JPH10295561A - 真空構造体の排気装置 - Google Patents

真空構造体の排気装置

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JPH10295561A
JPH10295561A JP11236697A JP11236697A JPH10295561A JP H10295561 A JPH10295561 A JP H10295561A JP 11236697 A JP11236697 A JP 11236697A JP 11236697 A JP11236697 A JP 11236697A JP H10295561 A JPH10295561 A JP H10295561A
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exhaust
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vacuum structure
vacuum
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Shizunao Hatsutori
静尚 服部
Toshinori Sasaki
稔典 佐々木
Shinya Yasuda
真也 安田
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Zojirushi Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 真空構造体の小型化を図ることができ、ま
た、真空度が低下することなく短時間の局部加熱で確実
に排気孔を封止する。 【解決手段】 構成部材(内瓶2、外瓶3)により閉じ
られた空間を、前記構成部材に形成した排気孔4より排
気した後、該排気孔をろう材5によって封止する真空構
造体(魔法瓶1)の排気装置10であって、前記排気孔
とろう材とを覆う排気口14を備えた排気治具11を設
け、該排気治具の外側に、前記構成部材の排気孔と対向
するようにハロゲンランプ12を配設するとともに、前
記排気治具の少なくとも前記ハロゲンランプとろう材と
の間に位置する部分を透光性部材(集光レンズ18)に
より構成する。あるいは、前記ハロゲンランプ12の代
わりに、レーザ加熱器21、または、フェライトコア2
6および誘導加熱コイル27を配設する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、魔法瓶、真空二重
管、真空断熱パネル、真空容器等の真空構造体の排気装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、真空構造体、例えば、金属製の内
瓶と外瓶とからなる魔法瓶において、前記外瓶に形成し
た排気孔を封止する排気装置は、真空炉方式、チップ管
方式およびレーザを用いた母材溶接方式等、種々の方式
のものが提供されている。
【0003】前記真空炉方式の排気装置では、排気前の
状態の二重容器の前記排気孔の周囲にろう材を配設した
状態で真空炉内に配置し、二重容器を加熱して表面に付
着した油、水分、気体分子等、および、内瓶と外瓶を構
成する金属内に吸蔵したガスを除去しながら、前記内瓶
と外瓶との間の空間を前記排気孔から真空排気する。そ
して、前記空間が所定の真空度に達すると、炉内の温度
を高めることにより、前記ろう材を溶融させて前記排気
孔を封止するようにしている。
【0004】前記チップ管方式の排気装置では、外瓶の
排気孔にチップ管を取り付けておき、このチップ管付き
の二重容器を加熱炉に配置するとともに、前記チップ管
に排気ポンプを接続する。ついで、二重容器の表面を加
熱して油、水分、気体分子等および吸蔵ガスを除去する
とともに、排気ポンプにより前記チップ管を介して内瓶
と外瓶との間を真空排気する。そして、前記空間が所定
の真空度に達すると、前記チップ管を圧着して封止し、
該チップ管の不要な部分を切断して除去するようにして
いる。
【0005】前記母材溶接方式の排気装置では、前記ろ
う材やチップ管が不要であり、適宜の排気治具を介して
前記排気孔より内瓶と外瓶の間の空間を真空排気する。
そして、レーザ光を前記排気孔の周辺に照射することに
よって、排気孔を形成した外瓶の母材を溶融させて該排
