JPH10317144A - 液体原料供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は液体原料を気化させる前に、効率
よく確実に霧化させることができるようにした液体原料
供給装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 液体原料を気化させて供給する液体原料
供給装置において、液体原料を供給する供給タンク１
と、超音波振動子１５を有し上記供給タンクから供給さ
れた液体原料を上記超音波振動子の超音波振動によって
霧化させる霧化タンク１３と、この霧化タンク１３にお
ける液体原料の温度を制御する循環路１８および熱交換
器３２と、上記霧化タンクによって霧化された液体原料
を加熱気化させる加熱気化器２１とを具備したことを特
徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は薄膜形成用の液体
原料を気化させて供給するための液体原料供給装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】近年、たとえば半導体製造プロセスにお
いて、金属薄膜や絶縁膜を形成する場合、その金属薄膜
や絶縁膜の種類によっては室温で液体状の原料が用いら
れる。液体原料を用いて成膜するには、その液体原料を
気化させて処理チャンバに供給し、この処理チャンバで
反応ガスと反応させて金属膜や絶縁膜を半導体ウエハや
液晶用ガラス基板などに堆積させるということが行われ
ている。

【０００３】上記液体原料を気化させて処理チャンバン
へ供給するには、液体原料が収容されたタンクにキャリ
アガスを供給し、このキャリアガスに液体原料を含ませ
て処理チャンバへ供給するバブリング方式や加熱気化器
によって液体原料を気化させて処理チャンバへ供給する
加熱気化方式などが知られている。

【０００４】ところで、上述したバブリング方式は蒸気
圧の高い一部の液体原料だけにしか適用することができ
ない。そのため、最近では加熱気化方式が採用されるこ
とが多い。

【０００５】しかしながら、加熱気化方式においては、
液体原料を効率よく気化させないと、加熱気化器内部に
液体原料が残り、その液体原料が分解して堆積物が生じ
る。そのため、その堆積物によって加熱気化器につまり
が生じたり、ダストの発生原因となり、液体原料を連続
的に気化させることができなくなるから、生産性が悪い
ということがあった。

【０００６】そこで、液体原料を加熱気化器で気化させ
る前に、その液体原料に超音波振動を与えて霧化させる
ことで、効率よく気化させるということが考えられてい
る。その場合、液体原料を霧化させる霧化部での霧化効
率の向上を図ることが要求される。

【０００７】通常、上記霧化部はタンクを有し、その底
部に振動板が設けられている。この振動板には超音波振
動子が取着されている。したがって、この超音波振動子
を駆動して上記振動板を超音波振動させれば、上記タン
ク内に収容された液体原料が霧化される。

【０００８】ところで、液体原料に超音波振動を与える
超音波振動子は、その温度が所定の温度以上になると分
極状態などが破壊してしまうということが知られてお
り、また霧化する際の液体原料の液面が超音波振動子の
性能に応じて所定の高さに精度よく維持されないと、霧
化効率が大幅に低下するということが知られている。

【０００９】上記超音波振動子は、通常、タンク内に収
容された液体原料によって冷却される。しかしながら、
タンク内の液体原料は超音波振動子の振動エネルギによ
って温度上昇するから、超音波振動子の温度も所定以上
に上昇して分極状態が破壊され、所定の性能を呈するこ
とができなくなるということがあった。

【００１０】また、タンク内の液体原料の液面は、液体
原料が霧化されるにつれて低下してくる。そのため、液
体原料を効率よく霧化せることができるよう、タンク内
の液面高さを精度よく維持することができないため、霧
化効率の大幅な低下を招くということがあった。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】このように、液体原料
の気化効率を向上させるために、超音波振動を与えて液
体原料を霧化させてから加熱気化器に供給するというこ
とが考えられているが、その場合、液体原料に超音波振
動を与えるための超音波振動子が温度上昇し、その性能
が維持できなくなったり、液体原料の液面が所定の高さ
に精度よく維持できないために、液体原料の霧化効率が
低下するなどの不具合がある。

【００１２】この発明は、超音波振動子の温度が所定温
度以上に上昇するのを防止できるようにした液体原料供
給装置を提供することにある。この発明は、液体原料の
液面を所定の高さに精度よく維持できるようにした液体
原料供給装置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、液体
原料を気化させて供給する液体原料供給装置において、
液体原料を供給する供給部と、超音波振動子を有し上記
供給部から供給された液体原料を上記超音波振動子の超
音波振動によって霧化させる霧化部と、この霧化部にお
ける液体原料の温度を制御する温度制御手段と、上記霧
化部によって霧化された液体原料を加熱気化させる加熱
気化部とを具備したことを特徴とする。

