JPH10318574A - 筐体内のガス排出方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 取扱うガスの比重に左右されず、確実に漏洩
したガスを排気できると共に、漏洩ガスが腐食性のガス
であっても、腐食の影響を最小限に抑え、腐食による被
害の拡大を防止できる筐体内のガス排出方法及び装置を
提供する。 【解決手段】 筐体１内に漏洩したガスを筐体１に接続
された排気ダクト９を介して外部に排出する筐体内のガ
ス排出方法において、上記筐体１内に独立した排気室７
を形成し、上記筐体１内に漏洩したガスを上記筐体１内
から上記排気室７に導く排気口１０の上下方向位置を、
上記漏洩ガスの比重に応じて調整可能となし、上記漏洩
ガスを上記排気口１０から一旦上記排気室７に導き、上
記排気室７を経由して上記排気ダクト９から筐体外部に
排出する筐体内の気体ガス方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造設備、
排ガス処理設備、シリンダーキャビネット、筐体を有す
るポンプ等のような筐体を有する各種の装置において、
筐体内に漏洩したガスを効率よく筐体外部に排出するこ
とができる筐体内のガス排出方法及び装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】図４は、筐体２１の内部にガスボンベ２
２を設置した従来のシリンダーキャビネットの一例を示
すもので、筐体２１の正面に窓２３と筐体２１内に新鮮
空気を取り入れるガラリ２４が設けられている。また、
筐体２１の上面には排気ダクト２５を接続する排気ポー
ト２６が設けられ、筐体２１内に漏洩したガスをガラリ
２４から取り入れられた新鮮空気と混合して筐体外部に
排出できるようになっている。

【０００３】このようなシリンダーキャビネットにおい
ては、筐体２１内に漏洩したガスを確実に排気するため
に、１０ｍ³／ｍｉｎ程度の排気風量が必要であった。
しかしながら、筐体２１の気密性や内部のレイアウト等
によって風量損失が生ずるため、実際には規定の排気風
量を確保しても、ガスの種類によっては完全に排気する
ことができずに筐体２１内に滞留し、それが筐体２１の
外部に漏洩する場合があった。

【０００４】つまり、比重の軽い、例えば、窒素ガス
（Ｎ₂ ）、ヘリウムガス（Ｈｅ）、水素ガス（Ｈ₂ ）、
アンモニアガス（ＮＨ₃ ）等のガスの場合、漏洩ガスは
図５に示すように筐体２１内の上方に流れ、そのまま排
気ポート２６から排気ダクト２５を経て筐体外部に排出
されるため、筐体２１内への漏洩ガスを効率よく確実に
排気することができるが、比重の重い、例えば、塩素ガ
ス（Ｃｌ₂ ）、塩化水素ガス（ＨＣｌ）、フォスフィン
ガス（ＰＨ₃ ）、モノシランガス（ＳｉＨ₄ ）、三塩化
ホウ素ガス（ＢＣｌ₃ ）等のガスの場合は、漏洩したガ
スは図６に示すように筐体２１内の下方に向かって流
れ、その底部に滞留するため、有効に排気することがで
きない場合があった。

【０００５】特に、塩素ガス（Ｃｌ₂ ）、塩化水素ガス
（ＨＣｌ）、三塩化ホウ素ガス（ＢＣｌ₃ ）等の比重の
重い腐食性ガスの場合には、有効に排気できないばかり
ではなく、筐体２１内の底部に滞留することによって、
筐体２１の底部を腐食させてしまうと共に、筐体２１の
上面に設けられた排気ポート２６から排気する構造の場
合、腐食性ガスにより筐体２１全体が腐食に晒されるた
め、腐食による被害が筐体２１全体に拡大する恐れがあ
るという問題を内包していた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、取扱
うガスの比重に左右されず、万一ガスが筐体内に漏洩し
た場合でも、確実に漏洩ガスを排気することができる筐
体内のガス排出方法及び装置を提供することにある。本
発明のもう一つの課題は、取扱いガスが腐食性のガスで
あっても、それが漏洩することによる腐食の影響を最小
限に抑え、腐食による被害の拡大を防止することができ
る筐体内のガス排出方法及び装置を提供することにあ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ため、本発明に係る筐体内のガス排出方法は、筐体内に
漏洩したガスを筐体に接続された排気ダクトを介して外
部に排出する筐体内のガス排出方法において、上記筐体
内に独立した排気室を形成し、上記筐体内に漏洩したガ
スを上記筐体内から上記排気室に導く排気口の上下方向
位置を、上記漏洩ガスの比重に応じて調整可能となし、
上記漏洩ガスを上記排気口から一旦上記排気室に導き、
上記排気室を経由して上記排気ダクトから筐体外部に排
出することを特徴とするもので、取扱いガスの比重に応
じて筐体内から排気室に漏洩ガスを導く排気口の上下方
向位置を調整しておくことによって、漏洩ガスが筐体内
に滞留するのを防止し、速やかに排気室へ導き、排気室
に接続された排気ダクトを介して筐体外部に排出するこ
とができる。

