JPH1048137A - Ｉｃｐ分析装置 - Google Patents
Ｉｃｐ分析装置Info
- Publication number
- JPH1048137A JPH1048137A JP20230296A JP20230296A JPH1048137A JP H1048137 A JPH1048137 A JP H1048137A JP 20230296 A JP20230296 A JP 20230296A JP 20230296 A JP20230296 A JP 20230296A JP H1048137 A JPH1048137 A JP H1048137A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- supplied
- valve
- plasma
- torch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】プラズマトーチに供給するガスの温度変化を少
なくし、安定までに要する時間を短くする。 【解決手段】プラズマトーチ１の中心部に霧化器によっ
て霧化された溶液試料がキャリアガス６によって供給さ
れ、その回りにはプラズマガス７が供給され、最外部に
はクーラントガス８が供給されている。プラズマトーチ
１上部では高周波コイル３によって電力が供給されてプ
ラズマ炎２が発生しており、ここで励起された試料が発
光分光され分析される。プラズマトーチ１にはトーチガ
ス配管１１と熱の発生しないガスオペレートバルブ９を
通じてＡｒガスが供給されている。ガスオペレートバル
ブ９を開閉するために、配管１２とソレノイドバルブ１
０を介してバルブ動作用Ａｒガスが供給されており、制
御器１３はソレノイドバルブ１０を制御することで間接
的にガスオペレートバルブ９を制御する。
なくし、安定までに要する時間を短くする。 【解決手段】プラズマトーチ１の中心部に霧化器によっ
て霧化された溶液試料がキャリアガス６によって供給さ
れ、その回りにはプラズマガス７が供給され、最外部に
はクーラントガス８が供給されている。プラズマトーチ
１上部では高周波コイル３によって電力が供給されてプ
ラズマ炎２が発生しており、ここで励起された試料が発
光分光され分析される。プラズマトーチ１にはトーチガ
ス配管１１と熱の発生しないガスオペレートバルブ９を
通じてＡｒガスが供給されている。ガスオペレートバル
ブ９を開閉するために、配管１２とソレノイドバルブ１
０を介してバルブ動作用Ａｒガスが供給されており、制
御器１３はソレノイドバルブ１０を制御することで間接
的にガスオペレートバルブ９を制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は高周波誘導結合プラ
ズマ（ＩＣＰ）を光源あるいはイオン源として備えた分
析装置、すなわち、ＩＣＰ発光分析装置やＩＣＰ質量分
析装置などのＩＣＰ分析装置に関する。
ズマ（ＩＣＰ）を光源あるいはイオン源として備えた分
析装置、すなわち、ＩＣＰ発光分析装置やＩＣＰ質量分
析装置などのＩＣＰ分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣＰ発光分析装置またはＩＣＰ質量分
析装置などのＩＣＰ分析装置は高周波誘導結合プラズマ
（ＩＣＰ）を励起源として備えている。例えば、ＩＣＰ
発光分析装置はＩＣＰを励起源として溶液試料に含まれ
る測定対象元素を発光させ、その光を分光器に導いて波
長ごとに分光し、元素に固有の波長の光の強度を測定す
ることによってその元素の濃度を定量する装置である。
析装置などのＩＣＰ分析装置は高周波誘導結合プラズマ
（ＩＣＰ）を励起源として備えている。例えば、ＩＣＰ
発光分析装置はＩＣＰを励起源として溶液試料に含まれ
る測定対象元素を発光させ、その光を分光器に導いて波
長ごとに分光し、元素に固有の波長の光の強度を測定す
ることによってその元素の濃度を定量する装置である。
【０００３】水溶液の試料は霧化器によって霧状にさ
れ、Ａｒガスなどのキャリアガスによってプラズマトー
チまで運ばれ、このプラズマトーチにおいて高周波電力
をかけられてプラズマ状態にされることによって発光す
る。この光を分光器に導いて分光検出することによって
試料の定性・定量分析を行うのであるが、この光の発光
強度はプラズマの状態に応じて変化し、プラズマの状態
は試料やキャリアガスの温度によって変化するので、試
料の定量分析値がプラズマトーチに供給されるキャリア
ガスなどのガスの温度変化に影響されて変動することに
なる。
れ、Ａｒガスなどのキャリアガスによってプラズマトー
チまで運ばれ、このプラズマトーチにおいて高周波電力
