JPH1048244A

JPH1048244A - 外力計測装置

Info

Publication number: JPH1048244A
Application number: JP22072296A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Negoro; 泰宏根来
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1996-08-02
Filing date: 1996-08-02
Publication date: 1998-02-20

Abstract

(57)【要約】【課題】貫通孔内に充填した導電性の充填部材を外力
検出手段に確実に接触させ、充填部材による接続部の信
頼性を向上させる。【解決手段】加速度計測装置２１を、基板２、検出部
３、隔壁９および蓋体２２から構成する。そして、検出
部３を、各固定部４と可動部７とから構成し、可動部７
を、各支持部７Ａ、各梁７Ｂおよび質量部７Ｃから構成
する。また、蓋体２２には、各固定部４と各支持部７Ａ
との当接位置に、各貫通孔２３，２４と各空気抜き孔２
５とを形成し、各貫通孔２３，２４内には導電性ペース
ト１３を充填する。さらに、各空気抜き孔２５を、通気
孔２５Ａと連通溝２５Ｂとから構成する。そして、各貫
通孔２３，２４の検出部３側の開口部と各通気孔２５Ａ
とは、連通溝２５Ｂを介して連通される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば加速度、角
速度等を計測するのに用いて好適な外力計測装置に関
し、特に、導電性ペーストを介して外部の信号処理回路
等に接続される外力計測装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ここで、従来技術による外力計測装置と
して図９および図１０に示す加速度計測装置を例に挙げ
て説明する。

【０００３】図中、１はマイクロマシニング技術により
作製された加速度計測装置、２は該加速度計測装置１の
本体をなすように例えば高抵抗な単結晶のシリコン、ガ
ラス板等から形成された基板をそれぞれ示し、該基板２
上には後述の検出部３および隔壁９が形成され、該検出
部３は蓋体１０により覆われている。

【０００４】３は加速度を検出する外力検出手段として
の検出部を示し、該検出部３は、例えば低抵抗なシリコ
ン板等にエッチング処理を施すことにより、隔壁９と共
に基板２上に形成されている。そして、検出部３は、後
述の固定部４，４と、該固定部４，４間に配設された可
動部７とから構成されている。

【０００５】４，４は左，右に離間した一対の固定部
で、該各固定部４は図１０に示す如く、例えばシリコン
酸化膜等からなる絶縁層５を介して基板２上に固着さ
れ、その側面には図９に示すように、複数の電極板６
Ａ，６Ａ，…を有するくし状電極６が形成されている。

【０００６】７は固定部４，４間に配設された可動部
で、該可動部７は、基板２上に絶縁層５を介して固定さ
れた一対の支持部７Ａ，７Ａと、該各支持部７Ａにそれ
ぞれ一体形成され、基板２の中央側に向けて延びる梁７
Ｂ，７Ｂと、該各梁７Ｂにより矢示Ａ方向に変位可能に
支持された質量部７Ｃとから構成されている。

【０００７】また、質量部７Ｃの左，右の側面には複数
の電極板８Ａ，８Ａ，…を有するくし状電極８，８が形
成され、くし状電極６，８の各電極板６Ａ，８Ａは、
前，後方向となる矢示Ａ方向に微小な離間寸法をもって
互いに対向している。

【０００８】９は検出部３の周囲を四角形状に囲む隔壁
を示し、該隔壁９は図１０に示す如く、例えば低抵抗な
シリコン板等にエッチング処理を施すことにより検出部
３と共に形成され、絶縁層５を介して基板２上に固着さ
れている。

【０００９】１０は検出部３を覆う絶縁性の蓋体を示
し、該蓋体１０は図１０に示す如く隔壁９の先端側に固
着され、該隔壁９を施蓋している。また、蓋体１０の内
側面は、検出部３の各固定部４および各支持部７Ａに当
接している。

