JPH1032140A - 積層セラミック電子部品のためのセラミック積層体の製造方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 成形に際しての支持体として用いられていた
キャリアフィルムを用いることなく、セラミックグリー
ンシートの成形を可能にするとともに、積層セラミック
電子部品のためのセラミック積層体をストレスのない状
態で能率的に製造できるようにする。 【解決手段】 多角柱状ホイール１２，１３に巻掛けさ
れたエンドレスベルト１６を周回させながら、エンドレ
スベルト１６上で、コートローラ２２によるセラミック
グリーンシートの成形および転写装置２３による内部電
極の形成を所定の順序で繰り返す。エンドレスベルト１
６の周回の間、エンドレスベルト１６の一定の領域１８
が多角柱状ホイール１２，１３の平面部分１４，１５に
接触するように設定し、この平面部分１４，１５に接触
する領域１８の範囲内の大きさで、目的とするセラミッ
ク積層体を打ち抜き吸着ヘッド３２により取り出す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、積層セラミック
電子部品のためのセラミック積層体の製造方法および装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図２には、この発明にとって興味ある積
層セラミック電子部品の一例としての積層セラミックコ
ンデンサ１が断面図で示されている。

【０００３】積層セラミックコンデンサ１は、セラミッ
ク積層体２を備える。セラミック積層体２の積層方向に
おける中間部には、複数の内部電極３がそれぞれセラミ
ック層４を介して積層されている内部電極形成部５が形
成され、同じく積層方向における両外側部には、内部電
極３が形成されずセラミック層４のみが積層されている
外層部６および７が形成される。

【０００４】上述の内部電極３には、セラミック積層体
２の一方の端面８にまで引き出されるものと、他方の端
面９にまで引き出されるものとがあり、これらは交互に
配置されている。また、これら端面８および９をそれぞ
れ覆うように、外部電極１０および１１が形成され、そ
れによって、内部電極３は、端面８または９上におい
て、いずれかの外部電極１０または１１に接続される。

【０００５】このような積層セラミックコンデンサ１の
ためのセラミック積層体２を製造するため、まず、セラ
ミック層４となる複数のセラミックグリーンシートが用
意される。これらセラミックグリーンシートの特定のも
のには、たとえば導電性ペーストを印刷することによ
り、所定のパターンを有する内部電極３が形成される。
これらセラミックグリーンシートは、以下のように積み
重ねられる。

【０００６】すなわち、まず、前述の一方の外層部６を
得るため、内部電極３が形成されていない複数のセラミ
ックグリーンシートが積み重ねられ、次いで、内部電極
形成部５を得るため、上述の外層部６のための複数のセ
ラミックグリーンシートの積み重ねの上に、内部電極３
が形成されている複数のセラミックグリーンシートが積
み重ねられ、さらに、他方の外層部７を得るため、上述
の内部電極形成部５のための複数のセラミックグリーン
シートの積み重ねの上に、内部電極３が形成されていな
い複数のセラミックグリーンシートが積み重ねられる。

【０００７】このような工程を経て、生のセラミック積
層体２が得られ、これが次いで焼成される。この焼成さ
れたセラミック積層体２の端面８および９をそれぞれ覆
うように、外部電極１０および１１が形成されたとき、
所望の積層セラミックコンデンサ１が得られる。

【０００８】ところで、前述したセラミックグリーンシ
ートは、典型的には、次のようにして製造されている。

【０００９】まず、セラミックグリーンシートを成形す
るに際しての支持体となるキャリアフィルムが用意され
る。キャリアフィルムは、たとえば、ポリエチレン、ポ
リプロピレン等の樹脂フィルムから構成される。

【００１０】次いで、キャリアフィルム上で、セラミッ
クスラリーをたとえばドクターブレード法により処理す
ることにより、セラミックグリーンシートが成形され
る。

【００１１】このようにして製造されたセラミックグリ
ーンシートは、次いで、キャリアフィルムから剥がさ
れ、前述した要領で積み重ねられ、必要に応じてカット
された後、前述したように、焼成され、それによって、
セラミック積層体２が得られる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】たとえば積層セラミッ
クコンデンサについて言えば、小型でありながら大容量
を得ることを可能にするため、セラミック層の薄層化お
よび多層化、すなわち、１つのセラミック層を介して対
向する内部電極間の間隔を小さくするとともに、１つの
セラミック層とこれを介して対向する内部電極からなる
単位容量形成素子を多数化することが進んでいる。

