JPH10340949A

JPH10340949A - 基板用搬送カセット

Info

Publication number: JPH10340949A
Application number: JP9152169A
Authority: JP
Inventors: Masakatsu Itoigawa; 雅克糸魚川
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1997-06-10
Filing date: 1997-06-10
Publication date: 1998-12-22
Anticipated expiration: 2017-06-10
Also published as: JP3545167B2

Abstract

(57)【要約】【課題】比較的安価、簡易な構成で、向きを変えるこ
となく、基板の検査などの作業を円滑に行うことのでき
る基板用搬送カセットを提供する。【解決手段】カセットケース１Ａの他端面に形成され
た作業開口部３と、カセットケース１Ａの移動時に作業
開口部３に対す液晶基板Ｌの着脱を規制し、作業者の作
業時には作業開口部３に対する液晶基板Ｌの着脱を可能
とする基板着脱制御手段１３とを備える。基板着脱制御
手段１３は、カセットケース１Ａの移動時にハンドル１
６を起こして第一スライダ１８を天板他端部から離し、
作業者の作業時にはハンドル１６を倒して第一スライダ
１８を天板他端部に接近させる操作機構１４と、第一ス
ライダ１８の離隔時に第一スライダ１８に第二スライダ
２７を連動させて基板着脱規制バー３６Ａを作業開口部
３側方の基板着脱可能位置から作業開口部３内の基板着
脱規制領域に移動させ、第一スライダ１８の接近時には
第一スライダ１８に第二スライダ２７を連動させて基板
着脱規制バー３６Ａを基板着脱規制領域から基板着脱可
能位置に移動させる制御機構１５とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶基板などの基
板の格納、検査、破棄、搬送、又は補充などに使用され
る基板用搬送カセットに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の基板用搬送カセットは、図８や図
９に示すカセットケース１を備え、このカセットケース
１に液晶基板Ｌを格納する。カセットケース１は、その
一端面である正面（図８の斜め左側）と他端面である背
面（図９の斜め左側）とがそれぞれ開口した箱形に構成
され、背面の両側における天板４と複数の窓穴９を備え
た底板８の間には基板用の基板着脱規制バー３６がそれ
ぞれ固定して立て設けられている。

【０００３】カセットケース１の天板４には一対のハン
ドル５が支点部材６を介し回転可能にそれぞれ取り付け
られ、この一対のハンドル６が前後方向に離れて対向し
ている。さらに、カセットケース１の両側板は、各側板
に方形の窓穴１１が並べて開けられ、各側板の内壁には
基板用の搭載リブ１２が上下方向に所定のピッチで並べ
設けられるとともに、各側板の正面側内壁縁には基板用
の抜け止めリブ３８が上下方向に所定のピッチで並べ設
けられており、各抜け止めリブ３８が搭載リブ１２上か
ら液晶基板Ｌの脱落するのを有効に防止する。

【０００４】以上のように構成された基板用搬送カセッ
トは、カセットケース１に単数又は複数枚の液晶基板Ｌ
を複数の搭載リブ１２を介して収容し、この格納状態で
図示しないプロセス生産装置、検査装置、又はカセット
一時保管庫などに代表される複数の装置間を専用の搬送
車（図示せず）により、又は作業者（図示せず）により
搬送される。なお、作業者が運搬、搬送する場合、カセ
ットケース１が多少傾くことがあるが、カセットケース
１の背面側には基板着脱規制バー３６が設けられて基板
着脱規制方向とされ、カセットケース１の正面のみが実
質的に開口しているので、液晶基板Ｌの脱落や落下を有
効に防止することができる。

【０００５】ところで、プロセス生産装置などの装置
は、さまざまなタイプがあるが、搬入された基板用搬送
カセットから液晶基板Ｌを一枚ずつ取り出して所定の処
理や検査を施す枝葉処理式のタイプが多い。このような
装置のタイプや特徴などを考慮すると、基板用搬送カセ
ットの液晶基板Ｌの着脱方向を予め装置の処理側方向に
向けた方が自動化や生産性などの点で有利であり、しか
も、こうすれば、基板用搬送カセットを特定の方向に回
転、位置決めするターンテーブルなどの回転機構や専用
の装置を省略することも可能となる（なお、カセットの
回転に関する先行技術文献として実開昭６３ー１３７９
３８号公報参照）。

