JPH1043997A - データ解析支援システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】多数の工程にまたがって多数の分割イベントが
発生した場合、完全にロットに関するデータの紐付けを
行えるデータ解析支援システムを提供する。 【解決手段】データ解析支援システム１は、工程管理シ
ステム２１のプロセスデータおよび製造装置２３の測定
データを自動収集し、収集されたデータをリレーショナ
ルデータベース２６に格納し、作業者からの要求に応じ
て一元管理されたデータの帳票あるいはグラフを出力す
る。また、リレーショナルデータベース２６にプロセス
データおよび測定データを格納する時点で分割や派生な
どのイベントを考慮する。例えば、工程Ａ、Ｂ間の仕掛
かり状態でロットａからロットａ’を分割するイベント
が発生した場合、工程Ａ、Ｂ共にロットａの親ロットは
ロットａであるので、帳票あるいはグラフを出力すると
きにロットａのプロセスデータおよび測定データをその
まま参照する一方、ロットａ’の場合、工程Ａでは親ロ
ットがロットａと登録されているので、ロットａに付属
されているプロセスデータおよび測定データを参照す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数の工程に分れ
た製造ラインで加工されるロットを管理するデータ解析
支援システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のデータ解析支援システム
では、工程（作業を含む）単位でロットの運用管理が行
われており、２以上の工程にまたがったロットの紐付け
は行われていない。また、各工程でのプロセスデータや
各製造装置（検査装置を含む）での測定データについて
も同様で工程単位にデータ管理が行われている。したが
って、ロットをキーとしてまたがった工程でデータ検索
を行いたい場合、工程毎に目的のデータを収集し、収集
されたデータを手作業で紐付けすることが行われてい
た。

【０００３】図７はロットの製造工程を示す説明図であ
る。工程Ａを終了した後、イベントとして分割が発生し
た場合が示されている。工程Ｂの終了後に見た場合、ロ
ットａについては工程Ａおよび工程Ｂを共に通過したこ
とが分かるが、ロットａ’については分割イベントが発
生した仕掛かり状態を確認して始めて前工程の親ロット
が何であるかを確認できる。

【０００４】データ管理についても同様に、工程Ｂの終
了後に見た場合、工程Ａで取られたロットａのプロセス
データは簡単に確認されるが、工程Ａで取られたロット
ａ’のプロセスデータは分割イベントがあったことを確
認して始めて認識される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ようにロットに関するデータを手作業で紐付けしようと
すると、多数の工程にまたがった場合、あるいは多数の
分割イベントが発生した場合には完全な紐付けを行うこ
とが困難であった。したがって、各工程の各種プロセス
データを作業者が自由に引き出すことが難しく、各工程
内の傾向をリアルタイムで把握することができなかっ
た。

【０００６】そこで、本発明は多数の工程にまたがって
多数の分割イベントが発生した場合、完全にロットに関
するデータの紐付けを行えるデータ解析支援システムを
提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項１に係るデータ解析支援システム
は、複数の工程に別れた製造ラインで加工されるロット
に関するデータを解析するデータ解析支援システムにお
いて、前記ロットに関するデータを前記工程毎に入力す
るデータ入力手段と、該入力されたデータから工程間で
発生する前記ロットの分割イベントを参照する分割イベ
ント参照手段と、該参照された分割イベントに基づき、
前記工程間における親ロットと子ロットとの関係を示す
紐付けテーブルを作成する紐付け手段と、該作成された
紐付けテーブルを参照して前記ロットの前工程あるいは
後工程に関するデータを参照するデータ参照手段とを備
え、前記工程間のロットの紐付けを行うことにより前記
ロットに関するデータを解析することを特徴とする。ま
た、前記データ参照手段によって参照されたデータに基
づき、前記ロットのデータテーブルを作成するデータテ
ーブル作成手段を備えることが望ましい。さらに、前記
ロットに関するデータは、各工程における工程管理シス
テムのプロセスデータおよび製造装置の測定データであ
ることが望ましい。

【０００８】また、前記解析されたデータを帳票あるい
はグラフとして出力する出力手段を備えることが望まし
い。さらに、分割イベント参照手段および紐付け手段は
リレーショナルデータベースを用いて構成されることが
望ましい。

