JPH1029709A

JPH1029709A - 基板搬送装置

Info

Publication number: JPH1029709A
Application number: JP8183290A
Authority: JP
Inventors: Yasumasa Shima; 泰正志摩
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1996-07-12
Filing date: 1996-07-12
Publication date: 1998-02-03

Abstract

(57)【要約】【課題】搬送対象である基板の幅寸法の変更に対応し
て、搬送用のローラの位置を容易かつ迅速に調整できる
ようにする。【解決手段】基板の幅方向両端に外周面が接触する一
対のローラ３０をローラ軸２０とともに回転駆動して上
記基板の搬送をする装置。少なくとも一方のローラ３０
をローラ軸２０に対して相対移動可能な可動ローラとす
る。移送部材５０及びその駆動手段等で構成されるロー
ラ移送手段を備え、上記可動ローラをローラ軸２０の軸
方向に沿って所定位置まで移送し、かつ、その位置でロ
ーラ軸２０に対するローラ３０の相対運動を規制できる
ようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶用ガラス角型
基板、カラーフィルタ用基板、フォトマスク用基板、サ
ーマルヘッド用基板等の各種基板を所定方向に搬送する
ための基板搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、各種基板を搬送するための装置と
して、図１２に示すようなものが一般に知られている。

【０００３】この装置は、複数本のローラ軸１９０を備
え、これらのローラ軸１９０は図の奥行き方向に並んだ
状態でその両端が左右一対の側板１８０に軸受１８２を
介して回転可能に支持されている。各ローラ軸１９０の
左右方向中央部には支持ローラ１８４が固定され、その
左右両翼には幅規制ローラ１９２が設けられている。各
幅規制ローラ１９２は、軸方向に並ぶ円筒状の小径部１
９３及び大径部１９４を一体に有し、これら小径部１９
３と大径部１９４との間には小径部１９３から大径部に
向かうに従って連続的に拡径する円錐台状のテーパー部
１９５が形成されており、各小径部１９３が内側に位置
する向きで、各ローラ軸１９０上に固定されている。そ
して、各ローラ軸１９０が同一方向に回転駆動されるこ
とにより、左右の幅規制ローラ１９２における小径部１
９３上に載せられた基板Ｐを図の奥行き方向に搬送する
ように構成されている。

【０００４】ところで、この装置において、基板Ｐの幅
方向位置を確実に規制しながらその良好な搬送をするた
めには、各小径部１９３の外側端同士の離間寸法を基板
Ｐの幅寸法Ｗに精度良く合わせる必要がある。従って、
この装置を用いて互いに幅寸法の異なる複数種の基板Ｐ
を全て搬送できるようにするには、各ローラ軸１９０上
における幅規制ローラ１９２の位置を変更可能とする必
要がある。

【０００５】そこで従来は、上記位置変更を可能にする
手段として、例えば図１３に示す構造が用いられてい
る。図において、ローラ軸１９０の両端近傍にその軸方
向に位置をずらして複数のねじ孔１９１が設けられる一
方、幅規制ローラ１９２の例えば大径部１９４にこれを
半径方向に貫通する段付きのボルト挿通孔１９７が設け
られている。そして、このボルト挿通孔１９７にボルト
１９６を挿通した状態で当該ボルト１９６を適当なねじ
孔１９１に螺合、挿入することにより、幅規制ローラ１
９２がローラ軸１９０に固定されるようになっている。

【０００６】この構造によれば、例えば図示の状態から
ボルト１９６を弛み方向に回してねじ孔１９１及びボル
ト挿通孔１９７から抜き取り、この状態で幅規制ローラ
１９２をローラ軸１９０に沿って移動させてボルト挿通
孔１９７を図の右側（装置外側）のねじ孔１９１と合致
させた後、この位置で再度ボルト挿通孔１９７に上記ボ
ルト１９６を挿入して上記ねじ孔１９１に螺合すること
により、幅規制ローラの固定位置を変更できる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記装置では、基板幅
寸法を変更する際、各ローラ軸１９０に取付けられてい
る幅規制ローラ１９２を一つずつ手動で移動させ、適当
な位置に位置合せする作業が必要である。このような作
業は面倒で、多大の時間と手間を要するとともに、自動
化及び省力化の大きな妨げとなる。

【０００８】本発明は、このような事情に鑑み、基板幅
寸法の変更に伴うローラ位置変更作業を容易にし、自動
化や省力化にも寄与できる基板搬送装置を提供すること
を目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段として、本発明は、基板の搬送方向と直交する方
向である基板幅方向に延び、上記搬送方向に並べて設置
される複数本のローラ軸と、各ローラ軸において上記基
板の幅方向両端に接触可能な位置に設けられるローラと
を備え、このローラ外周面と上記基板の幅方向両端とが
接触した状態で各ローラ軸及びローラが同一方向に回転
することにより基板を搬送する基板搬送装置において、
各ローラ軸において少なくとも一方のローラをローラ軸
に対して軸方向に相対移動可能な可動ローラとし、これ
らの可動ローラをローラ軸に沿って移送するローラ移送
手段と、移送された後の可動ローラのローラ軸に対する
相対運動を規制するローラ規制手段とを備えたものであ
る。