【００１３】上述のように多層化が進んだ場合、セラミ
ックグリーンシートを成形するために、膨大な量のキャ
リアフィルムが必要となる。しかしながら、キャリアフ
ィルムは、その材料コストがそれほど安価ではなく、ま
た、それにもかかわらず、ほとんど再利用されていない
のが現状である。なぜなら、種々の要因による汚れがキ
ャリアフィルムに付いたりすることがあるからである。

【００１４】そこで、この発明の目的は、上述したよう
なキャリアフィルムに関するコストを節減できる、積層
セラミック電子部品のためのセラミック積層体の製造方
法および装置を提供しようとすることである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】この発明は、まず、積み
重ねられた複数のセラミックグリーンシートおよびこれ
らセラミックグリーンシートの所定の界面に沿って形成
された内部電極を備える、積層セラミック電子部品のた
めのセラミック積層体の製造方法に向けられるものであ
って、上述した技術的課題を解決するため、次のような
構成を備えることを特徴としている。

【００１６】すなわち、この発明を実施するにあたり、
周面上に複数の平面部分が周方向に連なって形成されか
つ軸線を互いに平行に向けた状態で配置される少なくと
も２つの多角柱状ホイールと、これら多角柱状ホイール
の周面に巻掛けされかつ多角柱状ホイールの回転を伴っ
て周回するエンドレスベルトとを備える装置が用意され
る。この装置において、エンドレスベルトが周回する
間、当該エンドレスベルトにおける一定の領域が各多角
柱状ホイールの周面上の各平面部分に接触するように設
定される。

【００１７】そして、エンドレスベルトを周回させなが
ら、エンドレスベルト上で連続して延びるようにセラミ
ックグリーンシートを成形することと所定のセラミック
グリーンシート上に所定のパターンを有する内部電極を
形成することとを所定の手順に従って繰り返し、それに
よって、多角柱状ホイールの周面上の各平面部分に接触
するエンドレスベルトの各領域上に目的とするセラミッ
ク積層体をそれぞれ位置させている、エンドレス積層体
をエンドレスベルト上で得る工程と、エンドレスベルト
を周回させながら、セラミックグリーンシートを乾燥す
る工程と、多角柱状ホイールの周面上の各平面部分に接
触するエンドレスベルトの各領域の範囲内の大きさで、
エンドレス積層体からセラミック積層体を取り出す工程
とが実施される。

【００１８】この発明は、また、積み重ねられた複数の
セラミックグリーンシートおよびこれらセラミックグリ
ーンシートの所定の界面に沿って形成された内部電極を
備える、積層セラミック電子部品のためのセラミック積
層体の製造装置にも向けられる。この製造装置は、上述
した技術的課題を解決するため、次のような構成を備え
ることを特徴としている。

【００１９】すなわち、この発明に係る製造装置は、周
面上に複数の平面部分が周方向に連なって形成されかつ
軸線を互いに平行に向けた状態で配置される少なくとも
２つの多角柱状ホイールと、これら多角柱状ホイールの
周面に巻掛けされかつ多角柱状ホイールの回転を伴って
周回するエンドレスベルトとを備える。ここにおいて、
エンドレスベルトが周回する間、当該エンドレスベルト
における一定の領域が各多角柱状ホイールの周面上の各
平面部分に接触するように設定される。

【００２０】さらに、この製造装置は、エンドレスベル
トの周回経路上の第１の固定位置においてエンドレスベ
ルト上にセラミックスラリーを付与し、それによって、
エンドレスベルト上で連続して延びるようにセラミック
グリーンシートを成形するためのセラミックスラリー付
与手段と、エンドレスベルトの周回経路上の第２の固定
位置においてセラミックグリーンシート上に所定のパタ
ーンを有する内部電極を形成するための内部電極形成手
段と、セラミックグリーンシートを乾燥するように、エ
ンドレスベルトの周回経路の一部に沿って設けられた乾
燥ゾーンと、多角柱状ホイールの周面上の各平面部分に
接触するエンドレスベルトの各領域の範囲内の大きさ
で、目的とするセラミック積層体を取り出すためのセラ
ミック積層体取り出し手段とを備えている。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下に、この発明を図２に示した
ような積層セラミックコンデンサ１のためのセラミック
積層体２の製造に適用した実施形態について説明する。

