JPH10321372A

JPH10321372A - 有機ｅｌディスプレイパネルとその製造方法

Info

Publication number: JPH10321372A
Application number: JP9145816A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Nagayama; 健一永山; Terukazu Watanabe; 輝一渡辺
Original assignee: Tohoku Pioneer Corp; Pioneer Electronic Corp
Current assignee: Tohoku Pioneer Corp; Pioneer Corp
Priority date: 1997-05-20
Filing date: 1997-05-20
Publication date: 1998-12-04
Anticipated expiration: 2017-05-20
Also published as: US6373187B1; JP3570857B2

Abstract

(57)【要約】【課題】複数の第２電極を隔壁によって確実に分断し
て一斉に形成することのできる有機ＥＬディスプレイパ
ネルとその製造方法を提供するものである。【解決手段】複数の発光部を有する有機ＥＬディスプ
レイパネルとその製造方法であって、有機ＥＬディスプ
レイパネルは、基板と、基板の一面側に形成された複数
の第１電極と、第１電極の一部分を露出させかつ他部分
を覆うように基板の一面から突出して形成された複数の
電気絶縁性の隔壁と、第１電極の露出部分の各々上に形
成された有機ＥＬ媒体の層と、有機ＥＬ媒体の層上に形
成された複数の第２電極とを備え、隔壁の突出上部に凹
部を形成したことを特徴とする。また、有機ＥＬディス
プレイパネルの製造方法は、発光層形成工程において、
露出した第１電極のうちの所望の部分のみを露出する複
数の開口を有するマスクを隔壁の突出上部に載置し、有
機ＥＬ媒体を開口を通じて堆積させ、その後、開口が有
機ＥＬ媒体の堆積されていない部分を露出するようにマ
スクを移動させる工程を順次繰り返すことを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、有機エレクトロル
ミネセンス素子（有機ＥＬ素子）を用いた有機ＥＬディ
スプレイパネルとその製造方法に関するものであり、特
に、電極が隔壁によって分断して形成される有機ＥＬデ
ィスプレイパネルに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、有機ＥＬ素子を用いたディスプレ
イパネルが知られている。図７は従来におけるフルカラ
ー有機ディスプレイパネルの発光画素の配列の一例を示
した図である。同図のように、有機ディスプレイパネル
の発光画素は、マトリクス状に配置されかつ各々がスト
ライプ方向に伸長する赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の
発光部からなる発光画素１０１の複数からなる画像表示
配列を有している。

【０００３】また、図８は、フルカラー有機ディスプレ
イパネルの発光画素１０１の基板部１０１ａの概略構造
図であり、同図に示すように、基板部１０１ａは透明な
ガラス等からなる基板１０２上にＩＴＯ等からなる第１
電極１０３が設けられている。第１電極１０３は、互い
に平行な複数のストライプ状に配列されている。また、
第１電極１０３を含む基板１０２上には、電気絶縁性を
有する複数の絶縁膜１０４及び隔壁１０５が、第１電極
１０３に直交するように所定間隔で配列されて形成され
ている。また、隔壁１０５は、基板１０２上から突出す
るように設けられていて、第１電極１０３の一部分を露
出せしめるように形成されている。

【０００４】また、隔壁が形成されない第１電極１０３
の部分の各々上に、少なくとも１層の有機ＥＬ媒体１０
６の薄膜が形成されている。さらに、各有機ＥＬ媒体１
０６の薄膜上にはその伸長方向に沿って第２電極１０７
が形成されている。

【０００５】各隔壁１０５は、互いに隣り合う第２電極
を隔離して互いにショートするのを防止する役割を有す
る。そのため、隔壁１０５は、図８に示すように、隣り
合う第２電極１０７間をできるだけ隔離させるために、
その断面が逆台形形状等のオーバハング形状となるよう
に形成するのが望ましい。

【０００６】また、一般的に有機ＥＬ媒体１０６は湿気
に弱く、また、隔壁１０５も湿気に弱い材料を用いる場
合があるため、発光画素１０１は、図９に示す基板部１
０１ａが有する基板１０２の隔壁１０５及び有機ＥＬ媒
体１０６が形成される面側をガラス管や保護膜等を用い
て封止して形成される。図９は、発光画素１０１の封止
例を示す断面図であり、図９（ａ）は接着剤１１０及び
ガラス管１０８によって封止された発光画素１０１を、
第１電極１０３の伸長方向に沿った断面図で示し、図９
（ｂ）は透湿性の低い保護膜１０９によって封止された
発光画素１０１を、第１電極１０３の伸長方向に沿った
断面図で示している。