【００１０】この構成によれば、ローラ移送手段によっ
て各可動ローラをローラ軸に沿って移送することによ
り、基板幅寸法に応じた可動ローラの位置調整が簡単に
できる。

【００１１】なお、基板を片側位置基準で搬送する場
合、すなわち、一方の端部の位置を一定にして搬送する
場合には、他方の端部に対応するローラのみを可動ロー
ラとすればよいが、基板を中央位置基準で搬送する場
合、すなわち、基板中央位置を一定にして搬送する場合
には、両ローラを可動ローラとする必要がある。この場
合、両可動ローラを互いに反対の方向に同速度で同時移
送するように上記ローラ移送手段を構成することによ
り、左右ローラを同時に移送でき、かつ位置決めでき
る。

【００１２】また、実際の可動ローラの位置もしくはこ
れに相当するデータに関する検出信号を出力するローラ
位置検出手段と、このローラ位置検出手段からの検出信
号に基づき、上記可動ローラを外部から指定された基板
幅寸法に対応する位置まで移送して同位置で停止させる
ように上記ローラ移送手段を作動させる制御手段とを備
えたものによれば、各ローラの移送及び位置決めが自動
的に行われることになる。

【００１３】上記ローラ移送手段及びローラ規制手段と
しては、上記各可動ローラをローラ軸に相対回転不能で
かつ軸方向に相対移動可能に取付けるとともに、これら
の回動ローラにローラ軸方向に相対移動不能でかつ相対
回転可能に係合される移送部材と、この移送部材をロー
ラ軸と平行な方向に移動させる移送部材駆動手段とを備
えたものが、好適である。この装置によれば、上記移送
部材の駆動によってこれと一体に可動ローラを移送する
ことができ、かつ、移送部材を停止させた後は、上記可
動ローラをローラ軸と一体に回転駆動することができ
る。

【００１４】また、上記可動ローラに相対回転可能でか
つローラ軸方向に限られた可動範囲内でのみ相対移動可
能に係合される移送部材と、この移送部材をローラ軸と
平行な方向に移動させる移送部材駆動手段とを備えると
ともに、上記可動ローラを係止する複数のローラ係止部
をローラ軸にその軸方向に位置をずらして設けたものに
おいても、上記可動ローラをこの可動ローラが適当なロ
ーラ係止部に係止される位置まで移送部材で移送し、こ
の位置でローラ係止部に可動ローラを係止させることに
より、この可動ローラをローラ軸と一体に回転駆動する
ことが可能になる。

【００１５】上記移送部材とローラとの係合構造として
は、上記可動ローラに全周にわたる溝を設ける一方、上
記移送部材に上記溝よりも小幅で上記溝内に遊嵌される
遊嵌部を設けたものが好適である。この構造によれば、
上記移送部材の遊嵌部が溝の内側面に当たった状態で、
移送部材とローラとを一体に移動させることができ、ま
た移動後は、上記移送部材に対する可動ローラの相対回
転が許容される。

【００１６】ここで、上記移送部材の遊嵌部が溝の内側
面に接触したままであると、両者間に発生する摩擦力に
より可動ローラに回転抵抗が生じるが、上記可動ローラ
及び移送部材を外部から指定された基板幅寸法に対応す
るローラ係止部に係止される位置まで移送させた後、上
記溝の幅と遊嵌部の幅との差よりも小さい距離だけ上記
移送部材のみを逆移送させてこの移送部材と上記可動ロ
ーラとを非接触状態にするといった制御を行えば、移送
部材と可動ローラとの接触による摩擦抵抗をなくしてよ
り円滑なローラ駆動を実現できる。

【００１７】両ローラを可動ローラとし、かつこれらを
上記のような移送部材を用いて移送する場合、各可動ロ
ーラに係合される移送部材にローラ軸と平行な方向のナ
ットを設ける一方、上記移送部材駆動手段として、互い
に逆向きの雄ねじが形成され、各雄ねじに上記各ナット
が螺合されるねじ軸と、このねじ軸を回転駆動するねじ
軸駆動手段とを備えれば、上記ねじ軸を回転駆動するだ
けで両移送部材及びこれに係合されるローラを互いに接
離する方向に自動的に移動させることが可能になる。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の形態を図
１〜図９に基づいて説明する。

【００１９】ここに示す基板搬送装置１０は、図２に示
すような左右一対の側板１２を備え、両側板１２は基板
の搬送方向（図２では下向き方向）に延びている。そし
て、各側板１２に図略の軸受を介して複数本のローラ軸
２０の両端が回転可能に支持されている。各ローラ軸２
０は、上記基板搬送方向と直交する水平方向（基板幅方
向）に延び、上記搬送方向に沿って並べて設けられてい
る。

