JPH104131A - ロボット組立体及び半導体ウエハ処理搬送装置 - Google Patents

ロボット組立体及び半導体ウエハ処理搬送装置

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JPH104131A
JPH104131A JP9046415A JP4641597A JPH104131A JP H104131 A JPH104131 A JP H104131A JP 9046415 A JP9046415 A JP 9046415A JP 4641597 A JP4641597 A JP 4641597A JP H104131 A JPH104131 A JP H104131A
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arm
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wafer
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JP9046415A
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William Mcclintock
マックリントック ウィリアム
Grunes Howard
グルーンズ ハワード
B Lowrance Robert
ビー． ローランス ロバート
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Intermediate Stations On Conveyors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来技術による対向デュアルブレードのロボ
ットに比べて、スループットが向上し、ロボット組立体
のウエハハンドリング能力が増加する。 【解決手段】 本発明は、共軸の上ロボット組立体と下
ロボット組立体を少なくとも有するマルチロボット組立
体を提供する。上ロボットは下ロボットの上に積み重ね
られてもよく、また、これら２つのロボットが同心の関
係で載置されウエハの移送を迅速に行うことができても
よい。これらロボットのそれぞれは、ブレード１つのロ
ボット（シングルブレードロボット）であってもよく、
又はブレード２つのロボット（デュアルブレードロボッ
ト）であってもよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、物体搬送用装置に
関し、特に多数の物体例えば多数の半導体ウエハを同時
且つ別個独立に操作するための多数の独立的なロボット
組立体に関する。
【０００２】
【従来の技術】ロボットアームは、人の手によるハンド
リングでは不足あるいは望ましくないような用途に対す
る有用な手段として既に確立されている。例えば、半導
体分野では、ロボットアームを様々なプロセスステップ
でウエハのハンドリングのために用いている。ここで、
上記のプロセスステップには、エッチング、堆積、パッ
シベーション等の反応チャンバ内で行われるものが含ま
れ、この場合では、シール環境を維持することにより、
汚染の可能性を制限し様々な処理条件が確実に与えられ
るようにしている。
【０００３】現在行われている方法には、マルチプロセ
スチャンバシステムにおいて、ロボットアームを用いて
半導体ウエハを搬送ポートからいろいろな処理ポートへ
と搬送する操作が含まれている。そして、係るプロセス
チャンバ内での処理の後ロボットアームを用いてそのポ
ートからウエハを回収する。次いで、更に処理を行うた
め、ロボットアームによってウエハを次のポートに移送
する。システム内でウエハの全ての処理が完了した後、
ロボットアームはウエハを搬送ポートに戻し、次のウエ
ハが処理のためロボットアームによってシステムに配送
される。代表的には、各プロセスの操作中は半導体ウエ
ハ数枚のスタック（積み重ね）をこの手法で取り扱い、
これら数枚のウエハがシステム内を同時に通過する。
【０００４】マルチチャンバプロセスシステムでは、一
度に２枚以上の半導体ウエハを扱うことが好ましい。こ
のやり方では、プロセスシステムを用いて最大のスルー
プットを得る。プロセスチャンバ内でウエハを替える代
表的なウエハハンドリングのシーケンスでは、ウエハを
プロセスチャンバから取り除き、所定の場所にウエハを
保管し、保管場所から新しいウエハを取り出し、次いで
プロセスチャンバにその新たなウエハを配置する。これ
によってシステムの使用が改善されスループットを向上
させるものの、ロボットアーム自身は単純にウエハを交
換するだけの運動を著しく繰り返すことになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ロボットのハンドリン
グの効率を高めるためには、２枚のウエハを同時に扱う
ことができるロボットアームを用いてもよい。このよう
に、装置製造者によっては、２つのキャリアアームを支
持部の相対する両端に配置しこの支持部がピボットの周
りを回転するロボットを提供している。このやり方で
は、一方のアームにウエハ１枚を保持しつつ、他方のア
ームを用いてもう一方のウエハを回収し配置させる。そ
して、アームを回転させ、保持していたウエハを所望の
ように配置させる。このようなメカニズムでは２つのア
ームを同時に同じプロセスチャンバ内に存在させること
ができず、あるいは、処理済みのウエハを取り除いた後
直ちに新しいウエハを入れ替えることができない。何故
なら、第２のアーム上のウエハを第１のウエハが取り出
された場所に搬送するための位置に配置させるために
は、支持部を１８０゜回転させなければならないからで
ある。同様に、ウエハを処理の位置や保持の位置から配
置させ又は取り出すため２つのアームを同時に使用する
ことは、この構成では不可能である。
【０００６】別のロボットの構成では、２つの対向する
アームを有する中央ハブを有するものがあり、これは、
アームそれぞれがハブに対して回転するように配置され
る一方、相互に正確に固定されている。アームの自由端
にはブレードが接続され、アームを互いに対向するよう
に方向に回転させるためのドライブが与えられ、ブレー
ドを中央ハブから半径方向に伸ばし、また、同じ方向で
ブレードを中央ハブの周りに円形運動させる。好ましく
は、第２番目のアームの対が第１番目の対から対向する
ように伸び、その端には第２のブレードが接続されてい
る。これらアームが１つの方向に対向して回転すること
により、第１のアームが引き込められ第２のアームが伸
びる。これらアームが同じ方向に同時に運動することに
より、ブレードをハブの周りを円状ないし軌道状の経路
でスイングさせる。ブレードを２つ用いることで、スル
ープットが向上する。しかし、この装置でも、新しいウ
エハのプロセスチャンバへの挿入を、同じチャンバから
処理済みウエハを取り出すと同時に行うことができず、
あるいは、これらブレードを独立して用いて、１つ以上
のチャンバに対し、ウエハをチャンバ内へ搬入しウエハ
をチャンバから搬出しウエハをチャンバ間で移動しつつ
第２のウエハを搬入搬出することもできない。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、共軸の上ロボ
ット組立体と下ロボット組立体を少なくとも有するマル
チロボット組立体である。上ロボットが下ロボットと独
立して動作することにより、従来技術による対向デュア
ルブレードのロボットに比べて、スループットが向上
し、ロボット組立体のウエハハンドリング能力が増加す
る。上ロボットは下ロボットの上に積み重ねられてもよ
く、また、これら２つのロボットが同心の関係で載置さ
れウエハの移送を迅速に行うことができてもよい。これ
らロボットのそれぞれは、ブレード１つのロボット（シ
ングルブレードロボット）であってもよく、又はブレー
ド２つのロボット（デュアルブレードロボット）であっ
てもよい。
【０００８】本発明の１つの特徴によれば、上ロボット
と下ロボットのそれぞれはデュアルブレードロボットで
あり、移送チャンバ内に配置された１対の伸張可能なア
ーム組立体を有している。この伸張アーム組立体の対の
それぞれは、半導体ウエハ等の物体のハンドリングを行
うためのキャリアブレードを対応して１対有している。
上ロボットは、伸張アーム組立体の係る対を回転させる
ための、あるいはアーム組立体の一方を隣のチャンバま
で伸張させるための、駆動機構を具備していてもよい。
下ロボットも、上ロボット駆動機構と共軸な駆動機構を
有していてもよい。また、下ロボット駆動機構も、伸張
アーム組立体の係る対を回転させる機能、又は、アーム
組立体の一方を隣のチャンバまで伸張させる機能を有し
ていてもよい。
【０００９】本発明の別の特徴に従えば、上ロボット組
立体と下ロボット組立体のそれぞれがシングルブレード
のロボットであり、これらは移送チャンバ内に配置され
た伸張アーム組立体を有している。伸張アーム組立体は
それぞれ、半導体ウエハ等様々な物体をハンドリングす
るためのキャリアブレードを有している。上ロボット組
立体と下ロボット組立体には、伸張アームを回転させる
ため、あるいは自身のアーム組立体を隣接するチャンバ
内に伸張させるため、駆動機構が具備されてもよい。
【００１０】本発明の更なる特徴においては、中央移送
チャンバが多数の物体載置のポジションを有し、この載
置のポジションのそれぞれは、少なくとも２つのロボッ
ト組立体によって、独立に、所望の場合は且つ同時に、
アクセスされてもよい。
【００１１】本発明のまた更なる特徴は、チャンバ内で
複数の目的物を保持するための装置であり、ここにいう
チャンバとは例えば予備処理チャンバ、処理チャンバや
後処理チャンバなどをいい、中央に配置され垂直に可動
であるペデスタルを有している。この装置は、ペデスタ
ルを包囲する複数の垂直可動リフトピンを有するウエハ
のリフト及び保持の装置としてはたらく。これらリフト
ピンは、複数のスタックされた（積み重ねられた）ウエ
ハを受容し且つ保持するように構成されており、この複
数とは好ましくは２枚である。これら複数のピンのそれ
ぞれ１つは、上端に近接する下側ウエハ支持面としては
たらく下リフトピンセグメントと、この下リフトピンセ
グメントにヒンジ的に接続し上端に近接する上側ウエハ
支持面としてはたらく上リフトピンセグメントとを備え
ていることが好ましい。下リフトピンセグメントが露出
するポジションと下リフトピンセグメントが上リフトピ
ンセグメントによって覆われるポジションとの間に、上
リフトピンを運動させるための手段が、具備されてもよ
い。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明は、ここにおける詳細な説
明を添付の図面とともに参照することにより、最も良く
