JPH10505155A

JPH10505155A - 映像検査のためのインテグラル視野レンズ照明

Info

Publication number: JPH10505155A
Application number: JP8508718A
Authority: JP
Inventors: エル．グレイブズ，テリー; フエイン，ハワード
Original assignee: Pressco Technology Inc
Current assignee: Pressco Technology Inc
Priority date: 1994-08-26
Filing date: 1995-05-22
Publication date: 1998-05-19
Also published as: WO1996007076A1; EP0777850A4; EP0777850A1; AU2644095A

Abstract

(57)【要約】光学式検査システム（Ａ）における分離した検査品のための照明システムで、撮像システム（Ｃ）と、それに対応する照明システム（Ｂ）を含む。ビームスプリッタ（１６）が光源（１０）からの光をさえぎり、その１部を視野レンズ（２０）へ送る。視野レンズ（２０）は次にその光を視野（２２）に置かれた検査品（２４）へ送る。検査品（２４）から反射された光は視野レンズ（２０）を通って戻り、ビームスプリッタ（１６）を通過して、最終的に映像カメラ（３４）に送られ、この反射光からデジタル化された画像が得られる。別の実施例においては、検査品（２４）から反射され、ビームスプリッタ（１６）を通過した光が、第２のビームスプリッタ（３０）に送られる。そこで分割された光が第１および第２の映像カメラ（３４、３６）に送られ、それによって検査品（２４）の別の部分の映像化が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】映像検査のためのインテグラル視野レンズ照明発明の背景本出願は、映像検査の技術に関し、特に映像検査のための特殊な照明および撮像技術に関する。特に本発明は、分離した試験体（検査部品）の検査、特に関心のある特定の領域を有する検査部品の検査に適用可能なものである。その応用を具体的な事例を参照して説明するが、本発明は詳細な映像を撮ることが要求される映像検査環境に幅広く適用できるものである。大量生産品の高速自動検査は、急速に工業生産における必須部分となってきている。自動映像検査に対する依存度が高まるにつれ、より高度な能力と解像度も望まれるようになっている。映像検査における改善の第１期は、基本的な検査アルゴリズムに関する改良であった。それに続く改善の第２期は、捕捉される実際の映像を改良することに向けられていた。そのようなシステムではより均質な照明を得るために、半導体式（ソリッドステート）ＬＥＤアレイのような構成部品を採用し、場合によりディフューザ（散光器）が任意的に組み込まれた。勿論、照明野が均一になればなる程、結果として捉えられた映像が正確になる。さらに改善された検査は、根本的な問題の認識によりもたらされた。つまり殆どの場合、光源は典型的にはカメラレンズと同一の軸上に設置されなければならない。その結果、得られた像の全体またはその一部が事実上反射によるものである場合、得られた映像上にカメラレンズ自体の構造（artifact）が写ってしまう。この問題は、ピンホールカメラのような非常に小なレンズのカメラを使用することで対処できる。これは１つの改善ではあるが、人為的構造物（artifact）となっているレンズ自体を完全に映像から排除できない。映像検査システムにおけるもう１つの問題点は、解析の目的が競合することである。詳しくは、映像を全体的に解析するのが望ましい場合が多いが、検査品の一部分を詳細に解析することが望まれることがある。この後者の利点は、高い応力領域などを有する検査品の場合に特に必要とされる。そのような競合する目標がある場合、しばしば複数の検査ステーシションが必要となる。第１のステーションでは検査品の全体の映像が捉えられ、解析される。そしてそれに続く第２のステーションでは特別に限定された部分に注意が集められる。そのようなシステムでは、２組の照明システムと撮像システムが必要となる。またそのようなシステムでは、複数の検査ステーションを受け入れるために、製造ラインにより多くのスペースが必要となる。そして最終的に、２つのステーションの解析結果を調和させ、同期させなければならない。本発明のシステムは上記やその他の問題点に対処し、映像上の人工構造物の像を最小にして詳細な映像検査を完全に行えるようにし、なおかつ単一のステーションを用いて１つの検査品の全体的な検査と詳細な検査とを同時に行うことができる効率的な機構を提供するものである。