JPH10318388A - ウェハ―逆止弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 入口から出口へ流下する流体の圧力損失を少
なくして通過流量を確保することのできるウェハ―逆止
弁を得ること。 【解決手段】 環状弁座４の出口２側にスプリング９，
１０で付勢した弁体５，６を配置する。弁体５，６の出
口側に複数の貫通路を有する整流通路１５を設ける。入
口１から出口２へ流下する流体は、出口側の整流通路１
５を通過する間に整流されることにより、圧力損失を低
減して通過流量を確保することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は流体配管に取り付け
て、内部に設けたばね付勢弁体により流体の入口から出
口への順方向の流れは許容するが、その逆方向の流れ即
ち出口から入口への流れは閉止する逆止弁に関し、特
に、弁内部を流体が流下する場合に流れの乱れを極力少
なくして、乱れに伴う圧力損失を低下して通過流量を多
くすることのできるウェハ―逆止弁に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のばね付勢逆止弁の一例が実公昭４
９−３６７４０号公報に示されている。これは、入口と
出口を有する弁ケ―シング内に環状弁座を設け、環状弁
座の出口側にディスク状の弁体を配置し、ディスク状弁
体の出口側にディスク状弁体を閉弁方向に付勢するコイ
ルばねを配置し、弁ケ―シングの内周壁にリブを設け
て、リブの内面にディスク状弁体の外周を摺接させたも
のである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来のばね付勢逆
止弁は、ディスク状弁体が環状弁座から離座して入口か
らの流体が出口へ流下する場合に、流体がディスク状弁
体の入口側表面に衝突して流れ方向を変え、更にディス
ク状弁体の外周端部から出口側へ至る間にその流れが大
きく乱れることにより、圧力損失が大きくなってしま
い、出口側へ流下する流量が少なくなってしまう問題が
あった。

【０００４】従って本発明の課題は、入口から出口へ流
下する流体の圧力損失を極力小さくして、出口側への充
分な通過流量を確保することのできるウェハ―逆止弁を
得ることである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに講じた本発明の手段は、弁ケ―シングで入口と出口
を形成し、入口と出口の間に環状弁座を設け、当該環状
弁座の出口側に平板状の弁体をヒンジ接合にて弁ケ―シ
ングに取り付けると共に、当該弁体をばね付勢して環状
弁座へ離着座自在に配置することにより、順方向の流体
の通過は許容するが逆方向の流体は閉止するものにおい
て、弁体から出口の間で流体が流下する箇所に整流通路
を設けたものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】流体が入口から出口へ流下する場
合に、弁体から出口の間で流体が流下する箇所に整流通
路を設けたことにより、入口からの流体はこの整流通路
を通って出口へ至る間に整流されて乱れが減少すること
によって圧力損失も小さなものとなり、出口へ流下する
流体の抵抗が小さなものとなって流量を維持、確保する
ことができる。

【０００７】整流通路は、弁体の出口側に所定の長さを
有する貫通路として設けることや、その他板状通路や翼
部を設けて整流通路とすることができる。要するに整流
通路は、流体の流れ状態が乱される箇所に、その乱れを
防止し、減少させ、あるいは乱れを修正して整流化させ
ることができるものであれば良い。

【０００８】入口側に比較して出口側の流体圧力が高く
なると、出口側の流体が入口側へ逆流しようとするが、
ばね付勢された弁体がヒンジ接合を介して弁座に着座す
ることにより、入口側への流体の逆流は防止される。

【０００９】

【実施例】図１において、入口１と出口２を設けた本体
３、入口１と出口２の間に設けた環状弁座４、環状弁座
４の出口２側に配置した平板状の弁体５，６、及び、複
数の貫通路を有する整流通路１５とでウェハ―逆止弁を
構成する。本実施例においては、弁体６のほぼ中央部に
更に補助弁体７を配置したウェハ―逆止弁の例を示す。

【００１０】弁体５，６はそれぞれ半円の平板状とし
て、またそれぞれの中心側に配置した回転軸８とヒンジ
接合して回転軸８を中心として回転自在に取り付ける。
図１における上部の弁体５は回転軸８を中心として時計
方向へ回転することにより、入口１と出口２を連通し、
一方、下部の弁体６は回転軸８を中心として反時計方向
へ回転することにより入口１と出口２を連通するもので
ある。