気孔を封止するようにしている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記真
空炉方式の排気装置では、ろう材が溶融しない温度に炉
内を昇温させた後、空間内が所定の真空度に達するとろ
う材が溶融する高い温度に炉内を再加熱して昇温させる
ようにしているため、この再加熱時に、魔法瓶の構成部
材から前記吸蔵ガスが発生し、その結果、前記内瓶と外
瓶との間の空間の真空度が低下する場合があった。ま
た、炉内の温度を2段階で昇温させているため、作業時
間が長くなるという不都合があった。
【0007】前記チップ管方式の排気装置では、製造し
た魔法瓶にチップ管の残留部分が存在するため、その残
留部分が魔法瓶の小型化の妨げになる。また、前記外瓶
に対するチップ管の取付動作は、作業者による手作業で
行わなければならないため、生産効率が悪いという不都
合があった。
【0008】前記母材溶接方式の排気装置では、封止時
に排気孔周辺の母材金属を溶融する高温度に加熱しなけ
ればならないため、吸蔵ガスが発生し、前記内瓶と外瓶
との間の空間の真空度が低下する場合があった。
【0009】従って、本発明では、真空構造体の小型化
を図ることができ、また、真空度が低下することなく短
時間の局部加熱で確実に排気孔を封止することを課題と
するものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の第一の手段である本発明の真空構造体の排気装置は、
構成部材により閉じられた空間を、前記構成部材に形成
した排気孔より排気した後、該排気孔をろう材によって
封止する真空構造体の排気装置であって、前記排気孔と
ろう材とを覆う排気口を備えた排気治具を設け、該排気
治具の外側に、前記構成部材の排気孔と対向するように
ハロゲンランプを配設するとともに、前記排気治具の少
なくとも前記ハロゲンランプとろう材との間に位置する
部分を透光性部材により構成し、前記透光性部材を介し
て前記ハロゲンランプにより前記ろう材を溶融させるよ
うにしたものである。前記真空構造体の排気装置では、
前記透光性部材を集光レンズにより構成することが好ま
しい。
【0011】また、第二の手段である本発明の前記真空
構造体の排気装置は、構成部材により閉じられた空間
を、前記構成部材に形成した排気孔より排気した後、該
排気孔をろう材によって封止する真空構造体の排気装置
であって、前記排気孔とろう材とを覆う排気口を備えた
排気治具を設け、該排気治具の外側に、前記構成部材の
排気孔と対向するようにレーザ加熱器を配設するととも
に、前記排気治具の少なくとも前記レーザ加熱器とろう
材との間に位置する部分を透明部材により構成し、前記
透明部材を介して前記レーザ加熱器により前記ろう材を
溶融させるようにしたものである。
【0012】さらに、第3の手段である本発明の前記真
空構造体の排気装置は、構成部材により閉じられた空間
を、前記構成部材に形成した排気孔より排気した後、該
排気孔をろう材によって封止する真空構造体の排気装置
であって、前記排気孔とろう材とを覆う排気口を備えた
排気治具を設け、該排気治具の外側に、フェライトコア
を配設するとともに、該フェライトコアの外周に誘導加
熱コイルを巻回し、誘導加熱により前記ろう材を溶融さ
せるようにしたものである。
【0013】前記各排気装置によれば、所定の封止手段
によって排気治具を介して、ろう材およびろう材を配設
した部分のみの構成部材を所定温度に調節して局部加熱
することができるため、二重容器から吸蔵ガスが発生す
ることを抑え、内瓶と外瓶との間の真空度が低下するこ
とを防止することができる。また、所定温度で局部加熱
することができるため、迅速にろう材を溶融させて排気
孔を封止することができる。
【0014】前記第3の手段である排気装置では、フェ
ライトコアはU字型に形成し、誘導加熱コイルから発生
する電磁波を集中的にフェライトコアの開口部に集めて
局部加熱できるようにすることが好ましい。
【0015】また、前記誘導加熱コイルはインダクタン
ス調節コイルを介して接続し、前記誘導加熱コイルから
電磁波が安定して発生するようにすることが好ましい。
【0016】さらに、前記誘導加熱コイルは20〜50
kHzの高周波電流を通電し、IGBT(絶縁ゲートバ
イポーラ型トランジスタ)等を利用した生産性がよく、
信頼性が高い電気回路を構成できるようにすることが好
ましい。
【0017】前記フェライトコアの前記排気孔と対向す
