JPH0418372B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、垂直磁気特性の向上した垂直磁気記
録体の製造法並に製造装置に関する。

従来、垂直磁気記録体の製造法として、特開昭
58−121134号公報に見られるように、真空容器内
に被蒸着材を設け、その直下に磁性材を設置し、
電子ビーム発生装置により該磁性材に斜めに電子
ビームを照射してその磁性材原子の蒸気を直上の
被蒸着材の表面に蒸着する製造法が知られてい
る。このような電子ビームを磁性材面に斜めに照
射した場合、第１図に示すように、磁性材ａに電
子ビームｂが当たる部分が集中的に蒸発し、その
電子ビームｂの方向に対応する斜めに傾斜した凹
窪ｃが形成され、該凹窪ｃが斜めに向いたノズル
のような作用を営み、蒸発材の蒸発ｄは斜め方向
に集中して蒸発分布が偏倚した状態になり、蒸気
が被蒸着材へ垂直に入射できなくなつて垂直磁化
膜の形成が難しくなる。

また、垂直磁気特性は垂直磁気記録体のヒステ
リシス曲線を測定したときに、角型性が良好に現
われるものほど優れているが、磁性材料のみで形
成した垂直磁化膜はその角型性が鈍い。

本発明は、かかる不都合をなくし、被蒸着材に
一層良好な磁性材の垂直蒸着を行なえ、垂直磁気
特性の向上した垂直磁気記録体の製造方法を提供
することを目的とするもので、真空容器内に被蒸
着材を設け、その直下に磁性材を設置し、電子ビ
ームを磁性材に照射し、その蒸発する原子蒸気を
被蒸着材面に蒸着させて垂直磁化膜を形成するよ
うにした垂直磁気記録体の製造法において、電子
ビームを磁性材に垂直に照射し、蒸発する蒸気を
該真空容器内に導入した酸素ガスにより酸化させ
て被蒸着材に蒸着することを特徴とする。

更に、本発明は、上記の方法を実施するに適し
た構成簡単で容易に製作できる装置を提供するこ
とを目的とするもので、真空ポンプに連なる真空
容器内に被蒸着材を設け、その直下に磁性材を収
めた蒸発源を設置し、該真空容器の側方に電子ビ
ーム発生装置を設け、該被蒸着材と蒸発源の間に
蒸気の透過孔を有する防着板を設けた構成の垂直
磁気記録体の製造装置に於いて、該蒸発源の付近
に、電子ビーム発生装置からの電子ビームを磁性
材に垂直に向かうように偏向させる電子ビーム偏
向装置を設け、該被蒸着材と蒸発源の間へ向けて
酸素ガスを供給する酸素ガス導入管を設けて成
る。

次に本発明の実施例を第２図及び第３図につき
説明する。

図面で、符号１は真空ポンプ（図示しない）に
接続した真空容器を示し、該真空容器１内の中央
に冷却キヤン２の周囲をその回動に伴ない一定速
度で矢印方向へ走行する合成樹脂製テープから成
る被蒸着材３を設ける。４は該テープ状被蒸着材
３の送りロール、５はその巻き取りロールを示
す。該被蒸着材３の直下に、磁性材６を収めたる
つぼからなる蒸発源７を設置した。８は、その冷
却キヤン２の下端面を走行する被蒸着材３に近付
けて蒸発源７との間に介在させた中央に透過孔９
を有する水平の防着板である。１０は、真空容器
１の側面に磁性材６に向かい斜め下向きに付設し
た電子ビーム発生装置を示す。

以上の構成は、従来の垂直磁気記録体の製造装
置と特に変わりがないが、本発明の場合、該電子
ビーム発生装置１０により発生する電子ビームＥ
を、図示のように磁性材６に垂直に入射させるべ
く下向きに偏向せしめる磁界を発生する電子ビー
ム偏向装置１２を蒸発源７の付近に設け、被蒸着
材３と蒸発源７の間へ向けて酸素ガスを供給する
酸素ガス導入管１１を設けた。

該電子ビーム偏向装置１２は、例えば電子ビー
ムＥの軌道と直交する方向に電子ビームを挟んで
正極と負極の対向する電磁石で構成され、また酸
素ガス導入管１１は、防着板８の透過孔９に向け
て下方の蒸発源７の側から酸素ガスを供給するよ
うに設置され、かくして、該電子ビーム発生装置
１０で発生する電子ビームを下向きに曲げて磁性
材６に垂直に入射させ、酸化された該磁性材６の
蒸気が被蒸着材３に垂直に入射し付着するように
した。