【００１４】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、上記温度制御手段は、温度調節器と、この温度調節
器によって温度調節されて上記霧化部の液体原料と熱交
換する伝熱媒体が流通される熱交換器とからなることを
特徴とする。

【００１５】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、上記温度制御手段は、上記霧化部に接続されこの霧
化部に供給された液体原料の一部を循環させる循環路で
あることを特徴とする。

【００１６】請求項４の発明は、液体原料を気化させて
供給する液体原料供給装置において、液体原料を供給す
る供給部と、超音波振動子を有し上記供給部から供給さ
れた液体原料を上記超音波振動子の超音波振動によって
霧化させる霧化部と、この霧化部における液体原料の液
面を所定の高さに制御する液面制御手段と、上記霧化部
によって霧化された液体原料を加熱気化させる加熱気化
部とを具備したことを特徴とする。

【００１７】請求項５の発明は、請求項４の発明におい
て、上記液面制御手段は、上記供給部と上記霧化部との
間にこれらに連通して設けられ上記供給部から霧化部へ
供給される液体原料を一時的に貯留する貯留部と、この
貯留部内の圧力を検出する第１の検出手段と、上記霧化
部内の圧力を検出する第２の検出手段と、これら第１、
第２の検出手段からの検出信号によって上記貯留部内に
加える圧力を調整して上記霧化部の液面を所定の高さに
維持する圧力調整手段とからなることを特徴とする。

【００１８】請求項６の発明は、請求項１または請求項
４の発明において、上記霧化部で霧化された液体原料の
液粒子は、上記気化部への供給量が流量制御手段によっ
て制御される構成であることを特徴とする。

【００１９】請求項７の発明は、請求項１または請求項
４の発明において、上記加熱気化部には、上記霧化部で
霧化されて加熱気化部に流入する液体原料の液粒子へ伝
熱するための加熱媒体が収容されていることを特徴とす
る。

【００２０】請求項１の発明によれば、霧化部における
液体原料の温度を制御することで、この液体原料を霧化
させる超音波振動子の温度が所定以上に上昇するのを防
止できる。

【００２１】請求項２の発明によれば、温度調節器によ
って温度調節された伝熱媒体を熱交換器に流通させ、こ
の熱交換器によって霧化部の温度を調節し、液体原料の
温度上昇を防止することで、超音波振動子が所定以上に
温度上昇するのを防止できる。

【００２２】請求項３の発明によれば、霧化部に循環路
を接続し、この循環路によって霧化部に供給された液体
原料を循環させ、その循環による放熱で液体原料が所定
以上に温度上昇するのを防止することで、超音波振動子
が温度上昇するのを防止できる。

【００２３】請求項４の発明によれば、霧化部における
液体原料の液面を所定の高さに制御することで、超音波
振動子による液体原料の霧化効率が低下するのを防止す
ることができる。

【００２４】請求項５の発明によれば、霧化部に連通し
て設けられた貯留部内の圧力を制御することで、上記霧
化部の液面高さを所定の高さに精度よく維持することが
できる。

【００２５】請求項６の発明によれば、霧化部で霧化さ
れた液粒子が加熱気化部へ供給される量を制御するよう
にしたことで、上記加熱気化部の能力に応じた量の液粒
子を供給することができる。請求項７の発明によれば、
加熱気化部に加熱媒体を収容したことで、加熱気化部に
流入する液体原料の液粒子を効率よく気化させることが
できる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面を参照して説明する。図１に示すこの発明の液体原
料供給装置は半導体ウエハや液晶用ガラス基板に金属膜
や絶縁膜を形成するための液体原料Ｌが収容される供給
部としての供給タンク１を有する。この供給タンク１に
収容された液体原料Ｌはその底部に接続された供給管２
によって貯留部としての貯留タンク３に導入される。供
給管２には原料供給弁２ａが設けられており、必要に応
じて開くことで、液体原料Ｌを貯留タンク３に導入でき
るようになっている。

【００２７】上記貯留タンク３は密閉構造をなしてい
て、上部には内部の液体原料Ｌを加圧するためのＡｒ、
Ｈｅなどの不活性ガスあるいはＮ₂ などの加圧ガスを供
給する第１の加圧管４が接続されている。