【００１１】回転軸８の周囲とそれぞれの弁体５，６の
出口２側の面との間には、弁体５，６を環状弁座４側に
ばね付勢するスプリング９，１０を取り付ける。スプリ
ング９，１０のバネ力はほぼ同一の値とする。

【００１２】環状弁座４はリング状でその入口１側に設
けた同じくリング状の弁座保持部材１６と固定リング１
７で本体３に取り付ける。環状弁座４は、通過する流体
の種類に応じて合成ゴムや合成樹脂あるいは銅系やステ
ンレス系の金属材料で製作し、弁体５，６の一端面と当
接して、出口２から入口１への逆方向の流体の流れを閉
止するものである。

【００１３】弁体６のほぼ中央部に入口１と出口２を連
通する連通孔１２を設け、連通孔１２の出口２側に対向
して補助弁体７を配置する。補助弁体７は、連通孔１２
を覆うことのできる大きさの円板で、合成ゴムや合成樹
脂、あるいは金属材料で製作する。補助弁体７の出口２
側にも付勢手段としてのスプリング１３を、回転軸８の
周囲との間に配置して、常時補助弁体７を弁体６の連通
孔１２側に付勢させる。

【００１４】弁体５，６と補助弁体７をそれぞれスプリ
ング９，１０，１３で入口１側へ付勢しているが、スプ
リングのばね強さは、補助弁体７を付勢するスプリング
１３の方が、弁体６を付勢するスプリング１０よりも、
ばね定数を小さなものとして、入口１からの流体圧力に
よって最初に補助弁体７が連通孔１２を開孔し、続いて
入口１からの流体圧力が所定値まで上昇して弁体６及び
５が環状弁座４から離座して開弁するように形成する。

【００１５】入口１から流体が流下してくる場合、その
流体圧力がほとんど零に等しい場合は弁体５，６も補助
弁体７も共にスプリング９，１０，１３に付勢されたま
まで、環状弁座４と弁体６に着座しており出口２へ流体
が通過することはない。

【００１６】流体圧力が上昇して、例えば０．０１から
０．０５ＫＧ程度になると、ばね定数の小さなスプリン
グ１３で付勢されている補助弁体７が連通孔１２を開孔
して、入口１からの流体を出口２へ流下させる。従っ
て、流体圧力が低い場合であっても、弁体５，６が開弁
する前に補助弁体７が連通孔１２を開孔して入口１と出
口２を連通することにより、通過流量を確保することが
できる。

【００１７】入口１からの流体圧力が更に上昇して例え
ば０．０６から０．１ＫＧ程度になると、補助弁体７の
みならず弁体５，６もスプリング９，１０のばね力に打
ち勝って環状弁座４から離座することにより、更に多く
の流体を出口２側へ流下させる。この場合、出口２へ流
下する流体は整流通路１５を通過する間に整流され、流
体の乱れを減少させる。

【００１８】出口２側の流体圧力が入口１側の流体圧力
よりも高くなると、出口２側の流体が入口１側へ逆流し
ようとするが、その流体流れと圧力により補助弁体７が
連通孔１２を閉孔すると共に、弁体５，６が環状弁座４
に着座して、入口１側への流体の逆流を防止する。

【００１９】本実施例においてはウェハ―逆止弁として
２枚の弁体を用いた所謂デュアルプレ―ト式逆止弁の例
を示したが、弁体を１枚の平板で形成するシングルプレ
―ト式ウェハ―逆止弁にも同様に用いることができる。

【００２０】

【発明の効果】上記のように本発明によるウェハ―逆止
弁は、整流通路によって入口から出口へ至る流体の乱れ
を少なくして圧力損失を小さなものとすることができ、
出口側への流量を充分に確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のウェハ―逆止弁の実施例を示す断面図
である。

【符号の説明】

１ 入口 ２ 出口 ４ 環状弁座 ５，６ 弁体 ７ 補助弁体 ８ 回転軸 ９，１０ スプリング １２ 連通孔 １３ スプリング １５ 整流通路

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 弁ケ―シングで入口と出口を形成し、入
   口と出口の間に環状弁座を設け、当該環状弁座の出口側
   に平板状の弁体を弁ケ―シングにヒンジ接合にて取り付
   けると共に、当該弁体をばね付勢して環状弁座へ離着座
   自在に配置することにより、順方向の流体の通過は許容
   するが逆方向の流体は閉止するものにおいて、弁体から
   出口の間で流体が流下する箇所に整流通路を設けたこと
   を特徴とするウェハ―逆止弁。