自由度が高くなるととも
に、節電を図ることが可能となる。

【００１０】請求項８の発明は、請求項７の発明におい
て、メタン、プロパン、水素などの可燃性ガス及び一酸
化炭素を検知対象ガスとするガス検知方法であって、高
温期間の温度を、可燃性ガスの感度に対する一酸化炭素
の感度が十分低くなる温度に設定するとともに、低温期
間の温度を、一酸化炭素の感度に対する可燃性ガスの感
度が十分低くなる温度に設定し、高温期間に可燃性ガス
を検知し、低温期間に一酸化炭素を検知するので、可燃
性ガス及び一酸化炭素の両方を高感度で検知することが
できる。

【００１１】

【発明の実施の形態】本実施形態のガス検知装置は、図
１に示すように、金属酸化物半導体を感ガス体２４とし
感ガス体２４を加熱するためのヒータ２５を有するガス
センサＳと、感ガス体２４に直列接続される負荷抵抗Ｒ
Ｌと、感ガス体２４と負荷抵抗ＲＬとの直列回路に交番
電圧よりなる検出用電圧を印加する交番電圧出力回路１
と、負荷抵抗ＲＬの両端電圧の変化によりガスを検知す
るマイクロコンピュータよりなる検知回路４と、ヒータ
２５への通電を行うことにより感ガス体２４の温度を可
変するヒータ電源回路（図示せず）とを備えている。

【００１２】交番電圧出力回路１は、検知回路４から出
力された直流の矩形波電圧（図１の点の電圧を図２
（ａ）に示す）を積分回路２により直流の三角波電圧
（図１の点の電圧を図２（ｂ）に示す）に変換し、こ
の三角波電圧を微分回路３により交流の矩形波電圧（図
１の点の電圧を図２（ｃ）に示す）に変換して、この
交流の矩形波電圧を感ガス体２４と負荷抵抗ＲＬとの直
列回路に印加している。負荷抵抗ＲＬの両端電圧は整流
積分回路５を介して検知回路４に入力されるようになっ
ている。なお、交番電圧出力回路１の回路構成は、図１
の構成に限定するものではなく、交番電圧を出力するも
のであればよい。

【００１３】つまり、本実施形態では、図３に示すよう
に、ヒータ２５の両端間に所定の電圧Ｖ_H を印加して感
ガス体２４を加熱するとともに、感ガス体２４と負荷抵
抗ＲＬとの直列回路の両端間に交番電圧よりなる検出用
電圧Ｖ_C を印加し、感ガス体２４の表面にガスが接触す
ることによって起きる感ガス体２４の抵抗値の変化に伴
う負荷抵抗ＲＬ両端の電圧Ｖout 変化によりガスを検知
するようになっている。

【００１４】ガスセンサＳは例えば、図４に示すような
構成であって、有底筒体からなるセンサ筐体（図示せ
ず）の底部を兼ねるベース３０と、ベース３０を貫通し
てセンサ筐体内外に突出する３本の端子１０₁ ，１
０₂ ，１０₃ と、端子にリード線を接続固定して支持さ
れた金属酸化物半導体からなる感ガス体２４とを備えて
いる。感ガス体２４は、長手方向の径が略０．４ｍｍ乃
至略０．８ｍｍ、短手方向の径が略０．２ｍｍ乃至略
０．７ｍｍの楕円球状に形成され、貴金属線の電極コイ
ルからなるヒータ２５が埋設されるとともに、ヒータ２
５の内部に貴金属線からなる検知用電極２０が設けられ
ている。なお、本実施形態のガスセンサＳは感ガス体２
４内にヒータ２５を埋設した焼結した焼結型センサであ
るが、ガスセンサＳは焼結型センサに限定するものでは
なく、金属酸化物半導体及びヒータを備えていればよ
く、いわゆる平板厚膜型センサであってもよい。

【００１５】ここで、感ガス体２４の主成分であるＳｎ
Ｏ₂ の調整について説明すると、まず、ＳｎＣｌ₄ の水
溶液をＮＨ₄ で加水分解してスズ酸ゾルを得、この得た
スズ酸ゾルを風乾燥後に空気中において例えば５５０℃
乃至７００℃で１時間焼成し、ＳｎＯ₂ を得る。このＳ
ｎＯ₂ に対してＰｄの王水溶液を含浸させ、例えば５０
０℃で空気中において１時間焼成してＰｄを担持させ
る。ここでＰｄの役割はガスセンサに各ガスに対して適
切な感度をもたせるとともに、各種ガスに対する応答速
度を改善するためのものであり、用途によっては添加し
なくてもよい。また、Ｐｄの代わりにＰｔ、Ｒｈ、Ａｕ
等の貴金属を用いることもできる。