【００２２】図１は、この発明の一実施形態によるセラ
ミック積層体の製造装置を示している。

【００２３】図１を参照して、２つの多角柱状ホイール
１２および１３が軸線を互いに平行に向けた状態で配置
される。これら多角柱状ホイール１２および１３の周面
上には、それぞれ、複数の平面部分１４および１５が周
方向に連なって形成されている。なお、図示の実施形態
では、多角柱状ホイール１２および１３は、ともに六角
柱状であり、各々６つの平面部分１４および１５を形成
しているが、他の多角柱状に変更されてもよく、また、
多角柱状ホイール１２および１３は互いに異なる形状で
あってもよい。また、このような多角柱状ホイールは、
必要に応じて、３つ以上設けられてもよい。

【００２４】上述した多角柱状ホイール１２および１３
の周面には、エンドレスベルト１６が巻掛けされる。エ
ンドレスベルト１６は、典型的には、たとえばステンレ
ス鋼のような金属からなる薄いシート材から構成される
が、他の可撓性を有する材質からなるシート材で構成さ
れてもよい。

【００２５】エンドレスベルト１６は、多角柱状ホイー
ル１２および１３の回転を伴って矢印１７方向に周回す
る。このエンドレスベルト１６の周回の間、エンドレス
ベルト１６の一定の領域１８が多角柱状ホイール１２お
よび１３の各々の周面上の各平面部分１４および１５に
接触するように設定される。すなわち、エンドレスベル
ト１６における、平面部分１４および１５に接触する領
域１８は、多角柱状ホイール１２および１３の回転にか
かわらず、一定の位置にあるように、平面部分１４およ
び１５の寸法、多角柱状ホイール１２および１３間の距
離等が設定される。

【００２６】また、上述した設定をより確実なものとす
るため、エンドレスベルト１６の両側縁に沿って、複数
の送り穴１９が長手方向に等間隔に分布するように設け
られ、他方、多角柱状ホイール１２および１３の周面に
は、それぞれ、これら送り穴１９によって受け入れられ
る位置合わせ突起２０および２１が設けられることが好
ましい。

【００２７】エンドレスベルト１６の周回経路上の第１
の固定位置には、セラミックスラリー付与手段としての
コートローラ２２が配置される。コートローラ２２は、
エンドレスベルト１６に対して近接・離隔可能に設けら
れ、その近接状態において、エンドレスベルト１６上に
セラミックスラリーを所定の膜厚で付与し、それによっ
て、エンドレスベルト１６上で連続して延びるようにセ
ラミックグリーンシートを成形する。

【００２８】なお、上述のコートローラ２２は、たとえ
ば、ドクターブレード、スプレー等の他の形式のセラミ
ックスラリー付与手段に置き換えられてもよい。

【００２９】エンドレスベルト１６の周回経路上の第２
の固定位置には、内部電極形成手段としての内部電極転
写装置２３が配置される。内部電極転写装置２３は、転
写シート２４上に形成された内部電極のための導電膜を
上述のように成形されたセラミックグリーンシート上に
転写するためのものである。

【００３０】より詳細には、転写シート２４は、供給リ
ール２５から引き出され、ガイドローラ２６および２７
間でエンドレスベルト１６と平行に並ぶように案内さ
れ、使用後において巻取りリール２８に巻き取られる。
ガイドローラ２６および２７間には、転写ヘッド２９が
配置され、エンドレスベルト１６を挟んで転写ヘッド２
９と対向するように、転写台３０が配置される。転写ヘ
ッド２９は、転写台３０に対して近接・離隔可能に設け
られ、その近接状態において、内部電極を形成すべく、
転写シート２４上の導電膜を所定のパターンに従ってセ
ラミックグリーンシート上に転写する。

