JPH10189853A - 半導体パッケージ製造用切断装置 - Google Patents
半導体パッケージ製造用切断装置Info
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- JPH10189853A JPH10189853A JP8343629A JP34362996A JPH10189853A JP H10189853 A JPH10189853 A JP H10189853A JP 8343629 A JP8343629 A JP 8343629A JP 34362996 A JP34362996 A JP 34362996A JP H10189853 A JPH10189853 A JP H10189853A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/02—Wire-cutting
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Punching Or Piercing (AREA)
- Mounting, Exchange, And Manufacturing Of Dies (AREA)
Abstract
じ難く、ダイの破損も生じ難く長寿命化を実現した半導
体パッケージ製造用切断装置を提供する。 【解決手段】 樹脂モールド後の半導体パッケージPを
載置して該半導体パッケージPのアウターリード3を幅
方向に接続するダムバー4を切断する半導体パッケージ
製造用切断装置において、ダイ1の側面に櫛歯状に突出
しその両側上縁に切刃を有するブロック5が形成されて
おり、少なくともパンチ2を前記ダイ1に進入させて到
達する最下位置より上方から各抜き孔6の両側に設けた
各ブロック5の占有エリアが減少するようなテーパー面
5cを形成して、前記各抜き孔6に連通する逃げ8を形
成した。
Description
半導体パッケージよりダムバーを切断する半導体パッケ
ージ製造用切断装置に関する。
リードフレームに半導体素子をボンディング後、樹脂モ
ールドが行われ、樹脂モールド後に、めっき処理やアニ
ール処理等の後処理を施した後、T/F(Trimmi
ng and Forming)工程等が施されてい
た。このT/F工程においては、半導体パッケージのア
ウターリード間を幅方向に接続するダムバーや該アウタ
ーリードとダムバーに囲まれた部分に漏出した樹脂バリ
がパンチとダイを有する切断装置により切断され、次い
でアウターリードの成形が行われていた。
半導体パッケージは、図6(a)〜(d)に示すような
金型をワイヤカット(放電加工)して四方に切刃を有す
るブロックが櫛歯状に形成された一体ダイ51や、図7
(a)〜(e)に示すような金型を研削加工して切刃を
有するブロックが櫛歯状に形成された分割ダイ52を搭
載した金型上に搬入される。上記一体ダイ51や分割ダ
イ52のパッケージ側となる周囲にはアウターリードピ
ッチに応じて櫛歯状に突出するブロック51a,52a
が形成されている。この突出するブロック51a,52
aの両側上縁部には切刃51b,52bが形成されてお
り、隣合う切刃51b,52bの隙間にそれぞれ形成さ
れた抜き孔51c,52cに図示しないパンチを進入さ
せて、ダムバーや該ダムバー近傍に漏出した不要樹脂
(樹脂バリ)を切断していた。
1や図7(a)〜(e)に示す分割ダイ52において
は、ブロック51a,52aの間に形成された抜き孔5
1c,52cには、パンチの先端が抜きかすとともに到
達する部位には、該抜き孔51c,52cの空間部が広
がるように逃げ51d,52dがそれぞれ形成されてい
た。上記パンチに打ち抜かれて抜き孔51c,52cの
下方に押し込まれた抜きかすは、逃げ51d,52dに
より空間部が広がることにより下方に自由落下し易いよ
うに構成されていた。
来の切断装置においては、ダムバーと共に切断される不
要樹脂(モールド樹脂)にシリカ等が混ざっていること
から、図8に示すように、長期使用により切刃51b,
52bを含むダイ51,52の側壁51e,52eが摩
耗し易く、該側壁51e,52eが摩耗するとパンチと
切刃51b,52bとの間で切除される抜きかすが徐々
に大きくなるため、パンチとダイの切れ味が悪くなり、
該抜きかすがパンチにより抜き孔51c,52cに押し
込まれて上記逃げ51d,52dに至っても下方に落下
せず、かす詰まりが生じ易い。また、上記抜き孔51
c,52cに抜きかすが詰まってかすが蓄積されると、
蓄積されたところに次の抜きかすが押し込まれ、ダイの
切刃51b,52bを横に押し広げ、ダイ51,52を
破損したり、パンチを破損させたりする。そこで、上記
ダイ51,52の抜きかすの詰まりやかす上がり等を防
止するため、上記逃げ51d,52dを必要に応じて放