理解され得るものである。本発明は、マルチロボット組
立体であって、多数の物体を同時にハンドリングするこ
とが可能な、共軸の独立な上ロボット組立体と下ロボッ
ト組立体を少なくとも有している。好ましい具体例で
は、上ロボットが下ロボットの上にスタックされこれら
２つのロボットが駆動ハブに同心に装着されることによ
り、ウエハ２枚を移送チャンバと１つ以上のプロセスチ
ャンバの間で同時に移送させることが可能となる。これ
は、ロボット組立体のハブへの接続部に回転運動を与え
るための同心状の駆動機構が具備されてもよく、この回
転運動は、ロボット組立体をハブの周りに軌道経路で運
動させ即ち掃引運動させるため、あるいは、ロボット組
立体の伸張アーム組立体を伸張させるためのものであ
る。ロボットのそれぞれは、シングルブレードロボット
であってもよく、又はデュアルブレードロボットであっ
てもよい。本発明は、半導体ウエハ処理システムにおい
ての使用が好ましい。
【００１３】本発明は、半導体ウエハ等の物体複数を同
時にハンドリングすることを可能にし、プロセスチャン
バのポジションに対して伸張又は引込の何れかを行うこ
とができ、あるいは、ハブの周りに回転させてプロセス
チャンバ内のウエハ交換を迅速に行うことができるよう
なる。例えば、処理モジュールでの処理が完了したばか
りのウエハをモジュールから取り出しつつ新しいウエハ
を同時に同じ処理モジュールに挿入する操作を可能に
し、このとき新しいウエハを挿入するために反対側のロ
ボットアームを適所に配置させるためロボットアームを
スイングさせる必要がない。あるいは、同一線上に対向
していない２つのチャンバにアクセスする場合でも、一
方のロボットアームにより一方の処理モジュールに対し
てウエハの挿入又は取り出しを行いつつ、他方のロボッ
トにより独立に他方の処理モジュールに対してウエハの
挿入又は取り出しを行うことが可能となる（図７）。同
様に、ウエハを処理モジュールから取り除き新たなウエ
ハをそこに挿入する際に、ロボット組立体を１８０゜回
転させ新しいウエハをモジュールに挿入する必要がなく
なる。また、スタックされたロボット組立体同士の間に
適切なクリアランスが維持されている場合は、デュアル
ロボット組立体を用いて、同じチャンバに対しウエハ１
対を同時に挿入又は取り出すことが可能となる。これら
の独自な特徴により、従来技術のロボット組立体と比べ
てウエハ処理中のウエハスループットを向上させること
が可能となり、それは、処理モジュールの中で処理済み
のウエハを新しいウエハに交換する際ブレードの一方に
「デッドタイム」が存在しなくなるからであり、そうで
なければ、デュアルの（２つの）対向するブレードを用
いる場合に、又は、取り出されたウエハを載置の場所に
配置し新しいウエハをロボット上に配置されその後プロ
セスチャンバに移送する必要がある場合に、ロボットを
１８０゜回転させる必要があるからである。
【００１４】図１には、デュアルロボット組立体１０の
１つの具体例が半導体ウエハ処理システムとして示さ
れ、ここでは、それぞれのロボットの一方のアームが隣
接するチャンバ１８ａの中まで伸び、他方それぞれのロ
ボットの対向するアームが別のチャンバ１８ａから移送
チャンバ１２の中に完全に引き込まれている様子が示さ
れている。この図では、図３、６及び９と同様に、内部
にロボットアーム駆動部品が配置されている組立体のサ
イズを誇張して描き、詳細部を拡大している。この代表
的な処理システムは、移送チャンバ１２を有しており、
この中にロボット組立体１０が載置され、これは少なく
とも２つの別のチャンバ１８ａ及び１８ｂに接続されて
いる。チャンバ１８ａ、１８ｂは、プロセスチャンバ、
ウエハ保持チャンバあるいはロードロックチャンバ等で
あってもよく、ウエハを処理しその後取り出すため内部
にウエハが配置される。デュアルロボット組立体１０は
ウエハ処理システムの移送チャンバ１２の中に中央に配
置され、上ロボット１４が移送チャンバ１２の上側上部
構造（あるいは壁）１２ａに接続されることが好まし
く、また、下ロボット１６は移送チャンバ１２の底壁１
２ｂに接続されることが好ましい。上ロボット１４及び
下ロボット１６は、半導体ウエハＷ（図２に最も良く示
される）が、移送チャンバ１２とプロセスないし反応チ
ャンバ１８ａ、１８ｂの間の間のアパーチャーを介し
て、プロセスチャンバ１８ａ、１８ｂへ移送され又はプ
ロセスチャンバ１８ａと１８ｂの間を移動することがで
きるように、移送チャンバ１２の中に配置される。好ま
しくは、この移送チャンバとプロセスチャンバの間のア
パーチャーには、バルブ２０ａ、２０ｂ等のバルブが与
えられ、処理環境ないし調整環境をプロセスチャンバ１
８ａ、１８ｂ内に維持する際に移送チャンバの環境を損
なわないようにする。しかし、本発明は、アパーチャー
にバルブがない場合と等しい有用性を有している。バル
ブ２０ａ、２０ｂは、使用される態様では、図１に示さ
れるようにＶａｔバルブ（商品名：Vat Valve）又はｖ
ａｔタイプのバルブであってもよく、あるいは、ポケッ
トバルブ、ゲートタイプバルブ、フラップタイプバル
ブ、スリットバルブであってもよく、これらは米国特許
第５，２２６，６３２号にも図示及び記載される通りで
あり、あるいは、隣接し合うチャンバを隔てその間の通
路又はポートを制御するための従来技術で知られるバル
ブを用いてもよい。図１に示される本発明の代表的な具
体例では、マルチチャンバウエハ処理システムの中央移
送チャンバの中の中央に配置されるデュアルロボット組
立体を示しているが、このシステムは２つの図示される
プロセス（反応）チャンバを有していることに注目すべ
きである（他はロボットによって隠れているか、あるい
は部分的に断面図のために取り去られている）。本発明
は、様々な用途に用いることができ、特に、多数のプロ
セスを有する用途や、移送チャンバへ通じるウエハハン
ドリングチャンバに適用できる。更に、数個の移送チャ
ンバが一団となってもよいと具体的に考えられ、これら
の間にロードロック通路があってもなくてもよく、ま
た、本発明のロボットは移送チャンバの一部又は全てに
配置されてもよい。このように、この代表的な具体例は
本発明の範囲を制限するものではない。本発明は、あら
ゆるウエハハンドリングの用途に直ちに適用でき、その
用途のプロセスシステムはプロセスチャンバを幾つ有し
ていてもよく、また、デュアルロボット組立体の配向の
あらゆる種類を有していてもよい。
【００１５】図１に示されるように、上ロボット１４の
具体的な構成では、第１の駆動アーム２１と第２の駆動
アーム２２を含み、これらは、それぞれのアームの一方
の端部が中央ハブ２３に独立してつながるように構成さ
れる。アーム２１及び２２のそれぞれのハブ２３につな
がる端部は、ハブ２３の周りを時計方向又は反時計方向
に、他のアームとは独立に移動できてもよく、アーム２
１及び２２を同じ方向に移動させることもでき、あるい
は反対の方向に移動させることもできる。この場合移動
はあらゆるタイプの駆動機構によって行うことができ、
例えば１つ以上の電気モーター、磁気モーター又は電磁
モーター等である。駆動機構は、駆動アーム２１及び駆
動アーム２２を反対の方向又は同じ方向に移動させるよ
うに構成されることが好ましい。アーム２１、２２をハ
ブ軸Ａの周りに同じ方向に移動させることにより、ロボ
ットがハブの周りを円形又は軌道の経路に移動する。ア
ームのハブ端部をハブ軸Ａの周りに反対の方向に移動さ
せることにより、ロボットの引込がなされる。アーム２
１が時計方向に移動し（カバー１２ａの斜め上方）アー
ム２３が反時計方向に移動する場合は、アーム２１、２
２に取り付けられたロボットブレードがハブから伸張す
る。回転を反転させたとき、ブレードがハブの方へ引き
込められる。
【００１６】図１には、好ましいロボット駆動システム
の拡大図が示される。この駆動システムは、ここに記載
されるロボットの具体例のそれぞれに対して好ましい駆
動システムである。図示の具体例では、上ロボット組立
体と下ロボット組立体のそれぞれは、別々の磁気カップ
リング組立体１０００、１００２によって駆動される
（図１参照）。磁気カップリング組立体１０００、１０
０２のそれぞれの構成の詳細は、ここに述べる事項以外
は同じである。従って、上磁気カップリング組立体１０
００の構成のみを説明する。
【００１７】磁気カップリング組立体１０００は、アー
ム２１、２２を軸Ａの周りに弓状の運動を与えるように
構成されており、そのため、２つのロボットブレード３
３、４０のハブからの伸張引込を可能にし、また、ハブ
の周囲に軌道経路によるブレードの通路を与えるように
構成される。更に、磁気カップリング組立体１０００
は、この運動において真空中で接触運動する部分を最小
にすることにより、真空中で粒子の発生を最小にする。
この具体例では、移送チャンバの頂部に配置されるハウ
ジング１００８の中に第１のシンクロモーター１００４
と第２のシンクロモーター１００６を配置し、ハウジン
グ１００８の円筒状の薄壁部１０１４の中且つこれに隣
接して配置される磁気リング組立体１０１０、１０１２
に、モーター１００４、１００６の出力を結合させるこ
とにより、このロボットの特徴が与えられる。薄壁部１
０１４は、移送チャンバ１０の上壁又はカバー１２にシ
ール接続により接続され、移送チャンバ１０の内部をチ
ャンバの外側の環境からシールする。駆動磁気リング１
０１６、１０１８は、ハウジング１００８の真空側に配
置され、ハウジング１００８の薄壁部１０１４に隣接し
これを包囲する。第１の磁気リング１０１０は、第１の
駆動磁気リング組立体１０１６に磁気的に結合し、第２
の磁気リングは第２の駆動磁気リング組立体１０１８に
結合する。アーム１０。２１は駆動磁気リング１０１
６、１０１８の受容される一方に結合する。このよう
に、モーター１００２、１００４の回転運動は、雰囲気
からハウジング１００８の真空側へと磁気的に転送さ
れ、アーム２０、２１の弓状の運動を発生して、ロボッ
トブレード３３、４０の運動を実効させる（図１）。
【００１８】好ましいモーター１００４、１００６の構
成では、同調装置付きサーボモーターであってステータ
ーがローターに結合し、ローターの弓状のポジションが
近接に制御されてもよい。図１に示されるように、モー
ター１００４、１００６のそれぞれが、支持体１００９
のところでハウジング１００８に取り付けられ、そのロ
ーターが第１の磁気リング組立体１０１０と第２の磁気
リング組立体１０１２に直接結合するようになってい
る。モーター１００４の出力は磁気リング組立体１０１
０に直接結合し、シャフト１０３０をモーター１００６
のローターからモーター１００４、１００６の中心を通
って伸ばし第２の磁気リング組立体１０１２に接続させ
ることにより、モーター１００６が磁気リング組立体１