【００１０】１１は基板２、隔壁９および蓋体１０によ
り画成された空間で、該空間１１内には検出部３が密閉
状態で収容され、これにより検出部３は外部のゴミ、水
分等の異物から遮断されている。

【００１１】１２，１２，…は蓋体１０に穿設された例
えば４個の貫通孔（２個のみ図示）を示し、該各貫通孔
１２は内端側が蓋体１０と各固定部４との当接位置およ
び蓋体１０と各支持部７Ａとの当接位置に開口し、空間
１１から遮断されている。

【００１２】１３，１３，…は各貫通孔１２内に充填部
材として充填された導電性ペーストを示し、該各導電性
ペースト１３は例えば銀等の導電性材料を主成分とした
ものであり、内端側が検出部３の各固定部４または各支
持部７Ａと接触し、外端側が後述の電極パッド１４に接
触している。

【００１３】１４，１４，…は導電性の電極パッドで、
該各電極パッド１４は例えばアルミニウム、クロム等の
金属材料から四角形状に形成され、各貫通孔１２の周囲
に位置して蓋体１０の外側面に固定されている。また、
各電極パッド１４は、例えばボンディングワイヤを介し
て外部の信号処理回路（いずれも図示せず）等に接続さ
れる。

【００１４】１５，１５，…は各貫通孔１２内に位置し
て各固定部４および各支持部７Ａに固着された他の電極
パッドで、該各電極パッド１５は各導電性ペースト１３
を各固定部４および各支持部７Ａに対して確実に接続す
るためのものである。

【００１５】従来技術による加速度計測装置１は上述の
如き構成を有するもので、次にその作動について説明す
る。

【００１６】まず、例えば加速度計測装置１に対して図
９中の矢示Ａ方向に加速度が加えられると、可動部７の
質量部７Ｃがこの加速度に応じて各固定部４に対し矢示
Ａ方向に変位するから、該各固定部４と可動部７との間
では、くし状電極６の各電極板６Ａとくし状電極８の各
電極板８Ａとの間の離間寸法が矢示Ａ方向で変化し、こ
れらの間の静電容量が変化する。

【００１７】そして、この静電容量の変化は、各固定部
４および可動部７から各導電性ペースト１３、各電極パ
ッド１４および前記ボンディングワイヤ等を介して前述
した外部の信号処理回路等に検出信号として導出され、
これにより加速度計測装置１は加速度を計測することが
できる。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来技術では、加速度計測装置１の検出部３と外部の信号
処理回路等とを接続するために、蓋体１０の各貫通孔１
２内に導電性ぺースト１３を充填し、その内端側を検出
部３の各固定部４と各支持部７Ａに接触させ、外端側を
各電極パッド１４に接触させている。この場合、各導電
性ペースト１３は、蓋体１０を基板２上に取付けた後に
該蓋体１０の外面側から各貫通孔１２内に充填される。

【００１９】しかし、貫通孔１２は内端側が検出部３の
各固定部４または各支持部７Ａと当接する当接位置に開
口しているため、該貫通孔１２は結果的に有底孔となっ
ている。このため、導電性ペースト１３を貫通孔１２の
外側開口部から充填しようとすると、貫通孔１２内に空
気が閉じ込められ、この空気により導電性ペースト１３
の充填が妨げられるという問題がある。

【００２０】即ち、従来技術では、貫通孔１２内に残留
した空気により導電性ペースト１３が貫通孔１２の内端
側まで十分に到達できず、導電性ペースト１３と検出部
３とが不安定な状態で接触したり、接触しなくなること
があり、導電性ペースト１３による接続部の信頼性が低
下するという問題がある。

【００２１】これに対し、導電性ペースト１３による接
続部の信頼性を確保するためには、導電性ペースト１３
が貫通孔１２の内端側まで容易に到達できるように、貫
通孔１２をある程度大きい孔径寸法に形成せざるを得
ず、このため従来技術では、各貫通孔１２の孔径寸法が
障害となって加速度計測装置１を小型化できないという
問題がある。