【００１６】本実施形態では、メタン、プロパン、水素
などの可燃性ガスや一酸化炭素を検知対象ガスとし、ヒ
ータ２５の両端間に検知対象ガスに応じた所定の電圧Ｖ
_H を印加して感ガス体２４を加熱するとともに、感ガス
体２４と負荷抵抗ＲＬとの直列回路の両端間に周波数が
略１０Ｈｚ乃至略１ＭＨｚの交流矩形波電圧（交番電
圧）よりなる検出用電圧Ｖｃを印加し、負荷抵抗ＲＬ両
端の電圧Ｖout 変化によりガスを検知しており、清浄大
気中の感ガス体２４の両端抵抗値に対する各ガス中の両
端抵抗値の割合で示される感度（つまり、感度は感ガス
体２４が清浄大気中にある場合の負荷抵抗ＲＬの両端電
圧に対する感ガス体２４がガス中になる場合の負荷抵抗
ＲＬの両端電圧の割合で示される）を測定したところ、
従来に比べて感度の湿度依存性を小さくすることがで
き、検出精度が向上することが確認された。

【００１７】また、上述のヒータ電源回路によって、１
８０秒間に１秒間だけ感ガス体２４をヒータ２５により
加熱する高温期間を設定するとともに、残りの１７９秒
間は感ガス体２４のヒータ２５による加熱を行わない低
温期間を設定し、感ガス体２４を加熱している高温期間
にメタンを検知対象ガスとし、感ガス体２４を加熱をし
ていない低温期間に一酸化炭素を検知対象ガスとすれ
ば、電池駆動可能な省電力なガス検知装置を構成するこ
とができる。この場合も、交番電圧よりなる検出用電圧
Ｖｃの周波数を略１００Ｈｚ乃至略１００ｋＨｚとする
ことで従来よりも感度の湿度依存性を小さくすることが
できた。なお、ヒータ２５に印加する電圧Ｖ_H は検知対
象ガスに応じて適宜設定される。

【００１８】ところで、検出用電圧Ｖｃとして略１０Ｈ
ｚ乃至略１ＭＨｚの交番電圧を用いることにより、従来
の直流電圧を用いた場合に比べて感度の湿度依存性が小
さくなる理由は定かではないが、感ガス体２４の表面に
吸着する吸着水の量、あるいは吸着水の質が関係してい
ると推考される。つまり、検出用電圧Ｖｃとして略１０
Ｈｚ乃至略１ＭＨｚの交流電圧を用いることによって、
感ガス体２４表面に吸着する吸着水量が少なくなるか、
あるいは感ガス体２４表面に吸着している吸着水と感ガ
ス体２４表面との相互作用が少なくなり、湿度依存性が
小さくなると推考される。

【００１９】以下に述べる各実施例では、図１の回路を
有するガス検知装置を用いて測定を行った。 （実施例１）本実施例では、図１に示したガス検知装置
において、感ガス体２４の温度が略４００℃になるよう
にヒータ２５に０．９Ｖの電圧を印加している。本実施
例では、検出用電圧Ｖｃの印加交番電圧の周波数を種々
変えて（実効電圧を５Ｖ一定として周波数を１Ｈｚ乃至
１００ＭＨｚの範囲で変化させて）メタン（１０００ｐ
ｐｍ）に対する感度の相対湿度依存性を測定したとこ
ろ、図５に示すような測定結果が得られた。なお、感度
は、上述のように清浄大気中の感ガス体２４の両端抵抗
値に対するガス中の感ガス体２４の両端抵抗値の割合に
相当し、この値が１よりも小さいほど感度が高い。ま
た、測定を行った雰囲気の温度は２０℃一定とし、雰囲
気の相対湿度は２０％、４０％、６０％、８０％とし
た。

【００２０】ここに、図５中のロ（■）は周波数を１Ｈ
ｚとした場合、ハ（▲）は周波数を１０Ｈｚとした場
合、ニ（◇）は周波数を１００Ｈｚとした場合、ホ
（□）は周波数を１００ｋＨｚとした場合、ヘ（○）は
周波数を１ＭＨｚとした場合、それぞれの結果を示す。
なお、検出用電圧Ｖｃの周波数を１０ＭＨｚとした場合
は、測定データの信頼性に欠けるため、省略してある。
また、図５中のイ（●）は交番電圧出力回路１の代わり
に直流電源を設けて測定電圧を５Ｖの直流電圧とした場
合の結果を示し、従来例に相当するものである。。