をかけられてプラズマ状態にされることによって発光す
る。この光を分光器に導いて分光検出することによって
試料の定性・定量分析を行うのであるが、この光の発光
強度はプラズマの状態に応じて変化し、プラズマの状態
は試料やキャリアガスの温度によって変化するので、試
料の定量分析値がプラズマトーチに供給されるキャリア
ガスなどのガスの温度変化に影響されて変動することに
なる。
【０００４】プラズマトーチにはガスボンベから通常３
系統のガス配管を通してＡｒガスが供給されている。そ
れらは、試料を霧状にしてトーチの中心部に運ぶキャリ
アガス、その外側に流されプラズマ炎を維持するための
プラズマガス、トーチの最外部に流されトーチで発生す
る熱を逃がすクーラントガスである。それぞれの配管に
はトーチにおけるプラズマの点灯や消灯を自動的にコン
トロールするために、ガスの管路を開閉するための電気
的に開閉制御が可能なソレノイドバルブが設けられてい
る。分析装置の制御を行う制御器によって自動運転する
場合には、ソレノイドバルブを開閉することによってプ
ラズマトーチへのガスの供給を行ったり停止したりして
いる。
系統のガス配管を通してＡｒガスが供給されている。そ
れらは、試料を霧状にしてトーチの中心部に運ぶキャリ
アガス、その外側に流されプラズマ炎を維持するための
プラズマガス、トーチの最外部に流されトーチで発生す
る熱を逃がすクーラントガスである。それぞれの配管に
はトーチにおけるプラズマの点灯や消灯を自動的にコン
トロールするために、ガスの管路を開閉するための電気
的に開閉制御が可能なソレノイドバルブが設けられてい
る。分析装置の制御を行う制御器によって自動運転する
場合には、ソレノイドバルブを開閉することによってプ
ラズマトーチへのガスの供給を行ったり停止したりして
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の装置ではトーチ
ガス管路の開閉は電気的な制御のできるソレノイドバル
ブを用いていた。ソレノイドバルブはコイル状のソレノ
イドに電流を流して、そのときに発生する電磁力で弁を
動かすものであるが、ソレノイドに電流を流すと抵抗に
よるジュール熱を発生するので、ソレノイドバルブを通
過するガスが暖められてその温度が上昇する。上述した
ように、ガスの温度はプラズマトーチで発生しているプ
ラズマの状態に影響し、ひいては、試料の定量分析値に
影響するので、ソレノイドバルブによるガスの温度上昇
は好ましいことではなく、分析の実際上は、分析を始め
る前にガスの温度が安定するまである程度の時間をおく
必要があった。
ガス管路の開閉は電気的な制御のできるソレノイドバル
ブを用いていた。ソレノイドバルブはコイル状のソレノ
イドに電流を流して、そのときに発生する電磁力で弁を
動かすものであるが、ソレノイドに電流を流すと抵抗に
よるジュール熱を発生するので、ソレノイドバルブを通
過するガスが暖められてその温度が上昇する。上述した
ように、ガスの温度はプラズマトーチで発生しているプ
ラズマの状態に影響し、ひいては、試料の定量分析値に
影響するので、ソレノイドバルブによるガスの温度上昇
は好ましいことではなく、分析の実際上は、分析を始め
る前にガスの温度が安定するまである程度の時間をおく
必要があった。
【０００６】本発明は、このような事情に鑑みて成され
たものであり、プラズマトーチに供給されるキャリアガ
スの温度に変化を与えないようなガスの供給機構を備え
ることで、分析開始までの待ち時間を短くでき、さらに
は、発光強度を安定にしてより安定な定量分析値を求め
ることのできるＩＣＰ分析装置を提供することを目的と
する。
たものであり、プラズマトーチに供給されるキャリアガ
スの温度に変化を与えないようなガスの供給機構を備え
ることで、分析開始までの待ち時間を短くでき、さらに
は、発光強度を安定にしてより安定な定量分析値を求め
ることのできるＩＣＰ分析装置を提供することを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、プラズマトーチにガスを導入するための
配管とこのガス管路を開閉するバルブを有するＩＣＰ分
析装置において、前記バルブをガスオペレートバルブと
したことを特徴とする。
決するために、プラズマトーチにガスを導入するための
配管とこのガス管路を開閉するバルブを有するＩＣＰ分
析装置において、前記バルブをガスオペレートバルブと
したことを特徴とする。
【０００８】プラズマトーチに供給されるガス管路の開
閉のためにガスの圧力を動作源にしたガスオペレートバ
ルブを用いたので、バルブ自体が熱を発生することがな