本発明によれば、ビームスプリッタを採用した映像検査照明システムが提供される。光源からの光がこのビームスプリッタに向けられる。光源からの光の一部は、そこで、視野にある分離した部品、即ち検査品に向かう。得られる光をより均質にするために、光源にはディフューザ（拡散版）を備えるのが有利である。検査品から反射された光は、ビームスブリッタを通って撮像のためのカメラ装置に送られる。本発明の更に限定した様相によれば、第１ビームスプリッタを通過して検査品で反射された光を捉えるために第２ビームスプリッタが備えられる。このビームスプリッタは光の第１の部分を第１のカメラに、そして光の第２の部分を第２のカメラに順次送り込む。これらのカメラの内の１台は、検査品全体の中の選択された一部分の詳細な解析をするために充分な拡大を行う。本発明の更に限定した様相によれば、あらかじめ定められた基準に入らない検査品を選択的に排除するために、捉えられた映像について比較を行う。本発明の利点の１つは、非常に詳細な映像を捉えて解析できる検査システムを提供できることにある。本発明のさらに別の利点は、単一の作業ステーションで、単一の検査品について複数の映像を捉えて解析できる検査システムを提供できることにある。本発明のさらに別の利点は、部品点数を少なくでき、且つ一定期間内に処理される検品数を増加できる精密な検査システムを提供できることにある。さらなる利点は、本発明の詳細な説明を読んで理解すれば当業者にとって明らかになるであろう。図面の簡単な説明本発明は、本明細書および明細書の一部を成す図面に示されているように、いくつかの部品としておよびそれらの部品の組み合わせとしての形態をとるか、図面において、図１は、本発明による検査用照明および撮像システムの全体を示し、図２は、図１のシステムの照明の一部分とその光線図を詳細に示し、図３は、図１および２のシステムで好適に実施できるプログラム可能な光源を示す。好適な実施例の詳細な説明以下、図面を参照するが、これらの図面は好適な実施例を説明するためのものであって本発明を限定するものではない。図１には、照明サブシステムＢと撮像サブシステムＣとを含む自動化された映像検査システムＡが示されている。この開示されたシステムは、容器産業で使用されているような分離部品に特に適した欠陥検出と光学的検査を容易に強化できるようにするものである。以下の説明でわかるように、このシステムはプログラマブル、または非プログラマブルな光源から収束性の照明を与えるものである。このシステムはまた、これらいずれかの光源からの発散性の照明も与える。好適な光源は、パルス式発光ダイオードアレイのような半導体式照明源で構成される。しかしながら充分な照度レベルのものであればどのような光源でも実施可能である。前述のＬＥＤアレイ、不活性ガスストロボなどのストロボは、動いている検査品を“固定”させ、これにより映像を得ることかできる利点がある。連続的な光源の場合には、捉えた映像を“固定”するために、一般的に利用されている電子式シャッタ機構を追加する必要がある。以下に説明する理由によって、特定の用途では多スペクトル光源も有利に使用できる。このシステムでは通常のカメラのレンズ（optics）を利用して映像の一部を光学的に拡大して分離した映像を得ることができる。これにより、得られた欠陥に関する情報が引き続く解析および比較のために利用可能となる。図１の構造では、ほぼｄ₁方向へ向かう光を発生するために光源１０が使用されている。好適な実施例においては、以下に詳細を説明するように選択的な光を発生するために、光源１０はプログラマブルであるのが有利である。光源１０からの光はディフューザ１２を通されて均質性が高められる。このディフューザ１２は、ガラスまたはプラスチックのような半透明または透明材料で構成するのが有利である。その表面は光学的に“粗面”とされ、入射光がその媒体を通過すると、拡散された透過分散光として一定領域に均一に分散するように修正される。詳細な分散特性は特定の用途に大きく依存する。この選択は、半透明性（translucence）、透明性（transparency）、および表面粗さを選定することにより行われる。ディフューザ１２を通過した光源１０からの光は、ｄ₁方向に沿ってビームスプリッタ１６まで進む。ビームスプリッタ１６は光分割器の機能を持ち、光の一部分はほぼｄ₁方向を保ちながら通過する。光の残りの部分は反射角φ₂で反射されるが、この角度は入射光の方向ｄ₁と、ほぼ平面であるビームスプリッタ１６との間の入射角φ₁にほぼ等しい。ビームスプリッタ１６で反射される入射光の一部は、ほぼｄ₂方向に沿って進む。ビームスプリッタ１６は、好適には金属被覆を施した光学的表面処理の平面ガラス板で構成される。