JPH10312537A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 非磁性基体上に磁性膜を形成する条件を常に
一定にして所望の特性の磁気記録媒体を長時間にわた
り、確実に製造し、また、生産性を向上させる。 【解決手段】 ベースフィルム６の幅は冷却キャンロー
ル７と同一で構成され、冷却キャンロール７の幅方向が
全てベースフィルム６により覆われる。キャンロール７
上を走行するベースフィルム６上に磁性材料の蒸発源か
らの蒸気流を斜方蒸着法により付着させることにより磁
性膜を成膜する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、非磁性基体上に磁
性膜を成膜するための磁気記録媒体の製造装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】磁気テープの記録密度は近年急速に高密
度化が図られている。この過程で、磁気テープは高抗磁
力、高磁束密度を有する酸化鉄テープ、メタルテープ及
び薄膜テープへと高性能なものに移行している。この磁
気テープの応用として、ＶＴＲ分野では、今後、デジタ
ル化、高精細化を達成するために特に薄膜テープが注目
されている。

【０００３】この薄膜テープとしては、磁性膜が斜方蒸
着法により形成された、いわゆる蒸着テープが実用化さ
れている。これは、具体的にはピアス型電子銃を用いて
真空中で電子ビームをルツボ内のＣｏ、ＣｏＮｉなどの
磁性材料に照射し、これらの材料を溶融、蒸発させ、酸
素を導入しながら、ＰＥＴ、ＰＥＮ、ＰＩ（ポリイミ
ド）、ＰＡ（ポリアミド）などのベースフィルム上にＣ
ｏＯ、ＣｏＮｉＯよりなる薄膜を形成することにより製
造される。

【０００４】この斜方蒸着法を使用した一般的な成膜装
置を図２に示す。図２において、真空槽１内に、巻出し
ロール２、巻取りロール３、ガイドロール４、５及び冷
却キャンロール７がそれぞれ配置されており、非磁性基
体すなわちベースフィルム６が矢印方向で示すように巻
出しロール２→ガイドロール４→冷却キャンロール７→
ガイドロール５→巻取りロール３の方向に走行する。冷
却キャンロール７の内部には、上記ベースフィルム６へ
の蒸着時に温度上昇によるベースフィルム６の変形など
を防止するために、図示しない冷却装置が設けられてい
る。

【０００５】また、冷却キャンロール７の下方には、磁
性材料１１が収容されたルツボ８が配置され、真空槽１
の側壁には、この磁性材料１１を溶融、蒸発させるため
の加熱装置として、例えばピアス型電子銃１２が配設さ
れている。ピアス型電子銃１２から放出される電子ビー
ム１３の制御は、ルツボ８に近接して配置され電子ビー
ム１３の軌道で偏向磁界を印加する偏向マグネット１４
と、ピアス型電子銃１２内の偏向マグネット１５により
行われる。電子ビーム１３の照射位置はルツボ８の中央
部で、ベースフィルム６の幅方向に所定の周期で走査さ
れ、ルツボ８内の磁性材料１１を溶解し、蒸発させる。
また、ルツボ８に近接した偏向マグネットを設置せず
に、ピアス型電子銃１２から放出された直進電子ビーム
を、ピアス型電子銃１２内の偏向マグネット１５のみを
用いてルツボ８内で走査させる方法もある。

【０００６】冷却キャンロール７の外周面近傍には、ベ
ースフィルム６に対する磁性材料１１の蒸気流の最大入
射角θmax（一般には、９０°）及び最小入射角θmin
（一般には、４０°）を規制するためのマスク９及び１
０が配設されている。そして、ベースフィルム６が冷却
キャンロール７の外周を走行している間に、所定の角度
に設定された最大及び最小入射角の範囲（この範囲を、
蒸着開口部という）で蒸発した磁性材料１１がベースフ
ィルム６の表面に付着し、磁性膜が形成される。このと
き、得られる磁性膜の磁気特性は、磁性材料の蒸気流の
最大入射角θmax及び最小入射角θminにより決定され
る。

【０００７】また、図３に示すようにベースフィルム６
の幅は冷却キャンロール７より小さく形成されている。
最大入射角規制マスク９と最小入射角規制マスク１０は
一体の部材で形成され、この部材にはさらに、ベースフ
ィルム６により覆われないベースフィルム６の両端に蒸
着物が堆積することを防止するために防着マスク部１６
が一体で形成されている。この防着マスク部１６はま
た、図４に示すように防着マスク部１６と冷却キャンロ
ール７との間の隙間１７を介して蒸着物が回り込むこと
を考慮してベースフィルム６の両端を覆うように形成さ
れている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、図４に示すようにベースフィルム６上に成膜
する過程で防着マスク部１６に対して大量の蒸発材料が
付着し（図示１８）、成膜時間の経過とともにこの付着
物１８の量が増加するので、蒸発流１９がこの付着物１
８によりベースフィルム６上に到達しなくなる。このた
め、ベースフィルム６の端部の膜厚と磁気特性が成膜時
間の経過とともに変化し、所望の特性の磁気記録媒体を
長時間にわたり、確実に製造することができないという
問題点がある。また、ベースフィルム６の両端が防着マ
スク部１６により覆われているので、この部分には磁性
膜が形成されず、したがって、生産性が悪いという問題
点がある。