【０００７】発光画素１０１は、概略このように構成さ
れて、第１電極１０３及び第２電極１０７を駆動した場
合に、駆動される第１電極１０３及び第２電極１０７の
交差する部分の有機ＥＬ媒体１０６が発光し、基板１０
２を通じて表示される。

【０００８】また、図１０は、発光画素１０１の製造工
程の一例を示す断面図である。先ず、図１０（ａ）にお
いて、パターンニング工程により、基板１０２上にＩＴ
Ｏ等の導電性透明膜からなる第１電極１０３を形成す
る。次に、第１電極１０３が形成された基板１０２上
に、断面が基板に垂直な軸Ｘに対する傾斜角度θで表さ
れるオーバハング角の略逆台形形状を有する隔壁１０５
を形成する。

【０００９】次に、図１０（ｂ）に示すように、第１電
極１０３が露出する領域上に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青
（Ｂ）等の発光色に対応する有機ＥＬ媒体１０６の薄膜
を、所定パターンで型抜きされた蒸着マスク１１１と隔
壁１０５によって、それぞれ区分けして形成する。

【００１０】次に、図１０（ｃ）に示すように、Ａｌ、
Ｃｕ、Ａｕ等の抵抗率の低い金属を、基板１０２にほぼ
垂直な方向から基板１０２全面に対して蒸着させること
により、複数の第２電極１０７を一斉に形成する。

【００１１】なお、図１０（ｃ）に示す工程の場合に、
図示せぬ蒸発源から発する上記金属の蒸気が、同図に示
すように、基板に垂直な方向から蒸着されるので、隔壁
１０５のオーバハング形状を有する壁側面には上記金属
が蒸着されず、上記金属が一部隔壁１０５上に蒸着され
る場合でも、有機ＥＬ媒体１０６上に蒸着されて形成さ
れる第２電極１０７と繋がらない。

【００１２】複数の第２電極１０７は、以上のような製
造工程を経て、隣り合う第２電極１０７が隔壁１０５に
よって分断されて、各有機ＥＬ媒体１０６上に一斉に形
成される。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、第２電極１
０７を上述した方法で形成する場合に、隔壁１０５が一
部欠損する場合や、隔壁１０５の周囲にゴミや微粒子
（パーティクル）等が付着している場合があり、このよ
うな場合に、第２電極１０７を形成すべく蒸着を行う
と、隣り合う第２電極１０７が隔壁１０５を乗り越えて
繋がって形成される場合がある。

【００１４】図１１は、このような場合に形成される第
２電極１０７を示した断面図である。同図から分かるよ
うに、パーティクル（図中黒色で示した部分）が隔壁１
０５の側面（図１１では両側面）に付着している場合
は、パーティクルによって隔壁１０５のオーバハング形
状が覆われてしまうので、その隔壁１０５の両側の形成
される有機ＥＬ媒体１０６、第２電極１０７が一体に繋
がって形成されてしまう。このため、隣り合う第２電極
１０７がショートしてしまうといった問題がある。

【００１５】本発明は上述の問題点に鑑みなされたもの
であり、複数の第２電極を隔壁によって確実に分断して
一斉に形成することのできる有機ＥＬディスプレイパネ
ルとその製造方法を提供するものである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
複数の発光部を有する有機ＥＬディスプレイパネルであ
って、基板と、基板の一面側に形成された複数の第１電
極と、第１電極の一部分を露出させかつ他部分を覆うよ
うに基板の一面から突出して形成された複数の電気絶縁
性の隔壁と、第１電極の露出部分の各々上に形成された
有機ＥＬ媒体の層と、有機ＥＬ媒体の層上に形成された
複数の第２電極とを備え、隔壁の突出上部に凹部を形成
したことを特徴とする。

【００１７】また、請求項２記載の発明は、複数の発光
部がマトリクス状に配列されている有機ＥＬディスプレ
イパネルであって、基板と、基板の一面に形成されるも
のであり、所定間隔をおいて互いに平行に伸長して配列
される複数の第１電極と、その一部分が第１電極を覆う
ように基板の一面から突出して形成されるものであっ
て、第１電極とほぼ直交する方向において所定間隔をお
いて互いに伸長する複数の電気絶縁性の隔壁と、第１電
極の上に形成されるものであって、複数の隔壁の間に隔
壁と平行な方向に伸長して配列される複数の有機ＥＬ層
と、有機ＥＬ層の上に形成されるものであって、複数の
隔壁の間に有機ＥＬ層と平行な方向に伸長して配列され
る複数の第２電極とを備え、隔壁の突出上部に凹部を形
成したことを特徴とする。