【００２１】この測定結果から、本実施例では、検出用
電圧Ｖｃとして周波数が略１０Ｈｚ乃至略１ＭＨｚの交
番電圧を用いることにより、検出用電圧Ｖｃに直流電圧
を用いる従来例に比べて、メタンに対する感度が高くな
るとともに感度の湿度依存性が小さくなり検出精度を高
められることがわかった。 （実施例２）本実施例では、図１に示したガス検知装置
において、感ガス体２４の温度が略１００℃になるよう
にヒータ２５に０．３Ｖの電圧を印加している。本実施
例では、検出用電圧Ｖｃの印加交番電圧の周波数を種々
変えて（実効電圧を５Ｖ一定として周波数を１Ｈｚ乃至
１００ＭＨｚの範囲で変化させて）一酸化炭素（１００
ｐｐｍ）に対する感度の相対湿度依存性を測定したとこ
ろ、図６に示すような測定結果が得られた。なお、感度
は、上述のように清浄大気中の感ガス体２４の両端抵抗
値に対するガス中の感ガス体２４の両端抵抗値の割合に
相当し、この値が１よりも小さいほど感度が高い。ま
た、測定を行った雰囲気の温度は２０℃一定とし、雰囲
気の相対湿度は２０％、４０％、６０％、８０％とし
た。

【００２２】ここに、図６中のロ（■）は周波数を１Ｈ
ｚとした場合、ハ（▲）は周波数を１０Ｈｚとした場
合、ニ（◇）は周波数を１００Ｈｚとした場合、ホ
（□）は周波数を１００ｋＨｚとした場合、ヘ（○）は
周波数を１ＭＨｚとした場合、それぞれの結果を示す。
なお、検出用電圧Ｖｃの周波数を１０ＭＨｚとした場合
は、測定データの信頼性に欠けるため、省略してある。
また、図６中のイ（●）は交番電圧出力回路１の代わり
に直流電源を設けて測定電圧を５Ｖの直流電圧とした場
合の結果を示し、従来例に相当するものである。。

【００２３】この測定結果から、本実施例では、検出用
電圧Ｖｃとして周波数が略１０Ｈｚ乃至略１ＭＨｚの交
番電圧を用いることにより、検出用電圧Ｖｃに直流電圧
を用いる従来例に比べて、一酸化炭素に対する感度が高
くなるとともに感度の湿度依存性が小さくなり検出精度
を高められることがわかった。 （実施例３）本実施例では、１８０秒間に１秒間だけ感
ガス体２４の温度が略４００℃になるようにヒータ２５
に０．９Ｖのヒータ電圧Ｖ_H を印加し、残りの１７９秒
間は感ガス体２４の温度が略室温に等しくなるようにヒ
ータ電圧Ｖ_H を略零Ｖとしている。また、本実施例で
は、ヒータ２５により感ガス体２４を加熱している１秒
間の高温期間の最後の予め設定した第１の検知期間にメ
タンを検知対象ガスとし、次の１７９秒間の低温期間の
最後の予め設定した第２の検知期間に一酸化炭素を検知
対象ガスとしている。

【００２４】本実施例では、検出用電圧Ｖｃの印加交番
電圧の周波数を種々変えて（実効電圧を５Ｖ一定として
周波数を１Ｈｚ乃至１００ＭＨｚの範囲で変化させて）
第１の検知期間にメタン（１０００ｐｐｍ）に対する感
度の相対湿度依存性を測定し第２の検知期間に一酸化炭
素（１００ｐｐｍ）に対する感度の相対湿度依存性を測
定したところ、メタンについては図７に示すような測定
結果が得られ、一酸化炭素については図８に示すような
測定結果が得られた。なお、感度は、上述のように清浄
大気中の感ガス体２４の両端抵抗値に対するガス中の感
ガス体２４の両端抵抗値の割合に相当し、この値が１よ
りも小さいほど感度が高い。また、測定を行った雰囲気
の温度は２０℃一定とし、雰囲気の相対湿度は２０％、
４０％、６０％、８０％とした。