電加工により削る必要があるが、加工に時間や費用が増
大する。特に、半導体パッケージのリードピッチがファ
インピッチ化する今日では、ダイ51,52の幅が狭く
なることにより、強度が低下してきているうえ、上記逃
げ51d,52dの逃げ幅を大きく取りたいといった相
反する要請が生じている。また、上記放電加工で逃げ5
1d,52dをダイ51,52に付与するのは強度上限
界となってきている。
決し、ダイの抜き孔にかす詰まりやかす上がりが生じ難
く、ダイの破損も生じ難く長寿命化を実現した半導体パ
ッケージ製造用切断装置を提供することにある。
するため次の構成を備える。即ち、樹脂モールド後の半
導体パッケージを載置して該半導体パッケージのアウタ
ーリードを幅方向に接続するダムバーを切断する半導体
パッケージ製造用切断装置において、ダイの側面に櫛歯
状に突出しその両側上縁に切刃を有するブロックが形成
されており、少なくともパンチを前記ダイに進入させて
到達する最下位置より上方から各抜き孔の両側に設けた
各ブロックの占有エリアが減少するようなテーパー面を
形成して、前記各抜き孔に連通する逃げを形成したこと
を特徴とする。
半導体パッケージのアウターリードに直交する垂直面
に、前記ダイ本体側に向かってブロック突出量が減少す
るよう傾斜させて形成され、切断された前記ダムバーが
前記ブロック間より押し出され易くするのが好ましい。
また、前記パンチ先端部には水平方向に対して所定方向
に傾斜する傾斜部が形成されており、少なくとも前記パ
ンチを前記ダイに進入させて到達する最下位置におい
て、該パンチの傾斜面が前記ダイに形成されたテーパー
面と交差するように形成され、切断された前記ダムバー
が前記ブロック間より押し出され易くするのが好まし
い。また、前記パンチは、前記ダムバー及び該ダムバー
の近傍に漏出した不要樹脂を同時に切断するようにして
も良い。また、前記ダイは、金型をワイヤカットして四
方に切刃を有する櫛歯状のブロックを形成された一体ダ
イや、金型を研削加工して一辺に切刃を有する櫛歯状の
ブロックを形成された分割ダイであっても良い。
を添付図面に基づいて詳細に説明する。本実施の態様
は、樹脂モールド後の半導体パッケージのダムバー及び
該ダムバー近傍に漏出した不要樹脂を切断するいわゆる
T/F工程で用いられる切断装置について説明する。図
1(a)は半導体パッケージ製造用切断装置の上視図、
図1(b)(c)はダイの切刃の拡大正面図及び側面
図、図2は半導体パッケージ製造用切断装置の模式図、
図3(a)(b)(c)は一体ダイを収容した下型の3
面図、図3(d)(e)は一体ダイの上視図及び部分3
面図、図4(a)(b)(c)は一体ダイを収容した下
型の3面図、図4(d)(e)は分割ダイの部分側面図
及び上視図、図5は他例に係る半導体パッケージ製造用
切断装置の説明図である。
体パッケージ製造用切断装置の全体構成について説明す
る。1はダムバー切断用のダイであり、図示しない下型
のダイ枠に搭載され、樹脂モールド後の半導体パッケー
ジPが載置される。2は前記ダイ1に載置された半導体
パッケージPのアウターリード3を幅方向に接続するダ
ムバー4を切除するためのパンチである。上記パンチ2
はダイ1の上方に、図示しない上型のパンチプレートに
取り付けられている。上記パンチ2は、上型を図示しな
い駆動機構により上下動させてパンチ2をダイ2に形成
された抜き孔6に侵入させて抜きかすに相当するダムバ
ー4及び該ダムバー4近傍に漏出した不要樹脂(モール
ド樹脂)9を切断する。上記パンチ2の先端部は、図2
に示すように、平坦部2aとこの面に対して所定角度を
以て斜め上方に形成されている傾斜部2bとを有してい
る。上記傾斜部2bは、少なくともパンチ2をダイ1に
進入させて到達する最下位置において、前記パンチ2の
先端部の傾斜面が前記ダイ1に形成されたテーパー面5
cと交差するように設計されている。これによって、切
刃7の一点に応力を集中させることなく、ダムバー4及
び不要樹脂9を回転させながらスムーズに切断すること
ができる。
ついて、図1(b)(c)及び図2を参照して詳細に説
明する。上記ダイ1には、半導体パッケージPのアウタ
ーリード3を幅方向に接続するダムバー4を各辺毎に打
ち抜くために、該リードピッチに応じてブロック5がダ
イ本体の側面に櫛歯状に突出して形成されている。上記
ブロック5の間には、上記パンチ2が進入可能な抜き孔
6が形成されている。上記ブロック5の抜き孔6に面し
た両側壁5aの上縁部には切刃7が形成されている(図
1(b)(c)参照)。また、上記ブロック5の半導体
パッケージPに対向する垂直面5bには、少なくともパ
ンチ2をダイ1に進入させて到達する最下位置より上方
から前記各抜き孔6の両側に設けた各ブロック5の占有
エリアが減少するような(具体的にはダイ本体側に向か