０１２に結合する。シャフト１０３０は好ましくは旋回
可能でありベアリング１０３２に支持され、各モーター
１００４、１００６のそれぞれのステーターとローター
のセットの間にある内部ベアリング（図示せず）によ
り、シャフト１０３０の中心合せが確保される。
【００１９】モーターが回転することにより、駆動磁気
リング組立体１０１６、１０１８に磁気により結合して
いる磁気リング組立体１０１０、１０１２に回転が与え
られ、薄壁部１０１４の周縁の周りのそれぞれのアーム
のベースを回転し、ブレードの運動に影響を与える。
【００２０】バルブの中と外でロボットブレードを動作
させるためには、ロボットブレードのポジションに対す
る縦の許容範囲（ウエハの移送が水平的である場合）が
厳密である必要があり、これは、ブレード又はこれに取
り付けられたウエハがバルブを通過するときにチャンバ
の構造体に接触することがないことを確保するためであ
る。この縦のポジショニングを与えるため、支持体１０
０９はモーター１００４、１００６の間からカバー１２
ａに接続するフランジ１０１１まで伸張する。支持体１
００９と、フランジ１０１１と、距離を支持するための
フランジのサイズは、ロボット組立体、移送チャンバ１
２及びバルブ２０、２０ａのサイズと許容範囲に応じて
与えられ、ブレード３３、６４とその上のウエハＷがチ
ャンバやバルブの構造体に接触しないようにすることが
確保される。駆動磁気リング組立体１０１６、１０１８
を懸下しハブ１００８に対しての回転を可能にするため
に、第１の駆動磁気リング組立体１０１８は、第１のベ
アリング１０４２のレースの上に受容されこれに懸下す
る環状のアーム支持体１０４０を有している。第１のベ
アリング１０４２は、内側レースの上で薄壁部１０１４
にクランプ止めされる。第２のベアリング１０４４の外
側レースはリング１０４０にクランプ止めされ、第２の
磁気リング組立体１０１６のレッジ部１０４６が第２の
ベアリングのレースにクーラントランプ止めされて、第
２の駆動磁気リング組立体１０１８をハウジング１００
８に固定する。
【００２１】それぞれのベアリングは「クロス」タイプ
のベアリングであり、これは半径方向、長さ方向、そし
て本ケースでは高さ方向の支持を与えて、駆動磁気リン
グ組立体１０１６、１０１８の調心及び位置決めを確保
する。
【００２２】磁気リング組立体１０１０、１０１２のそ
れぞれをそれぞれ対応する駆動磁気リング組立体０１
６、１０１８に結合するため、磁気リング組立体１０１
０、１０１２及び駆動磁気リング組立体１０１６、１０
１８のそれぞれは、同じ数の複数の磁石を有しているこ
とが好ましく、磁気リング組立体１０１０、１０１２の
磁石それぞれは駆動磁気リング組立体１０１６、１０１
８の１つに結合している。結合効率を上げるため、磁石
の極が、結合されるべき隣接する磁石の方へそこから伸
びる磁極片に垂直に調心されるように、磁石を配置す
る。結合される磁石は、薄壁部の両側に配置される磁極
片のそれぞれの対のところでＮ極からＳ極への結合が生
じるように、磁気的にフリップする。
【００２３】下ロボット組立体１６は、ハウジング１０
０８’が移送チャンバ１２から懸下し駆動磁気リング組
立体１０１６’、１０１８’が移送チャンバ１０のベー
ス状に載置されているベアリングに支持されている点を
除いて、上ロボット組立体と同一である。
【００２４】図２及び４に最も良く示されているよう
に、１対の伸張アーム組立体が駆動アーム２１、２２の
端部に接続され、１対の複合体の関節機構ないし連接機
構を形成し、これは機械の分野ではフロッグレッグ機構
(frog leg mechanism)と称されることもある。第１の伸
張アーム組立体は１対のストラットアーム２９、３０を
有し、これはそれぞれの旋回点３１、３２で駆動アーム
２１、２２の端部にそれぞれ旋回可能に結合している。
ストラットアーム２９、３０は、ピボット３４、３５に
より、物体支持体を成すウエハキャリアないしロボット
ブレード３３に結合する。第２の伸張アーム組立体も同
様に、それぞれのピボット点３８、３９で、駆動アーム
２１、２２に旋回可能に結合する１対のストラットアー
ム３６、３７を有している。ストラットアーム３６、３
７はピボット４１、４２により、第２のウエハキャリア
ないしロボットブレード４０に結合する。ストラットア
ーム２９、３０、３６、３７は、図４に示されるような
メッシュギア４９をキャリア４０（又は３３）内の端部
に有して、ロボットの動作中にストラットアームが旋回
するときハブ２３に対してキャリアが半径方向の堅く調
心されている状態を維持してもよい。第１のウエハキャ
リア３３と第２のウエハキャリア４０とは、ハブの軸の
周りに互いに１８０゜離れるように維持される。図１で
は、ウエハキャリア３３は反応チャンバ１８ａに対して
ウエハを出し入れするための十分に伸張したポジション
を示している。
【００２５】上ロボットと同様に、下ロボットは第１の
駆動アーム５１と第２の駆動アーム５２とを有し、これ
らは、それぞれのアームの一方の端部が中央ハブ５３に
結合するように配置されている。下ロボットの部品が運
動する方法は、上ロボットに関連して上述したと同じで
ある。同様に、下ロボットの駆動機構は上ロボット機構
のそれと同じである。
【００２６】また、上ロボットと同様に、下ロボット１
６においても、１対の伸張アーム組立体が駆動アーム５
１、５２の端部に接続して、１対のフロッグレッグ機構
を形成する。第１の伸張アーム組立体は１対のストラッ
トアーム５９、６０を有し、これはそれぞれの旋回点６
１、６２で駆動アーム５１、５２の端部にそれぞれ旋回
可能に結合している。ストラットアーム５９、６０はピ
ボット６４、６５により第１のウエハキャリア６３に結
合する。第２の伸張アーム組立体も同様に、１対のスト
ラットアーム６６、６７を有し、これはそれぞれの旋回
点６８、６９で駆動アーム５１、５２の端部にそれぞれ
旋回可能に結合している。ストラットアーム６６、６７
はピボット７１、７２により第２のウエハキャリア７０
に結合する。ストラットアーム５９、６０、６６、６７
のそれぞれは、図４に示されるようなメッシュギア４９
をキャリア４０（又は３３）内の端部に有して、ロボッ
トの動作中にストラットアームが旋回するときハブ５３
に対してキャリアが半径方向の堅く調心されている状態
を維持してもよい。第１のウエハキャリア６３と第２の
ウエハキャリア７０とは、ハブの軸の周りに互いに１８
０゜離れるように維持される。図１では、ウエハキャリ
ア６３は反応チャンバ１８ａに対してウエハを出し入れ
するための十分に伸張したポジションを示し、ブレード
７０はチャンバ１８ｂから十分に引き込められた状態で
あり、これはダブルフロッグレッグの構成をそれぞれの
ロボット組立体に用いる場合に必要となる。図２では、
ウエハキャリア６３、７０が隣接するプロセスチャンバ
から引き込められている様子が示されている。
【００２７】図２及び３には、図２のデュアルロボット
組立体の詳細側部断面図が示され、ここでは４つのウエ
ハキャリア全てが引込のポジションにあり移送チャンバ
１２の中にある。図２及び３の理解を容易にするため、
図４にはデュアルロボット組立体１０の単純化した平面
図が示される。図３に示されるように、上ロボットアー
ム組立体と下ロボットアーム組立体がスリットバルブ２
０ａアパーチャーに対して配置され、上ロボット組立体
と下ロボット組立体からのロボットブレード３３又は６
３（又は４０又は７０）がスリットバルブ２０ａの中を
通過する際、ロボットアームの高さをアパーチャーに対
して変える必要なくできる。このように、上ロボットキ
ャリアと下ロボットキャリア３３及び／又は３８（又は
４０及び／又は７０）の一方又は両方がアパーチャーの
中を通過してプロセスチャンバ１８へのウエハの搬入出
を行う際に、ロボットアームを大きな弧でスイングして
２つのキャリアの２番目をスリットバルブチャンバアク
セスポジションの中に配置させる必要がなくできる。本
発明の別の特徴は、上ロボット組立体１４が下ロボット
組立体１６と完全に独立に操作することが可能であるた
め、ロボット組立体がウエハを別々のチャンバ間や同じ
チャンバ内で移送する際、移送チャンバ内の別のロボッ
トの存在により妨害されることがない。１つのロボット
でプロセスチャンバからウエハを取り出しつつ同時に新
しいウエハを同じチャンバに挿入することにより、ある
いは別々のチャンバに同時に搬入出を行い、又はウエハ
をチャンバに又はチャンバから同時に移送しつつ第２の
ウエハをハブの周りでチャンバの間の経路で移動させる
ことにより、高速のウエハの移送が行えるようになる。
更に、ロボットのそれぞれが他方の後を全体的に回転し
て、下チャンバ６３、７０に対して上キャリア３３、４
０の組合わせ又は移動を可能にしてもよい。
【００２８】図１〜４では、上ロボット組立体１４と下
ロボット組立体１６がデュアルブレードロボットとして
示され、即ち２つのフロッグレッグ機構がそれぞれ別々
のウエハキャリアに接続していることを示したが、上ロ
ボットと下ロボットとこれらの両方の何れかがシングル
ブレードロボットであってもよいことに注意すべきであ
る。図５〜１０に示されるように、デュアルロボット組
立体が与えられ上ロボットと下ロボットがシングルブレ
ードロボットである。
【００２９】本発明の別の具体例が図５〜７に示され
る。この具体例では、デュアルロボット組立体１１０
は、図１〜４に関して説明したように、反応システムの
移送チャンバ１１２の中で中央に配置されるが、中央コ
ラム１２０が移送チャンバ２０のベースとカバーの間に
ギャップを与えている。このコラム１２０により、チャ
ンバカバーとベースの間の間隔が一定に維持されること
が確保される。このコラムは、環状のクリアランスリセ
ス１２１を有しており、このリセスは２つのロボットア
ーム１４、１６の様々なアームとキャリアの操作のため
の空間を与える。好ましくは、図１の具体例の薄壁部１
１４、１１４’を、移送チャンバ１０内のロボット組立
体１４、１６の間のギャップの端から端までの領域ネッ
クダウン領域を通って伸張させることによりコラムが与
えられる。好ましくは薄壁部は非磁性のステンレス又は
磁界を通過させることができる性質を有する他の材料で
形成される。
【００３０】この具体例に従えば、２つのロボット１
４、１６は移送チャンバ内に与えられ、それぞれのロボ
ットはシングルブレード組立体を有している。ロボット
それぞれは他方のロボットにより運動が制限されること
が無く、また、両方のロボットが移送チャンバを包囲す
る全てのプロセスチャンバに対する独立したアクセスを
有している。好ましい使用態様の１つによれば、これら
ロボットは２つの別々のウエハを１つ以上のロードロッ
クから同時に取り出すことが可能である。１つのロボッ
トでプロセスチャンバから処理済みのウエハを取り出し