【００３１】なお、内部電極転写装置２３が転写する導
電膜は、導電性ペーストからなる膜であっても、湿式ま
たは乾式めっきにより形成された金属薄膜であってもよ
い。また、内部電極転写装置２３に代えて、スクリーン
印刷装置のような印刷装置等、他の形式の内部電極形成
手段が用いられてもよい。

【００３２】多角柱状ホイール１３が位置する側には、
乾燥機３１が配置される。これによって、エンドレスベ
ルト１６の周回経路の一部に沿って乾燥ゾーンが設けら
れる。乾燥機３１は、エンドレスベルト１６上のセラミ
ックグリーンシートを乾燥するためのものである。セラ
ミックグリーンシート上に導電性ペースト膜が形成され
る場合には、この導電性ペースト膜を乾燥するために
も、乾燥機３１は用いられる。もちろん、導電性ペース
ト膜の乾燥を、乾燥機３１以外の乾燥機によって行なっ
てもよい。

【００３３】多角柱状ホイール１２の上方には、セラミ
ック積層体取り出し手段としての打ち抜き吸着ヘッド３
２が配置される。打ち抜き吸着ヘッド３２は、多角柱状
ホイール１２に対して近接・離隔可能かつ図示しない別
の作業位置まで移動可能に設けられ、このような動作に
従って、エンドレスベルト１６上に形成されたエンドレ
ス積層体から目的とするセラミック積層体を打ち抜き、
続いてこのセラミック積層体を真空吸引に基づき吸着し
て保持し、これを別の作業位置まで搬送する。なお、こ
の打ち抜き吸着ヘッド３２の位置は、必ずしも多角柱状
ホイール１２の位置に合わせなくてもよく、エンドレス
ベルト１６上のいずれかでもよい。

【００３４】上述した打ち抜きを行なうため、より詳細
には、打ち抜き吸着ヘッド３２は、図示しないが、その
下面側に切断刃を備え、この切断刃が、多角柱状ホイー
ル１２に対して近接したとき、エンドレスベルト１６上
に形成されたエンドレス積層体から目的とするセラミッ
ク積層体を打ち抜く。この打ち抜きは、多角柱状ホイー
ル１２の周面上の各平面部分１４が接触するエンドレス
ベルト１６の各領域１８の範囲内で行なわれる。

【００３５】また、この実施形態では、エンドレスベル
ト１６の周回を駆動するため、エンドレスベルト１６に
接触しながら回転する駆動ローラ３３が設けられる。ま
た、駆動ローラ３３に対向してレベリングローラ３４が
設けられ、レベリングローラ３４に対して所定の距離を
隔てて、もう１つのレベリングローラ３５が配置され
る。レベリングローラ３４は、駆動ローラ３３との間で
エンドレスベルト１６を挟み、駆動ローラ３３からの駆
動力が確実にエンドレスベルト１６に与えられるように
される。また、レベリングローラ３４および３５は、エ
ンドレスベルト１６に接触し、それによって、コートロ
ーラ２２が作用する部分において、エンドレスベルト１
６ないしはセラミックグリーンシートのレベルが一定に
保たれるようにされる。

【００３６】なお、上述した駆動ローラ３３による駆動
に代えて、多角柱状ホイール１２および／または１３の
回転を駆動して、エンドレスベルト１６を周回させるよ
うにしてもよい。

【００３７】このような図１に示した製造装置を用い
て、図２に示したセラミック積層体２が製造される。

【００３８】すなわち、まず、図２に示したセラミック
積層体２の外層部６に対応する部分を得るため、エンド
レスベルト１６が連続して周回しながら、コートローラ
２２がエンドレスベルト１６に近接する。これによっ
て、セラミックスラリーがエンドレスベルト１６上に付
与され、エンドレスベルト１６上でセラミックグリーン
シートが成形される。また、同時に、乾燥機３１による
乾燥ゾーンを通過するとき、成形されたセラミックグリ
ーンシートは乾燥される。この操作は、所望の積層数の
セラミックグリーンシートが得られるまで実施される。