【００２５】ここに、図７及び図８中のロ（■）は周波
数を１Ｈｚとした場合、ハ（▲）は周波数を１０Ｈｚと
した場合、ニ（◇）は周波数を１００Ｈｚとした場合、
ホ（□）は周波数を１００ｋＨｚとした場合、ヘ（○）
は周波数を１ＭＨｚとした場合、それぞれの結果を示
す。なお、検出用電圧Ｖｃの周波数を１０ＭＨｚとした
場合は、測定データの信頼性に欠けるため、省略してあ
る。また、図７及び図８中のイ（●）は交番電圧出力回
路１の代わりに直流電源を設けて測定電圧を５Ｖの直流
電圧とした場合の結果を示し、従来例に相当するもので
ある。

【００２６】ところで、第１の検出期間においては一酸
化炭素は検知されず、第２の検知期間においてはメタン
は検知されなかった。したがって、高温期間及び低温期
間の温度をそれぞれ上述のように設定することにより、
メタンのような可燃性ガスと一酸化炭素とを選択的に検
知することができることがわかった。また、検出用電圧
Ｖｃとして周波数が略１０Ｈｚ乃至略１ＭＨｚの交番電
圧を用いることにより、検出用電圧Ｖｃに直流電圧を用
いる従来例に比べて、メタン（１０００ｐｐｍ）及び一
酸化炭素（１００ｐｐｍ）に対する感度が高くなるとと
もに感度の湿度依存性が小さくなり検出精度を高められ
ることがわかった。

【００２７】なお、実施例１，３ではメタンを検知対象
ガスとするデータしか挙げていないが、水素、プロパン
についてもメタンの場合と同様に、感度の相対湿度依存
性が小さくなるという効果が得られ、また、一酸化炭素
に対する選択性が得られた。

【００２８】

【発明の効果】請求項１の発明は、金属酸化物半導体を
感ガス体として用いたガスセンサと、感ガス体に直列に
接続される負荷抵抗と、感ガス体と負荷抵抗との直列回
路に交番電圧よりなる検出用電圧を印加する交番電圧出
力回路と、負荷抵抗の両端電圧の変化によりがスを検知
する検知回路とを備えているので、検出用電圧として直
流電圧を用いた場合に比べて感度を高めることができる
とともに感度の湿度依存性を小さくすることができ、検
出精度を高めることができるという効果がある。

【００２９】請求項３の発明は、請求項１又は請求項２
の発明において、感ガス体を加熱するためのヒータと、
ヒータへの通電を制御することにより検知対象ガスの種
類に応じて感ガス体の温度を可変する手段とを備え、該
手段によって感ガス体の温度が高温になる高温期間と温
度が低温になる低温期間とを交互に設定し、上記検知回
路は、高温期間もしくは低温期間又は両期間に検知対象
ガスの検知を行う検知期間が設定されているので、検知
対象ガスの選択の自由度が高くなるとともに、節電を図
ることが可能となるという効果がある。

【００３０】請求項４の発明は、請求項３の発明におい
て、メタン、プロパン、水素などの可燃性ガス及び一酸
化炭素を検知対象ガスとするガス検知装置であって、高
温期間の温度は可燃性ガスの感度に対する一酸化炭素の
感度が十分低くなる温度に設定され、低温期間の温度は
一酸化炭素の感度に対する可燃性ガスの感度が十分低く
なる温度に設定されているので、高温期間に可燃性ガス
を検知し、低温期間に一酸化炭素を検知することにより
可燃性ガス及び一酸化炭素の両方を高感度で検知するこ
とが可能となるという効果がある。

【００３１】請求項５の発明は、金属酸化物半導体を感
ガス体として用いたガスセンサの当該感ガス体に直列に
負荷抵抗を接続し、当該感ガス体と負荷抵抗との直列回
路に交番電圧よりなる検出用電圧を印加して、負荷抵抗
の両端電圧の変化によりガスを検知するので、検出用電
圧として直流電圧を用いた場合に比べて感度が高くなる
とともに感度の湿度依存性が小さくなり、検出精度が高
くなるという効果がある。

【００３２】請求項７の発明は、請求項５又は請求項６
の発明において、ガスセンサにヒータを設け、ヒータへ
の通電を制御することにより感ガス体の温度が高温にな
る高温期間と温度が低温になる低温期間とを交互に設定
し、高温期間もしくは低温期間又は両期間にガス検知を
行う検知期間を設定するので、検知対象ガスの選択の自
由度が高くなるとともに、節電を図ることが可能となる
という効果がある。