【０００６】そこで、従来、基板用搬送カセットは、カ
セットケース１の正面が装置処理用開口部２として装置
の処理側方向に向けられ、基板着脱規制バー３６を備え
た背面が搬送通路側に向くようセットされる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来の基板用搬送カセ
ットは、以上のように液晶基板Ｌの着脱方向が一方向で
あり、液晶基板Ｌの着脱方向が装置の処理側方向を向く
ようセットされるので、液晶基板Ｌの検査、破棄、又は
補充などの場合に問題を生じていた。この点に関して詳
説すると、例えば生産ラインの立ち上げ当初のとき、新
機種を生産ラインに投入したとき、又はこれらの装置で
処理された基板用搬送カセットを次工程に搬送するなど
の場合、液晶基板Ｌ中に欠陥や不良箇所があるか否か、
あるいは液晶基板Ｌに対する処理が適正か否かを作業者
が目視で検査、確認したいことがある。

【０００８】これらの場合、先ず、基板用搬送カセット
を装置の搬入、搬出位置で持ち上げて装置処理用開口部
２を液晶基板Ｌを取り出し可能な方向に向け、必要な液
晶基板Ｌを取り出して検査、確認し、液晶基板Ｌが良品
であれば元の位置に戻し、不良品であれば破棄する。こ
の際、良品の液晶基板Ｌの枚数が少なければ、以後の工
程の搬送効率や生産効率などを考慮して液晶基板Ｌを挿
入、補充する。こうして作業が終了したら、基板用搬送
カセットの向きを元に戻して搬送車や作業者により搬
送、運搬する。

【０００９】このように液晶基板Ｌの検査、破棄、又は
補充などの作業の場合、基板用搬送カセットの装置処理
用開口部２の方向を変えなければならないので、作業が
不便で遅延化や煩雑化を招くという問題があった。この
問題を解消するには、前記した回転機構や専用の装置を
設置すれば良いが、これらの装置は構成が複雑で高価で
あり、しかも、クリーンルームに専用スペースを設けな
ければならず、必ずしも現実的な方法であるとはいえな
い。

【００１０】本発明は、前記従来の問題点に鑑みなされ
たもので、比較的安価、簡易な構成で、向きを変えるこ
となく、基板の検査などの作業を円滑に行うことのでき
る基板用搬送カセットを提供することを目的としてい
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明にお
いては、前記課題を達成するため、一端面が開口したカ
セットケースに基板を水平状態に格納するものにおい
て、前記カセットケースの他端面に形成された作業者用
の作業開口部と、前記カセットケースの移動時に該作業
開口部に対する該基板の着脱を規制し、作業者の作業時
には前記作業開口部に対する該基板の着脱を可能とする
基板着脱制御手段とを含み、前記基板着脱制御手段は、
前記カセットケースの移動時に該カセットケースの天板
に取り付けた起伏部材を起こして当該起伏部材に連結し
た該天板上のスライダを天板他端部から一端部方向に離
隔させ、前記作業者の作業時には該起伏部材を天板他端
部側に倒して該スライダを該天板他端部に接近させる操
作機構と、前記スライダの離隔時に該スライダに該天板
他端部の複数の運動方向変換部材を連動させて各運動方
向変換部材に設けた基板着脱規制部材を該作業開口部の
側方の基板着脱可能位置から該作業開口部内の基板着脱
規制領域に移動させ、前記スライダの接近時には該スラ
イダに該運動方向変換部材を連動させて該基板着脱規制
部材を該基板着脱規制領域から該基板着脱可能位置に移
動させる制御機構とを含んでなるようにしている。