【００３９】上述のように、所望の数のセラミックグリ
ーンシートが積層されたとき、コートローラ２２はエン
ドレスベルト１６から離隔される。また、最終のセラミ
ックグリーンシートの乾燥を終えて内部電極転写装置２
３の位置を通過したとき、エンドレスベルト１６は一時
的に停止される。

【００４０】次に、図２に示したセラミック積層体２の
内部電極形成部５に対応する部分を得るため、転写ヘッ
ド２９が下降し、それによってセラミックグリーンシー
ト上に所定のパターンを有する内部電極を形成し、その
後、転写ヘッド２９は上昇する。この操作は、多角柱状
ホイール１２および１３の周面上の各平面部分１４およ
び１５に接触するエンドレスベルト１６の各領域１８毎
に実施される。すなわち、この操作と、エンドレスベル
ト１６の各領域１８を、順次、転写台３０上に位置させ
るようにエンドレスベルト１６を間欠的に送ることとが
繰り返される。なお、内部電極を導電性ペーストの塗布
で形成した場合には、乾燥機３１、あるいは別に設ける
乾燥機（図示せず。）によって乾燥される。

【００４１】上述の操作をエンドレスベルト１６の１周
分行なったとき、再びエンドレスベルト１６が連続して
周回しながら、コートローラ２２がエンドレスベルト１
６に近接し、内部電極が形成されたセラミックグリーン
シート上で次のセラミックグリーンシートが成形され
る。また、同時に、乾燥ゾーンを通過するとき、この成
形されたセラミックグリーンシートは乾燥される。

【００４２】そして、上述した内部電極の形成およびセ
ラミックグリーンシートの成形が、所望の回数だけ繰り
返される。

【００４３】次に、図２に示したセラミック積層体２の
他方の外層部７に対応する部分を得るため、エンドレス
ベルト１６が連続して周回しながら、再びコートローラ
２２がエンドレスベルト１６に近接する。これによっ
て、セラミックグリーンシートが前に成形されたセラミ
ックグリーンシート上でさらに成形され、同時に、乾燥
ゾーンを通過するとき、成形されたセラミックグリーン
シートは乾燥される。この操作も、所望の積層数のセラ
ミックグリーンシートが得られるまで実施される。

【００４４】このようにして、エンドレスベルト１６上
にエンドレス積層体が形成される。このエンドレス積層
体は、多角柱状ホイール１２および１３の周面上の各平
面部分１４および１５に接触するエンドレスベルト１６
の各領域１８の範囲内の大きさで、それぞれ、目的とす
るセラミック積層体すなわち図２に示したセラミック積
層体２を含んでいる。

【００４５】次に、エンドレスベルト１６は、多角柱状
ホイール１２の周面上の各平面部分１４を、順次、上方
へ向けた状態とするように、間欠的に周回される。そし
て、エンドレスベルト１６の停止状態において、上方に
向いた平面部分１４に向かって打ち抜き吸着ヘッド３２
が作動し、この上方に向いた平面部分１４に接触するエ
ンドレスベルト１６の領域１８の範囲内で、エンドレス
積層体から目的とするセラミック積層体が打ち抜かれ
る。打ち抜かれたセラミック積層体は、そのまま、打ち
抜き吸着ヘッド３２によって別の作業位置まで搬送され
る。

【００４６】上述の作業位置において、セラミック積層
体は、必要に応じて、カットされ、次いで、焼成され、
それによって、図２に示すような積層セラミックコンデ
ンサ１のためのセラミック積層体２が得られる。

【００４７】なお、前述のように目的とするセラミック
積層体が取り出された後においては、エンドレスベルト
１６上に、セラミックグリーンシートの一部等を含むエ
ンドレス積層体の残留物がそのまま保持されている。こ
の残留物はエンドレスベルト１６から除去され、エンド
レスベルト１６が清浄にされた後、再び、上述した工程
が繰り返される。