【００３３】請求項８の発明は、請求項７の発明におい
て、メタン、プロパン、水素などの可燃性ガス及び一酸
化炭素を検知対象ガスとするガス検知方法であって、高
温期間の温度を、可燃性ガスの感度に対する一酸化炭素
の感度が十分低くなる温度に設定するとともに、低温期
間の温度を、一酸化炭素の感度に対する可燃性ガスの感
度が十分低くなる温度に設定し、高温期間に可燃性ガス
を検知し、低温期間に一酸化炭素を検知するので、可燃
性ガス及び一酸化炭素の両方を高感度で検知することが
できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態を示すガス検知装置の回路例図であ
る。

【図２】同上の動作説明図である。

【図３】同上の検知原理の説明図である。

【図４】同上に用いるガスセンサの概略構成図である。

【図５】実施例１の各検出用電圧におけるメタンに対す
る感度の湿度依存性を示すグラフである。

【図６】実施例２の各検出用電圧における一酸化炭素に
対する感度の湿度依存性を示すグラフである。

【図７】実施例３の各検出用電圧におけるメタンに対す
る感度の湿度依存性を示すグラフである。

【図８】実施例３の各検出用電圧における一酸化炭素に
対する感度の湿度依存性を示すグラフである。

【符号の説明】

１ 交番電圧出力回路 ２ 積分回路 ３ 微分回路 ４ 検知回路 ５ 整流積分回路 Ｓ ガスセンサ ＲＬ 負荷抵抗 ２４ 感ガス体 ２５ ヒータ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属酸化物半導体を感ガス体として用い
   たガスセンサと、感ガス体に直列に接続される負荷抵抗
   と、感ガス体と負荷抵抗との直列回路に交番電圧よりな
   る検出用電圧を印加する交番電圧出力回路と、負荷抵抗
   の両端電圧の変化によりがスを検知する検知回路とを備
   えて成ることを特徴とするガス検知装置。
2. 【請求項２】 検出用電圧の周波数は、略１０Ｈｚ乃至
   略１ＭＨｚであることを特徴とする請求項１記載のガス
   検知装置。
3. 【請求項３】 感ガス体を加熱するためのヒータと、ヒ
   ータへの通電を制御することにより検知対象ガスの種類
   に応じて感ガス体の温度を可変する手段とを備え、該手
   段によって感ガス体の温度が高温になる高温期間と温度
   が低温になる低温期間とを交互に設定し、上記検知回路
   は、高温期間もしくは低温期間又は両期間に検知対象ガ
   スの検知を行う検知期間が設定されて成ることを特徴と
   する請求項１又は請求項２記載のガス検知装置。
4. 【請求項４】 メタン、プロパン、水素などの可燃性ガ
   ス及び一酸化炭素を検知対象ガスとするガス検知装置で
   あって、高温期間の温度は可燃性ガスの感度に対する一
   酸化炭素の感度が十分低くなる温度に設定され、低温期
   間の温度は一酸化炭素の感度に対する可燃性ガスの感度
   が十分低くなる温度に設定されて成ることを特徴とする
   請求項３記載のガス検知装置。
5. 【請求項５】 金属酸化物半導体を感ガス体として用い
   たガスセンサの当該感ガス体に直列に負荷抵抗を接続
   し、当該感ガス体と負荷抵抗との直列回路に交番電圧よ
   りなる検出用電圧を印加して、負荷抵抗の両端電圧の変
   化によりガスを検知することを特徴とするガス検知方
   法。
6. 【請求項６】 検出用電圧の周波数を略１０Ｈｚ乃至略
   １ＭＨｚとしたことを特徴とする請求項５記載のガス検
   知方法。
7. 【請求項７】 ガスセンサにヒータを設け、ヒータへの
   通電を制御することにより感ガス体の温度が高温になる
   高温期間と温度が低温になる低温期間とを交互に設定
   し、高温期間もしくは低温期間又は両期間にガス検知を
   行う検知期間を設定することを特徴とする請求項５又は
   請求項６記載のガス検知方法。
8. 【請求項８】 メタン、プロパン、水素などの可燃性ガ
   ス及び一酸化炭素を検知対象ガスとするガス検知方法で
   あって、高温期間の温度を、可燃性ガスの感度に対する
   一酸化炭素の感度が十分低くなる温度に設定するととも
   に、低温期間の温度を、一酸化炭素の感度に対する可燃
   性ガスの感度が十分低くなる温度に設定し、高温期間に
   可燃性ガスを検知し、低温期間に一酸化炭素を検知する
   ことを特徴とする請求項７記載のガス検知方法。