【００２０】各ローラ軸２０の一方の端部（図２では左
側端部）には歯車１４が固定される一方、基板搬送装置
１０の適所には搬送モータ１６が設置されている。そし
て、この搬送モータ１６の出力軸１８が適当な駆動伝達
機構を介して各歯車１４に連結されており、上記搬送モ
ータ１６の作動によって全ローラ軸２０が一斉に同方向
に回転駆動されるようになっている。

【００２１】各ローラ軸２０の左右方向中央部には、基
板Ｐの中央部を下から支持する支持ローラ２２が固定さ
れ、この支持ローラ２２を中心として左右対称の位置
に、基板幅規制用のローラ３０が取付けられている。

【００２２】図３及び図４（ａ）（ｂ）に示すように、
各ローラ３０は、その中心軸上に貫通穴をもつ筒状とさ
れ、ローラ軸２０の周囲に外嵌可能とされている。各ロ
ーラ３０には、円筒状のローラ本体部３２と、このロー
ラ本体部３２よりも大径の円筒状の幅規制部３３と、円
筒状の球保持部３４とがこの順に軸方向に並べて一体に
形成されている。また、ローラ本体部３２と幅規制部３
３との間には、幅規制部３３からローラ本体部３２に向
かうに従って次第に縮径するテーパー部３５が形成され
ている。

【００２３】上記ローラ本体部３２の外周面上には、ゴ
ム等からなる基板支持リング３１が外嵌されている。そ
して、この基板支持リング３１上に基板Ｐの幅方向端部
が載置されるとともに、その幅方向位置が上記テーパー
部３５によって規制されるようになっている。

【００２４】上記球保持部３４には、これを径方向（肉
厚方向）に貫通する貫通孔３６が設けられ、この貫通孔
３６内にボール３７が転動可能に収納されている。この
ボール３７の直径は、上記貫通孔３６の軸寸（すなわち
球保持部３４の肉厚）よりも少し大きめに設定され、ボ
ール３７の内側端及び外側端がそれぞれ球保持部３４の
内周面及び外周面から突出するようになっている。

【００２５】上記球保持部３４の外周面には、上下一対
の押え部材２４が嵌められている。両押え部材２４は、
中心角が１８０°よりも少し小さい円弧状の断面形状を
有し、その内周面の曲率半径が上記球保持部３４の外周
面の半径とほぼ等しく設定されている。上側の押え部材
２４の頂上部及び下側の押え部材２４の底部には、それ
ぞれ貫通孔２５が形成され、各貫通孔２５に上記ボール
３７の突出部分が嵌まり込んでいる。そして、両押え部
材２４の外周面に、ゴム等からなる拡縮径可能なＯリン
グ２６が拡径状態で外嵌されており、このＯリング２６
の弾性復帰力で各ボール３７が押え部材２４を介して径
方向内側に押し込まれた状態となっている。

【００２６】これに対し、各ローラ軸２０の左右両翼部
の上下両面には、逆円錐状の複数のローラ係止凹部２８
が形成され、そのうちの任意のローラ係止凹部２８内に
上記ボール３７が嵌入されることにより、ローラ軸２０
に対するローラ３０の相対回転及び軸方向変位が規制さ
れるようになっている。

【００２７】詳述すると、この実施の形態では、ローラ
軸２０に形成されたローラ係止凹部２８の円周方向の側
壁（いわゆるＶ溝）が当該円周方向へのボール３７の移
動を規制することによって、ローラ軸２０に対するロー
ラ３０の相対回転が規制され、ローラ係止凹部２８の軸
方向の側壁が当該軸方向へのボール３７の移動を規制す
ることによって、ローラ軸２０に対するローラ３０の軸
方向変位が規制されている。ただし、このようなローラ
３０の移動規制のための構造には、種々の変形例が考え
られ、例えば、上記ローラ軸２０のローラ係止凹部２８
に代えてローラ軸２０に円周方向に延びる長溝を形成す
るとともに、球保持部３４の貫通孔３６に代えて軸方向
に延びる長溝を形成し、両長溝の交点にボール３７を嵌
め込むようにしてもよい。

【００２８】この実施の形態では、各ローラ係止凹部２
８の位置が左右対称に設定され、適当なローラ係止凹部
２８に左右のローラ３０が係止された状態で、これらロ
ーラ３０により特定の幅寸法Ｗをもつ基板Ｐの幅方向両
端を下から支持可能となるように構成されている。

【００２９】さらに、この装置では、各ローラ３０をロ
ーラ軸２０に沿って移送する手段として、前後一対（図
２では上下一対）のねじ軸４０と、左右一対の移送部材
５０とが装備されている。