つつ同時に新しいウエハを同じチャンバに挿入すること
により、あるいは隣接又は非隣接のウエハカセットにウ
エハを同時に搬入出を行うことにより、そして他の手段
でマルチチャンバプロセス装置の中を、複数のウエハを
同時且つ独立に移動させることにより、高速のウエハの
移送が行えるようになる。更に、図１〜４について図示
説明したように、ロボット組立体１４と１６はそれぞ
れ、デュアルブレード組立体であってもよい。
【００３１】図８〜１０に戻れば、本発明の別の具体例
が示され、ここでは２つのロボット組立体１２、１４の
ためのモーターが移送チャンバから懸下される。モータ
ーの出力をそれぞれのロボット組立体のための駆動磁気
リング組立体１０１０、１０１２、１０１０’及び１０
１２’に接続させるため、駆動モーターの出力は、駆動
磁気リング組立体にそれぞれが結合する重ならないよう
に同心に配置されたシャフトに結合する。
【００３２】図８に示されるように、駆動システムは４
つのモーター１００４、１００５、１００４’、１００
５’を有し、これらは、前述のモーター１００４、１０
０６と同じ構成を有し、図５〜７で説明した中央コラム
とだいたい同じ構成を有するハブ１１００に結合する。
この前の具体例とは対称的に、上ロボット組立体の駆動
のためのモーター１００４及び１００６は、下ロボット
組立体の駆動のためのモーター１００４’及び１００
６’の下に懸下されており、付加的な１対の同心シャフ
トが上ロボット組立体モーター１００４及び１００６か
ら下ロボット組立体モーター１００４’及び１００６’
とハブ１１００の中心を通って伸び、そこで前述のよう
に磁気リング組立体１０１０、１０１２に接続する。本
発明のシングルブレード２つが独立した具体例が図１０
に示され、ここでは装置のつながりを良く例示するた
め、中央コラム１２０のサイズを縮小して描いている。
【００３３】駆動モーター１００４、１００６、１００
４’、１００６’が伸張ハウジング１０７０のの中に収
容され、移送チャンバ１０の下側に接続される。ハウジ
ング１０７０は内部に１対のモーター支持フランジ１０
７２、１０７４を有し、そのそれぞれに対して上ロボッ
ト組立体１００４、１００６又は下ロボット組立体１０
０４’、１００６’が支持及び調心のために接続する。
駆動磁気リング組立体１０１２’をコラム１２０内で支
持するため、ローター、又はモーター１００４’の出力
が、そこから伸張し駆動リング組立体に接続される駆動
フランジ１０８０を有している。このように、フランジ
１０８０は駆動磁気リング１００４’に対して支持及び
回転を与える。下磁気リング組立体モーター１００６’
は中空のシャフト１０８２に結合し、このシャフトはモ
ーター１００６’、１００４’及びフランジ１０８０の
中を通って伸び、そこで、ベアリング１０８４により下
磁気リング組立体１０１２’上で支持される下磁気リン
グ組立体１０１０’に取り付けられている。ベアリング
１０８４は好ましくは、シャフト１０８２とフランジ１
０８０の両方の端部の中に導かれる。第２のシャフト１
０８６が、磁気リング組立体１０１０’の上面に接続さ
れたベアリング１０８８上に支持される。モーター１０
０４の出力はシャフト１０９０に結合し、このシャフト
１０９０はシャフト１０８６の中を伸びて磁気リング組
立体１０１２に接続し、磁気リング組立体１０１２は、
磁気リング組立体１０１０、１０１２に接続するベアリ
ング１０９２上で支持される。
【００３４】図５〜７及び図８〜１０に示される本発明
の具体例では、ロボット組立体がシングルブレードロボ
ットとして示されており、即ち、各ロボット組立体はロ
ボットブレード、キャリアないしエンドエフェクターを
１つのみ有している。駆動システムの各具体例は、シン
グルブレードロボット又はデュアルブレードロボットの
何れと共に用いられてもよく、また、所望により、単一
の移送チャンバの中でシングルブレードロボットとデュ
アルブレードロボットを用いてもよい。図５〜７を再び
参照すれば、シングルブレードロボット組立体のそれぞ
れがロボット組立体と同じ構成を具備し、ここでは、駆
動アーム２１、２２（下ロボット組立体１６では５１、
５２）がモーター１００４、１００６と磁気カップリン
グ組立体１０００、１００２に結合しているが、ストラ
ットアーム２９、３０（又は、下ロボット組立体ではス
トラットアーム２９’、３０’）の１対だけがキャリア
（ブレード又はエフェクター）に結合している。このよ
うに、図１〜４に示される具体例とは異なり、ロボット
組立体１４、１６のそれぞれが１つのロボットブレード
だけ、即ちをウエハ１枚だけを一度に操作することがで
きる。図５はロボット組立体の引込のポジションを示
し、図７は上ロボット組立体１４が下ロボット組立体１
６の上方へ伸び隣接するプロセスチャンバの中に入って
いるところを示す。下ロボット組立体１６の上方にこれ
と共軸に調心して上ロボット組立体１４を配置すること
により、２つのロボット組立体が相互に通過することが
でき、移送チャンバ等の単一のウエハ載置ポジションに
同時にアクセスできるようになり、システム内でウエハ
を迅速に配置及び交換することができるようになる。
【００３５】本発明のデュアルロボット組立体の第４の
具体例は、図１１及び１２に示されている。この具体例
に従ったデュアルロボット組立体２００は中央ハブ２１
０を有し、この周りに１対のブレードロボット２１２
ａ、２１２ｂが回転可能な状態で装着されている。ロボ
ット２１２ａ、２１２ｂのそれぞれは、駆動アーム２１
４ａ、２１４ｂと、ピボットジョイント２１８ａ、２１
８ｂで相互に接続されている２次的なアーム２１６ａ、
２１６ｂとを備えている。ロボットブレード２２０ａ、
２２０ｂが、移送中ウエハを載置するために、ロボット
２１２ａ、２１２ｂのそれぞれに具備される。ロボット
ブレード２２０ａ、２２０ｂは、ピボットジョイント２
２２ａ、２２２ｂでロボット駆動アーム２１４ａ、２１
４ｂの一方の端部に接続され、ピボットジョイント２２
４ａ、２２４ｂで２次的なアーム２１６ａ、２１６ｂの
一方の端部に接続される。図１２に最も良く示されてい
るように、エンドエフェクター２２０ａ、２２０ｂはス
リットバルブの平面内で共面内にあることが好ましい。
従って、ロボットそれぞれの中央ハブ２１０の周りの回
転の範囲は、他方のロボットの相対的な位置によって制
限される。駆動アーム２１４ａ、２１４ｂは駆動ブロッ
ク２２６ａ、２２６ｂに旋回可能な状態で接続され、こ
の駆動ブロックは、中央ハブ２１０に配置されるベアリ
ング２２８ａ、２２８ｂの外側ベアリング上で支持され
る。同様に、２次的なアーム２１６ａ、２１６ｂの第２
の端部が、中央ハブ２１０の２次的なベアリング２３２
ａ、２３２ｂで支持されている２次的なブロック２３０
ａ、２３０ｂに旋回可能な状態で接続される。ベアリン
グは真空環境の中にいることが好ましい。好ましくは、
各ベアリングは「クロス」タイプのベアリングで、半径
方向及び垂直方向の支持体としてはたらき、これは中央
中空シャフトの上に押圧によりフィットしてロボットア
ーム及びブレードに対するポジションを与えて支持す
る。
【００３６】各ロボット２１２ａ、２１２ｂの駆動アー
ム２１４ａ、２１４ｂに運動を与えるため、中央駆動組
立体１２００が与えられる。この中央駆動組立体１２０
０はチャンバ１２の内側に伸びることにより各ロボット
２１２ａ、２１２ｂのポジションを与えこれらを支持し
またカップリング機構を与え、これにより、中央駆動組
立体１２００の中に配置され雰囲気内に維持されている
駆動アーム２１４ａ、２１４ｂに駆動部材がエネルギー
を与える。ここで、この駆動部材はカップリング機構の
外に配置され、ロボット２１２ａ、２１２ｂとは物理的
につながっているが駆動部材とは物理的につながってい
ない。
【００３７】本発明の好ましい実施態様においては、図
１のモーター及び磁気リング組立体を用いて、駆動アー
ム２１４ａ、２１４ｂそれぞれの運動ないし非運動を制
御する。このことを実現するため、図１の駆動システム
を変形し、例えば駆動磁気リング１０１６、１０１８を
ボルト等によってベアリング２３２ａ、２３２ｂの外側
レースに取り付ける。
【００３８】ロボットブレードを伸張するため、ベアリ
ング２３２ａに磁気的に結合したアクチュエーターモー
ター１００４により駆動ブロックを２次的なブロックの
方向へ移動する。このベアリング２３２ａは、ベアリン
グ２３２ｂの外側レースに磁気的に結合したモーター１
００６の回転を防止することにより、静的に保持され
る。同様に、ロボットブレードを引込めるため、駆動ブ
ロックを静的な２次ブロックから離れるように移動させ
る。これらブロックが互いの方に向かって運動すること
により、ロボットアームが伸張するようになる。これら
ブロックが互いから離れるように運動することにより、
ロボットアームが引込まれる。
【００３９】ロボット２１２ａ、２１２ｂをハブの周り
に回転させるには、駆動ブロックをモーター１００４に
よって回転しつつ、駆動ブロックのこの運動に同調させ
て２次的なブロックをモーター１００６により回転させ
ることにより行われる。
【００４０】図１３に示されるように、本発明のデュア
ルロボット組立体を利用して、個々のチャンバ同士の間
でウエハの移送を行い、ウエハ処理を実現する。図１３
には、第１の移送チャンバ２３４の中に配置される第１
のデュアルロボット組立体２００と、第２の移送チャン
バ２３６の中に配置される第１のデュアルロボット組立
体２００とが示される。ウエハを雰囲気と第１の移送チ
ャンバ２３４との間でロードロック環境下で移送するた
めの第１のロードロックチャンバ２３８と第２のロード
ロックチャンバ２４０とが、第１の移送チャンバ２３４
に結合している。チャンバ２４８、２５０の中の第１の
経路と第２の経路が第１第２の移送チャンバ２３４、２
３６に接続し、その間のウエハＷの通路を与える。図１
３は本発明の第４の具体例に従ったデュアルロボット組
立体を示しているが、例えば本発明の他の具体例で開示
したような、２枚のウエハを同時に独立に移送すること
ができるあらゆるデュアルブレードロボットを有効に用
いてもよい。
【００４１】ウエハをシステムに出入りさせるため、進
入ロードロック２３８と退出ロードロック２４０とが、
予備／後処理プロセスチャンバ２３４の周縁の周りに配
置される。また、様々な処理を行うため、複数のプロセ
スチャンバ、例えばデガスチャンバ２４２、プレクリー
ンチャンバ２４４や後処理チャンバ２４６等が第１の移
送チャンバ２３４の周りに配置される。半導体ウエハの
エッチング、堆積等の様々なプロセス操作を行うため、
プロセス移送チャンバ２３６の周縁の周りに複数のプロ
セスチャンバ２５２、２５４、２５６、２５８が配置さ
れてもよい。
【００４２】本発明に従い、チャンバ２４２、２４４、
２４６、２５２、２５４、２５６、２５８は、ウエハ移