次に上記本発明装置を使用して本発明の製造法
を実施する例を説明する。

磁性材６としては、Fe，Co，Niやこれらの合
金を使用する。例えば、Coを磁性材６として用
意し、電子ビーム発生装置１０より電子ビームＥ
を磁性材６に向けて照射した場合、該電子ビーム
Ｅは途中で電子ビーム偏向装置１２により下向き
に曲り、磁性材６には垂直に入射する。而して該
垂直の電子ビームの照射を受けた磁性材６の表面
部分は、溶融し、垂直に蒸発を続ける。更に詳細
には、第３図示の如く、磁性材６の垂直な電子ビ
ームＥを受けて溶融蒸発する箇所は、これに対応
して垂直方向に延びる凹窪Ｄが生成されるので、
磁性材６の原子的蒸発６′は、その大部分は垂直
方向に行われるので、無駄がなく、垂直磁化膜Ｆ
として被蒸着材３の水平下面に付着して垂直磁気
記録テープＰが製造される。この蒸着過程に於い
て、磁性材６の蒸気は酸素ガス導入管１１から導
入した所定量の酸素ガス中を通過し、Co蒸気の
一部はCoOとなり、Co原子と一定の割合で混ざ
り、Coのみの垂直磁化膜に比し下記の如き優れ
た垂直磁気特性の垂直磁化膜Ｆが形成される。

本発明の上記装置で製造したCo 0.65、Ｏ
0.35の組成から成る膜厚5000nmの垂直磁化膜を
有する本発明製造法に基づく磁気記録テープと、
電子ビーム偏向装置を使用しないで磁性材に45゜
の斜めから電子ビームを照射したこと以外は上記
と同様に製造したCo 0.65、Ｏ 0.35の組成から
成る膜厚5000nmの垂直磁化膜を有する対照磁気
記録テープとのヒステリシス曲線を測定した結果
は第４図に示す通りであつた。同図の実線は本発
明製造法による磁気記録テープのヒステリシス曲
線、また、点線は対照磁気記録テープのそれであ
る。これより明らかなように、本発明のように酸
素ガスを導入しながら電子ビームを垂直に磁性材
に照射した場合の方が、酸素ガスを導入しながら
斜めに電子ビームを磁性材に照射した場合よりも
ヒステリシス曲線の角型性が良く、垂直磁気特性
が優れていることが分かる。

更に磁性材の蒸気の一部を酸化させることによ
り、被蒸着材３の表面には垂直に成長した強磁性
柱状粒子と非強磁性酸化物の２相構造の膜が形成
され、該膜は飽和磁化が減少し、且つ形状磁気異
方性や結晶磁気異方性による垂直磁気異方性が増
大し、良好な垂直磁気特性の磁化膜となる。

このように本発明の方法によるときは、酸素ガ
スを導入しながら磁性材に垂直に電子ビームを照
射するようにしたので、酸素ガスを導入しない場
合よりも垂直磁気特性が優れた垂直磁化膜が得ら
れるのみならず、酸素ガスを導入しながら電子ビ
ームを磁性材に斜めに入射させる場合よりも磁性
材を垂直方向に蒸発源から蒸発させることができ
て更にヒステリシス曲線の角型性が良好で垂直磁
気特性の更に良い垂直磁気記録体が得られる効果
があり、本発明の装置によれば、本発明の方法を
簡単かつ安価な装置で行える効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の電子ビームの照射状態を説明す
る磁性材蒸発部の断面図、第２図は本発明の実施
の一例の装置の截断側面図、第３図はその一部の
拡大断面図、第４図は垂直磁気特性の比較図を示
す。 １……真空容器、３……被蒸着材、６……磁性
材、７……蒸発源、８……防着板、９……透過
孔、Ｅ……電子ビーム、１０……電子ビーム発生
装置、１１……酸素ガス導入管、１２……電子ビ
ーム偏向装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 真空容器内に被蒸着材を設け、その直下に磁
   性材を設置し、電子ビームを磁性材に照射し、そ
   の蒸発する原子蒸気を被蒸着材面に蒸着させて垂
   直磁化膜を形成するようにした垂直磁気記録体の
   製造法において、電子ビームを磁性材に垂直に照
   射し、蒸発する蒸気を該真空容器内に導入した酸
   素ガスにより酸化させて被蒸着材に蒸着すること
   を特徴とする垂直磁気記録体の製造法。 ２ 真空ポンプに連なる真空容器内に被蒸着材を
   設け、その直下に磁性材を収めた蒸発源を設置
   し、該真空容器の側方に電子ビーム発生装置を設
   け、該被蒸着材と蒸発源の間に蒸気の透過孔を有
   する防着板を設けた構成の垂直磁気記録体の製造
   装置に於いて、該蒸発源の付近に、電子ビーム発
   生装置からの電子ビームを磁性材に垂直に向かう
   ように偏向させる電子ビーム偏向装置を設け、該
   被蒸着材と蒸発源の間へ向けて酸素ガスを供給す
   る酸素ガス導入管を設けたことを特徴とする垂直
   磁気記録体の製造装置。