る先端部を先細形状とし、磁束を集中させて加熱箇所を
正確に特定できるようにすることが好ましい。
【0018】また、前記排気治具は、電磁誘導加熱によ
って加熱されるのを防止するため、石英、パイレック
ス、耐熱性樹脂またはセラミックス等の非金属により形
成することが好ましい。
【0019】さらに、前記排気治具の排気孔と対向する
位置に、前記ろう材を保持する保持部を設け、排気時の
気流によるろう材の移動を防止し、ろう材の溶融時には
排気孔に導くようにすることが好ましい。
【0020】さらに、前記各構成の排気装置では、前記
排気治具の排気孔に断熱性を有するシール部材を配設す
ることが好ましい。このようにすれば、前記排気孔の周
囲の構成部材を気密に保持して確実に空間内を排気する
ことができる。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従って詳細に説明する。図1は、本発明の第1実施形
態の真空構造体である魔法瓶1の排気装置10を示す。
前記魔法瓶1は、金属製の内瓶2と外瓶3とからなる真
空二重容器である。前記内瓶2の外面には、外側に輻射
伝熱を防止するための銅箔2aが巻き付けられている。
前記外瓶3には、底板3aの略中央部に排気孔4が設け
られている。排気前の外瓶3には、前記排気孔4の周囲
にろう材5が外面側に配設されている。
【0022】前記排気装置10は、前記排気前の二重容
器を倒立させた状態で、内瓶2と外瓶3との間の空間を
排気する排気治具11を備え、該排気治具11の上側に
封止手段であるハロゲンランプ12が配設されている。
【0023】前記排気治具11は、一端が閉じられ他端
が開口された円筒形状をなし、前記開口が排気口14と
なる。該排気口14には、外瓶3の底板3aに圧接する
断熱性を有するシール部材15が取り付けられている。
また、前記排気治具11の側部には排気管16が接続さ
れ、該排気管16が図示しない真空ポンプに導かれてい
る。また、前記排気治具11には、前記ハロゲンランプ
12と前記ろう材5との間に位置する閉鎖部11aに透
光性部材である集光レンズ18が配設されている。
【0024】次に、前記排気装置10による魔法瓶1の
排気方法について説明する。まず、前記外瓶3の内部に
内瓶2を挿入し、これらの口部を溶接することによって
固着した後、外瓶3に底部に底板3aを溶接して固着す
る。そして、前記底板3aの排気孔4の周囲に、外面側
に位置するようにろう材5を配設する。具体的には、本
実施形態では、前記底板3aの排気孔4の周囲に、ま
ず、フラックス(図示せず)を塗布等することによって
付着させておき、該フラックスの表面からろう材を底板
3aに溶着させて第1ろう材層5aを形成する。つい
で、前記フラックスの前記第1ろう材層5aより露出す
る部分を拭き取って除去した後、前記第1ろう材層5a
の表面に、前記第1ろう材層5aと同一成分の固形ろう
材を付着させて第2ろう材層5bを形成する。
【0025】ついで、前記二重容器を倒立状態とし、前
記排気治具11を、その排気口14が外瓶3の排気孔4
を覆うように配置する。これにより、外瓶3の底板3a
は、前記シール部材15によって気密に保持される。
【0026】そして、図示しない加熱手段により内瓶2
および外瓶3の表面をろう材5が溶融しない所定温度で
加熱しながら、排気孔4を介して内瓶2と外瓶3の間の
空間を排気する。この状態では、前記ハロゲンランプ1
2は動作していない。これにより、前記内瓶2および外
瓶3に付着した油、水分、気体分子等の付着物および吸
蔵ガスを除去しながら、前記底板3aの排気孔4より空
間内を排気する。
【0027】前記排気動作によって二重容器の前記空間
が所定の真空度に達すると、前記ハロゲンランプ12を
動作させる。これにより、前記排気治具11の外部から
のハロゲン光が前記集光レンズ18によって集束され
て、前記ろう材5が照射される。そして、この集束され
たハロゲン光により、前記ろう材5が溶融して前記排気
孔4に流れ込み、該排気孔4が封止される。
【0028】このように、前記排気装置10では、ハロ
ゲンランプ12によって排気治具11を介して、ろう材
5および該ろう材5の周囲の底板3aのみを所定温度に
調節して局部加熱することができるため、二重容器全体
からの吸蔵ガスが発生することを抑えることができ、よ
って、内瓶2と外瓶3との間の真空度が低下することを
防止することができる。また、所定温度で局部加熱する