【０００９】本発明は上記従来の問題点に鑑み、非磁性
基体上に磁性膜を形成する条件を常に一定にして所望の
特性の磁気記録媒体を長時間にわたり、確実に製造する
ことができ、また、生産性を向上させることができる磁
気記録媒体の製造装置を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、キャンロールと非磁性基体の幅を略同一に
したものである。すなわち本発明によれば、キャンロー
ル上を走行する非磁性基体上に磁性膜を成膜する磁気記
録媒体の製造装置において、前記キャンロールと前記非
磁性基体の幅が略同一であることを特徴とする磁気記録
媒体の製造装置が提供される。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１は本発明に係る磁気記録媒体
の製造装置の一実施形態の要部を示す構成図である。

【００１２】図１において、ベースフィルム６の幅は冷
却キャンロール７と同一で構成され、したがって、冷却
キャンロール７の幅方向が全てベースフィルム６により
覆われる。また、従来例のようにベースフィルム６の両
端を防着マスク部１６は省略され、最大入射角規制マス
ク９と最小入射角規制マスク１０のみによりベースフィ
ルム６と冷却キャンロール７が覆われている。

【００１３】

【実施例】次に、実施例について説明する。 ＜実施例１＞図１及び図２に示す装置において、冷却キ
ャンロール７として直径１０００ｍｍ、幅３００ｍｍの
ものを用い、真空槽１内に酸素を導入しながらベースフ
ィルム６として長さ１００００ｍ、幅３００ｍｍ、厚み
６μｍのＰＥＴフィルムを５０ｍ／ｍｉｎで冷却キャン
ロール７上を走行させてＰＥＴフィルム６上に０．２μ
ｍのＣｏＯを蒸着した。蒸気流の成膜時の入射角は、初
期入射角が９０°、最小入射角が４０°である。

【００１４】＜比較例１＞図２〜図４に示す装置におい
て、冷却キャンロール７として直径１０００ｍｍ、幅４
００ｍｍのものを用い、同様に真空槽１内に酸素を導入
しながらベースフィルム６として長さ１００００ｍ、幅
３００ｍｍ、厚み６μｍのＰＥＴフィルムを５０ｍ／ｍ
ｉｎで冷却キャンロール７上を走行させてＰＥＴフィル
ム６上に０．２μｍのＣｏＯを蒸着した。蒸気流の成膜
時の入射角は、初期入射角が９０°、最小入射角が４０
°である。また、図４に示すように防着マスク部１６が
覆うＰＥＴフィルム６の端部の幅Ｌは３０ｍｍである。

【００１５】表１は実施例１、比較例１共に成膜開始か
ら２０００ｍおきに、フィルム端から４０ｍｍの位置に
成膜されたＣｏＯ磁性膜のＨｃ、Ｒｓ及び膜厚を測定し
た結果を示している。表１に示すように、比較例１で
は、防着マスク部１６上に堆積する蒸発物１８の影響を
受けるので、Ｈｃ、Ｒｓ及び膜厚は成膜距離が長くなる
につれて悪化したが、実施例１ではフィルム端部の近傍
に蒸気流を遮る堆積物が形成されないので、Ｈｃ、Ｒｓ
及び膜厚は成膜距離が長くなっても殆ど悪化しなかっ
た。なお、上記説明では成膜法として蒸着法を例にした
が、スパッタ法にも適用することができる。

【００１６】

【表１】

【００１７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、キ
ャンロールと非磁性基体の幅を略同一にしたので、ベー
スフィルム上に磁性膜を形成する条件を常に一定にして
所望の特性の磁気記録媒体を長時間にわたり、確実に製
造することができ、また、生産性を向上させることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気記録媒体の製造装置の一実施
形態の要部を示す構成図である。

【図２】本発明に係る磁気記録媒体の製造装置を示す構
成図である。

【図３】従来の磁気記録媒体の製造装置の要部を示す構
成図である。

【図４】従来の磁気記録媒体の製造装置における堆積物
を示す説明図である。

【符号の説明】

６ ベースフィルム（非磁性基体） ７ 冷却キャンロール

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 キャンロール上を走行する非磁性基体上
   に磁性膜を成膜する磁気記録媒体の製造装置において、 前記キャンロールと前記非磁性基体の幅が略同一である
   ことを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
2. 【請求項２】 キャンロール上を走行する非磁性基体上
   に磁性材料の蒸発源からの蒸気流を斜方蒸着法により付
   着させることにより磁性膜を成膜することを特徴とする
   請求項１記載の磁気記録媒体の製造装置。