【００２２】本発明は上述した従来技術の問題に鑑みな
されたもので、本発明は、貫通孔内に充填した導電性の
充填部材を外力検出手段に確実に接触でき、充填部材に
よる接続部の信頼性を大幅に向上できると共に、貫通孔
を小さく形成できるようにした外力計測装置を提供する
ことを目的としている。

【００２３】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、請求項１に記載の発明は、基板と、該基板上に
設けられ外部から加わる力を検出する外力検出手段と、
該外力検出手段を囲んで前記基板の周囲に設けられた隔
壁と、前記外力検出手段を覆うために該隔壁に設けられ
た蓋体と、前記外力検出手段まで貫通させて該蓋体に設
けられた貫通孔と、該貫通孔内に充填され、前記外力検
出手段に接触する導電性の充填部材と、該充填部材の充
填時に前記貫通孔内の空気を外部に抜くための空気抜き
孔とからなる構成を採用している。

【００２４】上記構成によれば、充填部材を蓋体の外部
側から外力検出手段に向けて貫通孔内に充填するときに
は、貫通孔の内端側（外力検出手段側）に残留した空気
を空気抜き孔を介して外部に抜くことができ、充填部材
を貫通孔内の内端側まで充填できると共に、充填部材を
外力検出手段に到達させることができる。

【００２５】また、請求項２に記載の発明では、前記空
気抜き孔は、前記外力検出手段まで貫通させて前記蓋体
に開口する通気孔と、該通気孔と前記貫通孔とを前記基
板の内面側で連通させる連通溝とから構成している。

【００２６】これにより、蓋体を外力検出手段に当接す
るように設けた場合には、該貫通孔と空気抜き孔とを外
力検出手段側で閉塞でき、該貫通孔と空気抜き孔とを外
力検出手段が収容される蓋体内の空間から遮断できる。
そして、この状態で貫通孔と空気抜き孔とを連通溝を介
して連通できるから、貫通孔内に充填部材を充填すると
きに、該貫通孔の内端側に残留した空気を連通溝と通気
孔とを介して外部に抜くことができ、充填部材を貫通孔
内の内端側まで充填できると共に、充填部材を外力検出
手段に到達させることができる。しかも、貫通孔等に対
する充填部材の充填状態に関係なく蓋体内の空間を密閉
できる。

【００２７】さらに、請求項３に記載の発明では、前記
貫通孔は、連通路によって前記基板、隔壁および蓋体に
よって画成された空間に連通され、前記空気抜き孔は、
前記貫通孔とは異なる位置で前記蓋体を貫通して設け、
前記空間に開口させる構成としている。

【００２８】これにより、充填部材の充填時には、貫通
孔内の空気を連通路を介して蓋体内の空間に抜き、この
空気を蓋体の空気抜き孔を介して外部に抜くことができ
るから、充填部材を貫通孔内の内端側まで充填でき、充
填部材を外力検出手段に到達させることができる。

【００２９】一方、請求項４に記載の発明では、前記貫
通孔は、連通路によって前記基板、隔壁および蓋体によ
って画成された空間に連通され、前記空気抜き孔は、前
記隔壁を貫通して設け、前記空間に開口させる構成とし
ている。

【００３０】これにより、充填部材の充填時には、貫通
孔内の空気を連通路を介して蓋体内の空間に抜き、この
空気を隔壁の空気抜き孔を介して外部に抜くことができ
るから、充填部材を貫通孔内の内端側まで充填でき、充
填部材を外力検出手段に到達させることができる。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を添付図面
に従って詳細に説明する。

【００３２】ここで、図１ないし図４は本発明による第
１の実施例を示し、本実施例では、外力計測装置として
加速度計測装置を例に挙げて説明する。なお、本実施例
では、従来技術と同一の構成要素に同一の符号を付し、
その説明を省略するものとする。