ことができるため、ろう材5を迅速に溶融させて排気孔
4を封止することができ、よって、作業時間の短縮を図
ることができる。さらに、魔法瓶1には、前記排気孔4
にチップ管は取り付けられない構成であるため、小型化
を図ることができるとともに、チップ管の取り付け等の
手作業が不要となり、生産効率の向上も図ることができ
る。
【0029】図2は第2実施形態の魔法瓶1の排気装置
20を示す。該排気装置20は、封止手段として、前記
ハロゲンランプ12の代わりにレーザ加熱器21が前記
排気治具11の外側に配設されるとともに、前記集光レ
ンズ18の代わりにガラス等の透明部材22が配設され
ている点で前記第1実施形態と相違している。
【0030】前記排気装置20によって二重容器を排気
する場合には、前記第1実施形態と同様に二重容器を組
み立てた状態で、排気治具11を二重容器の排気孔4に
配置し、内瓶2と外瓶3との間の空間を真空排気する。
そして、前記空間が所定の真空度に達すると、前記レー
ザ加熱器21を動作させて、透明部材22を通してレー
ザ光によってろう材5を溶融させ、底板3aの排気孔4
を封止することができる。
【0031】図3は第3実施形態の魔法瓶1の排気装置
25を示す。該排気装置25は、封止手段として、前記
排気治具11の外側に断面円形状の逆U字型のフェライ
トコア26が配設されるとともに、該フェライトコア2
6の外周部に誘導加熱コイル27が渦巻き状に巻回され
た誘導加熱方式のものを用いている。前記誘導加熱コイ
ル27は、太い1本の素線あるいは細い複数本の素線か
らなるリッツ線等で構成され、インダクタンス調節コイ
ル28を介して制御装置29によって制御されるように
なっている。なお、フェライトコア26は、図3中、破
線で示すように、排気治具11の閉鎖部11aを気密状
態で貫通させて設けてもよい。この場合、フェライトコ
ア26が底板3aに近接するため、誘導加熱コイル27
に対する出力を小さくすることができる。一方、前記排
気治具11は、石英、パイレックス、耐熱性樹脂または
セラミックス等の非金属により形成されており、その閉
鎖部11aには、第1実施形態に示す集光レンズ18
や、第2実施形態に示す透明部材22は配設されていな
い。
【0032】前記排気装置25は、前記内瓶2と外瓶3
とが表皮抵抗が大きい磁性金属からなる場合に適用さ
れ、前記第1実施形態と同様に二重容器を組み立てた状
態で、排気治具11を二重容器の排気孔4に配置し、内
瓶2と外瓶3との間の空間を真空排気する。
【0033】そして、前記空間が所定の真空度に達する
と、前記誘導加熱コイル27に20〜50kHzの高周
波電流を通電する。これにより、前記誘導加熱コイル2
7からの電磁波が前記排気治具11を通り抜け、電磁誘
導作用により外瓶3の底板3aで渦電流が発生し、この
渦電流によって底板3aが発熱し、その熱によってろう
材5が溶融させて排気孔4を封止する。
【0034】この時、前記フェライトコア26はU字型
に形成しているため、誘導加熱コイル27から発生する
電磁波を集中的にフェライトコア26の開口部に集めて
局部加熱することができる。また、前記誘導加熱コイル
27には20〜50kHzの高周波電流を通電している
とともに、前記誘導加熱コイルはインダクタンス調節コ
イル28を介して接続しているため、前記誘導加熱コイ
ルから電磁波が安定して発生し、IGBT(絶縁ゲート
バイポーラ型トランジスタ)等を利用した生産性がよ
く、信頼性が高い電気回路を構成することができる。
【0035】図4は第3実施形態のフェライトコア26
の変形例を示す。この変形例のフェライトコア26で
は、前記排気孔4と対向する先端部26aを、先細形状
に尖らせた点で、前記第3実施形態と相違している。な
お、図示のフェライトコア26は断面円形状とされてい
るが、その断面形状は長方形状、正方形状および三角形
状等、どのような形状であってもよい。このようにすれ
ば、発生する磁束を集中させて加熱箇所を正確に特定し
て局部加熱することができる。
【0036】図5は第4実施形態の排気装置30を示
す。該排気装置30は、前記排気治具11の閉鎖部11
aに、二重容器の底板3aに配設したろう材5’を保持
するとともに、前記排気孔4に導くための保持部31を
設け、二重容器を正立状態で排気して封止するようにし
た点で、前記第3実施形態と特に相違している。
【0037】具体的には、前記底板3aは、その排気孔