【００２８】上記第１の加圧管４には第１の制御弁５が
設けられている。この第１の制御弁５は制御装置６によ
って開閉が制御される。それによって、貯留タンク３内
の圧力を上昇させることができるようになっている。

【００２９】さらに、上記貯留タンク３の上部には減圧
ポンプ７が減圧管８を介して接続されている。この減圧
管８には第２の制御弁９が設けられている。上記減圧ポ
ンプ７と上記第２の制御弁９は上記制御装置６によって
制御される。それによって、貯留タンク３内の圧力を低
減させることができるようになっている。

【００３０】上記貯留タンク３内の圧力は、このタンク
３の上部に接続された第１の圧力検出器１１ａによって
検出される。この第１の圧力検出器１１ａの検出信号は
上記制御装置６に入力されて後述する霧化タンク１３内
の圧力を検出する検出信号と比較される。そして、その
比較に基いて上記第１の制御弁５あるいは第２の制御弁
９が制御されて貯留タンク３内の圧力を加圧あるいは減
圧制御されることになる。

【００３１】上記貯留タンク３の底部には連通管１２の
一端が接続されている。この連通管１２の他端は霧化部
としての霧化タンク１３の底部に連通している。したが
って、霧化タンク１３には貯留タンク３に導入された液
体原料Ｌが上記連通管１２を通じて流入するようになっ
ている。

【００３２】霧化タンク１３の上部には第２の圧力検出
器１１ｂが接続されており、霧化タンク１３内の圧力を
検出して制御装置６に入力するようになっている。上記
霧化タンク１３の底部には振動板１４が設けられ、この
振動板１４の外面には超音波振動子１５が固着されてい
る。この超音波振動子１５は超音波発振器１６から給電
される。それによって、超音波振動子１５が超音波振動
し、それに振動板１４が連動するから、この振動板１４
の超音波振動が霧化タンク１３内の液体原料Ｌに伝播さ
れる。それによって、液体原料Ｌは超音波振動により霧
化されることになる。

【００３３】上記貯留タンク３と霧化タンク１３とは中
途部に循環ポンプ１７が設けられた、循環路を形成する
循環配管１８によって接続されている。上記循環ポンプ
１７が作動することで、霧化タンク１３内の液体原料Ｌ
の一部は図中矢印で示すように循環配管１８へ導出さ
れ、貯留タンク３を経て連通管１３を通り、霧化タンク
１３へ戻るという経路で循環するようになっている。

【００３４】上記霧化タンク１３の上部壁には導出管１
９の一端が接続されている。この導出管１９の他端は加
熱気化器２１に接続されている。上記導出管１９の一端
側には流量制御手段を構成するオリフィス２２が配置さ
れている。

【００３５】上記霧化タンク１３で霧化された液体原料
Ｌの液粒子は、上記オリフィス２２で流量が制御されて
上記加熱気化器２１に流入する。この加熱気化器２１の
外周面には主加熱ヒ−タ２３が設けられている。つま
り、上記オリフィス２２は加熱気化器２１の気化能力に
応じた流量で霧化された液体原料Ｌの液粒子を加熱気化
器２１へ通過させる。

【００３６】また、加熱気化器２１の内部には熱伝導性
が高く、しかも表面積の大きな材料からなる加熱媒体２
４が充填されている。加熱媒体２４としては、たとえば
粒状の多孔セラミックあるいはチタンなどの金属粒子の
表面に多孔膜を形成したもの、さらに表面にたくさんの
小孔を有する熱伝導性の高い材料からなる板状の多孔質
板などが用いられている。この実施の形態では加熱媒体
２４として多孔質板が用いられている。

【００３７】上記加熱媒体２４は上記主加熱ヒ−タ２３
によって加熱されて蓄熱する。したがって、加熱気化器
２１内に流入した液体原料Ｌの液粒子は加熱媒体２４と
接触することで、加熱されて気化する。加熱媒体２４は
熱伝導性が高く、しかも表面が多孔性であることで、液
粒子との接触面積が大きいから、加熱気化器２１に流入
した液粒子を高効率で気化させることができる。つま
り、加熱媒体２４によって加熱気化器２１の気化能力を
向上させることができる。

