JPH10328754A - 半導体装置用切断金型 - Google Patents

半導体装置用切断金型

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JPH10328754A
JPH10328754A JP13998997A JP13998997A JPH10328754A JP H10328754 A JPH10328754 A JP H10328754A JP 13998997 A JP13998997 A JP 13998997A JP 13998997 A JP13998997 A JP 13998997A JP H10328754 A JPH10328754 A JP H10328754A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
punch
cutting
die
groove
semiconductor device
Prior art date
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Pending
Application number
JP13998997A
Other languages
English (en)
Inventor
Takehito Suzuki
岳人 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Yamagata Ltd
Original Assignee
NEC Yamagata Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Yamagata Ltd filed Critical NEC Yamagata Ltd
Priority to JP13998997A priority Critical patent/JPH10328754A/ja
Publication of JPH10328754A publication Critical patent/JPH10328754A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】切断くずのはい上がりを防止し、ミスショット
による切断不良ポテンシャルを低く抑える。 【解決手段】被切断物4をポンチ1にて打ち抜き加工す
る際に、ポンチ1側面の空気の流入する溝3より流入エ
アー9が流れ込むことで、集塵(バキューム)8の吸収
効果を向上させて切断くず6を強制的に下方へ吸収し、
切断くず6のはい上がりを防止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置用切断金
型に関し、特に半導体装置用成形装置に用いられる半導
体装置用切断金型に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の半導体装置用切断金型(以下、切
断金型と記す)は、図2Aに示すように、切断する刃と
なるポンチ1とダイ2とを有しており、また、バリエー
ションとしてポンチ1をガイドするポンチガイド13を
備えたものがある(特開昭60−160132号公報、
特開平5−226539号公報)。
【0003】この切断金型の動作は、図2Aに示すよう
に、まず、被切断物4をダイ2上に設置しポンチ1とポ
ンチガイド13を下降させる。次に、半導体装置もしく
は被切断物を切断するに際し、図2Bに示すように、ポ
ンチ1がダイ2上の被切断物4に接触したときにせん断
力が働き被切断物4を打ち抜く。その後、下死点5まで
ポンチ1が降下を続け停止する。その後、図2Cに示す
ように、ポンチ1とポンチガイド13は上昇し元の位置
に戻ることで一連の切断動作が終了する。尚、下金型下
部より集塵(バキューム)を行っているバリエーション
もある。切断したときに発生する切断くず6は、一般的
には図2Cに示すようにテーパ部7より排出されるが、
ポンチ1が切断くず6を付着もしくは上昇時に真空状態
になっている為切断くず6が下方に吸収されず、図2D
に示すように、「切断くずはい上り」が起る場合があ
る。この現象は重大な品質事故を引き起こす為、いくつ
かの防止策が取られていた。
【0004】その代表例の機械的防止手段としては、図
3A、Bに示すように、インジェクトピン10(単ピン
または多ピン)の突き出しによる切断くず6の強制落下
方法図4に示すように、差動型ポンチ11による強制剥
離方式がある。
【0005】また、代表例の構造的防止手段としては、
図5に示すように、ポンチ下死点5を増加下死点12ま
で下げ切断くず6のはい上がるポテンシャルを低減させ
る増加下死点方式、図6に示すように、ポンチ1を切断
位置へガイドするパンチガイド13に通気口14を設
け、下方からの集塵による流入エアー15で切断くず6
を吸収させる空気流れ方式が挙げられる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】第1の問題点は、従来
の方式では切断くず6のはい上がりに対して十分な防止
効果を得る事が出来ない事である。その理由は、切断時
にポンチ1と切断くず6及びダイ2付近が真空状態にな
りダイ2下部からの集塵(バキューム)を行っても、切
断くず6がポンチ1上昇に合わせて舞い上がってしまう
からである。
【0007】第2の問題点は、従来の方式では、ポンチ
1のリサイクル性が困難であるという点である。その理
由は、ポンチ1は高硬度の材質を使用しており、従来技
術のポンチ1は形状や構造も複雑という事もあり、追加
加工によるリサイクル性が悪い原因になっている為であ
る。
【0008】第3の問題点は、ポンチガイド13に通気
口14を設けた事により、構造上切断時のミスショット
(切断ミス)多発のポテンシャルが高くなる点にある。
その理由は、ポンチ1下降時にガイド降下を有するポン
チガイド13の通気口を大きくすることにより、ポンチ
をガイド13の効果が低下し切断位置ずれやポンチ・ダ
イ等の異常摩擦、ミスショットによる金型破壊が起こる
ポテンシャルが高くなるからである。
【0009】本発明の目的は、ポンチや大のライフサイ
クル及びリサイクル性に悪影響を与えることなく、かつ
ミスショットによる切断不良ポテンシャルを低く抑え構
造をシンプル化市、切断くずはい上がりを防止するよう
にした半導体装置用切断金型を提供する事にある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体装置用切
断金型は、上金型のポンチと、下金型のダイがかみ合っ
た状態でこの下金型のダイ上に載置された被切断物を加
工する半導体装置用切断金型において、前記上金型のポ
ンチ下部に空気が流入する溝を設けたことを特徴とす
る。
【0011】本発明によれば、切断時に下金型下部より
集塵(バキューム)を行っており、ポンチ側面に設けた
溝から空気が下方へ流入することによって切断くずが強
制的に吸収される力が強くなり、真空状態が解消され切
断くずはい上りを防止する。
【0012】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
【0013】図1A、Bは本発明の実施の形態の一例の
半導体装置用切断金型の動作を説明する断面図、図1C
〜Dは、図1Aのバリエーションを示す断面図である。
【0014】本発明の実施の形態の一例の半導体装置用
金型の構成は、図1A、Bに示す構成において、被切断
物4を打ち抜き加工するポンチ1に空気が流入する溝
(孔)3が設けられ、ポンチ1側面よりポンチ刃先下部
面まで至る。その他の構成要素は従来の技術で記載した
図2〜図6と同じである。
【0015】本発明の一実施の形態の動作の効果は、図
1Bに示すように、ポンチ1が下死点5まで降下した状
態で下金型下部より集塵(バキューム)8をする結果、
ポンチ1側面の空気が流入する溝(孔)3より流入エア
ー9が下金型まで流れ込むことで、切断くず6が強的に
下方へ吸収される力が強くなる作用を利用し切断くず6
はい上がりを防止するようにしたものである。 構造的
に得られる効果としては、溝(孔)3の加工をシンプル
化した事により、追加工性及びリサイクル性が向上し、
また他の重要機能部を変更しない事により、ミスショッ
トのポテンシャルを抑制することにある。
【0016】次に、図1A以外のバリエーションとし
て、図1C〜Eを用いて説明する。図1Cに説す実施の
形態は、溝(孔)3を左右両側に設けた構成で流入する
空気により切断くずはい上りを防止するようにしたもの
である。図1Dに示す実施の形態は、ポンチ1中央部に
溝(孔)3を設けた構成で、流入する切断くずはい上が
りを防止するようにしたものである。図1Eに示す実施
の形態は、ポンチ1の切断は先を傾斜させることによ
り、溝(孔)3の機能を有する部分を設けた構成で、流
入する空気により切断くずはい上がりを防止するように
したものである。
【0017】
【発明の効果】第1の効果は、切断時にポンチ・ダイ部
に発生する真空状態が解消され、切断くずはい上がりを
防止することができることである。その理由は、ポンチ
に空気の流入する溝(孔)を設けたことで、下金型部か
らの集塵(バキューム)効果が強まり、切断くずをより
強制的に吸収することができる為である。
【0018】第2の効果は、ポンチのリサイクル性を向
上することができることである。その理由は、従来のポ
ンチ加工を穴から溝(孔)へ変更することで、構造のシ
ンプル化が図れると追加工性が向上することにより、ポ
ンチのリサイクル性が向上する為である。
【0019】第3の効果は、構造をシンプル化する事
で、切断時に発生するミスショットのポテンシャルを抑
制できることである。その理由は、ポンチガイド等の切
断位置精度を決定する部分を変更又は加工することなく
構造をシンプル化する事により、それらの機能を削ぐ事
なく切断くずはい上がりを防止できるからである。
【図面の簡単な説明】
【図1】A〜Eは本発明の実施の形態の一例の半導体装
置用切断金型の動作を説明する断面図、C〜DはAのバ
リエーションを示す断面図である。
【図2】A〜Dは従来の半導体装置用切断金型の動作を
説明する断面図である。
【図3】A、Bは従来の機械的防止手段の一例を説明す
る断面図である。
【図4】従来の差動型ポンチによる強制剥離方式の一例
の断面図である。
【図5】構造的防止手段の一例の断面図である。
【図6】構造的防止手段の他の例の断面図である。
【符号の説明】
1 ポンチ 2 ダイ 3 溝 4 被切断物 5 下死点 6 切断くず 7 テーパー部 8 集塵(バキューム) 9 流入エアー 10 インジェクトピン 11 差動型ポンチ 12 増加下死点 13 ポンチガイド 14 通気口 15 流入エアー