形成部分を下向きに傾斜させている。前記保持部31
は、前記ろう材5が付着しない材料で、かつ、電磁誘導
により発熱しない非金属等の材料で前記排気治具11に
一体成形されている。該保持部31は、前記閉鎖部11
aより突出する支持部32と、前記底板3aの傾斜と平
行する斜面を有する略円錐状の受部33とからなる。該
受部33には、図6に示すように、通気路を構成する切
欠き33aが設けられている。
【0038】次に、前記排気装置30による魔法瓶1の
排気方法について説明する。まず、前記第1実施形態と
同様に内瓶2と外瓶3とを固着するとともに、外瓶3に
底板3aを固着した後に、ろう材5’を底板3aの排気
孔4の周囲に付着させる。この時、前記ろう材5’は、
前記受部33の切欠き33aに対応する切欠き5a’を
形成したものを使用する。
【0039】ついで、前記二重容器を正立状態とし、保
持部31の切欠き33aとろう材5’の切欠き5a’と
が一致するように、前記排気治具11の排気口14に外
瓶3の排気孔4を配置する。
【0040】そして、前記各実施形態と同様に、図示し
ない加熱手段により内瓶2および外瓶3の表面をろう材
5’が溶融しない所定温度で加熱しながら、排気孔4お
よび切欠き33a,5a’を介して内瓶2と外瓶3との
間の空間を排気する。この排気時には、前記保持部31
により排気による気流でろう材5’が移動することを防
止することができる。
【0041】前記排気動作によって二重容器の前記空間
が所定の真空度に達すると、第3実施形態と同様に、誘
導加熱コイル27に高周波電流を通電することによって
誘導加熱によりろう材5’を溶融させて排気孔4を封止
する。この時、溶融したろう材5’は、前記円錐状の受
部33の傾斜に沿って中央に導かれ、前記排気孔4を確
実に封止することができる。
【0042】なお、本発明の真空構造体の排気装置は前
記構成に限られるものではない。例えば、前記第1およ
び第2実施形態に示す排気治具11は、全体を集光レン
ズ材または透明部材により構成してもよい。また、前記
第3および第4実施形態に示す誘導加熱方式の排気装置
では、排気治具11の閉鎖面11aに窪みを設け、フェ
ライトコア16を加熱箇所に近づけることにより加熱効
率の向上を図ることができる。さらに、前記魔法瓶1の
代わりに真空二重管、真空断熱パネル、または、真空容
器等の真空構造体に適用した場合でも同様の作用、効果
を得ることができる。
【0043】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の真空構造体の排気装置では、封止手段によって構成部
材に配設したろう材およびろう材の周囲を所定温度で局
部加熱することができ、構成部材の全体や構成部材の一
部のみを過剰加熱するはないため、吸蔵ガスの発生が少
なくなり、真空度が低下することを防止でき、その結
果、不良品の発生を大幅に抑えることができる。また、
所定温度で加熱できることにより、溶融したろう材を固
形化させるための冷却が少なくてすむ。さらに、前述の
ように効率的に局部加熱できるとともに、チップ管の取
り付け等の手作業が不要であるため、真空構造体の小型
化が可能となるとともに、大幅に作業性の向上を図るこ
とができ、生産性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施形態の真空構造体の排気装
置を示す概略断面図である。
【図2】 第2実施形態の真空構造体の排気装置を示す
概略断面図である。
【図3】 第3実施形態の真空構造体の排気装置を示す
概略断面図である。
【図4】 第3実施形態のフェライトコアの変形例を示
す斜視図である。
【図5】 第4実施形態の真空構造体の排気装置を示す
概略断面図である。
【図6】 図5の要部平面図である。
【符号の説明】
1…魔法瓶、2…内瓶、3…外瓶、3a…底板、4…排
気孔、5…ろう材、10,20,25,30…排気装
置、11…排気治具、12…ハロゲンランプ(封止手
段)、14…排気口、15…シール部材、18…集光レ
ンズ、21…レーザ加熱器、22…透明部材、26…フ
ェライトコア、27…誘導加熱コイル、28…インダク
タンス調節コイル、31…保持部。

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 構成部材により閉じられた空間を、前記
    構成部材に形成した排気孔より排気した後、該排気孔を