【００３８】上記加熱気化器２１にはガス供給管２５が
接続され、Ａｒ、Ｈｅなどの不活性ガスやＮ₂ あるいは
これらの混合ガスがキャリアガスとして供給される。上
記加熱気化器２１で気化された液体原料の蒸気ガスは上
記キャリアガスとともに上記加熱気化器２１の上部壁に
接続された供給管２６から図示しない処理チャンバに供
給されるようになっている。

【００３９】上記導出管１９と上記供給管２６との外周
面にはそれぞれ第１、第２の補助ヒ−タ２７ａ、２７ｂ
が設けられている。導出管１９に設けられた第１の補助
ヒ−タ２７ａは霧化タンク１３から加熱気化器２１に導
入される液粒子を予備加熱し、上記供給管２６に設けら
れた第２の補助ヒ−タ２７ｂは上記処理チャンバに供給
される蒸気ガスを所定の温度に維持するようになってい
る。

【００４０】上記貯留タンク３の外周面には第１の熱交
換器３１が設けられ、霧化タンク１３の外周面には第２
の熱交換器３２が設けられている。さらに、上記循環配
管１８の外周面には第３の熱交換器３３が設けられてい
る。図面では第３の熱交換器３３は循環配管１８の一部
分に設けられているが、全体にわたって設けるようにし
てもよいことは勿論である。

【００４１】各熱交換器３１〜３３には温度調節器３４
が送り管３５と戻り管３６とを介して接続されている。
上記温度調節器３４は伝熱媒体を所定の温度に調節し、
上記送り管３５から各熱交換器３１〜３３に供給し、戻
り管３６を通じて回収する。それによって、貯留タンク
３、霧化タンク１３および循環配管１８内の液体原料Ｌ
の温度は所定の温度、この実施の形態では上記超音波振
動子１５の分極特性が熱破壊される温度よりも十分に低
い温度に維持されるようになっている。

【００４２】つぎに、上記構成の液体原料供給装置の作
用について説明する。供給タンク１に貯蔵された液体原
料Ｌは供給管２から貯留タンク３に供給され、連通管１
２を通じて霧化タンク１３へ流入する。

【００４３】霧化タンク１３に流入した液体原料Ｌは超
音波発振器１６によって駆動される超音波振動子１５と
ともに超音波振動する振動板１４から超音波振動が付与
される。超音波振動が付与されることで、液体原料Ｌは
霧化し、オリフィス２２で流量制御されて加熱気化器２
１に流入する。

【００４４】霧化タンク１３における液体原料Ｌは霧化
タンク１３の外周面に設けられた第２の熱交換器３２に
よって所定の温度、つまり超音波振動子１５を熱破壊す
ることのない温度に確実に維持される。しかも、霧化タ
ンク１３に供給される液体原料Ｌは貯留タンク３でも第
１の熱交換器３１によって所定の温度に維持されるか
ら、上記霧化タンク１３に供給された液体原料Ｌの第２
の熱交換器３２による温度制御を精度よく行うことがで
きる。

【００４５】一方、上記霧化タンク１３には循環路１８
が接続されているため、循環ポンプ１７を作動させるこ
とで、霧化タンク１３内の液体原料Ｌの一部が循環路１
８から貯留タンク３および連通管１２を経て霧化タンク
１３へ戻るという経路で循環する。

【００４６】上記循環路１８は霧化タンク１３の底部、
つまり振動板１４の近傍に接続されているから、上記振
動板１４から振動エネルギを受けて温度上昇した液体原
料Ｌが循環し易い。循環路１８を流れる液体原料は大気
との熱交換によって冷却されるばかりか、循環路１８に
設けられた第３の熱交換器３３との熱交換によっても冷
却される。

【００４７】したがって、上記第１の熱交換器３１と循
環路１８との両方により、液体原料Ｌが超音波振動のエ
ネルギを吸収しても、温度上昇するのが防止される。そ
のため、超音波振動を発振する超音波振動子１５は温度
制御された液体原料Ｌによって確実に冷却されるから、
この超音波振動子１５が所定の温度以上に過熱されて分
極状態が損なわれることが防止される。

【００４８】上記貯留タンク３は気密に形成され、その
内部圧力は第１の圧力検出器１１ａによって検出されて
いる。貯留タンク３内の圧力を上昇すれば、その液面が
下がるから、貯留タンク３と連通管１２を介して連通し
た霧化タンク１３の液面が上昇し、逆に貯留タンク３内
の圧力を低下して液面が上昇すれば、霧化タンク１３の
液面が低下することになる。霧化タンク１３の液面高さ
は、貯留タンク３と霧化タンク１３との内径寸法および
両タンク３、１３内の圧力によって設定される。

