JPH10330910A5 - シャドーマスクの製造方法 - Google Patents
シャドーマスクの製造方法Info
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- JPH10330910A5 JPH10330910A5 JP1997146749A JP14674997A JPH10330910A5 JP H10330910 A5 JPH10330910 A5 JP H10330910A5 JP 1997146749 A JP1997146749 A JP 1997146749A JP 14674997 A JP14674997 A JP 14674997A JP H10330910 A5 JPH10330910 A5 JP H10330910A5
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Description
本発明はかかる問題を解決し、上記のように従来のマスク法では最も苦手としていた複数のストライプ状電極のパターン加工などでも、良好な精度でパターン加工を達成することが可能なシャドーマスクの製造方法を提供することが目的である。
すなわち本発明は、シート状物質に少なくとも１つ以上の開口部が存在し、マスク部分の一方の面に前記開口部を横切るようにして補強線が接続され、前記マスク部分の他方の面と前記補強線との間に隙間が存在するシャドーマスクの製造方法であって、マスク部分と補強線とをそれぞれ別々に形成し、前記マスク部分の一方の面に前記補強線を接続することを特徴としたシャドーマスクの製造方法である。
本発明のシャドーマスクの製造方法では、マスク部分と補強線とをそれぞれ別々に形成し、マスク部分の一方の面に補強線を接続する。図１で例示したように単独の補強線が複数存在する場合は、それぞれの補強線を順次マスク部分に接続してもよいし、複数の補強線を適当な方法で仮固定してから一度に接続してもよい。図１１に示すように補強線がメッシュ構造である場合には、マスク部分と補強線とを重ね合わせて一度に接続することが好ましい。
本発明の製造方法によって得られる、マスク部分の一方の面に開口部形状の変形を防止する補強線を導入したシャドーマスクは、マスク法によって薄膜の微細なパターン加工を実現する上で有用である。特に、マスク部分の厚さに対して補強線幅が細く、また、高い平面性を保った状態で使用可能なシャドーマスクを比較的容易に製造することができるので、高い精度が要求されるパターン加工に対して効果的である。
Claims (7)
- シート状物質に少なくとも１つ以上の開口部が存在し、マスク部分の一方の面に前記開口部を横切るようにして補強線が接続され、前記マスク部分の補強線が存在していない面と前記補強線との間に隙間が存在するシャドーマスクの製造方法であって、マスク部分と補強線とをそれぞれ別々に形成し、前記マスク部分の一方の面に前記補強線を接続することを特徴としたシャドーマスクの製造方法。
- 電着現象を利用してマスク部分に補強線を接続することを特徴とする請求項１記載のシャドーマスクの製造方法。
- マスク部分を電鋳法によって形成することを特徴とする請求項１または２記載のシャドーマスクの製造方法。
- マスク部分を電鋳法によって形成し、前記マスク部分を電鋳母型から取り外す前に補強線を接続することを特徴とする請求項１または２記載のシャドーマスクの製造方法。
- 張力が加えられた状態の補強線をマスク部分に接続し、かつ、前記の、マスク部分と補強線とが接続されたものを、前記張力を保持したままの状態でフレームに固定することを特徴とする請求項１〜４いずれかに記載のシャドーマスクの製造方法。
- 張力を加えながらフレームに固定した補強線をマスク部分に接続することを特徴とする請求項１〜４いずれかに記載のシャドーマスクの製造方法。
- マスク部分に補強線を接続した後で前記補強線を細線化することを特徴とする請求項１〜６いずれかに記載のシャドーマスクの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9146749A JPH10330910A (ja) | 1997-06-04 | 1997-06-04 | シャドーマスクおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9146749A JPH10330910A (ja) | 1997-06-04 | 1997-06-04 | シャドーマスクおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10330910A JPH10330910A (ja) | 1998-12-15 |
| JPH10330910A5 true JPH10330910A5 (ja) | 2005-04-07 |
Family
ID=15414730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9146749A Pending JPH10330910A (ja) | 1997-06-04 | 1997-06-04 | シャドーマスクおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH10330910A (ja) |
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1997
- 1997-06-04 JP JP9146749A patent/JPH10330910A/ja active Pending
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