【０００９】請求項６に係るデータ解析支援システム
は、複数の工程に別れた製造ラインで加工されるロット
を管理するデータ解析支援システムにおいて、前記ロッ
トに関するデータを前記工程毎に入力するデータ入力手
段と、該入力されたデータから工程間で発生する前記ロ
ットの分割イベントを参照する分割イベント参照手段
と、該参照された分割イベントに基づき、前記工程間に
おける親ロットと子ロットとの関係を示す紐付けテーブ
ルを作成する紐付け手段とを備え、該作成された紐付け
テーブルを参照して前記ロットを管理することを特徴と
する。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明のデータ解析支援システム
の実施の形態について説明する。図１は実施の形態にお
けるデータ解析支援システムの構成を示すブロック図で
ある。データ解析支援システム１は、ホストコンピュー
タ２、ディスプレイ３、外部記憶装置５およびプリンタ
７を有し、ネットワーク１０を通じて図示しない各種工
程管理システムや各製造装置と接続されている。

【００１１】図２はデータ解析支援システム１における
データ管理方法を概略的に示す説明図である。データ解
析支援システム１は、個々の工程管理システム２１で保
存されているプロセスデータ（運用履歴など）および各
製造装置２３で保存されている測定データをネットワー
ク１０を通じて自動収集し、収集されたデータを外部記
憶装置５に割り当てられたリレーショナルデータベース
（Ｒｄｂ）２６に格納してデータの一元管理を行い、作
業者からの要求に応じて一元管理されたデータの帳票あ
るいはグラフをディスプレイ３あるいはプリンタ７によ
り出力する。

【００１２】データ解析支援システム１はリレーショナ
ルデータベース２６にプロセスデータおよび測定データ
を格納する時点で分割や派生などのイベント（以下、分
割イベントという）を考慮するが、始めに分割イベント
が発生した場合の処理を概略的に説明する。

【００１３】図３はロットの製造工程を示す説明図であ
る。工程Ａ、Ｂ間の仕掛かり状態でロットａからロット
ａ’を分割する分割イベントが発生している。図４は図
３に示されたロットの製造工程においてリレーショナル
データベース２６に登録された紐付けテーブルを示す説
明図である。同図（Ａ）はロットａの紐付けテーブルを
示し、同図（Ｂ）はロットａ’の紐付けテーブルを示
す。

【００１４】ロットａの場合、工程Ａ、Ｂ共に親ロット
はロットａであるので、帳票あるいはグラフを出力する
際、ロットａのプロセスデータおよび測定データをその
まま参照することができる。

【００１５】一方、ロットａ’の場合、工程Ｂでは親ロ
ットがロットａ’であるので、ロットａ’のプロセスデ
ータおよび測定データをそのまま参照するが、工程Ａで
は親ロットがロットａと登録されているので、プロセス
データおよび測定データなど全てのデータはロットａに
付属されているものを参照する。

【００１６】このように、イベント間の紐付けは、ロッ
トａのプロセスデータや測定データをそのままロット
ａ’にコピーすることにより行うのではなく、紐付けテ
ーブルを作成し、作成された紐付けテーブルを介して行
う。

【００１７】図５はリレーショナルデータベース２６に
登録された各種テーブルの関係を示す説明図である。図
６はデータ解析支援システム１におけるテーブル作成手
順を示すフローチャートである。

【００１８】データ解析支援システム１は、前述したよ
うに、製造工程における個々の工程管理システム２１か
らのプロセスデータや各種製造装置２３からの測定デー
タを自動収集し（ステップＳ１）、リレーショナルデー
タベース２６のマスターテーブル３１に格納する（ステ
ップＳ２）。マスタテーブル３１にはロット毎に工程や
作業などが登録されている。

【００１９】マスターテーブル３１を参照し、分割や派
生などの分割イベントを示すイベントテーブル３３を作
成する（ステップＳ３）。イベントテーブル３３には分
割イベントが発生したロットに対する子ロットが示され
ている。さらに、親ロットと子ロットとの関係を工程毎
に示す紐付けテーブル３５を作成する（ステップＳ
４）。