【００３０】上記両ねじ軸４０は、各ローラ軸２０と平
行に延び、これらローラ軸２０と同様に左右両端が図略
の軸受を介して左右両側板１２に回転可能に支持されて
いる。ねじ軸４０の外周面には、その左右方向中央部を
境にして、互いに逆向きの左側雄ねじ４１Ｌ及び右側雄
ねじ４１Ｒが形成されている。

【００３１】一方、図２に示すように、片側の側板１２
よりも外側の位置には、幅寄せモータ４２が設置され、
この幅寄せモータ４２の出力軸にカップリング４３を介
して一方のねじ軸４０の一端が直結されている。さら
に、このねじ軸４０及び他方のねじ軸４０の端部にはそ
れぞれタイミングプーリ４４，４５が固定され、両タイ
ミングプーリ４４，４５同士の間にタイミングベルト４
６が掛け渡されており、上記幅寄せモータ４２の作動に
よって両ねじ軸４０が一斉に同方向に同速度で回転駆動
されるようになっている。

【００３２】なお、図２において４８は、上記タイミン
グベルト４６に適当な張力を付与するためのテンション
プーリである。

【００３３】前記移送部材５０は、図３及び図４（ａ）
（ｂ）に示すように、基板搬送方向（図３では奥行き方
向、図４（ｂ）では左右方向）に延びる立直壁５１と、
この立直壁５１の下端から水平に延びる水平壁５２とを
もつ略Ｖ字状をなし、両壁５１，５２に亘って複数のリ
ブ５３が形成されている。水平壁５２の下面において、
各ねじ軸４０の雄ねじ４１Ｌ，４１Ｒに対応する位置に
は、ローラ軸２０と平行な状態でナット５４がボルト５
５等で固定されており、各ナット５４が各雄ねじ４１
Ｌ，４１Ｒと螺合されている。また、基板搬送装置１０
の前後両端の位置では、ローラ軸２０と平行に延びるガ
イドロッド６０の両端が両側板１２に固定される一方、
移送部材５０の水平壁５２の下面には、上記ガイドロッ
ド６０に外嵌されるスライダ５７が固定されている。

【００３４】従って、両ねじ軸４０が同時に同速度で同
方向に回転駆動されることにより、両移送部材５０が互
いに接離する方向に同速度で同時駆動（スライド駆動）
されるようになっている。

【００３５】図３及び図４（ｂ）に示すように、立直壁
５１の上端において各ローラ３０に対応する位置には、
上方に開放された切欠５６が形成されている。各切欠５
６は、半円状の下部と直線状の上部とが合体した正面視
略Ｕ字状をなしている。

【００３６】これに対し、各ローラ３０の幅規制部３３
には、その全周に亘る溝３８が形成されており、この溝
３８の径方向内側底面の直径は上記切欠５６の半円状下
部の直径よりも少し小さめに設定されている。図９
（ａ）（ｂ）に示すように、各溝３８の幅ｔ２は、上記
立直壁５１の肉厚ｔ１よりも少し大きめに設定されてお
り、この溝３８内に上記立直壁５１における上記切欠５
６の周縁部が遊嵌されている。

【００３７】すなわち、各ローラ３０は、移送部材５０
の立直壁５１に対し、相対回転可能で、かつ、軸方向に
限られた微小範囲（具体的には上記溝３８の幅ｔ２と立
直壁５１の肉厚ｔ１との差に相当する範囲）内でのみ相
対移動可能に係合されており、移送部材５０のスライド
移動に伴って、これに係合される複数のローラ３０（例
えば右側の移送部材５０がスライド移動する場合には右
側のローラ３０）が一斉に同方向に移送されるようにな
っている。

【００３８】図２に示すように、片側（同図では右側）
の移送部材５０の水平壁５２の下面適所には、図５にも
示すような被検出ブロック５８がボルト５５等で固定さ
れている。これに対し、側壁１２において上記被検出ブ
ロック５８に対応する位置には、検出ブロック６２が取
付けられ、この検出ブロック６２に原点位置検出スイッ
チ６３及びオーバーラン検出センサ６４が固定されてい
る。原点位置検出スイッチ６３は、上記移送部材５０が
最も外側の位置である原点位置に到達した状態で上記被
検出ブロック５８に接触するような位置に設けられ、こ
の接触によってオフからオンに切換えられるものであ
る。オーバーラン検出センサ６４は、上記移送部材５０
が誤って上記原点位置よりも外側の領域に侵入したこと
を検出し、その旨の信号を出力するものである。

【００３９】図２に示すように、上記幅寄せモータ４２
が一方の端部に直結されているねじ軸（同図下側のねじ
軸）４０の他方の端部は、外側に延長されており、この
延長端部が、図６にも示す支持壁７０に軸受７２を介し
て回転可能に支持されている。このねじ軸４０の先端に
は雄ねじ７３が形成され、この雄ねじ７３にナット７４
が締め付けられることにより、このナット７４と上記軸
受７２との間にスペーサ７５、回転検出板７６、スペー
サ７７が挾み込まれて固定されている。回転検出板７６
は、上記ねじ軸端部から径方向外側に大きく突出してお
り、その外周縁には周方向に間欠的に切欠が形成されて
いる。