ってブロック突出量が減少するよう傾斜する)テーパー
面5cが形成されている。上記ブロック5は、ダイ1を
ワイヤー放電加工して櫛歯状に形成されており、上記テ
ーパー面5cも放電加工により形成されている(図2参
照)。
上記ダイ1の各抜き孔6の両側に設けた各ブロック5に
はテーパー面5cが形成されることにより、上記各抜き
孔6に連通する逃げ8が各ブロック5の下方に形成され
る。この逃げ8により、上記パンチ2の先端部に打ち抜
かれたダムバー4及び不要樹脂9は、ブロック5の両側
壁5aに沿って抜き孔6の下方に押し下げられるが、上
記パンチ2が最下位置に到達すると、逃げ8により抜き
孔6の両側に存在するブロック5の占有エリアが減少し
て空間部が広がるため、抜きかすが抜き孔6より押し出
され易く、確実かつ容易に自由落下させることができ
る。
の種類にもよるが、例えばブロック5のダイ本体からの
突出量は1.35mm、ブロック5の上下方向の高さは
2.0mm、テーパー面5cのブロック5の上面から形
成されている位置が0.6mm、パンチ2の抜き孔6へ
の進入量が1.0mm程度に形成されている。
に示すように、金型をワイヤカットして四方に切刃7を
有する櫛歯状のブロック5を形成された一体ダイ10
や、図4(a)〜(e)に示すように、金型を研削加工
して一辺に切刃7を有する櫛歯状のブロック5を形成さ
れた分割ダイ11であっても良い。
ダイ1に進入させて到達する最下位置より上方から前記
各抜き孔6の両側に設けた各ブロック5の占有エリアが
減少するようなテーパー面5cを形成して各抜き孔6に
連通する逃げ8を形成したことにより、切断された抜き
かすがブロック5間より押し出され易く、ダイ1の抜き
孔6へ抜きかすが詰まることによる切刃7の破損やかす
上がりによる切刃7の破損を防止し、ダイ1の長寿命化
を実現できる。また、上記パンチ2の先端部に形成した
傾斜部2bの傾斜面が、前記最下位置において前記ダイ
1に形成されたテーパー面5cと交差するように形成し
たことにより、切刃7の一点に応力を集中させることな
く、ダムバー4及び不要樹脂9を回転させながらスムー
ズに切断できるので、上記逃げ8を介して抜きかすを落
下させ易くしたこととの相乗効果により、上記ダイ1側
に回収される抜きかすの集塵効率を高めることができ
る。
装置の他例を示す。図2に示す切断装置と異なっている
のは、パンチ2の先端部の形状である。上記パンチ2の
先端部は、水平方向に対して右下方に傾斜した傾斜部2
bが形成されている。上記傾斜部2bは、少なくともパ
ンチ2をダイ1に進入させて到達する最下位置におい
て、前記パンチ2の傾斜面が前記ダイ1に形成されたテ
ーパー面5cと交差するように形成されている。これに
よって、切刃7の一点に応力を集中させることなく、し
かもダムバー4及び不要樹脂9をダイ1の抜き孔6より
離間する方向に回転させながらスムーズに切断すること
ができるので、該抜き孔6へのかす詰まりを確実に防止
することができる。
ものではなく、半導体パッケージの種類に応じてリード
ピッチも変化することから、ダイ1に形成されるブロッ
ク5の高さや抜き孔ピッチ、パンチ2の抜き孔6への進
入量等を適宜変更しても良い。また、切断装置は、T/
F工程で用いられるものに限らず、リードフレームの打
ち抜き工程で用いられるもの等にも適用可能である。ま
た、上記各実施の態様は、ダムバー4及び該ダムバー近
傍に漏出した不要樹脂9を切断する装置について説明し
たが、予め不要樹脂9を切断された後で、ダムバー4の
みを切断する装置についても適用される。以上のよう
に、発明の精神を逸脱しない範囲内でさらに多くの改変
を施し得るのはもちろんのことである。
ンチをダイに進入させて到達する最下位置より上方から
各抜き孔の両側に設けた各ブロックの占有エリアが減少
するようなテーパー面を形成して、前記各抜き孔に連通
する逃げを形成したので、切断された抜きかすがブロッ
ク間より押し出され易く、前記ダイの抜き孔へ抜きかす
が詰まることによる切刃の破損やかす上がりによる切刃
の破損を防止でき、ダイの長寿命化を実現できる。ま
た、前記パンチ先端部に水平方向に対して所定方向に傾
斜する傾斜部を形成し、少なくとも前記パンチを前記ダ
イに進入させて到達する最下位置において、該パンチの
傾斜面が前記ダイに形成されたテーパー面と交差するよ
うに形成した場合には、抜きかすを所定方向に回転させ
ながらスムーズに切断できるので、前記逃げを介して抜
きかすを落下させ易くしたこととの相乗効果により、ダ
イ側に回収される抜きかすの集塵効率を高めることがで
きる。
ダイの切刃の拡大正面図,側面図である。
る。
模式図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 樹脂モールド後の半導体パッケージを載
置して該半導体パッケージのアウターリードを幅方向に