    ろう材によって封止する真空構造体の排気装置であっ
    て、前記排気孔とろう材とを覆う排気口を備えた排気治
    具を設け、該排気治具の外側に、前記構成部材の排気孔
    と対向するようにハロゲンランプを配設するとともに、
    前記排気治具の少なくとも前記ハロゲンランプとろう材
    との間に位置する部分を透光性部材により構成し、前記
    透光性部材を介して前記ハロゲンランプにより前記ろう
    材を溶融させるようにしたことを特徴とする真空構造体
    の排気装置。
  2. 【請求項2】 前記透光性部材を集光レンズにより構成
    したことを特徴とする請求項1に記載の真空構造体の排
    気装置。
  3. 【請求項3】 構成部材により閉じられた空間を、前記
    構成部材に形成した排気孔より排気した後、該排気孔を
    ろう材によって封止する真空構造体の排気装置であっ
    て、前記排気孔とろう材とを覆う排気口を備えた排気治
    具を設け、該排気治具の外側に、前記構成部材の排気孔
    と対向するようにレーザ加熱器を配設するとともに、前
    記排気治具の少なくとも前記レーザ加熱器とろう材との
    間に位置する部分を透明部材により構成し、前記透明部
    材を介して前記レーザ加熱器により前記ろう材を溶融さ
    せるようにしたことを特徴とする真空構造体の排気装
    置。
  4. 【請求項4】 構成部材により閉じられた空間を、前記
    構成部材に形成した排気孔より排気した後、該排気孔を
    ろう材によって封止する真空構造体の排気装置であっ
    て、前記排気孔とろう材とを覆う排気口を備えた排気治
    具を設け、該排気治具の外側に、フェライトコアを配設
    するとともに、該フェライトコアの外周に誘導加熱コイ
    ルを巻回し、誘導加熱により前記ろう材を溶融させるよ
    うにしたことを特徴とする真空構造体の排気装置。
  5. 【請求項5】 前記フェライトコアをU字型に形成した
    ことを特徴とする請求項4に記載の真空構造体の排気装
    置。
  6. 【請求項6】 前記誘導加熱コイルをインダクタンス調
    節コイルを介して接続したことを特徴とする請求項4ま
    たは請求項5に記載の真空構造体の排気装置。
  7. 【請求項7】 前記誘導加熱コイルに20〜50kHz
    の高周波電流を通電するようにしたことを特徴とする請
    求項4乃至請求項6のいずれか1項に記載の真空構造体
    の排気装置。
  8. 【請求項8】 前記フェライトコアの前記排気孔と対向
    する先端部を先細形状としたことを特徴とする請求項4
    乃至請求項7のいずれか1項に記載の真空構造体の排気
    装置。
  9. 【請求項9】 前記排気治具を、石英、パイレックス、
    耐熱性樹脂またはセラミックス等の非金属により形成し
    たことを特徴とする請求項4乃至請求項8のいずれか1
    項に記載の真空構造体の排気装置。
  10. 【請求項10】 前記排気治具の排気孔と対向する位置
    に、前記ろう材を保持する保持部を設けたことを特徴と
    する請求項4乃至請求項9のいずれか1項に記載の真空
    構造体の排気装置。
  11. 【請求項11】 前記排気治具の排気孔に断熱性を有す
    るシール部材を配設したことを特徴とする請求項1乃至
    請求項10のいずれか1項に記載の真空構造体の排気装
    置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013090702A (ja) * 2011-10-24 2013-05-16 Omichi Sangyo:Kk 真空引き兼封止方法、ガス注入兼排気工具、ろう付け排気工具
CN104128704A (zh) * 2014-07-08 2014-11-05 昆山浦元真空技术工程有限公司 保温杯真空焊接工艺
CN104697714A (zh) * 2015-02-13 2015-06-10 金华市志能科技有限公司 一种真空检漏及封口装置、真空检漏及封口方法
JP2015199130A (ja) * 2015-06-16 2015-11-12 株式会社大道産業 ろう付け排気工具

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