く、管路内を流れるガスの温度が上昇しない。
閉のためにガスの圧力を動作源にしたガスオペレートバ
ルブを用いたので、バルブ自体が熱を発生することがな
く、管路内を流れるガスの温度が上昇しない。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に、図面を用いて、本発明の
ＩＣＰ分析装置の実施の形態の一例を説明する。図１は
ＩＣＰ発光分析装置のプラズマトーチの部分を示す概略
図であって、プラズマトーチ１で発生する光を分光して
検出する分光器の部分は図示を省略している。
ＩＣＰ分析装置の実施の形態の一例を説明する。図１は
ＩＣＰ発光分析装置のプラズマトーチの部分を示す概略
図であって、プラズマトーチ１で発生する光を分光して
検出する分光器の部分は図示を省略している。
【００１０】プラズマトーチ１にはＡｒガスが流されて
おり、高周波コイル３から高周波電力が供給されること
でその上部にプラズマ炎２が発生している。プラズマト
ーチ１に流されるＡｒガスは３つの経路で供給されてい
る。キャリアガス６は霧化器４を介して３重の円筒状に
なったプラズマトーチの中心部に供給されている。水溶
液などの溶液試料５は霧化器４によって霧状にされてキ
ャリアガス６によってプラズマトーチ１まで運ばれ、プ
ラズマ炎の中でプラズマ状態に励起され発光する。ま
た、プラズマガス７はプラズマトーチ１の３重管の真中
の管に供給されてプラズマ炎２を維持しており、クーラ
ントガス８はプラズマトーチ１の３重管の最も外側の管
に流されて周辺部を冷却する働きをしている。プラズマ
炎１において発生した分析試料の光は、図示していない
分光器に導かれて分光器内に設置されている回折格子に
よって分光され、光電子増倍管などの検出器によってそ
の強度が測定されて試料に含まれる元素の濃度が測定さ
れる。
おり、高周波コイル３から高周波電力が供給されること
でその上部にプラズマ炎２が発生している。プラズマト
ーチ１に流されるＡｒガスは３つの経路で供給されてい
る。キャリアガス６は霧化器４を介して３重の円筒状に
なったプラズマトーチの中心部に供給されている。水溶
液などの溶液試料５は霧化器４によって霧状にされてキ
ャリアガス６によってプラズマトーチ１まで運ばれ、プ
ラズマ炎の中でプラズマ状態に励起され発光する。ま
た、プラズマガス７はプラズマトーチ１の３重管の真中
の管に供給されてプラズマ炎２を維持しており、クーラ
ントガス８はプラズマトーチ１の３重管の最も外側の管
に流されて周辺部を冷却する働きをしている。プラズマ
炎１において発生した分析試料の光は、図示していない
分光器に導かれて分光器内に設置されている回折格子に
よって分光され、光電子増倍管などの検出器によってそ
の強度が測定されて試料に含まれる元素の濃度が測定さ
れる。
【００１１】プラズマトーチ１にＡｒガスを供給する配
管は、ガスボンベなどにつながれているトーチガス配管
１１を３つに枝分かれさせてプラズマトーチの３重管の
それぞれに接続されるが、３系統のそれぞれにはその管
路を開閉するためのバルブ９が配設されている。このバ
ルブ９はトーチガスとは別に設けられたバルブ動作用ガ
スの圧力を動力源としたガスオペレートバルブである。
このガスオペレートバルブ９の開閉を制御するために、
それぞれのガスオペレートバルブ９にはバルブ動作用ガ
スがソレノイドバルブ１０を介して供給されるようにな
っている。分析装置の動作スケジュールに応じて、制御
器１３がソレノイドバルブ１０を電気的に個別に制御す
ることでガスオペレートバルブ９の開閉を間接的に個別
に制御する。
管は、ガスボンベなどにつながれているトーチガス配管
１１を３つに枝分かれさせてプラズマトーチの３重管の
それぞれに接続されるが、３系統のそれぞれにはその管
路を開閉するためのバルブ９が配設されている。このバ
ルブ９はトーチガスとは別に設けられたバルブ動作用ガ
スの圧力を動力源としたガスオペレートバルブである。
このガスオペレートバルブ９の開閉を制御するために、
それぞれのガスオペレートバルブ９にはバルブ動作用ガ
スがソレノイドバルブ１０を介して供給されるようにな
っている。分析装置の動作スケジュールに応じて、制御
器１３がソレノイドバルブ１０を電気的に個別に制御す
ることでガスオペレートバルブ９の開閉を間接的に個別
に制御する。
【００１２】ガスオペレートバルブ９を動作させるガス
はバルブ動作ガス配管１２を通じて供給される。このガ
スはトーチに供給されるＡｒガスとは別の例えば窒素ガ
スなどでもよいが、ガス系統の構成を簡単にするために
はトーチガスと同じＡｒガスを使うことが望ましい。ガ
スオペレートバルブ９で消費されるガスの量はプラズマ