そのようなビームスプリッタは市販されている。ビームスプリッタ１６の特性は通常、入射光を等しい強度で、透過および反射させるものであるが、等分割ではなく、例えば、６０％／４０％の分割を使用するのが好ましい。このようなスプリッタは、ニュージャージー州バーリントンのＥｄｍｕｎｄＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃ社の製品番号Ｇ７２．５０２に見られる。ディフューザの場合と同じように、特定の光分割器の詳細は用途によって大きく異なることを理解すべきである。ビームスプリッタ１６から反射された光は、前述のようにｄ₂の方向に進む。次いでこの光は視野レンズ２０に入る。好適な実施例においては、この視野レンズは平凸の単玉(singlet)レンズである。この構成によって、視野レンズ２０に入射した光は収束する形で、照明野即ち視野２２に進む。このようにして、検査品２４として図示されている、映像化すべき対象品に収束性の照明が与えられる。好適な実施例においては、２４で示されるような一連の類似の検査品が、移動式ベルトなどのコンベヤ手段２６によって視野２２に運ばれることが分かるであろう。上述のように映像化される検査品上で収束する照明が利用される。この照明を使用する場合、視野レンズ２０の頂点または平面から主焦点距離未満の間隔だけ離れるように対象品または検査品が空間に配置される。このようにして、分散され形成された収束性の光源として照明が投射されることになる。拡散型アレー照明源が採用される場合、この照明は無限遠の連続体のようになる。この場合、均一な照明野の結果、分散型光源の均質性が検査品照明においても維持される。上述の構成においては、映像化すべき検査品が視野レンズ２０の主焦点距離内に配置されていることを理解しなければならない。これによって検査品照明の望ましい形が得られる。また、検査品の照明は、その他の光学的修正要素を通して照射することもできる。そのような光学的修正要素として好適なものは、ビームスプリッタ、鏡、レンズなどが適している。そのような光学的要素は、光源１０から検査品２４に向かって視野レンズの前または後ろに配置することができる。別の実施例においては、検査品を主焦点距離の外に置くこともできる。この場合は、前述の連続的な収束性照明野と同様の特性を持った連続的な分散性の照明野となる。どのような検査システムにおいても、その目的は解析用に検査品の画像を作り、捉えることにある。この目的は、撮像装置、つまりカメラと光学部品が基本的に視野レンズを通して検査品を観察するようにシステムの構成部分を配置することによって達成される。再び図１に戻ると、視野レンズ２０を通過して検査品２４に入射した光は、図に示されているようにそこからほぼｄ₃方向に反射される。この光は再び視野レンズ２０を通過する。このｄ₃方向に進む光が視野レンズ２０を再び通過すると、この光は収束を始める。視野レンズに対する検査品と撮像装置の相対的な位置（orientation）はコントロール可能な要素である。視野レンズに対する相互関係が映像拡大係数を規定することになるが、この拡大係数は視野レンズからの撮像装置と検査品の距離に直接依存する。単玉型視野レンズの場合、ある種の固有の撮像限界がある。これらは映像品質の低下に結び付く。本発明のシステムはこれらの問題に対して、視野レンズ２０を通るすべての映像が近軸になるようにすることによって対処している。これによって、映像化すべき検査品領域が視野レンズ２０の光軸Ｏに比較的近いところになる。これによって、収差および歪みが最小となる視野レンズ２０の光軸に比較的近い位置に映像化すべき領域が置かれることになる。この相対的な配置によって、単玉型視野レンズ２０を通して高品質の映像を得ることができ、さらに上記のレンズに固有の幾何学的および色収差による映像への悪影響を無視できる程度に抑えることができる。反射光が視野レンズ２０を通過すると、その光は再びビームスプリッタ１６に伝播する。ここで再び前記のようなビームスプリッタ１６の光学特性に応じて一部の光が反射され、また一部の光が通過する。通過した光の部分はほぼｄ₄方向に沿って進む。好適な実施例においては、ほぼｄ₄の方向に進んだ光は、映像スプリッタとして機能する第２ビームスプリッタ３０に入る。光の一部はｄ₅の方向に反射され、一部の光はｄ₄の方向に進み続ける。ここでもまた、光の相対的な配分は映像スプリッタ３０の特性を選ぶことによって決められる。上記に加えて、ある特定の検査品については多スペクトル光源の採用で対処することもできる。例えば、米国特許出願第０７／９９０，００９号の「多スペクトルＬＥＤ照明を採用した映像検査システム」と題された出願を参照されたい。これは本出願と同じ出願人に譲渡されたもので、その内容をここに参照文献として援用する。