【００４０】これに対し、上記支持壁７０からは外側
（図６では右側）に向けてブラケット７８が延長され、
このブラケット７８の先端に回転角検出センサ８０が固
定されている。この回転角検出センサ８０は、発光部８
０ａ及び受光部８０ｂを有するフォトスイッチで構成さ
れ、両部８０ａ，８０ｂ同士の間に上記回転検出板７６
の外周縁が位置するように、回転角検出センサ８０の配
設位置が設定されている。従って、上記ねじ軸４０が回
転するのに伴い、上記回転検出板７６の外周縁によって
両部８０ａ，８０ｂ同士の間が間欠的に遮断され、上記
回転角検出センサ８０からパルス信号が出力されるよう
になっている。そして、このパルス信号のパルス数をカ
ウントすることにより、ねじ軸４０の回転量、ひいては
上記原点位置からの移送部材５０及び各ローラ３０の移
送量が検出可能となっている。

【００４１】さらに、この基板搬送装置１０には、図７
に示すような入力部８２及び制御装置８４が設けられて
いる。入力部８２は、搬送が予定されている基板Ｐの幅
寸法Ｗに関するデータを制御装置８４に入力するもので
あり、この入力部８２からの信号の他、上記原点位置検
出スイッチ６３、オーバーラン検出センサ６４、及び回
転角検出センサ８０からの検出信号が制御装置８４に入
力されるようになっている。制御装置８４は、マイクロ
コンピュータ等からなり、上記各入力信号に基づいて搬
送モータ１６及び幅調整モータ４２に制御信号を出力
し、これらのモータ１６，４２の作動を制御するように
構成されている。

【００４２】次に、この制御装置８４の行う具体的な制
御動作を、図８のフローチャートを併せて参照しながら
説明する。

【００４３】ステップＳ１：幅寄せモータ４２をオンに
し、両移送部材５０及びこれに係合される各ローラ３０
を一斉に外向きに移送する。

【００４４】ステップＳ２，Ｓ３：原点位置検出スイッ
チ６３の出力信号を監視し、この信号がオンに切換えら
れた時点、すなわち、片側の移送部材５０の被検出ブロ
ック５８が上記原点位置検出スイッチ６３に接触した時
点で、幅寄せモータ４２をオフに切換える。これによ
り、左右の移送部材５０及び全ローラ３０は所定の原点
位置に位置決めされる。

【００４５】ステップＳ４：入力部８２から入力される
データ、すなわち、これから搬送しようとする基板Ｐの
幅寸法Ｗに関するデータを読み込む。

【００４６】ステップＳ５：ローラ軸２０に設けられた
複数のローラ係止凹部２８のうち、上記幅寸法Ｗをもつ
基板Ｐの幅方向両端に対応する位置にローラ３０を係止
できるローラ係止凹部２８を選出し、この選出したロー
ラ係止凹部２８の係止位置まで各ローラ３０を移送する
のに要するパルス数、換言すれば、現在の原点位置から
上記ローラ係止凹部２８による係止位置までローラ２０
を移送する間に回転角検出センサ８０から出力されるパ
ルスの数を演算し、これを目標パルス数として設定す
る。

【００４７】ステップＳ６：前記ステップＳ１と逆向き
に幅寄せモータ４２を作動させ、両移送部材５０及び各
ローラ３０を今度は内向きに移動させる。そして、回転
角検出センサ８０から出力されるパルス数が上記目標パ
ルス数に到達した時点で幅寄せモータ４２を停止させ
る。これにより、各ローラ３０は、図９（ａ）に示すよ
うに、ボール３７が所定のローラ係止凹部２８に嵌まり
込む位置まで移送されることになり、この位置で各ロー
ラ３０のローラ軸２０に対する相対運動（回転運動と軸
方向への直線運動の双方の運動）が規制される。すなわ
ち、各ローラ３０はローラ軸２０と一体に回転する状態
となる。

【００４８】なお、この時点では、立直壁５１における
切欠５６の周縁部がローラ３０側の溝３８の内側面に接
触した状態となっている。

【００４９】ステップＳ７：前記ステップＳ６と逆向き
に幅寄せモータ４２を作動させ、予め設定された微小パ
ルス数だけカウントした時点で直ちに幅寄せモータ４２
を停止させる。上記「微小パルス数」は、溝３８の幅ｔ
２と立直壁５１の肉厚ｔ１との差に対応するパルス数よ
りも小さい範囲に設定する。この微小パルス数の分だけ
移送部材５０のみが逆行することにより、図９（ｂ）に
示すように、立直壁５１の両側面が溝３８の両内側面か
ら離間する状態となる。すなわち、ローラ３０と移送部
材５０とは非接触の状態になる。