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 上金型のポンチと、下金型のダイがかみ
    合った状態でこの下金型のダイ上に載置された被切断物
    を加工する半導体装置用切断金型において、前記上金の
    ポンチ下部に空気が流入する溝を設けたことを特徴とす
    る半導体装置用切断金型。
  2. 【請求項2】 前記溝がポンチの側面よりこのポンチの
    刃先下部面まで至るように設けられた構成であることを
    特徴とする請求項1記載の半導体装置用切断金型。
  3. 【請求項3】 前記溝がポンチの左右両側に設けられた
    構成であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置
    用切断金型。
  4. 【請求項4】 前記溝がポンチの中央部に設けらた構成
    であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置用切
    断金型。
  5. 【請求項5】 前記溝がポンチの切断先を傾斜させるよ
    うに設けられた構成であることを特徴とする請求項1記
    載の半導体装置用切断金型。
JP13998997A 1997-05-29 1997-05-29 半導体装置用切断金型 Pending JPH10328754A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102275182A (zh) * 2011-08-16 2011-12-14 安徽中智光源科技有限公司 防止废料回跳的高速级进集成电路冲切模具
CN104959450A (zh) * 2015-07-22 2015-10-07 太仓斯普宁精密机械有限公司 一种开槽模具
CN105234283A (zh) * 2015-11-03 2016-01-13 永红科技(蚌埠)有限公司 一种冲切装置
CN105921595A (zh) * 2016-06-28 2016-09-07 中国南方航空工业(集团)有限公司 一种高速冲压凹模

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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19990518