そのような実施例においては、スプリッタ３０を色分解器（カラーセパレータ）とすることもできる。映像スブリッタ３０を直接通過した光の部分は、主映像カメラ３４に送られる。好適な実施例においては、この主映像カメラ３４は検査品全体の映像を捉える機能を果たす。ほぼｄ₅方向に進む反射光部分は、好適な実施例において拡大カメラとして機能する第２のカメラ３６に送られる。この拡大カメラ３６は、個々の検査品の関心のある部分（“ＡＯＩ”：Area of Interest）を詳しく検査するために使用される。このシステムが、リベット打ちまたはタブ式の缶の蓋のような部品の検査に使用される場合、この拡大カメラ３６は主リベット画像を補強するものとして有利に使用される。このような構成により、拡大画像を作り出すために拡大カメラ３６の中に配置されるインテグラル型カメラ光学部分を使用する前に、視野レンズが映像を事前に拡大する。そのような構成では、レンズ表面のスプリアス（spurious）反射は少なくなり、前記のような特殊なディフューザ１２を使用することによって、その部分への入射光が多くなる。その結果、カメラ３４および３６それぞれのレンズ３８および４０に広帯域の反射防止コーティング（平凸レンズ上の４６）を採用することによってこれらの作用を無視できる程度に小さくできるという効果が得られる。好ましくは、カメラ３４および３６の各々が半導体式の電荷結合素子（“ＣＣＤ”）で構成される。そこで捉えられたデジタル化映像は任意の適切な画像解析装置４２に送られるが、こうした解析装置は市販されており、当業者の理解の範囲である。好適な実施例では、主映像カメラ３４は、典型的には３から５インチの範囲の視野（“ＦＯＶ”：Field of view）を有する。ここでもまた、視野は用途によって大きく異なるものであり、この数値は単に好適な実施例の一例として示したものである。拡大カメラ３６は、検査品の特定の領域に合わせた焦点を有する。好適な実施例では、その視野は０．２５”が適当である。捉えた映像を解析することにより、欠陥品放出装置４４として図示されているような排除機構により所定の基準に合致しない不合格検査品を選択的に排除することが容易になる。この装置が作動されると、４４のような装置がコンベヤ手段２６から欠陥品を排除する。図２を参照すると、図１の照明サブシステムＢの光線軌跡図が示されている。請求項１に関連して使用した数字をそのまま図２においても使用している。さらに、前記の反射防止コーティングが４６で示されているように施されていることが分かるであろう。以下に説明するような照射コントロールの達成のために、光制御装置４８が採用されている。次に図３を参照すると、好適な実施例で採用されている光源１０のためのプログラマブル光源の機能が開示されている。図示のように、光源１０はプログラマブル光源５０で構成されている。検査品は、容器産業の場合に見られるように、円形状をしていることが多い。そのため光源１０として円形の構成を図に示した。好適な実施例における好ましい光源は、発光ダイオード（“ＬＥＤ”）のような半導体式光装置を平面状に並べたものを含む。そのようなＬＥＤの平面的な光線については従来技術に詳しく記述されており、ここでは繰り返さない。ＬＥＤを、一連の同心でコントロール可能な領域に配置すれば、照明の選択的な制御が可能となる。図３で明らかなように、ＬＥＤは分離したコントロール可能なゾーン、つまりゾーン１〜４に配置されている。これらの各ゾーンは選択的に制御可能である。このようにして、特定のゾーンの光学要素の光の強度、作動、或いは点灯時間が制御される。この構成によれば、検査品照明の選択的制御が可能となり、検査しようとする特定の部分に偶発しやすいホットスポットのような人為的構造の像（artifacts）を無くすことができる。別の実施例としては、プログラマブル光源１０は不活性ガス、即ちキセノンのストロボによって構成することも可能であり、これらの光源も同心で個々に作動可能な一連のチューブ部分を採用することによってプログラマブルにすることができる。以上、本発明を好適な実施例に基づいて説明した。下記の請求項またはそれらと均等の範囲に入る限り如何なる変形も本発明に包含されるものである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＡＭ，ＡＵ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＮ，ＣＺ，ＦＩ，ＧＥ，ＨＵ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＫ，ＬＴ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＴＪ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＺ，ＶＮ