【００１８】また、請求項３記載の発明は、複数の発光
部がマトリクス状に配列されている有機ＥＬディスプレ
イパネルであって、基板と、基板の一面に形成されるも
のであり、所定間隔をおいて互いに平行に伸長して配列
される複数の第１電極と、その一部分が第１電極を覆う
ように基板の一面から突出して形成されるものであっ
て、第１電極とほぼ直交する方向において所定間隔をお
いて互いに伸長する複数の電気絶縁性の隔壁と、第１電
極の上に形成されるものであって、複数の隔壁の間に隔
壁と平行な方向に伸長して配列される複数の有機ＥＬ層
と、有機ＥＬ層の上に形成されるものであって、複数の
隔壁の間に有機ＥＬ層と平行な方向に伸長して配列され
る複数の第２電極とを備え、隔壁は、所定間隔をおいて
平行に伸長する複数本の小隔壁により構成されることで
その突出上部に凹部を有することを特徴とする有機ＥＬ
ディスプレイパネル。

【００１９】また、請求項４記載の発明は、請求項１乃
至は３に記載の有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、
凹部は、その入り口断面積を内部断面積よりも小とする
ことを特徴とする。

【００２０】また、請求項５記載の発明は、請求項１乃
至は４に記載の有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、
隔壁は、その突出上部に、基板に平行な方向に突出する
オーバハング部を有することを特徴とする。

【００２１】また、請求項６記載の発明は、請求項１乃
至は５に記載の有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、
隔壁は、その突出上部が第２電極よりも上方になるよう
に形成されていることを特徴とする。

【００２２】また、請求項７記載の発明は、請求項１乃
至は６に記載の有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、
基板に第１電極を形成した後に、基板の隔壁が形成され
る部分とその周囲に絶縁膜を形成し、その後、隔壁が形
成されることを特徴とする。

【００２３】また、請求項８記載の発明は、請求項１乃
至は７に記載の有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、
第２電極は、基板の一面上に第１電極、隔壁及び有機Ｅ
Ｌ媒体の層が形成された後に、基板の一面に対して第２
電極材料を蒸着して形成されるものであり、その際、凹
部は、蒸着される第２電極材料が入り込むことを許容す
ることを特徴とする。

【００２４】また、請求項９記載の発明は、請求項１乃
至は８に記載の有機ＥＬディスプレイパネルにおいて、
基板及び第１電極が透明であることを特徴とする。

【００２５】また、請求項１０記載の発明は、複数の発
光部を有する有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法で
あって、基板の一面に複数の第１電極を形成するパター
ンニング工程と、第１電極の一部分を露出させ他部分を
覆うように基板の一面から突出して設けられかつ、その
突出上部に凹部が形成されている電気絶縁性の隔壁を形
成する工程と、第１電極の露出した部分の上に有機ＥＬ
媒体を堆積させ、少なくとも１層の有機ＥＬ媒体の層を
形成する発光層形成工程と、有機ＥＬ媒体の層の上に第
２電極を形成する工程と、を含むことを特徴とする。

【００２６】また、請求項１１記載の発明は、複数の発
光部がマトリクス状に配列されている有機ＥＬディスプ
レイパネルの製造方法であって、基板の一面に複数の第
１電極を形成するパターンニング工程と、第１電極の一
部分を露出させ他部分を覆うように基板の一面から突出
して設けられかつ、その突出上部に複数個の凹部が形成
されている電気絶縁性の隔壁を形成する工程と、第１電
極の露出した部分の上に有機ＥＬ媒体を堆積させ、少な
くとも１層の有機ＥＬ媒体の層を形成する発光層形成工
程と、有機ＥＬ媒体の層の上に第２電極を形成する工程
と、を含むことを特徴とする。