接続するダムバーを切断する半導体パッケージ製造用切
断装置において、 ダイの側面に櫛歯状に突出しその両側上縁に切刃を有す
るブロックが形成されており、少なくともパンチを前記
ダイに進入させて到達する最下位置より上方から各抜き
孔の両側に設けた各ブロックの占有エリアが減少するよ
うなテーパー面を形成して、前記各抜き孔に連通する逃
げを形成したことを特徴とする半導体パッケージ製造用
切断装置。 - 【請求項2】 前記テーパー面は、前記ブロックの半導
体パッケージのアウターリードに直交する垂直面に、前
記ダイ本体側に向かってブロック突出量が減少するよう
傾斜させて形成され、切断された前記ダムバーが前記ブ
ロック間より押し出され易くしたことを特徴とする請求
項1記載の半導体パッケージ製造用切断装置。 - 【請求項3】 前記パンチ先端部には水平方向に対して
所定方向に傾斜する傾斜部が形成されており、少なくと
も前記パンチを前記ダイに進入させて到達する最下位置
において、該パンチの傾斜面が前記ダイに形成されたテ
ーパー面と交差するように形成され、切断された前記ダ
ムバーが前記ブロック間より押し出され易くしたことを
特徴とする請求項1又は請求項2記載の半導体パッケー
ジ製造用切断装置。 - 【請求項4】 前記パンチは、前記ダムバー及び該ダム
バーの近傍に漏出した不要樹脂を同時に切断することを
特徴とする請求項1、2又は請求項3記載の半導体パッ
ケージ製造用切断装置。 - 【請求項5】 前記ダイは、金型をワイヤカットして四
方に切刃を有する櫛歯状のブロックを形成された一体ダ
イであることを特徴とする請求項1、2、3又は請求項
4記載の半導体パッケージ製造用切断装置。 - 【請求項6】 前記ダイは、金型を研削加工して一辺に
切刃を有する櫛歯状のブロックを形成された分割ダイで
あることを特徴とする請求項1、2、3又は請求項4記
載の半導体パッケージ製造用切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34362996A JP3618187B2 (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 半導体パッケージ製造用切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34362996A JP3618187B2 (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 半導体パッケージ製造用切断装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10189853A true JPH10189853A (ja) | 1998-07-21 |
| JP3618187B2 JP3618187B2 (ja) | 2005-02-09 |
Family
ID=18363012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34362996A Expired - Fee Related JP3618187B2 (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | 半導体パッケージ製造用切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3618187B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100466221B1 (ko) * | 2002-08-16 | 2005-01-13 | 한미반도체 주식회사 | 트리밍장치의 프레스금형 |
| CN105772567A (zh) * | 2016-05-19 | 2016-07-20 | 昆山电子羽电业制品有限公司 | 一种中框冲孔落料模具 |
-
1996
- 1996-12-24 JP JP34362996A patent/JP3618187B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100466221B1 (ko) * | 2002-08-16 | 2005-01-13 | 한미반도체 주식회사 | 트리밍장치의 프레스금형 |
| CN105772567A (zh) * | 2016-05-19 | 2016-07-20 | 昆山电子羽电业制品有限公司 | 一种中框冲孔落料模具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3618187B2 (ja) | 2005-02-09 |
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