【００５０】ステップＳ８：搬送モータ１６を作動さ
せ、全ローラ軸２０を一斉に同方向に回転駆動する。こ
の時、各ローラ３０も各ローラ軸２０と一体に回転す
る。従って、この状態で各ローラ３０の基板支持リング
３１上に前記幅寸法Ｗをもつ基板Ｐの幅方向両端を載せ
れば、この基板Ｐの両端位置をテーパー部３５によって
正確に位置決めしながら、基板Ｐを良好に所定の搬送方
向（図２では下向きの方向）に搬送できることになる。

【００５１】なお、上記幅寸法Ｗをもつ基板Ｐの搬送が
全て終了した後は、搬送モータ１６を停止させ、次の基
板搬送まで待機する。

【００５２】このような装置によれば、幅寄せモータ４
２を作動させるだけで、全ローラ３０を所定の基板幅寸
法に対応する位置まで簡単に移送することができ、ま
た、上記位置でローラ係止凹部２８によりローラ軸２０
側に係止することができる。従って、従来のように各ロ
ーラ３０を１個ずつ手動で所定位置までローラ軸２０に
沿って移動させ、上記所定位置で固定する場合に比べ、
基板幅寸法の変更に伴うローラ位置調整作業が大幅に簡
単化及び迅速化され、作業能率は飛躍的に向上する。

【００５３】なお、上記幅寄せモータ４２のオンオフは
手動で行うことも可能であり、この場合でも従来装置に
比べて作業能率は向上するが、上記実施形態のように、
回転角検出センサ８０等の検出手段と、その検出信号に
基づいて幅寄せモータ４２の作動を制御する制御装置８
４とを備えることにより、装置の自動化及び省力化にも
寄与することが可能である。

【００５４】特に、前記図９（ａ）（ｂ）に示したよう
に、ローラ３０を所定のローラ係止凹部２８による係止
位置まで移送した後、その移送方向と逆方向に微小量だ
け移送部材５０のみを移動させるといった制御を行うこ
とにより、この移送部材５０とローラ３０とを非接触状
態にでき、両者が接触している場合に発生する摩擦力の
分だけローラ３０の回転抵抗を削減できる利点も得られ
る。

【００５５】また、本発明は、上記の実施形態の他、次
のような形態をとることも可能である。

【００５６】(1) 前記実施形態では、ねじ軸４０とナッ
ト５４との組み合わせで移送部材５０を移動させるもの
を示したが、本発明における移送部材の駆動には、その
他の種々の駆動機構を利用することが可能である。例え
ば、図１０に示すように、共通のピニオン９０に一対の
ラック９２を同時に噛合し、上記ラック９２に移送部材
５０を連結すれば、上記ピニオン９０の回転駆動によっ
て両移送部材５０を接離させることができる。また、左
右一対のタイミングプーリ９４同士の間にタイミングベ
ルト９６を掛け渡し、このタイミングベルト９６の適所
に移送部材５０を連結するようにしても、いずれか一方
のタイミングプーリ９４の回転駆動によって両移送部材
５０を接離させることが可能である。ただし、上記のよ
うなねじ軸４０を用いた場合、その回転に伴う移送部材
５０の変位が微小であるため、より精度の高いローラの
位置決めが可能となる。

【００５７】(2) 前記実施形態では、左右両ローラ３０
を可動ローラ、すなわちローラ軸２０に対してその軸方
向に相対移動できるローラとしているが、基板Ｐが中央
位置基準でなく片端位置基準で搬送される場合には、一
方のローラ３０の位置を固定し、他方のローラ３０につ
いてのみローラ移送手段及びローラ規制手段を設ければ
よい。例えば、基板Ｐの幅寸法に関係なくその左端の位
置を一定にして搬送する場合には、右側のローラ３０の
み移送及び位置決めできるようにすればよい。

【００５８】(3) 前記実施形態において、立直壁５１の
肉厚ｔ１と溝３８の幅ｔ２とを略同等とし、ローラ３０
と移送部材５０とが軸方向にほとんど相対変位ができな
いようにすれば、上記移送部材５０をローラ軸方向につ
いてのローラ規制手段としても利用できるので、ローラ
係止凹部２８の省略が可能になり、さらに、ローラ３０
の位置を連続的に調整することも可能になる。この場
合、ローラ３０を所定位置まで移送した後は、その場所
でそのまま移送部材５０を停止させるようにすれはよ
い。また、ローラ３０とローラ軸２０とはキー結合する
等して、ローラ軸２０に対してローラ３０が相対回転不
能で軸方向にのみ相対移動できるようにすればよい。