【００２７】また、請求項１２記載の発明は、請求項１
１に記載の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法にお
いて、発光層形成工程は、露出した第１電極のうちの所
望の部分のみを露出する複数の開口を有するマスクを隔
壁の突出上部に載置し、有機ＥＬ媒体を開口を通じて堆
積させ、その後、開口が有機ＥＬ媒体の堆積されていな
い部分を露出するようにマスクを移動させる工程を順次
繰り返すことを特徴とする。

【００２８】また、請求項１３記載の発明は、請求項１
２に記載の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法にお
いて、開口は、第１電極の有機ＥＬ媒体を堆積すべく露
出された部分に隣接する隔壁に形成された複数個の凹部
のうちの少なくとも一つを開放するように形成されてい
ることを特徴とする。

【００２９】

【作用】本発明は以上のように構成したので、有機ＥＬ
ディスプレイパネルの第２電極を一斉に蒸着形成する場
合において、隔壁の側面にパーティクルがあり第２電極
材料が隔壁を取り囲むように連続して付着するような場
合であっても、隔壁の突出上部に形成した１又は複数の
凹部によって付着した第２電極材料が確実に分断される
ので、隔壁を挟んで位置する第２電極のショートを確実
に防止できる。

【００３０】

【発明の実施の形態】次に、本発明に好適な各実施形態
について以下に説明する。・第１の実施形態図１は本発明の第１の実施形態におけるフルカラー有機
ディスプレイパネルの発光画素の第２電極の形成工程を
示す図である。先ず、図１（ａ）に示すように、予め第
１電極１０３が所定の形状にパターンニングされた基板
１０２上に複数の隔壁１２０を形成する。隔壁１２０
は、例えば有機物等の材料からなり電気絶縁性を有し、
第１電極１０３とほぼ直交する方向において所定間隔を
おいて互いに伸長して形成される。

【００３１】また、各隔壁１２０は、複数（図１では３
つ）の小隔壁１２０ａからなり、各隔壁１２０が構成す
る小隔壁１２０ａは、第１電極１０３上において所定間
隔で互いに平行に位置し、互いに電気的に開放するよう
に形成される。

【００３２】各隔壁１２０は、先に述べた従来における
隔壁１０５と同様に、基板１０２上に隔壁材料を後述す
る第２電極１０７が形成される高さよりも高くなるよう
に所定の厚さに形成する。

【００３３】また、各小隔壁１２０ａは、図１（ａ）に
示すように、先に説明した従来の隔壁１０５と同様に、
その断面形状が基板１０２に垂直な軸Ｘに対し所定の傾
斜角度θ3 で表されるオーバハング角の略逆台形形状に
なるように形成する。なお、図１（ａ）では、隔壁１２
０の両側面の傾斜角度をθ3 と異なる値のθ4 とした
が、同一の値としても良い。

【００３４】このような小隔壁１２０ａを所定間隔で平
行に形成すれば隔壁１２０が形成され、隣り合う小隔壁
１２０ａの間に入り口断面積が内部断面積よりも小とな
る凹部１２０ｂが形成される。また、各凹部１２０ｂ
は、後述する第２電極１０７を蒸着により形成する場合
に蒸着される第２電極材料が入り込むことを許容する程
度にその開口形状が形成される。

【００３５】次に、図１（ｂ）に示す発光層形成工程に
て、各隔壁１２０の間に露出する第１電極１０３の部分
の各々上に有機ＥＬ媒体を堆積させ、少なくとも１層の
有機ＥＬ媒体の層を形成する。図１（ｂ）では、左から
順に赤（Ｒ）、青（Ｂ）、緑（Ｇ）、赤（Ｒ）、青
（Ｂ）、緑（Ｇ）、・・・となるように３色の有機ＥＬ
媒体１０６をそれぞれ第１電極１０３上に形成し、それ
ぞれ少なくとも１層からなる発光層を形成する。

【００３６】これは、例えばスリット形状の開口１１１
ａを有する蒸着マスク１１１を用いて以下の手順にて行
われる。即ち、先ず、各隔壁１２０の間に露出する第１
電極１０３の部分の各一つに蒸着マスク１１１の開口１
１１ａを位置合わせした後、隔壁１２０の突出した上部
に蒸着マスク１１１を載置して、１番目（例えば赤
（Ｒ））の有機ＥＬ媒体１０６を例えば蒸着等の方法を
用いて所定厚さに成膜する。基板１０２は蒸気流に対し
自由な角度で行っても良いが、蒸気流が各小隔壁１２０
ａのオーバハング形状の壁面部分を回り込むようにする
ことが望ましい。