Claims

【特許請求の範囲】１．映像検査照明システムであって、ビームスプリッタと、ビームスプリッタに光を向かわせる光源と、光源からの光の一部をビームスプリッタを通して受け、それを視野に送って視野内にある対象検査品（associated specimen）から反射される光を受け取る視野レンズと、実質的に全ての光が光源からビームスプリッタと視野レンズを通って視野に達するように、光源を視野に対して固定する手段とを含むシステム。２．請求の範囲第１項に記載の映像検査照明システムであって、前記ビームスプリッタが実質的に平面状で部分反射性の鏡からなるシステム。３．請求の範囲第２項に記載の映像検査照明システムであって、前記ビームスプリッタからの光を視野内にある対象検査品による反射の後で受け取る第２ビームスプリッタを更に含むシステム。４．請求の範囲第２項に記載の映像検査照明システムであって、前記ビームスプリッタからの光を視野内にある対象検査品による反射の後で捉える少なくとも１台のカメラを更に含むシステム。５．請求の範囲第３項に記載の映像検査照明システムであって、視野内にある対象検査品から反射された後の第２ビームスプリッタからの光の一部を捉えるカメラを更に含むシステム。６．請求の範囲第５項に記載の映像検査照明システムであって、視野内にある対象検査品から反射された後の、前記部分とは異なる光の第２部分を第２ビームスプリッタから捉える第２カメラを更に含むシステム。７．請求の範囲第６項に記載の映像検査照明システムであって、第２ビームスプリッタが実質的に平面状で部分反射性の第２の鏡で構成されているシステム。８．請求の範囲第７項に記載の映像検査照明システムであって、プロセッサと、それぞれのカメラからデジタル化された画像情報をプロセッサに送る手段とを更に含み、前記プロセッサはデジタル化された画像情報から対象検査品の受け入れ可否を決定する手段を含み、さらに、プロセッサにより決定される対象検査品の受け入れ可否に従って対象検査品を選択的に排除する手段を含むシステム。９．映像検査方法であって、プログラマブルな光源から選択的に光を発生するステップと、発生した光をディフューザを通して均一な光を形成するステップと、散乱された光をビームスブリッタに送るステップと、ビームスプリッタからの均一な光の一部を視野レンズに送って焦点の合った光を形成するステップと、その焦点の合った光の少なくとも一部分を検査領域に送るステップと、その焦点の合った光の少なくとも一部分を、視野にある検査品から反射された後に、反射光として視野レンズを通して送り戻すステップと、視野レンズからの反射光を少なくとも１台の映像カメラに送るステップと、映像カメラに送り込まれた反射光をデジタル化してデジタル画像を形成するステップとを含む方法。１０．請求の範囲第９項に記載の方法であって、均一な光をビームスプリッタに送るステップが、実質的に平面状で部分反射性の鏡から成るビームスプリッタに均一な光を送るステップを含む方法。１１．請求の範囲第１０項に記載の方法であって、反射光を映像カメラに送る前に、反射光を第２ビームスプリッタに送り、反射光の第１部分が映像カメラに送られるようにするステップを更に含む方法。１２．請求の範囲第１１項に記載の方法であって、第２ビームスプリッタからの反射光の第２部分を第２映像カメラに送るステップを更に含む方法。１３．請求の範囲第１２項に記載の方法であって、反射光を第２ビームスプリッタに送るステップが、実質的に平面状で部分反射性の鏡から成る第２ビームスプリッタへ反射光を送るステップを含む方法。１４．請求の範囲第１３項に記載の方法であって、反射光に晒された後で各映像カメラによって形成される検査品のデジタル画像をデジタルプロセッサに送るステップと、送られたデジタル映像に従って検査品の受け入れ可否をデジタルプロセッサにより決定するステップとを更に含む方法。１５．映像検査照明システムであって、ビームスプリッタと、光を制御可能にビームスブリッタへ向かわせるコントロール可能な光源と、光源からの光を受け、そこから均一な光を発生するディフューザと、ビームスプリッタからの均一な光の一部分を受けるとともにそれを視野に送って視野にある対象検査品からの反射光を受ける視野レンズと、実質的に全ての光が光源からディフューザ、ビームスプリッタおよび視野レンズを通して視野に送られるように、光源を視野に対して固定する手段とを含むシステム。１６．請求の範囲第１５項に記載の映像検査照明システムであって、視野レンズが単玉平凸レンズで構成され、このレンズを通って視野へ送られる光が収束性ビームとなるように単玉平凸レンズが視野に対して相対的に配置されたシステム。