送の操作中にチャンバ内で２つのウエハを同時に保持で
きるように構成される。これにより、図４に示されるよ
うに、２番目のロボット又はエフェクターを必要とせず
にシステムがウエハを「前へ供給」できるようになり、
ウエハを格納しつつも対向するエンドエフェクターとロ
ボットアームが移送を開始できるようになる。このよう
に、ウエハ移送中にウエハ２枚を格納する能力は、図１
０及び１１で概略を示したような多数の独立したシング
ルブレード移送ロボットと共に適切に用いられる。
【００４３】移送操作中にウエハ２枚を保持できるよう
に構成された代表的なプロセスチャンバ２６０が、図１
４に概略的に示されている。処理のためのプロセスチャ
ンバ２６０の中に配置されたペデスタル２６２上にウエ
ハＷが配置されている。ペデスタル２６２の上方にはこ
れを囲んでシールド２６３が配置されている。ペデスタ
ル２６２は駆動機構（図示せず）により所望の位置に昇
降が可能であり、この駆動機構には例えば、駆動シャフ
ト２６４に接続された親ねじに結合したステッパーモー
ター等が挙げられる。リフトフープ２６６はペデスタル
２６２の周縁を包囲し、また、リフトフープ駆動部材２
６８によって昇降が可能であり、このリフトフープ駆動
部材はステッパーモーターに結合された親ねじであって
もよい。複数のリフトピン２７０がリフトフープ２６６
の上面から上向きに伸びて、ウエハをペデスタル２６２
上に載置できるようにする。説明のためリフトフープが
ペデスタル２６２の外周から外向きに伸びているように
図示されているが、実際は、フープ及びペデスタルは、
ペデスタル２６２がその外周の内向きに伸びる複数のス
ロットを有しそのスロットそれぞれの中をリフトピンが
伸びるように構成される。このように、リフトピンのウ
エハに対する係合がペデスタルの包絡線ないし外周の内
部で生じ、このためウエハエッジがペデスタルの周縁を
越えてオーバーハングすることはない。本発明に従った
リフトピンは、下側ピンセグメント２７０ａを上側ピン
セグメント２７０ｂに接続させるヒンジ２７２を表す。
下側ピンセグメント２７０ｂは、ウエハ移送中に保持さ
れるべき２枚のウエハのうち下にある方を保持するため
の、ペデスタル２６２のウエハ支持面２７５と実質的に
平行なウエハ支持面２７４表す。上側ピンセグメントが
図１５（ａ）に示されるようにアップライトのポジショ
ンにあるときは、ウエハ支持面２７６は、チャンバ内で
保持すべき２枚のウエハの第２番目を受容するために、
表面２７４に対して実質的に平行な上側のポジションの
方に配向する。
【００４４】動作に際しては、２つのピンセグメント２
７０ａ、２７０ｂの上方に従来技術の方法で配置される
移送チャンバロボットによって、第１のウエハがチャン
バ２６０の中へ挿入され、リフトピン２７０を上向きに
動かしウエハをロボットブレードから持ち上げることに
よって、ピンセグメント２７０ｂ上のリフトピン２７０
によりピックアップされる。次いで、ロボットブレード
を引込めた後、ペデスタル２６２を持ち上げてウエハを
リフトピンからピックアップし、ペデスタル２６２の上
面の上にウエハＷを配置させる。ここでユニークなこと
は、ペデスタル２６２、シールド２６３及びリフトピン
２７０が協働して、上ピンセグメント２７０ａと下ピン
セグメント２７０ｂの使用に影響を与える点である。こ
の特徴を与えるため、リフトピン２７０のそれぞれの配
置でペデスタル２６２から外向きに複数のペデスタルピ
ン（又はレッジ）２７８が伸び、上ピンセグメントを持
ち上げるトグルレバーとして機能し、これにより上リフ
トピンセグメントを非ウエハ支持のポジションまで回転
させる。上リフトピンピンセグメント２７２ｂを支持の
ポジションに戻すため、複数のピン２８０をシールド２
６３の内側に向けて伸ばし、上側リフトピン２７０ｂの
下側に係合させ、そしてこれをウエハ支持のポジション
までフリップさせて戻す。ペデスタル２６２がウエハＷ
を上側ピンセグメントから持ち上げた後、複数のペデス
タルピン２７８が上側ピンセグメントの下側に係合し、
上側リフトピンセグメント２７０ｂをフリップして、図
１５（ｂ）に示されるオープンのポジションにする。好
ましくは、上側ピンセグメント２７０ｂのそれぞれの下
側が伸張ピンを有し、この伸張ピンはピンセグメントの
ところで内側に伸びて、ピンセグメント２７０ｂピン２
７８の接触のための係合面を成す。処理後、ペデスタル
２６２が第１のウエハを下げる。上側ピンセグメントセ
グメントが外向きにフリップしているため、ウエハは上
側ピンセグメント２７０ｂを通過して、下側ピンセグメ
ント２７０ａのウエハ支持面２７４上に配置されるよう
になる。次いで、次のウエハの受容の準備のために、複
数のリフトピン２７０を運ぶリフトフープ２６６を下げ
る。リフトピンを下げたとき、上側ピンセグメント２７
０ｂの外面がピン２８０を叩いて、シールドを伸張さ
せ、これにより上側ピンセグメント２７０ｂが回転によ
り、別のウエハを受容するため図１５（ａ）で示される
アップライトないしクローズドのポジションまで戻され
る。そして、移送ロボットが別のウエハをチャンバに挿
入し、リフトピンが持ち上げられ、上側リフトピンセグ
メント２７０ｂのウエハ支持面２７６上に第２のウエハ
を配置させる。そして、移送ロボットが第１のウエハを
下側ピンセグメント２７０ａから取り除き、プロセスサ
イクルを継続する。このように、２つのピンセグメント
２７０ａ、２７０ｂにより、処理済みウエハを下側セグ
メント上に格納することが可能になり、ロボットブレー
ドにより上側セグメント上に配置させることが可能とな
り、そして、同じブレードから格納したウエハを取り除
く際ブレードを軌道上で移動させる必要がなくなり、こ
のためウエハハンドリング時間が低減する。
【００４５】半導体ウエハは、進入ロードロック２３８
を通ってシステム内に移送される。第１の移送ロボット
アーム組立体２１２ａがロードロック２３８からウエハ
をピックアップし、これを予備／後処理チャンバ２３４
内に移動させ、次いでデガスチャンバ２４０内に移動さ
せる。デガスのプロセス中は、ロボットアーム組立体２
１２ａが進入ロードロックから別のウエハをピックアッ
プし、これは移送チャンバ内に運ばれデガスのため待機
する。第１のウエハのデガスがなされた後、チャンバ内
のペデスタル２６２がウエハを下側水平ウエハ支持面２
７４まで下げる。そして、リフトピンを下げ、上側ピン
セグメントをアップライトのポジションまで回す。ここ
で、第２のウエハは、デガスチャンバ内に挿入されて上
側ウエハ支持面２７６上に配置されてもよい。第２のウ
エハのデガス処理の前にロボットアーム組立体２１２ａ
が第１のウエハをプレクリーンチャンバ２４２への移送
のために取り除く。第２のウエハのデガス処理及び第１
のウエハのプレクリーン処理の間、ロボットアーム組立
体２１２ａが第３のウエハを進入ロードロックからピッ
クアップし、これは移送チャンバ内に運ばれデガスのた
め待機する。第２のウエハのデガスがなされた後、チャ
ンバ内のペデスタル２６２が第２のウエハを下側水平ウ
エハ支持面２７４まで下げる。そして、リフトピンを下
げ、上側ピンセグメントをアップライトのポジションま
で回す。ここで、第３のウエハは、デガスチャンバ内に
挿入されて上側ウエハ支持面２７６上に配置されてもよ
い。ここで、第２のウエハはデガスチャンバからプレク
リーンチャンバ２４２への移送のために取り除かれてい
る。第１のウエハのプレクリーン処理が終わった後、チ
ャンバ内のペデスタル２６２が第１のウエハを下側水平
ウエハ支持面２７４まで下げる。そして、リフトピン２
７０が下げられ、上側ピンセグメント２７０ｂを回して
アップライトのポジションまで戻る。ここで、第２のウ
エハはプレクリーンチャンバの中に挿入され、上側ウエ
ハ支持面２７６上に配置されている。第１のウエハは、
冷却チャンバ２４８への移送のために取り除かれ、そこ
で更なる処理のために待機するために格納される。チャ
ンバカセットの中の通路は満たされ、複数のウエハが一
度に冷却される。
【００４６】本発明のデュアルロボット組立体では、上
ロボット及び下ロボットは互いに独立に動作する。それ
ぞれのロボットの独立した動作は、米国特許出願Ｓ．
Ｎ．０７／８７３４２２号に記載されているようであ
る。ここまでデュアルロボット組立体の好ましい具体例
を参照して本発明を説明してきたが、当業者には変形が
容易であろう。例えば、本発明の範囲から離れることな
く、３つ以上のロボットをスタックする構成を与えるこ
とは可能である。同様に、ここまでフロッグレッグ機構
を有するロボットについて本発明を説明してきたが、チ
ャンバ内でロボット少なくとも２台が互いに独立して動
作するのであれば、その他のタイプのロボットも均等に
適用できる。
【００４７】従って、本発明は、前述してきた目的や効
果やここに自明に含まれる事項を遂行するために適して
いる。ここに記載した本発明の好ましい具体例を開示の
目的で与えているが、当業者には、本発明の範囲の中で
詳細部分の様々な変形や変更が容易に示唆されるところ
である。
【００４８】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、２つのアームを同時に使用することが可能とな
り、スループットが向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の具体例に従ったデュアルロボッ
ト組立体の側部断面図である。
【図２】全てのアーム組立体が引込の位置にある場合
の、図１に示されるデュアルロボット組立体の上面断面
図である。
【図３】図２のデュアルロボット組立体の３−３線での
断面図である。
【図４】図１〜３に示されるデュアルロボット組立体の
デュアルブレードロボットアーム組立体の模式的な平面
図である。
【図５】本発明の第２の具体例に従ったデュアルロボッ
ト組立体の上面断面図である。
【図６】図５のデュアルロボット組立体の６−６線での
断面図である。
【図７】下ロボットアーム組立体が伸張のポジションに
ある場合の、図５〜６のデュアルロボット組立体の上面
断面図である。
【図８】本発明の第３の具体例に従ったデュアルロボッ
ト組立体の上面断面図である。
【図９】図８のデュアルロボット組立体の９−９線での
断面図である。
【図１０】図５〜９のデュアルロボット組立体のシング
ルブレードロボットアーム組立体の模式的な平面図であ
る。
【図１１】本発明の第４の具体例に従ったデュアルロボ
ット組立体の上面断面図である。
【図１２】図１１のデュアルロボット組立体の部分的な
側部断面図である。
【図１３】図１２に示される１対のデュアルロボット組
立体を用いる半導体ウエハ処理システムの上面図であ
る。
【図１４】図１３に示される半導体ウエハ処理システム
のチャンバ内の、ウエハリフト支持装置の側部断面図で
ある。
【図１５】（ａ）は、クローズドポジションにおける、