【００３３】図中、２１は本実施例による加速度計測装
置を示し、該加速度計測装置２１は従来技術と同様に、
基板２、検出部３、隔壁９および後述の蓋体２２を備
え、該蓋体２２に形成された後述の各貫通孔２３，２４
には導電性ペースト１３が充填されている。また、検出
部３は図２に示すように、基板２、隔壁９および蓋体２
２によって画成された空間１１に密閉状態で収容されて
いる。

【００３４】２２は検出部３を覆うために従来技術によ
る蓋体１０に代えて本実施例に用いる蓋体を示し、該蓋
体２２は例えばガラス等の絶縁材料から四角形状に形成
され、隔壁９の先端側に固着されると共に、該隔壁９を
施蓋している。また、蓋体２２の内側面は、検出部３の
各固定部４および各支持部７Ａに当接し、これらの当接
位置には、各貫通孔２３，２４と後述の各空気抜き孔２
５とが空間１１から遮断された状態で形成されている。
さらに、蓋体２２の外側面には、各貫通孔２３，２４の
周囲に位置して各電極パッド１４が固定されている。

【００３５】２３，２３は各固定部４まで貫通させて蓋
体２２に穿設された固定部４側の貫通孔を示し、該各貫
通孔２３の内端側は図４に示す如く、各固定部４との当
接位置に開口した内側開口部２３Ａとなっている。

【００３６】２４，２４は可動部７の各支持部７Ａまで
貫通させて蓋体２２に穿設された可動部７側の貫通孔を
示し、該各貫通孔２４の内端側は図３に示す如く、各支
持部７Ａとの当接位置に開口した内側開口部２４Ａとな
っている。

【００３７】２５，２５，…は蓋体２２を貫通して設け
られた本実施例による空気抜き孔を示し、該各空気抜き
孔２５は図１ないし図３に示す如く、各貫通孔２３，２
４とは異なる位置で蓋体２２に穿設され、内端側が各固
定部４または各支持部７Ａとの当接位置に開口してい
る。

【００３８】また、各空気抜き孔２５は、貫通孔２３，
２４と同様に蓋体２２に穿設された通気孔２５Ａと、蓋
体２２の内面側に沿って検出部３との間に形成され、該
通気孔２５Ａと各貫通孔２３，２４の内側開口部２３
Ａ，２４Ａとを基板２の内面側で連通させる連通溝２５
Ｂとから構成されている。

【００３９】そして、各空気抜き孔２５は、導電性ペー
スト１３を蓋体２２の外側面から各貫通孔２３，２４内
に充填するときに、該各貫通孔２３，２４内の空気を内
側開口部２３Ａ，２４Ａから蓋体２２の外部に抜くもの
である。

【００４０】本実施例による加速度計測装置は上述の如
き構成を有し、その基本的作動については従来技術によ
るものと格別差異はない。

【００４１】然るに、本実施例では、蓋体２２に各貫通
孔２３，２４とは異なる位置で各空気抜き孔２５を形成
し、該各空気抜き孔２５を介して各貫通孔２３，２４の
内側開口部２３Ａ，２４Ａを蓋体２２の外部に連通させ
る構成としたから、各貫通孔２３，２４と各空気抜き孔
２５とが図３に示す如く、全体として略Ｕ字状をなす連
通穴となり、導電性ペースト１３を蓋体２２の外側面か
ら各貫通孔２３，２４内に充填するときには、該各貫通
孔２３，２４内に残留した空気を内側開口部２３Ａ，２
４Ａから空気抜き孔２５を介して外部に確実に抜くこと
ができる。これにより、導電性ペースト１３を各貫通孔
２３，２４内に円滑に充填でき、導電性ペースト１３を
検出部３に確実に到達させることができる。