１７．請求の範囲第１６項に記載の映像検査照明システムであって、さらに、視野レンズの頂点または平らな表面からの主焦点距離未満の距離になるように視野に対して対象検査品を相対的に位置ぎめする手段を含み、それによって各対象検査品に対する照明が、分散され、形成された収束性のビームで与えられるシステム。１８．映像検査システムであって、ビームスプリッタと、光を制御可能にビームスプリッタへ向かわせるコントロール可能な光源と、光源からの光を受け、そこから均一な光を発生するディフューザと、ビームスプリッタからの均一な光の一部分を受けるとともにそれを視野に送る視野レンズと、実質的に全ての光が光源からディフューザ、ビームスプリッタおよび視野レンズを通して視野に送られるように、光源を視野に対して固定する手段と、視野にある対象検査品からの反射後の光を捉える少なくとも１台のカメラとを含むシステム。１９．請求の範囲第１８項に記載の映像検査システムであって、対象検査品から反射される光がカメラへ送られる前に再び視野レンズを通過するように、カメラと視野に対して視野レンズを固定する手段を更に含むシステム。２０．請求の範囲第１９項に記載の映像検査システムであって、対象検査品から反射される光がカメラへ送られる前に再びビームスプリッタを通過するように、カメラと視野レンズに対してビームスプリッタを固定する手段を含むシステム。２１．請求の範囲第２０項に記載の映像検査システムであって、ビームスプリッタからの光を視野内にある対象検査品による反射の後で受入れ、受け入れた光の一部をカメラに送る第２のビームスプリッタを更に含むシステム。２２．請求の範囲第２１項に記載の映像検査システムであって、視野内にある対象検査品から反射された後の、前記部分とは異なる光の第２部分を第２ビームスプリッタから捉える第２カメラを更に含むシステム。２３．請求の範囲第２２項に記載の映像検査システムであって、視野レンズが単玉平凸レンズで構成され、このレンズを通って視野へ送られる光が収束性ビームとなるように単玉平凸レンズが視野に対して相対的に配置されたシステム。２４．請求の範囲第２３項に記載の映像検査システムであって、視野レンズの頂点または平らな表面からの主焦点距離未満の距離になるように視野に対して対象検査品を相対的に位置ぎめする手段を更に含み、それによって各対象検査品に対する照明が、分散され、形成された収束性のビームで与えられるシステム。２５．請求の範囲第２４項に記載の映像検査システムであって、視野にある対象検査品の各部に対する照明を選択的に制御するために、コントロール可能な光源に制御信号を供給する手段を更に含むシステム。２６．請求の範囲第２５項に記載の映像検査システムであって、反射光に晒された後で各映像カメラによって形成される検査品のデジタル画像をデジタルプロセッサに送る手段を更に含み、デジタルプロセッサが、送られたデジタル映像に基づいて検査品の受け入れ可否を決定する手段を含むシステム。２７．請求の範囲第１８項に記載の映像検査システムであって、視野に送る光量（light level）を選択的に制御するために、コントロール可能な光源に制御信号を供給する手段を更に含むシステム。２８．請求の範囲第２７項に記載の映像検査システムであって、反射光に晒された後で各映像カメラによって形成される検査品のデジタル画像をデジタルプロセッサに送る手段更に含み、デジタルプロセッサが、デジタル映像に基づいて検査品の受け入れ可否を決定する手段を含むシステム。２９．多スペクトル映像検査照明システムであって、このシステムが、ビームスプリッタと、光をビームスプリッタへ向かわせる多スペクトル光源と、ビームスプリッタを経由して光源からの光の一部分を受け、そしてそれを視野に送って視野にある対象検査品からの反射光を受ける視野レンズと、実質的に全ての多スペクトル光が光源からビームスプリッタおよび視野レンズを通して視野に送られるように、多スペクトル光源を視野に対して固定する手段と、前記視野レンズがさらに、対象検査品から反射される多スペクトル光を受け取るようになっており、それぞれのレンズに送られた光からデジタル画像を形成する第１および第２の映像カメラと、第１選択波長の光を第１映像カメラへ、また第２選択波長の光を第２映像カメラへ送り、これらの光から第１および第２のデジタル画像が形成されるようにするスペクトル分離器とを含むシステム。３０．請求の範囲第２９項に記載の多スペクトル映像検査システムであって、第１および第２のデジタル画像を対象検査品の受け入れ可否に関するデータと比較するための比較器を更に含むシステム。３１．請求の範囲第３０項に記載の多スペクトル映像検査システムであって、比較器の出力に従って検査品を選択的に排除する手段を更に含むシステム。