【００３７】次に、例えば蒸着マスク１１１を隔壁１２
０を１個分ずらして位置合わせした後、隔壁１２０上に
蒸着マスク１１１を載置して、２番目（例えば青
（Ｂ））の有機ＥＬ媒体１０６を所定厚さに成膜する。

【００３８】次に、例えば蒸着マスク１１１を隔壁１２
０を１個分ずらして位置合わせした後、隔壁１２０上に
蒸着マスク１１１を載置して、３番目（例えば緑
（Ｇ））の有機ＥＬ媒体１０６を所定厚さに成膜する。

【００３９】このように、一つの開口１１１ａが一つの
第１電極１０３の部分から隔壁を挟んで隣接する一つの
第１電極１０３の部分を露出するように配置されるよう
に蒸着マスク１１１を順次移動せしめる工程を繰り返し
ながら露出した第１電極１０３の部分に、対応する有機
ＥＬ媒体を成膜することによって、第１電極１０３上に
３色に色分けした有機ＥＬ媒体１０６を形成することが
できる。

【００４０】また、上記手順によれば、隔壁１２０があ
るので、蒸着マスク１１１の位置合わせ、移動載置した
蒸着の際に、蒸着マスク１１１によって有機ＥＬ媒体１
０６の層を傷つけることがない。

【００４１】図１（ｂ）に示す有機ＥＬ媒体１０６
（Ｒ）、（Ｂ）、（Ｇ）はこのような手順で成膜された
ものであり、したがって、有機ＥＬ媒体１０６（Ｒ）、
（Ｂ）、（Ｇ）は隔壁１２０の間に露出する第１電極１
０３の部分をそれぞれ全面に亘って覆うことになる。

【００４２】また、図１（ｂ）では、蒸着マスク１１１
の開口１１１ａの位置を有機ＥＬ媒体１０６（Ｂ）を蒸
着する場合で示しているが、開口１１１ａの境界は、常
に３個の小隔壁１２０ａのうち中央の小隔壁１２０ａに
載置されるように位置合わせされるので、開口１１１ａ
内に位置する凹部１２０ｂ内の第１電極１０３上にも有
機ＥＬ媒体１０６（Ｂ）が全面に亘って覆うことにな
る。

【００４３】したがって、この手法を用いて蒸着マスク
１１１を移動させて各色Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）
を順次蒸着した場合は、全ての凹部１２０ｂ内の第１電
極１０３の部分にＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のいず
れかの有機ＥＬ媒体１０６が被覆される。

【００４４】次に、図１（ｃ）に示すように、Ａｌ、Ｃ
ｕ、Ａｕ等の抵抗率の低い金属からなる第２電極材料
を、基板１０２にほぼ垂直な方向から基板１０２全面に
対して蒸着することにより、複数の第２電極１０７を一
斉に形成する。本発明の第１の実施形態におけるフルカ
ラー有機ディスプレイパネルの発光画素の第２電極はこ
のようにして形成される。

【００４５】なお、第２電極１０７を蒸着形成する際に
は、図示せぬ蒸発源から発する第２電極材料の放射角度
が小隔壁１２０ａの傾斜角度（図１（ａ）中のθ3 ）及
び隔壁１２０の両側面の傾斜角度（図１（ａ）中のθ4
）よりも小さな角度となるように注意する。もし、放
射角度が隔壁１２０の両側面の傾斜角度（図１（ａ）で
はθ4 ）よりも大きくなると、隔壁１２０の側面に第２
電極材料が付着する場合があるので、隣り合う第２電極
１０７が隔壁１２０を乗り越えて接合して形成されるお
それがあるが、放射角度が隔壁１２０の両側面の傾斜角
度θ4 よりも小さければその心配はない。

【００４６】また、この場合に、既に有機ＥＬ媒体１０
６が各凹部１２０ｂ内の第１電極１０３上に全面被覆さ
れているので、入り込んだ第２電極材料は第１電極１０
３とショートすることがない。

【００４７】また、図２は、一部の隔壁１２０の両側面
にパーティクルが付着している場合に形成された第２電
極１０７の断面構造図である。この場合においても、第
２電極材料は各凹部１２０ｂに入り込むため、各小隔壁
１２０ａどうしが第２電極材料によって接合されて隣り
合う第２電極１０７が接合されて形成されることはな
い。