【００４２】従って、各導電性ペースト１３を検出部３
の各固定部４および各支持部７Ａに安定した状態で接触
できるから、該各導電性ペースト１３により検出部３と
蓋体２２上の各電極パッド１４とを確実に接続でき、導
電性ペースト１３による接続部の信頼性を大幅に向上で
きると共に、導電性ペースト１３の充填作業を容易に行
うことができる。

【００４３】また、各貫通孔２３，２４が小径であって
も、内側開口部２３Ａ，２４Ａ側から空気を抜くことに
より導電性ペースト１３を各貫通孔２３，２４内に容易
に充填できるから、該各貫通孔２３，２４の孔径寸法を
従来技術に比べて小さく形成でき、加速度計測装置２１
を貫通孔２３，２４の孔径に制限されることなく容易に
小型化することができる。

【００４４】さらに、各貫通孔２３，２４と各空気抜き
孔２５とを、蓋体２２と検出部３との当接位置に設けた
から、該各貫通孔２３，２４と各空気抜き孔２５とを蓋
体２２内の空間１１から遮断でき、各貫通孔２３，２４
内と各空気抜き孔２５とに対する導電性ペースト１３の
充填状態に関係なく空間１１を確実に密閉できる。これ
により、ゴミ等の異物が各貫通孔２３，２４や各空気抜
き孔２５を介して検出部３側に侵入するのを確実に防止
できる。

【００４５】次に、図５ないし図７は本発明による第２
の実施例を示し、本実施例の特徴は、貫通孔の内端側を
蓋体内の空間に連通させ、この空間を蓋体に設けた空気
抜き孔を介して外部に連通させたことにある。なお、本
実施例では、前記第１の実施例と同一の構成要素に同一
の符号を付し、その説明を省略するものとする。

【００４６】図中、３１は本実施例による加速度計測装
置を示し、該加速度計測装置３１は第１の実施例と同様
に、基板２、検出部３、隔壁９および後述の蓋体３２を
備え、該蓋体３２に形成された後述の各貫通孔３３，３
４には導電性ペースト１３が充填されている。また、検
出部３は基板２、隔壁９および蓋体３２によって画成さ
れた空間１１に密閉状態で収容されているものの、本実
施例では、後述の空気抜き孔３５が空間１１内に開口し
ている。

【００４７】３２は検出部３を覆うために本実施例に用
いられる絶縁性の蓋体を示し、該蓋体３２は隔壁９の先
端側に固着され、その内側面は、検出部３の各固定部４
と各支持部７Ａとに当接し、これらの当接位置には、各
貫通孔３３，３４が形成されている。

【００４８】３３，３３は各固定部４まで貫通させて蓋
体３２に穿設された固定部４側の貫通孔で、該各貫通孔
３３の内端側は各固定部４との当接位置に開口する内側
開口部３３Ａとなり、該内側開口部３３Ａは図７に示す
如く、蓋体３２の内面側に沿って各固定部４との間に形
成された連通路３３Ｂを介して空間１１に連通されてい
る。

【００４９】３４，３４は各支持部７Ａまで貫通させて
蓋体３２に穿設された可動部７側の貫通孔を示し、該各
貫通孔３４は図６に示すように、各支持部７Ａとの当接
位置に開口する内側開口部３４Ａを有し、該内側開口部
３４Ａは図５に示す如く連通路３４Ｂを介して空間１１
に連通されている。

【００５０】３５は本実施例による空気抜き孔を示し、
該空気抜き孔３５は蓋体３２に貫通して設けられ、各貫
通孔３３，３４内に導電性ペースト１３を充填する前に
は空間１１内に開口し、導電性ペースト１３の充填時に
各貫通孔３３，３４内の空気を空間１１から外部に抜く
ようになっている。そして、空気抜き孔３５は、導電性
ペースト２５の充填後に他の導電性ペースト３６によっ
て閉塞され、これにより空間１１は密閉される。