図１４のウエハリフト保持装置のリフトピン組立体の部
分の詳細な側面図であり、（ｂ）は、オープンポジショ
ンにおける、図１４のウエハリフト保持装置のリフトピ
ン組立体の部分の詳細な側面図である。
【符号の説明】
１０…ロボット組立体、１２…移送チャンバ、１４…上
ロボット、１６…下ロボット、１８…プロセスチャン
バ、２０…バルブ、２１，５１…第１の駆動アーム、２
２，５２…第２の駆動アーム、２３，５３…中央ハブ、
３３，４０，６４…ロボットブレード、２９，３０，３
６，３７，５９，６０，６６，６７…ストラットアー
ム、３８，３９，４１，４２，６８，６９，７１，７２
…ピボット、１１０…デュアルロボット組立体、１１２
…移送チャンバ、１２０…中央コラム、１２１…リセ
ス、２００…デュアルロボット組立体、２１２…シング
ルブレードロボット、２１４…駆動アーム、２１６…ア
ーム、２１８…ピボットジョイント、２２０…ロボット
ブレード、２２２，２２４…ピボットジョイント、２２
６…駆動ブロック、２２８…ベアリング、２３２…ベア
リング、２３４，２３６…移送チャンバ、２３８，２４
０…ロードロックチャンバ、２４２，２４４，２４６…
プロセスチャンバ、２４８，２５０…チャンバ、２５
２，２５４，２５６，２５８，２６０…プロセスチャン
バ、２６２…ペデスタル、２６３…シールド、２６６…
リフトフープ、２６８…リフトフープ駆動部材、２７０
…リフトピン、２７２…ヒンジ、２７４…ウエハ支持
面、２７６…ウエハ支持面、２７８…ペデスタルピン、
１０００，１００２…磁気カップリング組立体、１００
４，１００６…シンクロモーター、１００８…ハウジン
グ、１００９…支持体、１０１０，１０１２…磁気リン
グ組立体、１０１１…フランジ、１０１４…薄壁部、１
０１６，１０１８…駆動磁気リング組立体、１０３０…
シャフト、１０４０…アーム支持体、１０４２，１０４
４…ベアリング、１０４６…レッジ部、１０７０…ハウ
ジング、１０７２，１０７４…支持フランジ、１０８０
…フランジ、１０８２，１０８６…シャフト、１０８
４，１０８８…ベアリング、１１００…ハブ、１２００
…中央駆動組立体。
フロントページの続き (72)発明者 ハワード グルーンズ アメリカ合衆国， カリフォルニア州， サンタ クルツ， トレヴサン アヴェニ ュー 237 (72)発明者 ロバート ビー． ローランス アメリカ合衆国， カリフォルニア州， ロス ガトス， エドマンド ドライヴ 15822

Claims (63)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体ウエハ等の物体を移送するための
    装置であって、 中心軸の周りで可動である第１の物品移送組立体と、 前記第１の物品移送組立体と距離をとって配置され且つ
    これと共軸であり、前記中心軸の周りで可動である、第
    ２の物品移送組立体とを備え、前記第１の物品移送組立
    体は前記中心軸の周りに前記第２の物品移送組立体と独
    立に可動であり、前記第１の物品移送組立体と前記第２
    の物品移送組立体のそれぞれは前記中心軸の周りに可動
    である物体支持体を有する物体移送装置。
  2. 【請求項２】 前記第１の物品移送組立体が伸張アーム
    組立体の第１の対を備え、前記第２の物品移送組立体が
    伸張アーム組立体の第２の対を備える請求項１に記載の
    物体移送装置。
  3. 【請求項３】 前記伸張アーム組立体の第１の対と前記
    伸張アーム組立体の第２の対とが、 前記中心軸の周りで可動である第１の駆動アームと、 前記中心軸の周りで可動である第２の駆動アームと、 前記第１の駆動アームと前記第２の駆動アームとに連接
    するストラットアームの第１の対と、 前記第１の駆動アームと前記第２の駆動アームとに連接
    するするストラットアームの第２の対と、 前記ストラットアームの第１の対に結合する第１の物体
    支持部と、 前記ストラットアームの第２の対に結合する第２の物体
    支持部とを備える請求項２に記載の物体移送装置。
  4. 【請求項４】 前記第１の物品移送組立体と前記第２の
    物品移送組立体とのそれぞれが更に、 前記第１の駆動アームと前記第２の駆動アームとを前記
    中心軸の周りに運動させるための第１の駆動部材であっ
    て、該運動により前記第１の物体支持部を第１のポジシ
    ョンと第２のポジションの間で中心軸の周りに運動させ
    る、前記第１の駆動部材と、 前記第２の物体支持部を第１のポジションと第２のポジ
    ションの間でチューブ新字句の周りに独立に運動させる
    ための第２の駆動部材とを備える請求項３に記載の物体
    移送装置。
  5. 【請求項５】 前記物体移送装置が更に、ハブを備え、
    前記第１の駆動部材と前記第２の駆動部材のそれぞれ
    が、 前記第１の伸張アーム組立体と前記第２の伸張アーム組
    立体とが収容維持されている環境からシールにより遮断
    された環境において、前記ハブの中に配置されるモータ
    ーと、 前記ハブに隣接し前記伸張アーム組立体らが収容維持さ
    れている環境の中で前記伸張アーム組立体に接続される
    カップラーないしカップリング手段とを備え、前記カッ
    プラーないしカップリング手段のそれぞれが前記第１の
    伸張アーム組立体と前記第２の伸張アーム組立体の一方
    に動作可能な状態で結合して運動を与える請求項４に記
    載の物体移送装置。
  6. 【請求項６】 前記カップラーないしカップリング手段
    のそれぞれが前記伸張アーム組立体の駆動アームに接続
    するリングを備え、前記モーターのそれぞれが前記ハブ
    を介して前記リングの一方に磁力により結合する請求項
    ５に記載の物体移送装置。
  7. 【請求項７】 前記伸張アーム組立体の第１の対と前記
    伸張アーム組立体の第２の対とが移送チャンバの中に配
    置され、前記移送チャンバが１つ以上の隣接するプロセ
    スチャンバに接続される請求項２に記載の物体移送装
    置。
  8. 【請求項８】 前記第１の物品移送組立体が前記移送チ
    ャンバの上部構造体に接続し、前記第２の物品移送組立
    体が前記移送チャンバの底壁に接続される請求項７に記
    載の物体移送装置。
  9. 【請求項９】 前記ハブが、前記第１の物品移送組立体
    を前記第２の物品移送組立体に接続する中央コラムを備
    える請求項８に記載の物体移送装置。
  10. 【請求項１０】 前記第１の伸張アーム組立体が、前記
    移送チャンバ内の前記第２の伸張アーム組立体の上方に
    配置される請求項９に記載の物体移送装置。
  11. 【請求項１１】 前記移送チャンバが１つ以上の隣接す
    るプロセスチャンバに、対応する１つ以上１つ以上のバ
    ルブ組立体によって接続され、前記第２の物品移送組立
    体が移送チャンバの底壁に接続される請求項１０に記載
    の物体移送装置。
  12. 【請求項１２】 前記第１の伸張アーム組立体と前記第
    ２の伸張アーム組立体のそれぞれが、 前記中心軸の周りで可動である第１の駆動アームと、 前記中心軸の周りで可動である第２の駆動アームと、 前記第１の駆動アームと前記第２の駆動アームとに連接
    するストラットアームの対と、 前記ストラットアームの対に結合する物体支持部材と、
    を備える請求項９に記載の物体移送装置。
  13. 【請求項１３】 前記第１の物品移送組立体と前記第２
    の物品移送組立体とが更に、 前記物体支持部材を第１のポジションと第２のポジショ
    ンとの間で該中心軸に相対的に運動させるための、前記
    第１の駆動アームと前記第２の駆動アームを回転させる
    ための独立した駆動部材を備える請求項１２に記載の物
    体移送装置。
  14. 【請求項１４】 前記ハブが、前記第１の物品移送組立
    体を前記第２の物品移送組立体に接続する中央コラムを
    備える請求項１３に記載の物体移送装置。
  15. 【請求項１５】 前記第１の伸張アーム組立体が移送チ
    ャンバ内の前記第２の伸張アーム組立体の上方に配置さ
    れ、前記第１の物品移送組立体の該駆動部材が前記第１
    の伸張アーム組立体の上方に配置され、前記第２の物品
    移送組立体の該駆動部材が前記第２の伸張アーム組立体
    の下方に配置される請求項１４に記載の物体移送装置。
  16. 【請求項１６】 前記移送チャンバが１つ以上の隣接す
    るプロセスチャンバに、対応する１つ以上１つ以上のバ
    ルブ組立体によって接続され、前記第２の物品移送組立
    体が移送チャンバの底壁に接続される請求項１５に記載
    の物体移送装置。
  17. 【請求項１７】 前記駆動手段が、 中空駆動シャフトの第１の対により前記第１の伸張アー
    ム組立体に結合する第１の物品移送組立体モーターと、 中空駆動シャフトの第２の対により前記第２の伸張アー
    ム組立体に結合する第２の物品移送組立体モーターとを
    備え、前記中空駆動シャフトの第２の対は前記中空駆動
    シャフトの第２の対と同心である請求項１３に記載の物
    体移送装置。
  18. 【請求項１８】 前記第１の伸張アーム組立体が移送チ
    ャンバ内の前記第２の伸張アーム組立体の上方に配置さ
    れ、前記第１のモーターと前記第２のモーターが該移送
    チャンバの下方に配置される請求項１７に記載の物体移
    送装置。
  19. 【請求項１９】 前記第１のモーターが前記第２のモー
    ターの下方に配置され、前記第２のモーターのシャフト
    が前記第１のモーターのシャフトを包囲する請求項１８
    に記載の物体移送装置。
  20. 【請求項２０】 前記第１の伸張アーム組立体と前記第
    ２の伸張アーム組立体のそれぞれが、 前記中心軸の周りに配置される前記中央ハブにスライド
    可能な状態で接続される第１の端部を有する第１の駆動
    アームと、 前記中央ハブにスライド可能な状態で接続される第１の
    端部を有する第２の駆動アームと、 前記第１の駆動アームと前記第２のアームに旋回可能な
    状態で結合する物体支持部材とを備える請求項９に記載
    の物体移送装置。
  21. 【請求項２１】 前記駆動アームの前記第１の端部のそ
    れぞれ１つを前記中央ハブを介して前記中央ハブの中に
    配置されたもに結合させる磁気カップリングを更に備え
    る請求項２０に記載の物体移送装置。
  22. 【請求項２２】 前記伸張アーム組立体の前記物体支持
    部材が、前記第２の伸張アーム組立体の前記物体支持部
