JPH10321828A5 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH10321828A5 JPH10321828A5 JP1997129229A JP12922997A JPH10321828A5 JP H10321828 A5 JPH10321828 A5 JP H10321828A5 JP 1997129229 A JP1997129229 A JP 1997129229A JP 12922997 A JP12922997 A JP 12922997A JP H10321828 A5 JPH10321828 A5 JP H10321828A5
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip lens
- film
- forming
- pad electrode
- passivation film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
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Description
【００２１】
図２は、本発明を、オンチップレンズの形成をレジストエッチバックによる形状転写で行う場合に適用した方法を示す断面図である。本例は、オンチップレンズ材を兼ねるオーバーパッシベーション膜（オンチップレンズ材兼オーバーパッシベーション膜）１０上にオンチップレンズ形状を有するオンチップレンズ形状材１１を塗布した後、パッド電極３の上方のオンチップレンズ材兼オーバーパッシベーション膜１０に窓開けを行って、オンチップレンズ形状材１１のパターニング後のレジストエッチバックをする時に、パッド電極３上のパッシベーション膜５及び平坦化膜８に窓開けもするものである。なお、１２はオンチップカラーフィルタ、１３は受光面を示している。
本発明固体撮像素子の製造方法によれば、パッド電極３上にパッシベーション膜５、上層膜となる平坦化膜８及びオーバーパッシベーション膜９を積層し、最終のオーバーパッシベーション膜９を形成した後に、１回のエッチング処理を施して複数の絶縁膜にパッド電極３を露出するための窓開けを行うので、パッド電極３を露出するための窓開けを１回の工程で行うことができる。
図２は、本発明を、オンチップレンズの形成をレジストエッチバックによる形状転写で行う場合に適用した方法を示す断面図である。本例は、オンチップレンズ材を兼ねるオーバーパッシベーション膜（オンチップレンズ材兼オーバーパッシベーション膜）１０上にオンチップレンズ形状を有するオンチップレンズ形状材１１を塗布した後、パッド電極３の上方のオンチップレンズ材兼オーバーパッシベーション膜１０に窓開けを行って、オンチップレンズ形状材１１のパターニング後のレジストエッチバックをする時に、パッド電極３上のパッシベーション膜５及び平坦化膜８に窓開けもするものである。なお、１２はオンチップカラーフィルタ、１３は受光面を示している。
本発明固体撮像素子の製造方法によれば、パッド電極３上にパッシベーション膜５、上層膜となる平坦化膜８及びオーバーパッシベーション膜９を積層し、最終のオーバーパッシベーション膜９を形成した後に、１回のエッチング処理を施して複数の絶縁膜にパッド電極３を露出するための窓開けを行うので、パッド電極３を露出するための窓開けを１回の工程で行うことができる。
Claims (1)
- 複数の絶縁膜の最終の絶縁膜の形成後、該最終の絶縁膜上にオンチップレンズ形成用の膜を形成し、該膜をオンチップレンズ状に形成し、その後、上記１回のエッチング処理を上記オンチップレンズ状に形成した膜及び上記複数の絶縁膜に施すことにより、パッド電極を露出するための窓開けと共に、上記最終の絶縁膜によるオンチップレンズの形成を行う
ことを特徴とする請求項１記載の固体撮像素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9129229A JPH10321828A (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | 固体撮像素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9129229A JPH10321828A (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | 固体撮像素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10321828A JPH10321828A (ja) | 1998-12-04 |
| JPH10321828A5 true JPH10321828A5 (ja) | 2004-11-04 |
Family
ID=15004363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9129229A Abandoned JPH10321828A (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | 固体撮像素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10321828A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100587591B1 (ko) * | 1999-09-06 | 2006-06-08 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 고체촬상소자의 패드 개구부 형성방법 |
| KR20040095971A (ko) * | 2003-04-29 | 2004-11-16 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 씨모스 이미지센서 |
| KR100649018B1 (ko) * | 2004-06-22 | 2006-11-24 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 이미지 센서의 금속패드 산화 방지 방법 |
| KR100666371B1 (ko) | 2004-12-23 | 2007-01-09 | 삼성전자주식회사 | 이미지 소자의 제조 방법 |
-
1997
- 1997-05-20 JP JP9129229A patent/JPH10321828A/ja not_active Abandoned
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