【００１２】なお、前記起伏部材を回転可能なハンドル
として当該ハンドルには該スライダを連結部材を介して
連結することが好ましい。また、前記運動方向変換部材
を一対の第二スライダとして各第二スライダを該天板他
端部の側部近傍上に後退用のばね部材を介して設置し、
かつ前記各第二スライダを該スライダに形成した傾斜面
に接触させ、前記各第二スライダに該基板着脱規制部材
の上部を支持させて当該基板着脱規制部材の残部を該天
板と該カセットケースの底板との間に位置させ、前記各
第二スライダを該スライダの離隔で該天板他端部の中央
部方向に後退させるとともに、前記各第二スライダを該
スライダの接近で該天板他端部の側部方向に進出させる
ことが好ましい。また、前記スライダと該第二スライダ
の少なくともいずれか一方にガイド孔を設け、このガイ
ド孔に前記天板に立て設けたガイド部材を嵌め入れてそ
の突出上部にはがたつき防止部材を設けることが望まし
い。また、前記スライダの傾斜面に接触する該各第二ス
ライダの接触部を回転子とすることが望ましい。また、
前記基板着脱規制部材を上下方向に伸びるバーとしてこ
のバーには基板用の抜け止め部材を並べ設けると良い。

【００１３】請求項１記載の発明によれば、基板用搬送
カセットを移動させる場合、起伏部材を起こせば良い。
すると、スライダがスライドしてカセットケースの天板
の他端部から遠ざけられ、運動方向変換部材に対する干
渉を緩和する。これにより、運動方向変換部材が動作し
て各基板着脱規制部材が作業開口部の基板着脱可能位置
から作業開口部内の中央部方向寄り、すなわち基板規制
領域に移動する。各基板着脱規制部材が移動すると、カ
セットケースの作業用開口部が閉そくされて基板の着脱
が規制される。

【００１４】これに対し、作業者が基板の検査、破棄、
又は補充などの作業を行いたい場合には、起きた状態の
起伏部材を天板の他端部側に倒せば良い。すると、スラ
イダがカセットケースの天板の他端部側に接近して運動
方向変換部材に対する干渉を強める。これにより、運動
方向変換部材が動作して各基板着脱規制部材が作業開口
部の基板規制領域から基板着脱可能位置に移動する。こ
の移動作用でカセットケースの作業開口部が開放されて
基板の着脱が可能となる。

【００１５】また、請求項２記載の発明によれば、ハン
ドルが回転すると、このハンドルの回転運動が連結部材
の伝達作用で直線運動に変換され、スライダがスライド
してカセットケースの天板の他端部から離れたり、ある
いは天板の他端部に接近する。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。本実施形態における基板用搬送カ
セットは、図１などに示すように、カセットケース１Ａ
を備え、このカセットケース１Ａの天板４Ａ及び作業開
口部３の両側部には基板着脱制御手段１３を設置してい
る。

【００１７】カセットケース１Ａは、図１や図２に示す
ように、アルミ合金や各種の合成樹脂（例えば、ポリプ
ロピレンやポリカーボネートなど）などを材料として既
存のものと基本的には寸法が同一の箱形に構成され、そ
の一端面である正面（図１の斜め右上側）と他端面であ
る背面（図１の斜め左下側）とがそれぞれ開口形成され
ており、正面が装置処理用開口部２Ａとして、背面が作
業者用の作業開口部３として利用される。カセットケー
ス１Ａの天板４Ａは、その一端部側寄りにほぼ逆Ｕ字形
のハンドル５が一対の支点部材６を介し９０度回転可能
に取り付けられ、反対の他端部の両側には後述する基板
着脱規制バー用の切り欠き７がそれぞれ方形に切り欠か
れている。

【００１８】また、カセットケース１Ａの底板８Ａは、
同図に示すように、方形を呈した作業用の複数の窓穴９
Ａがマトリックスに開けられ、その他端部の両側には上
方の切り欠き７に対向するガイドみぞ１０がそれぞれ開
けられている。各ガイドみぞ１０は、ほぼ小判形に形成
され、底板８Ａの他端部縁に平行に形成されている。ま
た、カセットケース１Ａの両側板は、各側板に作業用の
方形の窓穴１１Ａが並べて開けられるとともに、各側板
の内壁には断面ほぼ台形状の搭載リブ１２Ａが上下方向
に所定のピッチで並べ設けられ、各搭載リブ１２Ａの突
出上部に液晶基板Ｌが支持されるようになっている。