【００５９】(4) 前記実施形態では、基板Ｐの幅方向両
端を下から支持する幅規制用のローラ３０を示したが、
本発明はその他、基板Ｐの幅寸法Ｗに応じて位置調整が
必要なローラについて広く適用が可能である。例えば、
搬送中の基板がはね上がらないようにその両端を上から
押える押えローラであって、基板表面処理に影響を与え
ないように確実に基板両端のみに接触するように位置調
整しなければならないものについても、本発明を適用す
ることが可能である。この場合は、基板Ｐの搬送の邪魔
とならないように、ローラ移送手段をローラ軸よりも上
方の位置に設ければよい。

【００６０】

【発明の効果】以上のように本発明は、ローラ軸に設け
られた可動ローラをそのローラ軸に沿って移送するロー
ラ移送手段と、移送された後の可動ローラのローラ軸に
対する相対運動を規制するローラ規制手段とを備えたも
のであるので、搬送対象となる基板の幅寸法が変更され
た際の上記可動ローラの位置調整作業を簡単かつ迅速に
行うことができ、作業能率を飛躍的に向上させることが
できる効果がある。

【００６１】ここで、左右両ローラを可動ローラとし、
かつ、両可動ローラを互いに反対の方向に同速度で同時
移送するように上記ローラ移送手段を構成したものによ
れば、ローラ移送手段の作動によって両可動ローラの移
送及び位置決めを同時に行うことができ、中央位置基準
で搬送される基板の幅寸法変更にも迅速に対応できる効
果が得られる。

【００６２】また、実際の可動ローラの位置もしくはこ
れに相当するデータに関する検出信号を出力するローラ
位置検出手段と、このローラ位置検出手段からの検出信
号に基づき、上記可動ローラを外部から指定された基板
幅寸法に対応する位置まで移送して同位置で停止させる
ように上記ローラ移送手段を作動させる制御手段とを備
えることにより、装置全体の自動化及び省力化にも寄与
することができる。

【００６３】上記ローラ移送手段及びローラ規制手段と
して、上記各可動ローラをローラ軸に相対回転不能でか
つ軸方向に相対移動可能に連結するとともに、これらの
回動ローラにローラ軸方向に相対移動不能でかつ相対回
転可能に係合される移送部材と、この移送部材をローラ
軸と平行な方向に移動させる移送部材駆動手段とを備え
たものによれば、上記移送部材を駆動するだけの簡単な
構成で全可動ローラの移送及び位置決めができる効果が
得られる。

【００６４】また、上記可動ローラに相対回転可能でか
つローラ軸方向に限られた可動範囲内でのみ相対移動可
能に係合される移送部材と、この移送部材をローラ軸と
平行な方向に移動させる移送部材駆動手段とを備えると
ともに、上記可動ローラを係止する複数のローラ係止部
をローラ軸にその軸方向に位置をずらして設けたものに
おいても、上記可動ローラをこの可動ローラが適当なロ
ーラ係止部に係止される位置まで移送部材で移送し、こ
の位置でローラ係止部に可動ローラを係止させることに
より、この可動ローラをローラ軸と一体に回転駆動する
ことができる。

【００６５】より具体的に、上記可動ローラに全周にわ
たる溝を設ける一方、上記移送部材に上記溝よりも小幅
で上記溝内に遊嵌される遊嵌部を設けたものによれば、
簡単な構造で可動ローラと移送部材との連動を実現する
ことができる。そして、この装置において、上記可動ロ
ーラ及び移送部材を外部から指定された基板幅寸法に対
応するローラ係止部に係止される位置まで移送させた
後、上記溝の幅と遊嵌部の幅との差よりも小さい距離だ
け上記移送部材のみを逆移送させてこの移送部材と上記
可動ローラとを非接触状態にする制御手段を備えること
により、移送部材と可動ローラとの接触による摩擦抵抗
をなくしてより円滑なローラ駆動を実現できる効果が得
られる。

【００６６】また、両ローラを可動ローラとし、かつこ
れらを上記のような移送部材を用いて移送する場合、各
可動ローラに係合される移送部材にローラ軸と平行な方
向のナットを設ける一方、上記移送部材駆動手段とし
て、互いに逆向きの雄ねじが形成され、各雄ねじに上記
各ナットが螺合されるねじ軸と、このねじ軸を回転駆動
するねじ軸駆動手段とを備えることにより、上記ねじ軸
を回転駆動するだけの簡単な構成で両可動ローラを互い
に接離する方向に自動的に移動させることができ、か
つ、高精度で位置決めができる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる基板搬送装置の要部を示す断面
正面図である。

【図２】上記基板搬送装置の全体平面図である。

【図３】上記基板搬送装置のローラ及びその移送手段を
示す断面正面図である。

【図４】（ａ）は図３のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図３
のＢ−Ｂ線断面図である。

【図５】図２のＣ−Ｃ線断面図である。

【図６】図２のＤ部の拡大断面図である。

【図７】上記基板搬送装置における制御装置の入出力信
号を示すブロック図である。

【図８】上記制御装置による制御動作を示すフローチャ
ートである。

【図９】（ａ）はローラ移送直後のローラと移送部材と
の相対位置関係を示す断面正面図、（ｂ）は（ａ）の状
態から移送部材のみを微小量逆行させた後のローラと移
送部材との相対位置関係を示す断面正面図である。