    材と水平方向に同じ面内にある請求項２０に記載の物体
    移送装置。
  23. 【請求項２３】 エンクロージャーの中で多数のポジシ
    ョン同士の間で物体を移送するための装置であって、 エンクロージャーの中に配置される第１の物体移送組立
    体と、 エンクロージャーの中に配置される第２の物体移送組立
    体と、 エンクロージャーと、前記第１の物体移送組立体と、前
    記第２の物体移送組立体とにアクセスが可能な、少なく
    とも１つの物体載置場所と、 前記第１の物体移送組立体と前記第２の物体移送組立体
    に動作可能な状態で結合して、前記第１の物体移送組立
    体が前記第２の物体移送組立体と相対的に独立して運動
    することを可能にする、駆動部材とを備える装置。
  24. 【請求項２４】 前記駆動部材が少なくとも１つの円筒
    壁部を有し、前記円筒壁部が、前記エンクロージャーの
    内側に伸びて前記エンクロージャーの環境から遮断され
    た空間容量を画成する請求項２３に記載の装置。
  25. 【請求項２５】 前記空間容量の中に少なくとも一部が
    配置され前記第１の物体移送組立体に動作可能な状態で
    結合する第１の駆動組立体と、前記空間容量の中に少な
    くとも一部が配置され前記第２の物体移送組立体に動作
    可能な状態で結合する第２の駆動組立体とを更に有する
    請求項２４に記載の装置。
  26. 【請求項２６】 前記第１の駆動組立体と前記第２の駆
    動組立体の少なくとも何れか一方において、前記移送組
    立体への動作可能な状態での前記結合が、前記壁を介し
    て磁気的カップリングによって実現される請求項２５に
    記載の装置。
  27. 【請求項２７】 前記第１の物体移送組立体と前記第２
    の物体移送組立体の少なくとも１つが、前記壁を介して
    前記駆動組立体に結合する第１の端部と、物体支持部材
    を自身の上で支持する第２の端部とを有するフロッグレ
    ッグ機構を有し、 前記駆動組立体は第１の磁力駆動要素と第２の磁力駆動
    要素とを有して、前記フロッグレッグ機構の前記第１の
    端部への磁力結合を与え、 前記第１の磁力駆動要素と前記第２の磁力駆動要素が前
    記中心軸に対して共通の方向に運動することにより、前
    記物体移送組立体が前記フロッグレッグ組立体の前記第
    １の端部と前記第２の端部の間で一定の距離を移動する
    ことが可能になり、前記第１の磁力駆動要素と前記第２
    の磁力駆動要素が前記中心軸に対して反対の方向に運動
    することにより、前記フロッグレッグ組立体の前記第１
    の端部と前記第２の端部の間の距離を変えることが可能
    になる請求項２６に記載の装置。
  28. 【請求項２８】 前記第１の物体移送組立体と前記第２
    の物体移送組立体の少なくとも１つが、 前記駆動部材に結合する第１の端部と、前記物体支持部
    材に旋回可能な状態で接続する第２の端部とを有する駆
    動アームと、 前記駆動部材に結合する第１の端部と、前記駆動アーム
    の前記第１の端部と前記第２の端部の中間の位置で前記
    駆動アームに旋回可能な状態で接続する第２の端部とを
    有する２次アームと、 前記２次アームの前記第１の端部と前記第２の端部の中
    間の位置で前記２次アームに旋回可能な状態で接続する
    前記物体支持部材とを備える請求項２７に記載の装置。
  29. 【請求項２９】 前記駆動部材が、 前記駆動アームの前記第１の端部に結合する第１の駆動
    要素と、前記２次アームの前記第１の端部に結合する第
    ２の駆動要素とを有し、 前記第１の駆動アームの前記第１の端部と前記２次アー
    ムの前記第１の端部が前記壁に対して同じの方向に運動
    することにより、前記物体支持部材が前記壁から一定の
    距離を移動することが可能になり、前記第１の駆動アー
    ムの前記第１の端部と前記２次アームの前記第１の端部
    が反対の方向に運動することにより、前記物体支持部材
    の前記壁に対する配置を変えることが可能になる請求項
    ２８に記載の装置。
  30. 【請求項３０】 更に、 該軸の周りに伸びて空間容量を画成するハブと、 前記空間容量の中に少なくとも一部が受容され、前記ハ
    ブを介して前記エンクロージャーの中の第１の駆動を受
    ける部材に結合する第１の駆動部材と、前記空間容量の
    中に少なくとも一部が受容され、前記ハブを介して第２
    の駆動を受ける部材に結合する、前記第１の駆動部材と
    共軸に配置される第２の駆動部材と、 前記エンクロージャーの中で前記第１の移送組立体に結
    合する前記第１の駆動を受ける部材と前記第２の駆動を
    受ける部材とを有する請求項２８に記載の装置。
  31. 【請求項３１】 前記第１の移送組立体が、 前記第１の駆動を受ける部材に結合する第１の部分と、
    第２の部分とを有する、第１のアームと、 前記第１のアームの前記第２の部分に結合する第１の部
    分と、第２の部分とを有する、第２のアームと、 前記第２のアームの前記第２の部分に結合する物体受容
    部材とを有する請求項３０に記載の装置。
  32. 【請求項３２】 前記第１の移送組立体が更に、 前記第２の駆動を受ける部材に結合する第１の部分と、
    第２の部分とを有する第３のアームと、 前記第１のアームの前記第２の部分に結合する第１の部
    分と、前記物体受容部材に結合する第２の部分とを有す
    る第４のアームとを備える請求項３１に記載の装置。
  33. 【請求項３３】 前記第１の駆動を受ける部材と前記第
    ２の駆動を受ける部材とが、ハブの周囲に配置される環
    状リングであり、 前記第１の駆動を受ける部材と前記第２の駆動を受ける
    部材とが反対の方向に運動することにより、前記第１の
    移送組立体の前記物体受容部材が前記軸に対して伸張引
    込を行うことがを可能になり、前記第１の駆動を受ける
    部材と前記第２の駆動を受ける部材とが同じ方向に運動
    することにより、前記第１の移送組立体の前記物体受容
    部材が前記軸の周りの軌道の少なくとも一部を運動する
    ことが可能となる、請求項３２に記載の装置。
  34. 【請求項３４】 更に、 前記エンクロージャー内で第３の駆動を受ける部材に結
    合する第３の駆動部材と、 前記エンクロージャー内で第４の駆動を受ける部材に結
    合する第４の駆動部材と、を有し、 前記第２の移送組立体は、 前記第３の駆動を受ける部材に結合する第１の部分と、
    第２の部分とを有する第１のアームと、 前記第１のアームの前記第２の部分に結合する第１の部
    分と、第２の部分とを有する第２のアームと、 前記第４の駆動を受ける部材に結合する第１の部分と、
    第２の部分とを有する第３のアームと、 前記第１のアームの前記第２の部分に結合する第１の部
    分と、第２の部分とを有する第４のアームと前記第４の
    アームの前記第２の部分に結合する物体受容部材と、を
    有する、請求項３３に記載の装置。
  35. 【請求項３５】 更に、 前記第１の移送組立体と、前記第２の移送組立体とに同
    時且つ独立にアクセスが可能な、前記エンクロージャー
    の内部の少なくとも１つの物体載置位置を有する請求項
    ３４に記載の装置。
  36. 【請求項３６】 前記第１の移送組立体が更に、 前記第１のアームの前記第２の部分に結合する第１の部
    分と、第２の部分とを有する第５のアームと、 前記第３のアームの前記第２の部分に結合する第１の部
    分と、第２の部分とを有する第６のアームと、 前記第５のアームの前記第２の部分と前記第６のアーム
    の前記第２の部分と結合する第２の物体受容部材とを有
    する請求項３４に記載の装置。
  37. 【請求項３７】前記駆動部材が駆動モーターに結合し、
    前記モーターのそれぞれが前記エンクロージャーから懸
    下される請求項３４に記載の装置。
  38. 【請求項３８】 前記駆動部材が駆動モーターに接続
    し、前記第１の駆動部材と前記第２の駆動部材を駆動す
    るための１つ以上のモーターが前記エンクロージャーの
    上方に支持され、前記第３の駆動部材と前記第４の駆動
    部材を駆動するための１つ以上のモーターが前記エンク
    ロージャーから懸下する請求項３４に記載の装置。
  39. 【請求項３９】 前記駆動部材が駆動モーターに接続
    し、前記駆動モーターが前記エンクロージャーの端から
    端まで伸びるハブに少なくとも一部が受容される請求項
    ３４に記載の装置。
  40. 【請求項４０】 前記エンクロージャーが上壁と下壁と
    を有し、前記ハブが、前記上壁と前記下壁の間に空間を
    設ける請求項３９に記載の装置。
  41. 【請求項４１】 前記エンクロージャーが半導体処理シ
    ステムの移送チャンバである請求項２９に記載の装置。
  42. 【請求項４２】 前記物体受容部材が、半導体ウエハを
    受容するためのエンドエフェクターである請求項３４に
    記載の装置。
  43. 【請求項４３】 エンクロージャーの中の多数のポジシ
    ョンの間で物体を移送する方法であって、 軸の周りの多数のポジションに配置可能な物体支持部を
    有する第１の物体移送組立体を与えるステップと、 前記軸の周りの多数のポジションに配置可能な物体支持
    部を有する第２の物体移送組立体を与えるステップと、 前記第１の物体移送組立体と前記第２の物体移送組立体
    とを前記軸の周りに共軸に配置させるステップと、 前記第１の物体移送組立体の前記物体支持部を、前記第
    ２の物体移送組立体の前記物体支持部の位置と独立に運
    動させるステップとを備える方法。
  44. 【請求項４４】 更に、 エンクロージャーにアクセス可能な少なくとも１つの物
    体格納場所を与えるステップと、 前記第２の物体移送組立体の前記物体支持部を独立に配
    置させつつ、前記第１の物体移送組立体の前記物体支持
    部を運動させて前記格納場所にアクセスするステップと
    有する請求項に記載の４３に記載の方法。
  45. 【請求項４５】 前記第２の物体移送組立体の前記物体
    支持部を配置させる操作が、 前記第２の物体移送組立体の前記物体支持部を運動させ
    る工程を有する請求項４４に記載の方法。
  46. 【請求項４６】 前記第２の物体移送組立体の前記物体
    支持部を配置させる操作が、 前記第２の物体移送組立体の前記物体支持部を静的な配
    置に維持しつつ、前記第１の物体移送組立体の前記物体