【０００８】また、本発明に係る筐体内のガス排出装置
は、筐体内に漏洩したガスを筐体に接続された排気ダク
トを介して外部に排出する筐体内のガス排出装置におい
て、上記筐体内に独立した排気室を形成し、同排気室と
上記筐体内とを区画する排気パネルに、その上下方向に
多数の排気口と同排気口の開閉度を調整する開閉度調整
手段とを設けると共に、上記排気室に上記排気ダクトを
接続してなることを特徴とするもので、取扱いガスの比
重に応じて排気パネルに設けられている排気口の上下方
向位置とその開閉度を開閉度調整手段によって調整し、
排気風量を最適状態に調整しておくことができるため、
筐体内に漏洩したガスの比重にかかわりなく、漏洩ガス
が筐体内に滞留するのを防止して速やかに排気室へ導
き、排気室を経由して筐体外部に排出することができ
る。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図１
乃至図３に基づいて説明する。図１は本発明の第１の実
施形態に係る筐体内のガス排出装置の構成を示す斜視
図、図２はその排気パネルの操作形態を示す側面図、図
３は本発明の第２の実施形態に係る筐体内のガス排出装
置の構成を示す斜視図である。

【００１０】図中の１は、シリンダーキャビネットを構
成する筐体であり、この筐体１の正面上部には窓２が、
また正面下部には筐体１内に新鮮空気を取り入れるガラ
リ３が設けられている。シリンダーキャビネットの筐体
１内には、ガスボンベ４が設置されており、５はそのガ
スボンベ４からガスが漏洩する可能性の最も高い口金部
を示す。

【００１１】また、筐体１内の側部には、上下方向に排
気パネル６が設けられ、この排気パネル６によって筐体
１内を区画することにより、筐体１内に独立した排気室
７を形成している。排気室７の上面には、排気ポート８
が設けられられており、この排気ポート８に接続された
排気ダクト９を介して、排気室７内のガスを筐体外部に
排出できるよう構成されている。

【００１２】一方、排気パネル６には、図２に示すよう
に上下方向に多数の横長スリット状の排気口１０が並設
されており、これら排気口１０には、それぞれその開閉
度を調整可能な開閉度調整手段１１が、排気口１０に沿
ってスライド自在に、かつ適正位置にて固定可能に設け
られており、筐体１内と排気室７内を連通する排気口１
０の上下方向位置と、その開閉度を個別に調整できるよ
うになっている。

【００１３】しかして、上記の実施形態によると、シリ
ンダーキャビネットの筐体１内に設置されたガスボンベ
４に充填されているガスの比重に応じ、ガスの比重が軽
い場合には、ガスボンベ４の口金部５より上方に位置す
る排気パネル６の排気口１０を開閉度調整手段１１によ
り開口し、下方に位置する排気口１０を閉口しておくこ
とによって、口金部５から筐体１内に漏洩したガスを図
１に矢印イで示すように、筐体１内から排気パネル６の
上方に位置する排気口１０を経て排気室７に導いた後、
排気室７の上面に設けられている排気ポート８から排気
ダクト９を介して、速やかに筐体外部に排出することが
できる。

【００１４】また、ガスの比重が重い場合には、図２の
（Ｂ）に示すように開閉度調整手段１１により、排気パ
ネル６の上方に位置する排気口１０を閉口すると共に、
下方に位置する排気口１０を開口し、排気口１０の上下
方向位置と、その開閉度を調整しておくことによって、
万一ガスボンベ４からガスが漏洩したときでも、下方に
向かって流れるガスを、排気パネル６の下方に位置する
排気口１０から図１に矢印ロで示すように、速やかに排
気室７に導き、排気ダクト９を介して筐体外部に排出す
ることができる。

【００１５】従って、取扱うガスの比重の大小に左右さ
れず、排気室７を区画する排気パネル６に設けられてい
る排気口１０の上下方向位置と、その開閉度を開閉度調
整手段１１により調整して局所排気を可能にしておくこ
とによって、筐体１内に漏洩したガスを速やかに排気室
７に導き、排気ダクト９を介して確実に筐体外部に排出
することができるため、漏洩ガスが筐体１内に滞留する
のを防止し、それが筐体１の外部に漏洩する問題を解消
することができる。