【００２０】つづいて、作業者から特定のロットに対す
る各種データの出力要求が入力されたか否かを判別し
（ステップＳ５）、入力されていない場合、そのまま終
了し、入力されている場合、データ解析支援システム１
は、紐付けテーブル３５を参照して該当する工程のロッ
トに対して親ロットが存在するか否かを判別し、親ロッ
トが存在する場合には親ロットのデータテーブル３８を
作成すると共に、そのデータテーブル３８を参照して該
当するロットのデータテーブル３８を完成させる。

【００２１】一方、親ロットのデータテーブルが存在し
ない場合、該当するロットのデータテーブル３８だけを
作成する（ステップＳ６）。作成されたデータテーブル
３８を基に帳票やグラフを出力する（ステップＳ７）。

【００２２】このように、紐付けテーブル３５を参照し
てロットの検索を行うことにより、あたかも全てのロッ
トがロット投入時点から運用されてきたかのようにデー
タを参照することができる。しかも、各種データテーブ
ルは予め作成しておくことなく、作業者から出力要求の
あった場合にだけ必要なロットのデータテーブルを作成
することでデータベースの容量をコンパクトにできる。

【００２３】尚、頻繁に使用するデータテーブル３８は
定期的に更新するようにしてもよく、この場合、作業者
からの出力要求に対して即座に応答することができる。

【００２４】また、前記実施の形態では、ステップＳ６
で親ロットが存在する場合には親ロットのデータテーブ
ル３８を作成することにより前工程を参照できるように
していたが、子ロットが存在するか否かを判別し子ロッ
トのデータテーブルを作成することにより後工程を参照
できるようにしてもよい。

【００２５】さらに、リレーショナルデータベースが格
納される外部記憶装置としては、フロッピーディスク、
ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−
ＲＯＭ、磁気テープ、不揮発性のメモリカードなどを用
いることができる。

【００２６】

【発明の効果】本発明の請求項１に係るデータ解析支援
システムによれば、複数の工程に別れた製造ラインで加
工されるロットに関するデータを解析する際、データ入
力手段により前記ロットに関するデータを前記工程毎に
入力し、分割イベント参照手段により該入力されたデー
タから工程間で発生する前記ロットの分割イベントを参
照し、該参照された分割イベントに基づき、紐付け手段
により前記工程間における親ロットと子ロットとの関係
を示す紐付けテーブルを作成し、データ参照手段により
該作成された紐付けテーブルを参照して前記ロットの前
工程あるいは後工程に関するデータを参照し、前記工程
間のロットの紐付けを行うことにより前記ロットに関す
るデータを解析するので、多数の工程にまたがって多数
の分割イベントが発生した場合でも完全にロットに関す
るデータの紐付けを行うことができる。これにより、各
工程の各種プロセスデータを作業者が自由に引き出すこ
とができ、相関やグラフを書くことができる。

【００２７】請求項２に係るデータ解析支援システムに
よれば、前記データ参照手段によって参照されたデータ
に基づき、前記ロットのデータテーブルを作成するデー
タテーブル作成手段を備えるので、データテーブルを用
いてデータ解析を容易に行うことができる。

【００２８】請求項３に係るデータ解析支援システムに
よれば、前記ロットに関するデータは、各工程における
工程管理システムのプロセスデータおよび製造装置の測
定データであるので、プロセスデータおよび測定データ
を用いたデータ解析を行うことができる。

【００２９】請求項４に係るデータ解析支援システムに
よれば、前記解析されたデータを帳票あるいはグラフと
して出力する出力手段を備えるので、作業者はデータ解
析が行われた帳票あるいはグラフを用いて製造工程全体
を管理できる。

【００３０】請求項５に係るデータ解析支援システムに
よれば、分割イベント参照手段および紐付け手段はリレ
ーショナルデータベースを用いて構成されるので、作業
者の要求に応じたデータテーブルを作成することができ
る。