【００４９】上記第１圧力検出器１１ａが検出する貯留
タンク３内の圧力および第２の圧力検出器１１ｂが検出
する霧化タンク１３内の圧力が制御装置６に入力される
と、この制御装置６によって上記第１の制御弁５あるい
は第２の制御弁９の開度が制御される。それによって、
貯留タンク３内が加圧ガスによって加圧あるいは減圧ポ
ンプ７によって減圧されて所定の圧力に制御されるか
ら、貯留タンク３の液面に連動する霧化タンク１３の液
面は所定の高さに維持される。

【００５０】つまり、霧化タンク１３の液面を、超音波
振動子１５から発振される超音波振動により液体原料Ｌ
が最も気化し易い高さに維持することができるから、上
記霧化タンク１３での液体原料Ｌの霧化効率を向上させ
ることができる。

【００５１】上記霧化タンク１３で霧化された液体原料
の液粒子は、上述したごとくオリフィス２２で流量が制
御されて加熱気化器２１に流入する。上記オリフィス２
２は加熱気化器２１の気化能力に応じた流量で液粒子を
通過せる。また、オリフィス２が設けられていること
で、霧化タンク１３から加熱気化器２１へ液滴が流入す
るのを抑制することもできる。

【００５２】このようにして加熱気化器２１へ流入した
液粒子は、この内部に設けられた加熱媒体２４に接触す
る。この加熱媒体２４は主加熱ヒ−タ２３によって加熱
されることで蓄熱している。そのため、液粒子は加熱媒
体２４に接触することで、効率よく気化されて蒸気ガス
となり、供給管２６から反応炉へ供給されることにな
る。

【００５３】加熱気化器２１によって液粒子を効率よく
気化させることができることで、加熱気化器２１を高温
度化せずに気化効率を高めることができる。しかも、加
熱気化器２１には液体原料Ｌが霧化された液粒子として
供給されるから、加熱気化器２１内に液体原料Ｌが残留
し、その液体原料Ｌが分解して堆積物となり残留すると
いうことがほとんどない。そのため、堆積物により加熱
気化器２１につまりが生じたり、ダストの発生原因とな
るなどのことがない。

【００５４】この発明は上記の一実施の形態に限定され
ず、要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能である。たと
えば、霧化タンクで霧化された液粒子が加熱気化器に供
給される量を制御するのにオリフィスを用いたが、オリ
フィスに代わり網状体などであってもよく、要は霧化さ
れた液粒子の流量を制御できればよい。

【００５５】また、上記加熱気化器には加熱媒体として
多孔質板を収容したが、多孔質板に限られず、粒状体や
筒状体やハニカム構造体などであってもよく、要は蓄熱
性能を有し、しかも表面積の大きなものであればよい。

【００５６】さらに、液体原料の温度制御は、霧化タン
クに熱交換器を設ける手段と、液体原料を循環配管によ
って循環させる手段とのどちらか一方だけであっても、
上記液体原料を所定温度に維持することができる。

【００５７】また、液面制御手段は、貯留タンクおよび
霧化タンク内の圧力を基に制御するものではなく、直接
的に霧化タンク内の液面高さを求め、液体原料の供給量
を制御するようにしてもよい。

【００５８】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、霧化部におけ
る液体原料の温度を制御することで、この液体原料を霧
化させる超音波振動子の温度が所定以上に上昇するのを
防止できる。

【００５９】そのため、霧化部において、超音波振動子
は液体原料によって確実によって冷却され、分極状態が
損なわれる温度まで上昇するのが防止されるから、上記
超音波振動子による液体原料の霧化を効率よく確実に行
うことができる。

【００６０】請求項２の発明によれば、温度調節器によ
って温度調節された伝熱媒体を熱交換器に流通させ、こ
の熱交換器によって霧化部の温度を調節することで、液
体原料の温度が所定以上に上昇するのを防止した。

【００６１】そのため、超音波振動子を液体原料によっ
て確実に冷却して所定以上に温度上昇するのを防止でき
る。請求項３の発明によれば、霧化部に循環路を接続
し、この循環路によって霧化部に供給された液体原料を
循環させるようにした。

