JPH10318576A - 還気設備およびこれが一体化された製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】半導体製造用等のクリーンルームにおいて、床
下チャンバや天井チャンバを小さくすることができ、製
造装置の増設等にも柔軟に対応することができ、設備コ
ストが低減できるようにする。 【解決手段】製造装置１は、層流式クリーンルーム２に
隣接する乱流式クリーンルーム３内に、部品や製品の出
し入れ口１５を層流式クリーンルーム２に向けて設置さ
れる。製造装置１のハウジング１２の一面を、両クリー
ンルーム２，３の境界壁１１と一体化した。この境界壁
１１の層流式クリーンルーム２側の面に、還気ダクト１
３を固定した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム内
への還気設備およびクリーンルームで使用される製造装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】最近の半導体製造工場においては、例え
ば、図６および図７（図６のＢ−Ｂ線断面図）に示すよ
うに、清浄度の異なる乱流式クリーンルーム３と層流式
クリーンルーム２とを隣接させ、多数の製造装置１０
を、より清浄度の低い乱流式クリーンルーム３内に設置
し、その前面（部品や製品の出し入れを行う出し入れ口
側の面）が、より清浄度の高い層流式クリーンルーム２
側に向くように配置している。

【０００３】そして、層流式クリーンルーム２の床下チ
ャンバ５と天井チャンバ４は、この層流式クリーンルー
ム２の奥行き方向一端に設けた還気ダクト１３０で連結
されている。なお、各クリーンルーム２，３の天井に
は、清浄度に応じたエアフィルタａとファンｆとを備え
たファンフィルタユニットＦが、それぞれ設置されてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、奥行き
が３０ｍ程度と長いクリーンルームでは、前述のように
還気ダクト１３０が奥行き方向一端に設けてあると、天
井チャンバや床下チャンバ内で還気が他端側に到達する
までの圧力損失が大きいため、循環空気の利用効率が低
くなる。また、広いクリーンルームで必要な循環空気量
を確保するために、床下チャンバ５や天井チャンバ４を
大きくする必要がある。

【０００５】さらに、還気ダクト１３０を層流式クリー
ンルーム２の奥行き方向一端に設けると、例えば図８に
示すように、製造装置１０を増設する際に還気ダクト１
３０を移動しなければならない場合もあり、その場合に
は、一時的に層流式クリーンルーム２の稼働を停止しな
ければならない。

【０００６】また、図９に示すように、層流式クリーン
ルーム２の３つの壁面に製造装置１０を配置する場合に
は、還気ダクト１３０を層流式クリーンルーム２から離
れた位置に設置している。この場合に、乱流式クリーン
ルーム３の還気が層流式クリーンルーム２内に混入しな
いようにするためには、図１０（図９のＣ−Ｃ線断面
図）に示すように、天井チャンバ４および床下チャンバ
５に仕切り板６を設けるとともに、水平ダクト７によ
り、層流式クリーンルーム２の還気ダクト１３０と層流
式クリーンルーム２の天井チャンバ４および床下チャン
バ５とを接続する必要があり、設備コストが高くなる。

【０００７】本発明は、このような従来技術の問題点に
着目してなされたものであり、半導体製造用等のクリー
ンルームにおいて、床下チャンバや天井チャンバを小さ
くすることができ、製造装置の増設等にも柔軟に対応す
ることができ、設備コストが低減できるようにすること
を課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に係る発明は、異なる調和空気が導入され
る隣り合う二室の境界壁に、一方の室の床下チャンバか
らの還気を天井チャンバへ向かわせる還気ダクトを一体
化したことを特徴とする還気設備を提供するものであ
る。

【０００９】請求項２に係る発明は、異なる清浄度の空
気が導入される隣り合う二室の境界壁の、より清浄度の
高い空気が導入される室側に、この室の床下チャンバか
らの還気を天井チャンバへ向かわせる還気ダクトを一体
化したことを特徴とする還気設備を提供する。