【００１６】また、取扱いガスが腐食性ガスであって
も、漏洩したガスを効率よく、かつ有効に筐体外部に排
出することができるため、筐体１全体が腐食性ガスに晒
されることがなくなり、漏洩ガスの滞留防止と相まっ
て、腐食性ガスの漏洩による腐食の影響を最小限に抑制
し、腐食による被害の拡大を防止することができる。

【００１７】なお、上記した第１の実施形態では、排気
パネル６を筐体１内の側部に設けて排気室７を形成して
いるが、図３に示す第２の実施形態のように、筐体１内
の背面部に排気パネル６を設けて排気室７を区画形成
し、この排気パネル６にその前面側に設置される２つの
ガスボンベ４に対応して、それぞれ左右２ケ所に排気口
１０を並設すると共に、この排気口１０にその開閉度を
調整可能な開閉度調整手段１１を設けて構成してもよ
い。

【００１８】この場合、２つのガスボンベ４からの漏洩
ガスを１つの排気室７を経由して同時に筐体外部に排出
することができると共に、漏洩ガスの比重が異なる場合
であっても、２つのガスボンベ４に対応する左右２ケ所
の排気口１０の上下開口位置を、その比重に合わせて調
整しておくことにより、同様に排気室７に導き、筐体外
部に排出することができる。

【００１９】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明に係る筐
体内のガス排出方法によると、取扱いガスの比重に応じ
て筐体内から排気室に漏洩ガスを導く排気口の上下方向
位置を調整しておくことによって、漏洩ガスが筐体内に
滞留するのを防止し、速やかに排気室を経由して排気室
に接続された排気ダクトから筐体外部に排出することが
できる。従って、漏洩ガスが筐体内に滞留して筐体外部
に漏洩するのを防止することができると共に、漏洩ガス
が腐食性ガスであっても、漏洩したガスを効率よく、か
つ有効に筐体外部に排出することによって、腐食性ガス
による影響を最小限に抑制し、被害の拡大を防止するこ
とができる。

【００２０】また、本発明に係る筐体内のガス排出装置
によると、取扱いガスの比重に応じて排気パネルに設け
られている排気口の上下方向位置とその開閉度を開閉度
調整手段によって簡単に調整し、排気風量を最適状態に
調整しておくことができるため、筐体内に漏洩したガス
の比重にかかわりなく、漏洩ガスが筐体内に滞留するの
を防止して速やかに排気室へ導き、排気室を経由して筐
体外部に排出することができる。このため、筐体外部へ
の漏洩を防止することができると共に、漏洩ガスが腐食
性ガスであっても、それによる影響を最小限に抑制する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態に係る筐体内のガス排
出装置の構成を示す斜視図である。

【図２】本発明の第１の実施形態に係る筐体内のガス排
出装置の排気パネルの操作形態を示す側面図である。

【図３】本発明の第２の実施形態に係る筐体内のガス排
出装置の構成を示す斜視図である。

【図４】従来の筐体内のガス排出装置の一例を示す斜視
図である。

【図５】従来の筐体内のガス排出装置における比重の軽
いガスの排気状態を示す斜視図である。

【図６】従来の筐体内のガス排出装置における比重の重
いガスの排気状態を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 筐体 ６ 排気パネル ７ 排気室 ９ 排
気ダクト １０ 排気口 １１ 開閉度調整手段

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 筐体内に漏洩したガスを筐体に接続され
   た排気ダクトを介して外部に排出する筐体内のガス排出
   方法において、 上記筐体内に独立した排気室を形成し、上記筐体内に漏
   洩したガスを上記筐体内から上記排気室に導く排気口の
   上下方向位置を、上記漏洩ガスの比重に応じて調整可能
   となし、上記漏洩ガスを上記排気口から一旦上記排気室
   に導き、上記排気室を経由して上記排気ダクトから筐体
   外部に排出することを特徴とする筐体内のガス排出方
   法。
2. 【請求項２】 筐体内に漏洩したガスを筐体に接続され
   た排気ダクトを介して外部に排出する筐体内のガス排出
   装置において、 上記筐体内に独立した排気室を形成し、同排気室と上記
   筐体内とを区画する排気パネルに、その上下方向に多数
   の排気口と同排気口の開閉度を調整する開閉度調整手段
   とを設けると共に、上記排気室に上記排気ダクトを接続
   してなることを特徴とする筐体内のガス排出装置。