【００６２】そのため、液体原料は循環することで放熱
し、所定以上に温度上昇するのが防止されるから、この
液体原料により超音波振動子を確実に冷却するとができ
る。請求項４の発明によれば、霧化部における液体原料
の液面を所定の高さに制御できるようにした。

【００６３】そのため、液体原料の液面を、超音波振動
子によって最も効率よく霧化させることができる高さに
維持できるから、液体原料の霧化効率を向上させること
ができる。

【００６４】請求項５の発明によれば、霧化部に連通す
る貯留部を設け、この貯留部および霧化部内の圧力を求
め、貯留部内の圧力を制御することで、上記霧化部の液
面高さを所定の高さに制御するようにしたので、霧化部
における液体原料の液面高さを液体原料を効率よく霧化
させることができる高さに精度よく制御することができ
る。

【００６５】請求項６の発明によれば、霧化部で霧化さ
れた液粒子が加熱気化部へ供給される量を制御するよう
にしたことで、上記加熱気化部の能力に応じた量の液粒
子を供給することができる。

【００６６】そのため、加熱気化部で液粒子が気化され
ずに残留し、熱分解して堆積物となるのを防止できるか
ら、ダストの発生や加熱気化部の気化能力の低下などを
招くことがない。請求項７の発明によれば、加熱気化部
に加熱媒体を収容したことで、加熱気化部に流入する液
体原料の液粒子を効率よく気化させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施の形態を示す全体構成図。

【符号の説明】

１…供給タンク（供給部） ３…貯留タンク（貯留部） ４…第１の加圧管（圧力調整手段） ７…減圧ポンプ（圧力調整手段） １１ａ、１１ｂ…圧力検出器 １３…霧化タンク（霧化部） １５…超音波振動子 １８…循環路 ２１…加熱気化器（加熱気化部） ２４…加熱媒体 ３２…第２の熱交換器 ３４…温度調節器

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体原料を気化させて供給する液体原料
   供給装置において、 液体原料を供給する供給部と、 超音波振動子を有し上記供給部から供給された液体原料
   を上記超音波振動子の超音波振動によって霧化させる霧
   化部と、 この霧化部における液体原料の温度を制御する温度制御
   手段と、 上記霧化部によって霧化された液体原料を加熱気化させ
   る加熱気化部とを具備したことを特徴とする液体原料供
   給装置。
2. 【請求項２】 上記温度制御手段は、温度調節器と、こ
   の温度調節器によって温度調節されて上記霧化部の液体
   原料と熱交換する伝熱媒体が流通される熱交換器とから
   なることを特徴とする請求項１記載の液体原料供給装
   置。
3. 【請求項３】 上記温度制御手段は、上記霧化部に接続
   されこの霧化部に供給された液体原料の一部を循環させ
   る循環路であることを特徴とする請求項１記載の液体原
   料供給装置。
4. 【請求項４】 液体原料を気化させて供給する液体原料
   供給装置において、 液体原料を供給する供給部と、 超音波振動子を有し上記供給部から供給された液体原料
   を上記超音波振動子の超音波振動によって霧化させる霧
   化部と、 この霧化部における液体原料の液面を所定の高さに制御
   する液面制御手段と、 上記霧化部によって霧化された液体原料を加熱気化させ
   る加熱気化部とを具備したことを特徴とする液体原料供
   給装置。
5. 【請求項５】 上記液面制御手段は、 上記供給部と上記霧化部との間にこれらに連通して設け
   られ上記供給部から霧化部へ供給される液体原料を一時
   的に貯留する貯留部と、 この貯留部内の圧力を検出する第１の検出手段と、 上記霧化部内の圧力を検出する第２の検出手段と、 これら第１、第２の検出手段からの検出信号によって上
   記貯留部内に加える圧力を調整して上記霧化部の液面を
   所定の高さに維持する圧力調整手段とからなることを特
   徴とする請求項４記載の液体原料供給装置。
6. 【請求項６】 上記霧化部で霧化された液体原料の液粒
   子は、上記気化部への供給量が流量制御手段によって制
   御される構成であることを特徴とする請求項１または請
   求項４記載の液体原料供給装置。
7. 【請求項７】 上記加熱気化部には、上記霧化部で霧化
   されて加熱気化部に流入する液体原料の液粒子へ伝熱す
   るための加熱媒体が収容されていることを特徴とする請
   求項１または請求項４記載の液体原料供給装置。