【００１０】請求項３に係る発明は、異なる清浄度の空
気が導入される隣り合う二室のより清浄度の低い室内に
配置され、より清浄度の高い室側から部品や製品の出し
入れを行う製造装置であって、ハウジングの一面を二室
の境界壁と一体化し、この境界壁に部品や製品の出し入
れ口を設け、境界壁のより清浄度の高い空気が導入され
る室側に、この室の床下チャンバからの還気を天井チャ
ンバへ向かわせる還気ダクトを一体化したことを特徴と
する製造装置を提供する。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づき説明する。図１は、本発明の一実施形態に相当す
る製造装置を示す斜視図であり、図２は、この装置が設
置されたクリーンルームを示す概略平面図であり、図３
は、図２のＡ−Ａ線断面図である。

【００１２】図２に示すように、製造装置１は、層流式
クリーンルーム２に隣接する乱流式クリーンルーム３内
に設置されている。層流式クリーンルーム２の清浄度は
乱流式クリーンルーム３より高く設定されている。な
お、層流式クリーンルーム２および乱流式クリーンルー
ム３の天井には、清浄度に応じたエアフィルタａとファ
ンｆとを備えたファンフィルタユニットＦが設置されて
いる。

【００１３】この製造装置１は、図１に示すように、層
流式クリーンルーム２と乱流式クリーンルーム３を分離
する境界壁１１と、この境界壁１１の乱流式クリーンル
ーム３側に固定されたハウジング１２と、この境界壁１
１の層流式クリーンルーム２側に固定された還気ダクト
１３とを備えている。

【００１４】ハウジング１２の高さは境界壁１１より少
し低く、境界壁１１の所定高さから下側がハウジング１
２の一面を構成している。そして、この面の所定高さ
に、製造装置１の操作盤１４と、製造装置１内への部品
や製品の出し入れ口１５が、境界壁１１の幅方向に隣り
合わせて設けてある。

【００１５】還気ダクト１３は、境界壁１１の幅方向で
操作盤１４の位置に、高さ方向全体に渡って（床面位置
から天井面位置まで）固定されている。還気ダクト１３
は透明な板材で形成され、境界壁１１に設けた操作盤１
４が層流式クリーンルーム２側から見えるようになって
いる。

【００１６】還気ダクト１３の正面板には扉１６が設け
てあり、この扉１６を開いて操作盤１４を操作できるよ
うになっている。境界壁１１の還気ダクト１３が固定さ
れた横の位置には、操作盤１４と同じ高さで、部品や製
品の出し入れ口１５が設けてある。

【００１７】この製造装置１を複数個、図２に示すよう
に、還気ダクト１３を層流式クリーンルーム２側に向け
て並べて、隣り合う境界壁１１を連結し、還気ダクト１
３の上下を天井チャンバ４および床下チャンバ５の開口
部に連結すれば、室内が層流式クリーンルーム２と乱流
式クリーンルーム３とに区画されると同時に、製造装置
１が乱流式クリーンルーム３内に配置される。また、製
造装置１の出し入れ口１５が、層流式クリーンルーム２
側に向く。

【００１８】したがって、図３に示すように、層流式ク
リーンルーム２の還気は、床下チャンバ５から還気ダク
ト１３を通って天井チャンバ４に入る。ここで、図２に
示すように、層流式チャンバ２の奥行き方向全体に渡っ
て幅方向両側で対向する位置に、製造装置１と同じ数の
還気ダクト１３が配置されているため、床下チャンバ５
の空気はすぐ近くの還気ダクト１３を通って天井チャン
バ４に導入される。これにより、循環空気の圧力損失が
小さく抑えられるため、循環空気の利用効率が高くな
る。また、広いクリーンルームであっても、小さな床下
チャンバ５および天井チャンバ４で、必要な循環空気量
を確保することができる。

【００１９】なお、天井チャンバ４および床下チャンバ
５に仕切り板６を設ければ、層流式クリーンルーム２の
循環空気と乱流式クリーンルーム３の循環空気を分離し
て、清浄度の高い層流式クリーンルーム２に導入する空
気が汚染されないようにすることができる。

【００２０】また、図４に示すように、製造装置１を増
設する際には、層流式クリーンルーム２と乱流式クリー
ンルーム３を仕切る仕切り壁８を移動して、増設する製
造装置１を既設の製造装置１および仕切り壁８と連結す
れば良く、既設の還気ダクト１３を移動する必要はな
い。すなわち、製造装置１０の増設に伴って、一時的に
層流式クリーンルーム２の稼働を停止する必要はない。