【００３１】請求項６に係るデータ解析支援システムに
よれば、複数の工程に別れた製造ラインで加工されるロ
ットを管理する際、データ入力手段により前記ロットに
関するデータを前記工程毎に入力し、分割イベント参照
手段により該入力されたデータから工程間で発生する前
記ロットの分割イベントを参照し、該参照された分割イ
ベントに基づき、紐付け手段により前記工程間における
親ロットと子ロットとの関係を示す紐付けテーブルを作
成し、該作成された紐付けテーブルを参照して前記ロッ
トを管理するので、ロット投入から出荷までのロット運
用について、分割あるいは派生などの各種イベントを全
工程に亘って把握できる。また、注目のロットの前工程
あるいは後工程で分割イベントが発生しても、親ロット
が即座に判明し、ロットの運用状況が一目瞭然となる。
さらに、ロットの紐付けが可能になると、前工程あるい
は後工程で発生する各種プロセスデータが把握可能とな
る。また、プロセスデータは基本的にロットに付属して
いるので、ロットを把握することにより容易にプロセス
データを引き出すことができる。したがって、各種プロ
セスデータを作業者に対してリアルタイムで供給するこ
とができ、各工程内の傾向をリアルタイムで把握するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態におけるデータ解析支援システムの
構成を示すブロック図である。

【図２】データ解析支援システム１におけるデータ管理
方法を概略的に示す説明図である。

【図３】ロットの製造工程を示す説明図である。

【図４】図３に示されたロットの製造工程においてリレ
ーショナルデータベース２６に登録された紐付けテーブ
ルを示す説明図である。

【図５】リレーショナルデータベース２６に登録された
各種テーブルの関係を示す説明図である。

【図６】データ解析支援システム１におけるテーブル作
成手順を示すフローチャートである。

【図７】ロットの製造工程を示す説明図である。

【符号の説明】

１……データ解析支援システム、２……ホストコンピュ
ータ、５……外部記憶装置、７……プリンタ、２１……
工具管理システム、２３……製造装置、２６……リレー
ショナルデータベース、３１……マスターテーブル、３
３……イベントテーブル、３５……紐付けテーブル、３
８……データテーブル。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の工程に別れた製造ラインで加工さ
   れるロットに関するデータを解析するデータ解析支援シ
   ステムにおいて、 前記ロットに関するデータを前記工程毎に入力するデー
   タ入力手段と、 該入力されたデータから工程間で発生する前記ロットの
   分割イベントを参照する分割イベント参照手段と、 該参照された分割イベントに基づき、前記工程間におけ
   る親ロットと子ロットとの関係を示す紐付けテーブルを
   作成する紐付け手段と、 該作成された紐付けテーブルを参照して前記ロットの前
   工程あるいは後工程に関するデータを参照するデータ参
   照手段とを備え、 前記工程間のロットの紐付けを行うことにより前記ロッ
   トに関するデータを解析することを特徴とするデータ解
   析支援システム。
2. 【請求項２】 前記データ参照手段によって参照された
   データに基づき、前記ロットのデータテーブルを作成す
   るデータテーブル作成手段を備えたことを特徴とする請
   求項１記載のデータ解析支援システム。
3. 【請求項３】 前記ロットに関するデータは、各工程に
   おける工程管理システムのプロセスデータおよび製造装
   置の測定データであること特徴とする請求項１記載のデ
   ータ解析支援システム。
4. 【請求項４】 前記解析されたデータを帳票あるいはグ
   ラフとして出力する出力手段を備えたことを特徴とする
   請求項１記載のデータ解析支援システム。
5. 【請求項５】 分割イベント参照手段および紐付け手段
   はリレーショナルデータベースを用いて構成されること
   を特徴とする請求項１記載のデータ解析支援システム。
6. 【請求項６】 複数の工程に別れた製造ラインで加工さ
   れるロットを管理するデータ解析支援システムにおい
   て、 前記ロットに関するデータを前記工程毎に入力するデー
   タ入力手段と、 該入力されたデータから工程間で発生する前記ロットの
   分割イベントを参照する分割イベント参照手段と、 該参照された分割イベントに基づき、前記工程間におけ
   る親ロットと子ロットとの関係を示す紐付けテーブルを
   作成する紐付け手段とを備え、 該作成された紐付けテーブルを参照して前記ロットを管
   理することを特徴とするデータ解析支援システム。