【００５１】かくして、上記の如く構成された本実施例
でも、前記第１の実施例とほぼ同等の作用効果を得るこ
とができるが、特に本実施例では、各貫通孔３３，３４
の連通路３３Ｂ，３４Ｂがそれぞれ空間１１内に連通し
ている。従って、本実施例では、蓋体３２に単一の空気
抜き孔３５を設ければよいから、蓋体３２の形成工程を
簡略化できる。また、各貫通孔３３，３４内に導電性ペ
ースト１３を充填した後に、空気抜き孔３５を導電性ペ
ースト３６によって閉塞するようにしたから、蓋体３２
内の空間１１を確実に密閉することができる。

【００５２】次に、図８は本発明による第３の実施例を
示し、本実施例では、前記第２の実施例と同一の構成要
素に同一の符号を付し、その説明を省略するものとす
る。しかし、本実施例による加速度計測装置４１の特徴
は、蓋体４２に代えて隔壁４３に空気抜き孔４４を設け
たことにある。

【００５３】ここで、空気抜き孔４４は、隔壁９と同様
の隔壁４３に貫通して形成され、蓋体４２内の空間１１
に連通されている。そして、空気抜き孔４４は、各導電
性ペースト１３の充填時に各貫通孔３３，３４の空気を
空間１１から外部に抜き、各導電性ペースト１３の充填
後には、例えば導電性ペースト等からなる栓体４５によ
って閉塞されるものである。

【００５４】かくして、上記の如く構成された本実施例
でも、前記第２の実施例とほぼ同等の作用効果を得るこ
とができる。

【００５５】なお、前記第１の実施例では、空気抜き孔
２５の連通溝２５Ｂを蓋体２２の内面側に形成する構成
としたが、本発明はこれに限らず、連通溝２５Ｂを蓋体
２２との当接位置で検出部３の各固定部４の表面および
各支持部７Ａの表面に形成する構成としてもよい。

【００５６】また、前記第２の実施例では、蓋体３２を
検出部３の各固定部４と各支持部７Ａとに当接させる構
成としたが、本発明はこれに限らず、蓋体３２と検出部
３とを僅かに離間させる場合には、この蓋体３２と検出
部３との離間部分が各貫通孔３３，３４の連通路３３
Ｂ，３４Ｂと同様の機能を果たすことになる。

【００５７】さらに、前記各実施例では、外力計測装置
として加速度計測装置２１，３１，４１により加速度を
計測する場合を例に挙げて述べたが、本発明はこれに限
らず、角速度計測装置により角速度を計測する場合に適
用してもよく、また質量部の変位量検出値に基づいて外
力計測装置の移動距離や移動速度、または回転角度や角
加速度等を検出する構成としてもよい。

【００５８】また、前記各実施例では、蓋体２２，３
２，４２または隔壁４３に空気抜き孔２５，３５，４４
を形成する構成としたが、空気抜き孔を基板２に形成す
ることもできる。

【００５９】

【発明の効果】以上詳述した通り、請求項１に記載の発
明によれば、各貫通孔内の空気を外部に抜く空気抜き孔
を設けたから、充填部材の充填時には、貫通孔内に残留
した空気を空気抜き孔を介して外部に確実に抜くことが
でき、貫通孔内に充填部材を円滑に充填できると共に、
充填部材を外力検出手段に確実に到達させることができ
る。従って、充填部材を外力検出手段に安定した状態で
接触でき、外力計測装置の信頼性を大幅に向上できる。
また、貫通孔が小径であっても充填部材を容易に充填で
きるから、該貫通孔の孔径を従来技術よりも小さくで
き、外力計測装置を貫通孔の孔径に制限されることなく
容易に小型化することができる。