【００１９】また、基板着脱制御手段１３は、運搬用の
ハンドル１６及び一対の第一スライダ１８とからなる操
作機構１４と、一対の第二スライダ２７及び一対の基板
着脱規制バー３６Ａとからなる制御機構１５とを備えて
いる。操作機構１４のハンドル１６は、図１や図２に示
すように、ほぼ逆Ｕ字形に形成され、その両側部には連
結支点ボス１７がそれぞれ水平に挿着されており、天板
４Ａの他端部側寄りに一対の支点部材６を介して９０度
回転可能に取り付けられている。また、各第一スライダ
１８は、縦断面ほぼＬ字形に形成され、天板４Ａの他端
部寄り上にスライド可能に搭載されている。

【００２０】各第一スライダ１８のスライド部１９は、
天板４Ａの他端部側の端面が傾斜面２０に形成され、長
さの異なる一対のガイドみぞ孔２１がカセットケース１
Ａの両端部方向、換言すれば、スライド方向に向けて開
けられており、各ガイドみぞ孔２１には天板４Ａから垂
直上方に突出した制御軸受２２付きのガイドピン２３が
すきまを介して嵌められるとともに、このガイドピン２
３の上部にはがたつき防止フランジ２４が半径外方向に
水平に張り出して一体形成されている。なお、制御軸受
２２は一方のガイドピン２３にのみ嵌められている。各
第一スライダ１８の起立部には連結支点ボス貫通用の縦
みぞ孔２５が上下方向に開けられ、起立部の下部には復
帰スプリング３２用の貫通長孔２６がカセットケース１
Ａの両端部方向に向けて開けられている。

【００２１】また、制御機構１５の各第二スライダ２７
は、平面ほぼＬ字形に形成され、天板４Ａの他端部の側
部近傍上にスライド可能に搭載されている。各第二スラ
イダ２７には長さの異なる一対のガイドみぞ孔２８がカ
セットケース１Ａの両側部方向（図３の上下方向）、換
言すれば、スライド方向に向けて開けられ、各ガイドみ
ぞ孔２８には天板４Ａから垂直上方に突出した制御軸受
２９付きのガイドピン３０がすきまを介して嵌められて
おり、このガイドピン３０の上部にはがたつき防止フラ
ンジ３１が半径外方向に水平に張り出して一体形成され
ている。なお、制御軸受２９は一方のガイドピン３０に
のみ嵌められている。

【００２２】各第二スライダ２７の両端部の内側と天板
４Ａとの間には復帰スプリング３２がフックボス３３を
介してそれぞれ介在され、ハンドル１６寄りの復帰スプ
リング３２が第一スライダ１８の貫通長孔２６を貫通し
ている。これら複数のフックボス３３は、各第二スライ
ダ２７の表面と天板４Ａの表面からそれぞれ垂直上方に
突出している。各第二スライダ２７のハンドル１６寄り
の端部の内部にはローラからなる回転子３４が支持軸３
５を介して隠蔽支持され、回転子３４の露出部が第一ス
ライダ１８のスライド部１９の傾斜面２０に点接触する
よう作用する（図５参照）。

【００２３】さらに、各基板着脱規制バー３６Ａは、図
１や図２に示すように、既存のものと基本的には寸法が
同一の棒状に構成され、その縮径に構成された上部が第
二スライダ２７の天板４Ａ他端部側の角部に円筒形のか
しめ部３７を介して嵌着支持され、下部が底板８Ａのガ
イドみぞ１０にスライド可能に嵌め入れられている。各
基板着脱規制バー３６Ａの相互に対向する対向面にはブ
ロック状の抜け止めリブ３８Ａが上下方向に所定のピッ
チで並べ設けられ、各抜け止めリブ３８Ａが各搭載リブ
１２Ａの上部とほぼ同位するようになっている。各抜け
止めリブ３８Ａは、搭載リブ１２Ａ上の液晶基板Ｌの背
面側の端部に接触してその位置ずれ、脱落、又は落下な
どを有効に防止するよう作用する。