トーチ１で消費される量に比べれば遥かに少ないので、
Ａｒガスを用いてもそれほどのコストアップにはならな
い。
はバルブ動作ガス配管１２を通じて供給される。このガ
スはトーチに供給されるＡｒガスとは別の例えば窒素ガ
スなどでもよいが、ガス系統の構成を簡単にするために
はトーチガスと同じＡｒガスを使うことが望ましい。ガ
スオペレートバルブ９で消費されるガスの量はプラズマ
トーチ１で消費される量に比べれば遥かに少ないので、
Ａｒガスを用いてもそれほどのコストアップにはならな
い。
【００１３】ガスオペレートバルブ９は供給される動作
用ガスの圧力で動作するものであるから、原理的に発熱
する部分がなく、プラズマトーチ１に導入するトーチガ
スを暖めることがない。
用ガスの圧力で動作するものであるから、原理的に発熱
する部分がなく、プラズマトーチ１に導入するトーチガ
スを暖めることがない。
【００１４】なお、上記の実施の形態ではガスオペレー
トバルブ９をキャリアガス６・プラズマガス７・クーラ
ントガス８の３系統のすべての管路に設置したが、本発
明はこれに限られることなく、最も温度変化の影響の大
きいキャリアガスの管路にのみガスオペレートバルブを
設置してもよい。さらには、キャリアガスとプラズマガ
スの２系統の管路にガスオペレートバルブを設置しても
よい。
トバルブ９をキャリアガス６・プラズマガス７・クーラ
ントガス８の３系統のすべての管路に設置したが、本発
明はこれに限られることなく、最も温度変化の影響の大
きいキャリアガスの管路にのみガスオペレートバルブを
設置してもよい。さらには、キャリアガスとプラズマガ
スの２系統の管路にガスオペレートバルブを設置しても
よい。
【００１５】
【発明の効果】本発明のＩＣＰ分析装置は、トーチガス
の管路を開閉するバルブに発熱しないガスオペレートバ
ルブを用いたから、プラズマトーチに供給されるキャリ
アガスなどの温度に変化を与えることがないので、プラ
ズマの状態が安定するまでの待ち時間を短くでき、さら
には、発光強度を安定にしてより安定な定量分析値を求
めることができる。
の管路を開閉するバルブに発熱しないガスオペレートバ
ルブを用いたから、プラズマトーチに供給されるキャリ
アガスなどの温度に変化を与えることがないので、プラ
ズマの状態が安定するまでの待ち時間を短くでき、さら
には、発光強度を安定にしてより安定な定量分析値を求
めることができる。
【図１】本発明の一実施の形態を示す図である。
１…プラズマトーチ ２…プラズマ炎 ３…高周波コイル ４…霧化器 ５…溶液試料 ６…キャリアガス ７…プラズマガス ８…クーラントガス ９…ガスオペレートバルブ １０…ソレノイドバルブ １１…トーチガス配管 １２…バルブガス配管 １３…制御器
Claims (1)
- 【請求項１】 プラズマトーチにガスを導入するための
配管とこのガス管路を開閉するバルブを有するＩＣＰ分
析装置において、前記バルブをガスオペレートバルブと
したことを特徴とするＩＣＰ分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20230296A JPH1048137A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | Ｉｃｐ分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20230296A JPH1048137A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | Ｉｃｐ分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1048137A true JPH1048137A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=16455301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20230296A Pending JPH1048137A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | Ｉｃｐ分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1048137A (ja) |
-
1996
- 1996-07-31 JP JP20230296A patent/JPH1048137A/ja active Pending
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