【００６０】また、請求項２に記載の発明によれば、空
気抜き孔を、外力検出手段まで貫通させて蓋体に開口す
る通気孔と、該通気孔と貫通孔とを基板の内面側で連通
させる連通溝とから構成したから、蓋体を外力検出手段
に当接するように設けた場合には、貫通孔と空気抜き孔
とを外力検出手段が収容される空間から確実に遮断で
き、貫通孔等に対する充填部材の充填状態に関係なく蓋
体内の空間を確実に密閉できる。そして、この状態で空
気抜き孔により貫通孔内の充填部材を外力検出手段に確
実に到達させることができるから、外力計測装置の信頼
性を大幅に向上させることができる。

【００６１】さらに、請求項３に記載の発明によれば、
貫通孔と蓋体内の空間とを連通路を介して連通させ、こ
の空間に開口する空気抜き孔を蓋体に設けたから、充填
部材の充填時には、貫通孔内の空気を連通路と蓋体内の
空間とを介して蓋体の空気抜き孔から外部へと確実に抜
くことができ、貫通孔内の充填部材を外力検出手段に確
実に接触させることができる。

【００６２】一方、請求項４に記載の発明によれば、貫
通孔と蓋体内の空間とを連通路を介して連通させ、この
空間に開口する空気抜き孔を隔壁に設けたから、充填部
材の充填時には、貫通孔内の空気を連通路と蓋体内の空
間とを介して隔壁の空気抜き孔から外部へと確実に抜く
ことができ、貫通孔内の充填部材を外力検出手段に確実
に接触させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例による加速度計測装置を示す斜視
図である。

【図２】第１の実施例による加速度計測装置を示す一部
破断の平面図である。

【図３】図２の矢示III−III方向から見た縦断面図であ
る。

【図４】図２の矢示IV−IV方向から見た縦断面図であ
る。

【図５】本発明の第２の実施例による加速度計測装置を
示す一部破断の平面図である。

【図６】図５の矢示VI−VI方向から見た縦断面図であ
る。

【図７】図５の矢示VII−VII方向から見た縦断面図であ
る。

【図８】第３の実施例による加速度計測装置を示す図７
と同様の縦断面図である。

【図９】従来技術による加速度計測装置を示す一部破断
の平面図である。

【図１０】図９の矢示Ｘ−Ｘ方向から見た縦断面図であ
る。

【符号の説明】

２基板３検出部（外力検出手段）９，４３隔壁１１空間１３導電性ペースト（充填部材）２１，３１，４１加速度計測装置（外力計測装置）２２，３２，４２蓋体２３，２４，３３，３４貫通孔２５，３５，４４空気抜き孔２５Ａ通気孔２５Ｂ連通溝

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板と、該基板上に設けられ外部から加
わる力を検出する外力検出手段と、該外力検出手段を囲
んで前記基板の周囲に設けられた隔壁と、前記外力検出
手段を覆うために該隔壁に設けられた蓋体と、前記外力
検出手段まで貫通させて該蓋体に設けられた貫通孔と、
該貫通孔内に充填され、前記外力検出手段に接触する導
電性の充填部材と、該充填部材の充填時に前記貫通孔内
の空気を外部に抜くための空気抜き孔とから構成してな
る外力計測装置。
【請求項２】前記空気抜き孔は、前記外力検出手段ま
で貫通させて前記蓋体に開口する通気孔と、該通気孔と
前記貫通孔とを前記基板の内面側で連通させる連通溝と
から構成してなる請求項１に記載の外力計測装置。
【請求項３】前記貫通孔は、連通路によって前記基
板、隔壁および蓋体によって画成された空間に連通さ
れ、前記空気抜き孔は、前記貫通孔とは異なる位置で前
記蓋体を貫通して設け、前記空間に開口させてなる請求
項１に記載の外力計測装置。
【請求項４】前記貫通孔は、連通路によって前記基
板、隔壁および蓋体によって画成された空間に連通さ
れ、前記空気抜き孔は、前記隔壁を貫通して設け、前記
空間に開口させてなる請求項１に記載の外力計測装置。