【００２４】前記構成の基板用搬送カセットは、カセッ
トケース１Ａに単数又は複数枚の液晶基板Ｌを複数の搭
載リブ１２Ａを介して水平状態に収容し、この格納状態
で図示しないプロセス生産装置、検査装置、又はカセッ
ト一時保管庫などに代表される複数の装置間を専用の搬
送車（図示せず）により、又は作業者（図示せず）によ
り搬送される。なお、各基板着脱規制バー３６Ａには液
晶基板Ｌに接触する抜け止めリブ３８Ａが所定のピッチ
で並べ設けられているので、装置の移載アームで液晶基
板Ｌを水平移動させるなどの場合、液晶基板Ｌの位置ず
れ、脱落、又は落下などを有効に防止することができ
る。

【００２５】また、液晶基板Ｌの着脱方向が装置の処理
側方向を向いた場合において、基板用搬送カセットを作
業者が運搬、搬送するとき、倒れている一対のハンドル
５、１６を運搬位置に起こして手で握れば良い。する
と、ハンドル１６の回転に伴い各第一スライダ１８がガ
イドピン２３に案内されつつそれぞれカセットケース１
Ａの正面側に直線的に後退して接触している各第二スラ
イダ２７に対する圧接、干渉を緩和する。この際、ガイ
ドみぞ孔２１とガイドピン２３の間に位置する制御軸受
２２が各第一スライダ１８のスライドをスムーズにす
る。また、がたつき防止フランジ２４は、各第一スライ
ダ１８の上下方向のがたつきを有効に制御防止し、この
防止作用により、各第一スライダ１８がスムーズにスラ
イドする。

【００２６】これにより、各第二スライダ２７が復帰ス
プリング３２のばね作用で天板４Ａの他端部の側部から
中央部方向にガイドピン３０に案内されつつ直線的に後
退し、各基板着脱規制バー３６Ａが作業開口部３の側
部、すなわち基板着脱可能位置から作業開口部３内の中
央部方向寄り、すなわち基板規制領域の基板規制位置に
ガイドみぞ１０に案内されつつスライドする。この際、
各第一スライダ１８の傾斜面２０に各第二スライダ２７
の回転子３４が転がり接触しつつ回転するので、各第二
スライダ２７は円滑にスライドする。また、ガイドみぞ
孔２８とガイドピン３０の間に位置する制御軸受２９が
各第二スライダ２７のスライドをスムーズにする。

【００２７】また、がたつき防止フランジ３１は、各第
二スライダ２７の上下方向のがたつきを有効に制御防止
し、この防止作用により、各第二スライダ２７が滑らか
にスライドする。以上のように各基板着脱規制バー３６
Ａがスライドすると、カセットケース１Ａの作業開口部
３の両側が閉そくされて液晶基板Ｌの着脱が禁止され、
作業者は、安心して基板用搬送カセットを運搬、搬送す
ることができる。

【００２８】これに対し、作業者が液晶基板Ｌの検査、
破棄、又は補充などの作業を行いたい場合には、起立し
ているハンドル１６を天板４Ａの作業開口部側に倒せば
良い。すると、ハンドル１６の回転に伴い各第一スライ
ダ１８がガイドピン２３に案内されつつそれぞれカセッ
トケース１Ａの背面側に直線的に進出して接触している
各第二スライダ２７に対する圧接、干渉を強める。な
お、この際、がたつき防止フランジ２４は前記と同様に
機能する。

【００２９】これにより、各第二スライダ２７が復帰ス
プリング３２のばね作用に抗して天板４Ａの他端部の中
央部から側部方向にガイドピン３０に案内されつつ直線
的に進出し、各基板着脱規制バー３６Ａが作業開口部３
の基板規制領域の基板規制位置及びその残部の基板着脱
軌跡から基板着脱可能位置にガイドみぞ１０に案内され
つつスライドする。このスライド作用でカセットケース
１Ａの作業開口部３から障害物がなくなり、作業者は、
安心して液晶基板Ｌの検査、破棄、又は補充などの作業
を行うことができる。なお、この際、回転子３４、制御
軸受２９、及びがたつき防止フランジ３１は前記と同様
に機能する。