【００４８】・第２の実施形態（絶縁膜の追加）第２の実施形態における発光画素は、先に述べた第１の
実施形態における発光画素の第１電極１０３を形成した
後に、基板１０２上の隔壁１２０が形成される部分とそ
の周囲に絶縁膜１２１を形成し、その後、隔壁１２０を
形成してなるものである。

【００４９】図３に、予め第１電極１０３が形成された
基板１０２上に形成される絶縁膜１２１のパターンの各
一例を平面図及び断面図と共にそれぞれ示す。図３中、
（ａ）は、基板１０２上の各小隔壁１２０ａが形成され
る部分とその周囲に絶縁膜１２１を形成した例であり、
各隔壁１２０の周囲及び各隔壁が構成する各小隔壁１２
０ａの間に形成された凹部１２０ｂの底部に絶縁膜を形
成している。

【００５０】また、（ｂ）は、各隔壁１２０毎に絶縁膜
１２１を形成した例であり、基板１０２上の各隔壁１２
０が形成される部分とその周囲に形成することで、各隔
壁１２０が構成する各小隔壁１２０ａが形成される部分
とその周囲に絶縁膜１２１を形成している。また、
（ｃ）は、マトリクス状に配列された画素部分を除く部
分全体に絶縁膜を形成した例である。

【００５１】また、図４は、本発明の第２の実施形態に
おけるフルカラー有機ディスプレイパネルの発光画素の
第２電極の形成工程を示す図である。

【００５２】先ず、図４（ａ）に示すように、予め第１
電極１０３が所定の形状にパターンニングされた基板１
０２上に、少なくとも後に隔壁１２０を形成しようとす
る部分とその周囲（凹部１２０ｂ底面を含む）に絶縁膜
１２１を密着形成する。絶縁膜１２１は、例えば樹脂等
を用いて形成される電気絶縁性を有する皮膜である。

【００５３】次に、図４（ｂ）に示すように、各絶縁膜
１２１上に複数（ここでは３つ）の小隔壁１２０ａから
なる隔壁１２０をそれぞれ形成する。この隔壁の形成方
法は、先の第１の実施形態（図１（ａ）参照）において
説明したのと同じ手法なのでここではその説明を省略す
る。

【００５４】次に、図４（ｃ）に示す発光層形成工程に
て、各隔壁１２０の間に露出する第１電極１０３の部分
の各々上に有機ＥＬ媒体１０６を堆積させ、少なくとも
１層の有機ＥＬ媒体の層を形成する。これは、先の図１
（ｂ）に示した発光層形成工程と同様の工程で行われる
のでここではその説明を省略する。

【００５５】次に、図４（ｄ）に示すように、Ａｌ、Ｃ
ｕ、Ａｕ等の抵抗率の低い金属からなる第２電極材料
を、基板１０２に垂直な方向から基板１０２全面に対し
て蒸着することにより、複数の第２電極１０７を一斉に
形成する。

【００５６】また、小隔壁１２０ａ及び隔壁１２０の両
側面の根元付近において、第２電極材料が有機ＥＬ媒体
１０６の形成範囲を越えて蒸着されたとしても予めその
部分に絶縁膜１２１が形成されているので、第２電極１
０７は第１電極１０３とショートして形成されることは
ない。

【００５７】なお、上述した各実施形態において、各隔
壁１２０は断面が略逆台形形状の３つの小隔壁１２０ａ
を所定間隔で平行に形成し、電気的に開放された２つの
凹部１２０ｂを形成した例で示したが、これに限らず、
凹部１２０ｂは３つ以上の複数個で形成しても良い。

【００５８】また、凹部１２０ｂの断面形状は、逆台形
形状に限らず、オーバハング形状であれば良い。即ち、
小隔壁１２０ａが例えば図５に示すような断面形状で形
成されていれば、凹部１２０ｂは断面がオーバハング形
状となる。

【００５９】図５は、小隔壁のその他の実施例を示す図
である。図５中（ａ）〜（ｄ）は同一材料で形成した例
であり（ｅ）は、隔壁の上部を別材料で形成した例であ
る。

【００６０】また、図５中（ｄ）、（ｅ）の小隔壁の突
出上部は、それぞれ基板１０２に平行な方向に突出する
オーバハング形状を有する。なお、図５（ａ）〜（ｅ）
に示す小隔壁の突出上部にさらに凹部を設けても良い。