【図１０】ローラ移送手段の変形例であるピニオン及び
ラックの組合せを示す平面図である。

【図１１】ローラ移送手段の変形例であるタイミングプ
ーリ及びタイミングベルトの組合せを示す平面図であ
る。

【図１２】従来の基板搬送装置の一例を示す正面図であ
る。

【図１３】従来の基板搬送装置の要部を示す一部断面正
面図である。

【符号の説明】

１０基板搬送装置２０ローラ軸２８ローラ係止凹部（ローラ係止部）３０ローラ３８溝４０ねじ軸４１Ｌ，４１Ｒ雄ねじ４２幅寄せモータ（ねじ軸駆動手段）５０移送部材５１立直部（遊嵌部）５４ナット６３原点位置検出スイッチ（ローラ位置検出手段）８０回転角検出センサ（ローラ位置検出手段）８４制御装置（制御手段）Ｐ基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板の搬送方向と直交する方向である基
板幅方向に延び、上記搬送方向に並べて設置される複数
本のローラ軸と、各ローラ軸において上記基板の幅方向
両端に接触可能な位置に設けられるローラとを備え、こ
のローラ外周面と上記基板の幅方向両端とが接触した状
態で各ローラ軸及びローラが同一方向に回転することに
より基板を搬送する基板搬送装置において、各ローラ軸
において少なくとも一方のローラをローラ軸に対して軸
方向に相対移動可能な可動ローラとし、これらの可動ロ
ーラをローラ軸に沿って移送するローラ移送手段と、移
送された後の可動ローラのローラ軸に対する相対運動を
規制するローラ規制手段とを備えたことを特徴とする基
板搬送装置。
【請求項２】請求項１記載の基板搬送装置において、
両ローラを可動ローラとするとともに、両可動ローラを
互いに反対の方向に同速度で同時移送するように上記ロ
ーラ移送手段を構成したことを特徴とする基板搬送装
置。
【請求項３】請求項１または２記載の基板搬送装置に
おいて、実際の可動ローラの位置もしくはこれに相当す
るデータに関する検出信号を出力するローラ位置検出手
段と、このローラ位置検出手段からの検出信号に基づ
き、上記可動ローラを外部から指定された基板幅寸法に
対応する位置まで移送して同位置で停止させるように上
記ローラ移送手段を作動させる制御手段とを備えたこと
を特徴とする基板搬送装置。
【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載の基板搬
送装置において、上記各可動ローラをローラ軸に相対回
転不能でかつ軸方向に相対移動可能に取付けるととも
に、これらの回動ローラにローラ軸方向に相対移動不能
でかつ相対回転可能に係合される移送部材と、この移送
部材をローラ軸と平行な方向に移動させる移送部材駆動
手段とを備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項５】請求項１または２記載の基板搬送装置に
おいて、上記可動ローラに相対回転可能でかつローラ軸
方向に限られた可動範囲内でのみ相対移動可能に係合さ
れる移送部材と、この移送部材をローラ軸と平行な方向
に移動させる移送部材駆動手段とを備えるとともに、上
記ローラ軸に、上記可動ローラを係止する複数のローラ
係止部をその軸方向に位置をずらして設けたことを特徴
とする基板搬送装置。
【請求項６】請求項５記載の基板搬送装置において、
上記可動ローラに全周にわたる溝を設ける一方、上記移
送部材に上記溝よりも小幅で上記溝内に遊嵌される遊嵌
部を設けたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項７】請求項６記載の基板搬送装置において、
実際の可動ローラの位置もしくはこれに相当するデータ
に関する検出信号を出力するローラ位置検出手段と、こ
のローラ位置検出手段からの検出信号に基づき、上記可
動ローラ及び移送部材を外部から指定された基板幅寸法
に対応するローラ係止部に係止される位置まで移送さ
せ、かつ、その後に上記溝の幅と遊嵌部の幅との差より
も小さい距離だけ上記移送部材のみを逆移送させてこの
移送部材と上記可動ローラとを非接触状態にするように
上記移送部材駆動手段を作動させる制御手段とを備えた
ことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項８】請求項４〜７のいずれかに記載の基板搬
送装置において、両ローラを可動ローラとし、各可動ロ
ーラに係合される移送部材にローラ軸と平行な方向のナ
ットを設ける一方、上記移送部材駆動手段として、互い
に逆向きの雄ねじが形成され、各雄ねじに上記各ナット
が螺合されるねじ軸と、このねじ軸を回転駆動するねじ
軸駆動手段とを備えたことを特徴とする基板搬送装置。