    支持部を運動させる工程を有する請求項４４に記載の方
    法。
  47. 【請求項４７】 前記第２の物体移送組立体の前記物体
    支持部を配置させる操作が、 前記第２の物体移送組立体の前記物体支持部を静的な配
    置に維持しつつ、前記第１の物体移送組立体の前記物体
    支持部を前記軸の周りの弧の経路で運動させる工程を有
    する請求項４４に記載の方法。
  48. 【請求項４８】 前記第２の物体移送組立体の前記物体
    支持部を配置させる操作が、 前記第２の物体移送組立体の前記物体支持部を静的な配
    置に維持しつつ、前記第１の物体移送組立体の前記物体
    支持部を直線経路で運動させる工程を有する請求項４４
    に記載の方法。
  49. 【請求項４９】 前記第２の物体移送組立体の前記物体
    支持部を配置させる操作が、 前記第２の物体移送組立体の前記物体支持部を静的な配
    置に維持しつつ、前記第１の物体移送組立体の前記物体
    支持部を前記軸から遠ざかるように運動させる工程を有
    する請求項４４に記載の方法。
  50. 【請求項５０】 前記第２の物体移送組立体の前記物体
    支持部を配置させる操作が、 前記第２の物体移送組立体の前記物体支持部を静的な配
    置に維持しつつ、前記第１の物体移送組立体の前記物体
    支持部を前記軸に近付くように運動させる工程を有する
    請求項４４に記載の方法。
  51. 【請求項５１】 前記第１の物体移送組立体の前記物体
    支持部を前記軸の周りに時計方向に運動させつつ、同時
    に、前記第２の物体移送組立体の前記物体支持部を前記
    軸の周りに反時計方向に運動させるステップを更に有す
    る請求項４４に記載の方法。
  52. 【請求項５２】 前記第１の物体支持部と前記第２の物
    体支持部の一方を、前記第１の物体支持部と前記第２の
    物体支持部の他方の上方を通過させるステップを更に有
    する請求項５１に記載の方法。
  53. 【請求項５３】 更に、 前記第１の物体支持部と前記第２の物体支持部を、前記
    格納位置に同時にアクセスさせるステップを更に有する
    請求項４４に記載の方法。
  54. 【請求項５４】 更に、 前記物体移送組立体の少なくとも１つ以上にアクセス可
    能な多数の物体載置位置を与えるステップと、 前記第１の物体支持部と前記第２の物体支持部を、別々
    の前記格納位置に同時にアクセスさせるステップとを有
    する請求項５１に記載の方法。
  55. 【請求項５５】 半導体ウエハを移送チャンバに隣接す
    るチャンバ間で移送するためのウエハ移送装置であっ
    て、前記ウエハ移送装置は、 中心軸の周りに運動可能で前記移送チャンバの底壁に接
    続される、下側ウエハ移送ロボットであって、前記下側
    ウエハ移送ロボットは、 前記移送チャンバの中に配置される第１の伸張アーム組
    立体であって、前記第１の伸張アーム組立体は、 前記中心軸の周りに運動可能な第１の駆動アームと、 前記中心軸の周りに運動可能な第２の駆動アームと、 前記第１の駆動アームと前記第２の駆動アームに接合す
    る１対のストラットアームと、前記１対のストラットア
    ームに旋回可能な状態で結合するウエハ保持ブレードと
    を備える前記第１の伸張アーム組立体と、 前記第１の伸張アーム組立体の下方に配置され前記第１
    の駆動アームの端部と前記第２の駆動アームの端部に接
    続される駆動モーターであって、前記駆動モーターは、
    前記軸の周りの軌道経路に沿った運動を前記端部に与え
    て前記ウエハブレードを伸張のポジションと引込のポジ
    ションの間で直線的に運動させることを可能にする、前
    記駆動モーターと、を備える前記下側ウエハ移送ロボッ
    トと、 前記下側ウエハ移送ロボットとは独立に運動することが
    でき且つこれに共軸に調心されている上側ウエハ移送ロ
    ボットであって、前記上側ウエハ移送ロボットは、 前記移送チャンバの中で前記第１の伸張アーム組立体の
    対の上方に配置される第２の伸張アーム組立体であっ
    て、前記第２の伸張アーム組立体は、 前記中心軸の周りに運動可能な第１の駆動アームと、 前記中心軸の周りに運動可能な第２の駆動アームと、 前記第１の駆動アームと前記第２の駆動アームに接合す
    る１対のストラットアームと、前記１対のストラットア
    ームに旋回可能な状態で結合するウエハ保持ブレードと
    を備える前記第１の伸張アーム組立体と、 前記第２の伸張アーム組立体の上方に配置され前記第１
    の駆動アームの端部と前記第２の駆動アームの端部に接
    続される駆動モーターであって、前記駆動モーターは、
    前記軸の周りの軌道経路に沿った運動を前記端部に与え
    て前記ウエハブレードを伸張のポジションと引込のポジ
    ションの間で直線的に運動させることを可能にする、前
    記駆動モーターと、を備える前記上側ウエハ移送ロボッ
    トと、 前記上側ウエハ移送ロボットを前記下側ウエハ移送ロボ
    ットに接続させる中央コラムとを有する装置。
  56. 【請求項５６】 半導体ウエハを移送チャンバに隣接す
    るチャンバ間で移送するためのウエハ移送装置であっ
    て、前記ウエハ移送装置は、 中心軸の周りに運動可能である第１のウエハ移送ロボッ
    トであって、前記第１のウエハ移送ロボットは、 前記移送チャンバの中に配置される第１の伸張アーム組
    立体であって、前記第１の伸張アーム組立体は、 前記中心軸の周りに運動可能な第１の駆動アームと、 前記中心軸の周りに運動可能な第２の駆動アームと、 前記第１の駆動アームと前記第２の駆動アームに接合す
    る１対のストラットアームと、前記１対のストラットア
    ームに旋回可能な状態で結合するウエハ保持ブレードと
    を備える前記第１の伸張アーム組立体と、 前記移送チャンバの下方に配置され第１の中空のシャフ
    トによって前記第１の駆動アームの端部に結合される駆
    動モーターであって、前記駆動モーターは、前記軸の周
    りの軌道経路に沿った運動を前記端部に与えて前記ウエ
    ハブレードを伸張のポジションと引込のポジションの間
    で直線的に運動させることを可能にする、前記駆動モー
    ターと、を備える前記第１のウエハ移送ロボットと、 前記第１のウエハ移送ロボットに独立に運動することが
    でき且つこれに共軸である第２のウエハ移送ロボットで
    あって、前記第２のウエハ移送ロボットは、 前記移送チャンバの中で前記第１の伸張アーム組立体の
    対の下方に配置される第２の伸張アーム組立体であっ
    て、前記第２の伸張アーム組立体は、 前記中心軸の周りに運動可能な第１の駆動アームと、 前記中心軸の周りに運動可能な第２の駆動アームと、 前記第１の駆動アームと前記第２の駆動アームに接合す
    る１対のストラットアームと、前記１対のストラットア
    ームに旋回可能な状態で結合するウエハ保持ブレードと
    を備える前記第１の伸張アーム組立体と、 前記移送チャンバの下方に配置され第１の中空シャフト
    と同心且つこれを包囲する第２の中空のシャフトによっ
    て前記第２の駆動アームの端部に結合される駆動モータ
    ーであって、前記駆動モーターはこれらに運動を与えて
    前記ウエハブレードを伸張のポジションと引込のポジシ
    ョンの間で直線的に運動させることを可能にする、前記
    駆動モーターと、を備える前記第２のウエハ移送ロボッ
    トと、を有する装置。
  57. 【請求項５７】 複数の物品を受容するための装置であ
    って、 前記物品を受容するためのチャンバキャビティを有する
    チャンバと、 チャンバキャビティ内の中央に配置され縦に運動するこ
    とが可能であるペデスタルと、 前記ペデスタルの物品受容面に対して引込のポジション
    と伸張のポジションとの間で伸張可能な複数の縦可動リ
    フトピンを備える物品昇降格納装置であって、前記リフ
    トピンはスタックの状態となっている複数の物品を受容
    し且つ保持するように構成されている、前記物品昇降格
    納装置とを有する複数物品受容装置。
  58. 【請求項５８】 前記リフトピンが２つのスタックの状
    態の物品を受容するような構成を有している請求項５７
    に記載の複数物品受容装置。
  59. 【請求項５９】 前記複数のリフトピンのそれぞれがリ
    フトピンの上端に近接した下側物品支持面としてはたら
    く下側リフトピンセグメントと、 前記下側リフトピンセグメントにヒンジ状に接続しリフ
    トピンの上端に近接した上側物品支持面としてはたらく
    上側リフトピンセグメントを備える請求項５７に記載の
    複数物品受容装置。
  60. 【請求項６０】 前記上側リフトピンセグメントを移動
    させて前記下側リフトピンセグメントを物品に曝露する
    接合部材を更に備える請求項５９に記載の複数物品受容
    装置。
  61. 【請求項６１】 前記ペデスタルの位置が前記リフトピ
    ンに対して変化したとき前記ペデスタルから外向きに伸
    びて前記上側リフトピンセグメントに接触して、上側リ
    フトピン組立体をクローズドのポジションからオープン
    のポジションへと移動させる、少なくとも１つのペデス
    タルピンを更に備える請求項５９に記載の複数物品受容
    装置。
  62. 【請求項６２】 前記チャンバの表面から前記リフトピ
    ンの方へウエハＴ向きに伸びるクロージングピンを更に
    備え、前記クロージングピンは、前記上側リフトピン組
    立体にオープンのポジションで接触し前記上側リフトピ
    ン組立体をクローズドのポジションに移動させるための
    構成を有する請求項６１に記載の複数物品受容装置。
  63. 【請求項６３】 半導体ウエハを処理するための装置で
    あって、 ウエハ載置位置を内部に有する複数のチャンバによって
    包囲された移送チャンバと、 前記移送チャンバの中に配置されたプロセス移送ロボッ
    トであって、前記移送ロボットは、中心軸の周りに運動
    可能で少なくとも１つの共通ウエハ載置位置でアクセス
    可能な第１のウエハ移送組立体と、前記第１のウエハ移
    送組立体と独立に前記中心軸の周りに運動可能な第２の
    ウエハ移送組立体とを備える、前記プロセス移送ロボッ
    トとを備える半導体ウエハ処理装置。
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