【００６１】また、各小隔壁１２０ａは、必ずしも所定
間隔で別個に形成される必要はなく、例えば図６に示す
ように、複数の小隔壁１２０ａ底面が繋がって１つの隔
壁１２０として形成されたものであっても良い。

【００６２】その場合、各小隔壁１２０ａの間に形成さ
れる凹部１２０ｃは、それぞれ断面が先に述べたオーバ
ハング形状を有していれば、第２電極１０７形成時にお
ける第１電極１０３と第２電極１０７のショート防止に
対しなお一層効果的である。ただし、１本の隔壁に凹部
１２０ｃを形成するよりは、複数本の小隔壁１２０ａを
所定間隔に形成する方が製造上は容易である。図６は、
隔壁のその他の実施例を示す図である。

【００６３】

【発明の効果】本発明は以上のように構成したため、有
機ＥＬディスプレイパネルの第２電極を一斉に蒸着形成
する場合において、隔壁の側面にパーティクルがあり第
２電極材料が隔壁を取り囲むように連続して付着するよ
うな場合であっても、隔壁の突出上部に形成した１又は
複数の凹部によって付着した第２電極材料が確実に分断
されるので、隔壁を挟んで位置する第２電極のショート
を確実に防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態におけるフルカラー有
機ディスプレイパネルの発光画素の第２電極の形成工程
を示す図である。

【図２】隔壁の両側面にパーティクルが付着している場
合に形成された第２電極の断面構造図である。

【図３】本発明の第２の実施形態における絶縁膜のパタ
ーンの一例を示す図である。

【図４】本発明の第２の実施形態におけるフルカラー有
機ディスプレイパネルの発光画素の第２電極の形成工程
を示す図である。

【図５】小隔壁のその他の実施例を示す図である。

【図６】隔壁のその他の実施例を示す図である。

【図７】従来におけるフルカラー有機ディスプレイパネ
ルの発光画素の配列の一例を示した図である。

【図８】従来におけるフルカラー有機ディスプレイパネ
ルの発光画素の基板部の概略構造図である。

【図９】従来における発光画素の封止例を示す断面図で
ある。

【図１０】従来における発光画素の製造工程の一例を示
す断面図である。

【図１１】従来における発光画素の隣り合う第２電極が
隔壁１０５を乗り越えて繋がって形成される様子を示し
た断面図である。

【符号の説明】

１０１・・・・発光画素１０１ａ・・・基板部１０２・・・・基板１０３・・・・第１電極１０４・・・・絶縁膜１０５・・・・隔壁１０６・・・・有機ＥＬ媒体１０７・・・・第２電極１０８・・・・ガラス管１０９・・・・保護膜１１０・・・・接着剤１１１・・・・蒸着マスク１１１ａ・・・開口１２０・・・・隔壁１２０ａ・・・小隔壁１２０ｂ・・・凹部１２０ｃ・・・凹部１２１・・・・絶縁膜