【００３０】前記構成によれば、カセットケース１Ａに
対する液晶基板Ｌの着脱を二方向からできるので、例え
液晶基板Ｌの検査、破棄、又は補充などの作業の場合で
も、基板用搬送カセットの装置処理用開口部２Ａの方向
を変える必要性が全くなく、作業が容易で作業の遅延化
や煩雑化を確実に防止することができる。また、これに
より、回転機構や専用の装置を設置する必要もなく、さ
らにクリーンルームに専用スペースを設ける必要性もな
い。また、構成が比較的簡素であるから、メンテナンス
も容易で、安価が期待できる。

【００３１】なお、基板の着脱を二方向から可能とする
技術的思想については、特開平６―２７１００４号公報
に開示されているが、この技術は本願と技術的思想や構
成が著しく異なり、しかも、作業開口部３を開閉する基
板着脱制御手段１３についてはなんら記載がないととも
に、それを示唆する記載すら見当たらない。したがっ
て、本願の目的を到底達成することができず、しかも、
移動の際の位置ずれ、脱落、又は落下を本願のように有
効に防止することができないものである。

【００３２】なお、前記実施形態では、液晶基板Ｌを例
に説明したが、なんらこれに限定されるものではなく、
各種の基板や半導体ウェーハなどを格納する場合にも用
いることができる。また、既存のカセットケース１や基
板着脱規制バー３６を流用して構成することも可能であ
る。また、同様の作用効果が期待できるのであれば、ハ
ンドル５、１６や連結支点ボス１７の位置、構成、又は
機構などを必要に応じ適宜変更することができる。ま
た、同様の作用が期待できるのであれば、復帰スプリン
グ３２としてコイルばね以外のばねを使用したり、ばね
の本数を適宜増減することも可能である。

【００３３】また、同様の作用効果が期待できるのであ
れば、各基板着脱規制バー３６Ａを板形や扉形などに適
宜変更構成しても良い。さらに、第一スライダ１８の進
出で各第二スライダ２７が回転し、各基板着脱規制バー
３６Ａが作業開口部３の基板規制領域の基板規制位置か
ら基板着脱可能位置に弧を描きつつ揺動する構成などで
も良いのはいうまでもない。

【００３４】

【発明の効果】以上のように請求項１記載の発明によれ
ば、比較的安価、簡易な構成で、カセットケースの向き
を変えることなく、基板の検査などの作業を円滑に行う
ことができるという効果がある。また、請求項２記載の
発明によれば、ハンドルが起伏部材を兼ねるので、部品
点数の削減や構成の簡易化が期待できる。また、請求項
３記載の発明によれば、比較的簡単なリンク機構、スラ
イド機構を採用してカセットケースの向きを変えること
なく、基板の検査などの作業を容易に行うことができ
る。

【００３５】また、請求項４記載の発明によれば、スラ
イダが鉛直方向や水平方向にふらつくことなく所定の方
向にスムーズに運動する。また、請求項５記載の発明に
よれば、スライダと第二スライダがかみあったり、接触
に伴い故障したりすることがなく、第二スライダが滑ら
かしゅう動する。さらに、請求項６記載の発明によれ
ば、作業開口部や基板に対する基板着脱規制部材の可動
量や作用範囲を小さくすることができ、しかも、基板着
脱規制部材の構成の簡素化が期待できる。さらにまた、
カセットケース内の基板の位置ずれや脱落などを有効に
防ぐことができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板用搬送カセットの実施の形態
を示す説明図で、各基板着脱規制バーが作業開口部の基
板規制領域に位置する状態を示す斜視図である。