【００２１】また、図５に示すように、層流式クリーン
ルーム２の３つの壁面に製造装置１を配置する場合に
も、層流式クリーンルーム２側に還気ダクト１３が設置
されるため、従来のような水平ダクト７（図１０参照）
を必要としないで、乱流式クリーンルーム３の還気が層
流式クリーンルーム２内に混入しないようにすることが
できる。これにより、設備コストを低減することができ
る。

【００２２】なお、前記実施形態では、クリーンルーム
２，３間の境界壁１１に還気ダクト１３が固定され、こ
の境界壁１１の一部がハウジングの一面をなす製造装置
１について述べてあるが、還気設備として、還気ダクト
が境界壁の少なくともいずれか一方の面に一体化された
ものも本発明に含まれる。これにより、図１０のような
水平ダクト７を設けなくても、境界壁によって分離され
た一方の室に、他方の室とは異なる調和空気を効率的に
循環させることが可能となる。

【００２３】また、この還気設備において境界壁が分離
する二室は、導入される空気の清浄度が異なる二室に限
定されず、導入される空気の温度や湿度が異なるもので
あってもよい。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の還気設
備によれば、境界壁によって分離された一方の室に、他
方の室とは異なる調和空気を効率的に循環させることが
可能となる。

【００２５】請求項２の還気設備によれば、境界壁によ
って分離されたより清浄度の高い空気が導入される室に
おいて、空気の循環効率を高くすることができる。請求
項３の製造装置によれば、その境界壁を連結して二室を
形成することにより、より清浄度の高い室が広いクリー
ンルームであっても、小さな床下チャンバおよび天井チ
ャンバで必要な循環空気量を確保することができる。ま
た、製造装置の増設等にも柔軟に対応することができる
ため、設備コストが低減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に相当する製造装置を示す
斜視図である。

【図２】図１の製造装置が設置されたクリーンルームを
示す概略平面図である。

【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。

【図４】図１の製造装置の場合の、製造装置の増設によ
るクリーンルーム内の変化を示す概略平面図である。

【図５】本発明の製造装置の配置の別の実施形態を示す
概略平面図である。

【図６】従来の製造装置が設置されたクリーンルームを
示す概略平面図である。

【図７】図６のＢ−Ｂ線断面図である。

【図８】従来例の場合の、製造装置の増設によるクリー
ンルーム内の変化を示す概略平面図である。

【図９】製造装置の配置の別の従来例を示す概略平面図
である。

【図１０】図９のＣ−Ｃ線断面図である。

【符号の説明】

１ 製造装置 ２ 層流式クリーンルーム（より清浄度の高い空気が導
入される室） ３ 乱流式クリーンルーム（より清浄度の低い空気が導
入される室） ４ 天井チャンバ ５ 床下チャンバ ６ 仕切り板 ７ 水平ダクト １１ 境界壁 １２ ハウジング １３ 還気ダクト １５ 出し入れ口

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 異なる調和空気が導入される隣り合う二
   室の境界壁に、一方の室の床下チャンバからの還気を天
   井チャンバへ向かわせる還気ダクトを一体化したことを
   特徴とする還気設備。
2. 【請求項２】 異なる清浄度の空気が導入される隣り合
   う二室の境界壁の、より清浄度の高い空気が導入される
   室側に、この室の床下チャンバからの還気を天井チャン
   バへ向かわせる還気ダクトを一体化したことを特徴とす
   る還気設備。
3. 【請求項３】 異なる清浄度の空気が導入される隣り合
   う二室のより清浄度の低い室内に配置され、より清浄度
   の高い室側から部品や製品の出し入れを行う製造装置で
   あって、 ハウジングの一面を二室の境界壁と一体化し、この境界
   壁に部品や製品の出し入れ口を設け、境界壁のより清浄
   度の高い空気が導入される室側に、この室の床下チャン
   バからの還気を天井チャンバへ向かわせる還気ダクトを
   一体化したことを特徴とする製造装置。