【００４８】以上、この発明を図示した実施形態に関連
して説明したが、この発明の範囲内において、その他い
くつかの変形例が可能である。

【００４９】たとえば、図示した実施形態では、エンド
レスベルト１６上にエンドレス積層体が保持されている
状態で、打ち抜き吸着ヘッド３２によって、目的とする
セラミック積層体を取り出すことを行なったが、これに
代えて、エンドレス積層体の一部を切断して、これをエ
ンドレスベルト１６から外してから、打ち抜きまたはカ
ット等により、目的とするセラミック積層体を取り出す
ようにしてもよい。なお、この場合においても、多角柱
状ホイール１２および１３の周面上の各平面部分１４お
よび１５に接触するエンドレスベルト１６の各領域１８
の範囲内の大きさで、目的とするセラミック積層体を取
り出すようにすることはもちろんである。ただし、この
場合、実際のセラミック積層体の取り出し位置が必ずし
も多角柱状ホイールの周面上でなくてもよいことはもち
ろんである。

【００５０】また、エンドレスベルト１６の特定の部分
は、繰り返し曲げおよび延びの変形にさらされることに
なるため、エンドレスベルト１６の耐用性の問題に遭遇
することがある。このような問題に照らして、エンドレ
スベルト１６の耐用期間をできるだけ長くするため、曲
げおよび延びの変形にさらされる部分は、ヒンジ構造を
もって構成されてもよい。また、曲げおよび延びの度合
いをできるだけ小さくするため、多角柱状ホイール１２
および１３の平面部分１４および１５の各々の隣接する
ものの間に、アール面を形成するようにしてもよい。

【００５１】また、この発明は、図示した実施形態のよ
うに、積層セラミックコンデンサのためのセラミック積
層体の製造だけでなく、たとえば積層セラミックバリス
タ、積層セラミックインダクタ、セラミック多層回路基
板等の他の積層セラミック電子部品のためのセラミック
積層体の製造にも適用することができる。したがって、
積層セラミック電子部品のためのセラミック積層体に備
える内部電極は、コンデンサのための内部電極を構成す
るものに限らず、バリスタのための内部電極を構成する
もの、抵抗を構成するもの、インダクタを構成するもの
等であってもよい。

【００５２】

【発明の効果】このように、この発明によれば、従来の
キャリアフィルムを用いずに、繰り返し使用可能なエン
ドレスベルト上でセラミックグリーンシートの成形およ
び内部電極の形成を実施するので、多層化が進んでも、
膨大な量のキャリアフィルムが消費されることはなく、
セラミック積層体の製造コストを低減することができ
る。

【００５３】また、この発明によれば、エンドレスベル
トを周回させながら、セラミックグリーンシートの成形
および積み重ね、ならびに内部電極の形成の各工程が一
連の操作の下で実施されるので、これら工程が一連に実
施されない場合に必要な工程間における運搬やロード／
アンロード作業が不要となるとともに、セラミック積層
体を得るまでに要する時間の短縮を図ることができ、ま
た、得られたセラミック積層体への異物混入などの機会
も低減させることができる。

【００５４】また、この発明によれば、円柱状ホイール
ではなく、多角柱状ホイールが用いられ、エンドレスベ
ルトが周回する間、エンドレスベルトにおける一定の領
域が各多角柱状ホイールの周面上の各平面部分に接触す
るように設定されていて、多角柱状ホイールの周面上の
各平面部分に接触するエンドレスベルトの各領域の範囲
内の大きさで、目的とするセラミック積層体を作製しか
つ取り出すようにしている。すなわち、エンドレスベル
トの周回の間、エンドレスベルトおよびその上のセラミ
ックグリーンシートには、いずれかの場所において繰り
返し曲げおよび延びが付与されるが、このように曲げお
よび延びの生じる場所が、エンドレスベルトの周回にか
かわらず、変わらないようにし、目的とするセラミック
積層体の部分については、平面状態のまま取り扱われ、
ここには曲げおよび延びが及ぼされないようにしてい
る。

【００５５】したがって、取り出されたセラミック積層
体には、不所望なストレスが付与されていないので、品
質の優れたセラミック積層体を得ることができる。特に
多層化が進むほど、上述した曲げおよび延びによるスト
レスが増大するが、この発明によれば、このようなスト
レスのない部分をもって、目的とするセラミック積層体
を取り出すことができるので、多層化を有利に進めるこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態による積層セラミック電
子部品のためのセラミック積層体の製造方法において用
いられる製造装置を示す斜視図である。