【図２】本発明に係る基板用搬送カセットの実施の形態
を示す説明図で、各基板着脱規制バーが作業開口部の基
板着脱可能位置に位置する状態を示す斜視図である。

【図３】本発明に係る基板用搬送カセットの実施の形態
を示す要部拡大説明図である。

【図４】図３のＡ―Ａ線断面図である。

【図５】図３のＢ―Ｂ線断面図である。

【図６】図３のＣ―Ｃ線断面図である。

【図７】図１のＰ方向からみた説明図である。

【図８】従来の基板用搬送カセットを基板着脱方向から
みた状態を示す斜視図である。

【図９】従来の基板用搬送カセットを基板着脱規制方向
からみた状態を示す斜視図である。

【符号の説明】

１Ａカセットケース２Ａ装置処理用開口部３作業開口部４天板８Ａ底板１３基板着脱制御手段１４操作機構１５制御機構１６ハンドル（起伏部材）１８第一スライダ（スライダ）２０傾斜面２１ガイドみぞ孔（ガイド孔）２３ガイドピン（ガイド部材）２４がたつき防止フランジ（がたつき防止部材）２７第二スライダ（運動方向変換部材）２８ガイドみぞ孔（ガイド孔）３０ガイドピン（ガイド部材）３１がたつき防止フランジ（がたつき防止部材）３２復帰スプリング（ばね部材）３４回転子３６Ａ基板着脱規制バーＬ液晶基板（基板）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一端面が開口したカセットケースに基板
を水平状態に格納する基板用搬送カセットにおいて、前記カセットケースの他端面に形成された作業者用の作
業開口部と、前記カセットケースの移動時に該作業開口
部に対する該基板の着脱を規制し、作業者の作業時には
前記作業開口部に対する該基板の着脱を可能とする基板
着脱制御手段とを含み、前記基板着脱制御手段は、前記カセットケースの移動時
に該カセットケースの天板に取り付けた起伏部材を起こ
して当該起伏部材に連結した該天板上のスライダを天板
他端部から一端部方向に離隔させ、前記作業者の作業時
には該起伏部材を天板他端部側に倒して該スライダを該
天板他端部に接近させる操作機構と、前記スライダの離
隔時に該スライダに該天板他端部の複数の運動方向変換
部材を連動させて各運動方向変換部材に設けた基板着脱
規制部材を該作業開口部の側方の基板着脱可能位置から
該作業開口部内の基板着脱規制領域に移動させ、前記ス
ライダの接近時には該スライダに該運動方向変換部材を
連動させて該基板着脱規制部材を該基板着脱規制領域か
ら該基板着脱可能位置に移動させる制御機構とを含んで
なることを特徴とする基板用搬送カセット。
【請求項２】前記起伏部材を回転可能なハンドルとし
て当該ハンドルには該スライダを連結部材を介して連結
した請求項１記載の基板用搬送カセット。
【請求項３】前記運動方向変換部材を一対の第二スラ
イダとして各第二スライダを該天板他端部の側部近傍上
に後退用のばね部材を介して設置し、かつ前記各第二ス
ライダを該スライダに形成した傾斜面に接触させ、前記
各第二スライダに該基板着脱規制部材の上部を支持させ
て当該基板着脱規制部材の残部を該天板と該カセットケ
ースの底板との間に位置させ、前記各第二スライダを該
スライダの離隔で該天板他端部の中央部方向に後退させ
るとともに、前記各第二スライダを該スライダの接近で
該天板他端部の側部方向に進出させる請求項１又は２記
載の基板用搬送カセット。
【請求項４】前記スライダと該第二スライダの少なく
ともいずれか一方にガイド孔を設け、このガイド孔に前
記天板に立て設けたガイド部材を嵌め入れてその突出上
部にはがたつき防止部材を設けた請求項３記載の基板用
搬送カセット。
【請求項５】前記スライダの傾斜面に接触する該各第
二スライダの接触部を回転子とした請求項３又は４記載
の基板用搬送カセット。
【請求項６】前記基板着脱規制部材を上下方向に伸び
るバーとしてこのバーには基板用の抜け止め部材を並べ
設けた請求項３ないし５記載の基板用搬送カセット。