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の発光部を有する有機ＥＬディスプ
レイパネルであって、基板と、前記基板の一面側に形成された複数の第１電極と、前記第１電極の一部分を露出させかつ他部分を覆うよう
に前記基板の一面から突出して形成された複数の電気絶
縁性の隔壁と、前記第１電極の前記露出部分の各々上に形成された有機
ＥＬ媒体の層と、前記有機ＥＬ媒体の層上に形成された
複数の第２電極とを備え、前記隔壁の突出上部に凹部を形成したことを特徴とする
有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項２】複数の発光部がマトリクス状に配列され
ている有機ＥＬディスプレイパネルであって、基板と、前記基板の一面に形成されるものであり、所定間隔をお
いて互いに平行に伸長して配列される複数の第１電極
と、その一部分が前記第１電極を覆うように前記基板の一面
から突出して形成されるものであって、前記第１電極と
ほぼ直交する方向において所定間隔をおいて互いに伸長
する複数の電気絶縁性の隔壁と、前記第１電極の上に形成されるものであって、前記複数
の隔壁の間に前記隔壁と平行な方向に伸長して配列され
る複数の有機ＥＬ層と、前記有機ＥＬ層の上に形成されるものであって、前記複
数の隔壁の間に前記有機ＥＬ層と平行な方向に伸長して
配列される複数の第２電極とを備え、前記隔壁の突出上部に凹部を形成したことを特徴とする
有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項３】複数の発光部がマトリクス状に配列され
ている有機ＥＬディスプレイパネルであって、基板と、前記基板の一面に形成されるものであり、所定間隔をお
いて互いに平行に伸長して配列される複数の第１電極
と、その一部分が前記第１電極を覆うように前記基板の一面
から突出して形成されるものであって、前記第１電極と
ほぼ直交する方向において所定間隔をおいて互いに伸長
する複数の電気絶縁性の隔壁と、前記第１電極の上に形成されるものであって、前記複数
の隔壁の間に前記隔壁と平行な方向に伸長して配列され
る複数の有機ＥＬ層と、前記有機ＥＬ層の上に形成されるものであって、前記複
数の隔壁の間に前記有機ＥＬ層と平行な方向に伸長して
配列される複数の第２電極とを備え、前記隔壁は、所定間隔をおいて平行に伸長する複数本の
小隔壁により構成されることでその突出上部に凹部を有
することを特徴とする有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項４】前記凹部は、その入り口断面積を内部断
面積よりも小とすることを特徴とする請求項１乃至は３
に記載の有機ＥＬディスプレイパネル。
【請求項５】前記隔壁は、その突出上部に前記基板に
平行な方向に突出するオーバハング部を有することを特
徴とする請求項１乃至は４に記載の有機ＥＬディスプレ
イパネル。
【請求項６】前記隔壁は、その突出上部が前記第２電
極よりも上方になるように形成されていることを特徴と
する請求項１乃至は５に記載の有機ＥＬディスプレイパ
ネル。
【請求項７】前記基板に前記第１電極を形成した後
に、前記基板の前記隔壁が形成される部分とその周囲に
絶縁膜を形成し、その後、前記隔壁が形成されることを
特徴とする請求項１乃至は６に記載の有機ＥＬディスプ
レイパネル。
【請求項８】前記第２電極は、前記基板の一面上に前
記第１電極、前記隔壁及び前記有機ＥＬ媒体の層が形成
された後に、前記基板の一面に対して第２電極材料を蒸
着して形成されるものであり、その際、前記凹部は、蒸
着される前記第２電極材料が入り込むことを許容するこ
とを特徴とする請求項１乃至は７に記載の有機ＥＬディ
スプレイパネル。
【請求項９】前記基板及び前記第１電極が透明である
ことを特徴とする請求項１乃至は８に記載の有機ＥＬデ
ィスプレイパネル。
【請求項１０】複数の発光部を有する有機ＥＬディス
プレイパネルの製造方法であって、基板の一面に複数の第１電極を形成するパターンニング
工程と、前記第１電極の一部分を露出させ他部分を覆うように前
記基板の一面から突出して設けられかつ、その突出上部
に凹部が形成されている電気絶縁性の隔壁を形成する工
程と、前記第１電極の前記露出した部分の上に有機ＥＬ媒体を
堆積させ、少なくとも１層の有機ＥＬ媒体の層を形成す
る発光層形成工程と、前記有機ＥＬ媒体の層の上に第２電極を形成する工程
と、を含む有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１１】複数の発光部がマトリクス状に配列さ
れている有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法であっ
て、基板の一面に複数の第１電極を形成するパターンニング
工程と、前記第１電極の一部分を露出させ他部分を覆うように前
記基板の一面から突出して設けられかつ、その突出上部
に複数個の凹部が形成されている電気絶縁性の隔壁を形
成する工程と、前記第１電極の前記露出した部分の上に有機ＥＬ媒体を
堆積させ、少なくとも１層の有機ＥＬ媒体の層を形成す
る発光層形成工程と、前記有機ＥＬ媒体の層の上に第２電極を形成する工程
と、を含む有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１２】前記発光層形成工程は、前記露出した
第１電極のうちの所望の部分のみを露出する複数の開口
を有するマスクを前記隔壁の突出上部に載置し、前記有
機ＥＬ媒体を前記開口を通じて堆積させ、その後、前記
開口が前記有機ＥＬ媒体の堆積されていない部分を露出
するように前記マスクを移動させる工程を順次繰り返す
ことを特徴とする請求項１１に記載の有機ＥＬディスプ
レイパネルの製造方法。
【請求項１３】前記開口は、前記第１電極の前記有機
ＥＬ媒体を堆積すべく露出された部分に隣接する前記隔
壁に形成された複数個の凹部のうちの少なくとも一つを
開放するように形成されていることを特徴とする請求項
１２に記載の有機ＥＬディスプレイパネルの製造方法。