【図２】この発明にとって興味ある積層セラミック電子
部品の一例としての積層セラミックコンデンサ１を示す
断面図である。

【符号の説明】

１ 積層セラミックコンデンサ ２ セラミック積層体 ３ 内部電極 ４ セラミック層 １２，１３ 多角柱状ホイール １４，１５ 平面部分 １６ エンドレスベルト １８ 平面部分に接触する領域 ２２ コートローラ ２３ 内部電極転写装置 ３１ 乾燥機 ３２ 打ち抜き吸着ヘッド

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 積み重ねられた複数のセラミックグリー
   ンシートおよび前記セラミックグリーンシートの所定の
   界面に沿って形成された内部電極を備える、積層セラミ
   ック電子部品のためのセラミック積層体を製造する方法
   において、 周面上に複数の平面部分が周方向に連なって形成されか
   つ軸線を互いに平行に向けた状態で配置される少なくと
   も２つの多角柱状ホイールと、前記多角柱状ホイールの
   周面に巻掛けされかつ前記多角柱状ホイールの回転を伴
   って周回するエンドレスベルトとを備え、前記エンドレ
   スベルトが周回する間、当該エンドレスベルトにおける
   一定の領域が各前記多角柱状ホイールの周面上の各前記
   平面部分に接触するように設定された、そのような装置
   を用意する工程と、 前記エンドレスベルトを周回させながら、前記エンドレ
   スベルト上で連続して延びるようにセラミックグリーン
   シートを成形することと所定の前記セラミックグリーン
   シート上に所定のパターンを有する前記内部電極を形成
   することとを所定の手順に従って繰り返し、それによっ
   て、前記多角柱状ホイールの周面上の各平面部分に接触
   する前記エンドレスベルトの各領域上に目的とするセラ
   ミック積層体をそれぞれ位置させている、エンドレス積
   層体を前記エンドレスベルト上で得る工程と、 前記エンドレスベルトを周回させながら、前記セラミッ
   クグリーンシートを乾燥する工程と、 前記多角柱状ホイールの周面上の各前記平面部分に接触
   する前記エンドレスベルトの各領域の範囲内の大きさ
   で、前記エンドレス積層体から前記セラミック積層体を
   取り出す工程とを備えることを特徴とする、積層セラミ
   ック電子部品のためのセラミック積層体の製造方法。
2. 【請求項２】 積み重ねられた複数のセラミックグリー
   ンシートおよび前記セラミックグリーンシートの所定の
   界面に沿って形成された内部電極を備える、積層セラミ
   ック電子部品のためのセラミック積層体を製造する装置
   において、 周面上に複数の平面部分が周方向に連なって形成されか
   つ軸線を互いに平行に向けた状態で配置される少なくと
   も２つの多角柱状ホイールと、 前記多角柱状ホイールの周面に巻掛けされかつ前記多角
   柱状ホイールの回転を伴って周回するエンドレスベルト
   とを備え、 前記エンドレスベルトが周回する間、当該エンドレスベ
   ルトにおける一定の領域が各前記多角柱状ホイールの周
   面上の各前記平面部分に接触するように設定され、さら
   に、 前記エンドレスベルトの周回経路上の第１の固定位置に
   おいて前記エンドレスベルト上にセラミックスラリーを
   付与し、それによって、前記エンドレスベルト上で連続
   して延びるようにセラミックグリーンシートを成形する
   ためのセラミックスラリー付与手段と、 前記エンドレスベルトの周回経路上の第２の固定位置に
   おいて前記セラミックグリーンシート上に所定のパター
   ンを有する内部電極を形成するための内部電極形成手段
   と、 前記セラミックグリーンシートを乾燥するように、前記
   エンドレスベルトの周回経路の一部に沿って設けられた
   乾燥ゾーンと、 前記多角柱状ホイールの周面上の各前記平面部分に接触
   する前記エンドレスベルトの各領域の範囲内の大きさ
   で、目的とするセラミック積層体を取り出すためのセラ
   ミック積層体取り出し手段とを備えることを特徴とす
   る、積層セラミック電子部品のためのセラミック積層体
   の製造装置。