JPH10513256A - 可変容積テスト・チャンバ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 可変容積テスト装置（１０）は調節可能天井（１８）を利用して、チャンバ（２０）の容積を変動させる。天井（１８）は膨張ブラダ（２６）を使用することによって新しい位置でシールされる。調節可能通気口（５８）が天井（１８）と壁部（２４）に配置されて、流体流をチャンバ（２０）中へ送る。チャンバ・ドア（１６）内の浮動ジョイント（８４）によって、ドアの内壁（８０）が外壁（８４）に関して収縮または膨張し、外壁（８４）またはリベット（８６）に対応する応力を生じさせないことが可能となる。安全機構として、ドア・ロック（１５０）をコンピュータ制御して、テスト・チャンバ（２０）が操作員に安全な状態に達するまで、ドア（１６）を外部からロック解除できないようにする。ただし、一方のドア（１６）は操作員がテスト・チャンバ（２０）の内側からドア（１６）を開くことができるようにするオーバライド・ボタン（２５０）を有している。ショック・アブソーバ（１３８、１４０）およびハンド・ブレーキ（１２８）を備えた引っ込み式振動テーブルも設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】 可変容積テスト・チャンバ 背景技術 １．技術分野 本発明はチャンバ内に配置された物体に熱および振動試験を行うことのできる テスト・チャンバに関する。 ２．関連技術の説明 シミュレートした環境において構成部品やアセンブリをテストすることが望ま しいことがしばしばある。たとえば、プロトタイプの電子アセンブリをさまざま な温度、振動および衝撃負荷にさらして、アセンブリがその意図している環境で 作動できるかどうかを判定する。環境テストは通常、チャンバ内の温度と湿度を 変更することのできるアーゴノミック（ergonomic）・システムに結合されたテ スト・チャンバ内で行われる。テスト部品のサイズは大型の航空機構成部品から 、小型の半導体デバイスまでかなりの範囲で変化する。すべてのタイプのテスト 部品に適合するためには、テスト・チャンバを十分大きいものとする必要がある 。 大きいテスト・チャンバを使用すると、チャンバ内の空気の質量が比較的大き いものとなる。テスト部品の温度をサイクルさせる場合、空気の質量とチャンバ 内部表面とが大きいと、アーゴノミック・システムによって解決しなければなら ない顕著な熱慣性が生じ、そのため、システムに関する作業が増え、チャンバの 応答時間が限定されることとなる。テスト・チャンバの中には、テスト・チャン バの容積を少なくする隔壁を組み込んだものもある。隔壁の組立てと分解には、 貴重なテスト時間が必要である。したがって、自動可変容積テスト・チャンバを 提供することが望ましい。 テスト・チャンバ内でテスト部品の温度をサイクルさせると、テスト・チャン バと部屋の間に１００℃を超える温度差が生じる。大きな温度差によって、テス ト・チャンバの内壁はテスト・チャンバの外壁とは異なる量で膨張または収縮す る。特に、内部チャンバが零下の温度である場合、ドアの内壁はドアの外壁より も大きく収縮する。内壁の極度の熱収縮／膨張がドアをゆがませ、チャンバとド アの間のシールを破壊することが判明している。ドアの熱サイクルがドア固定具 を故障させることもある。熱サイクルを受けた場合にゆがんだり、損傷を受けた りしないテスト・チャンバ・ドアを得ることが望ましい。 部品はテスト後に、テスト・チャンバから取り出される。テストの完了前に、 テスト・チャンバを開いた場合、操作員がけがをしたり、テスト部品が損傷を受 けたりすることが判明している。たとえば、操作員が高温となっているテスト・ チャンバに入ると、火傷をする可能性がある。同様に、零下の温度にあるテスト ・チャンバを開くと、テスト部品上またはその内部に結露が生じ、部品に損傷を 与える。チャンバが操作員に「安全」な状態に達する前に、アクセス・ドアを開 くことのできないテスト・チャンバ装置を提供することが望ましい。さらに、操 作員がテスト・チャンバ内に閉じこめられた場合に、操作員がアクセス・ドアを チャンバの内側から開くことを可能とすることも望ましい。 振動および衝撃負荷をかけるために、テスト部品は通常、テスト・チャンバ内 に配置された振動テーブルに取り付けられる。テスト・チャンバの空間が限定さ れたものであるため、テスト部品をチャンバ内のテーブルに取り付けることは困 難である。したがって、テスト・チャンバの外部から定位置へ引っ張ることので きる振動テーブルを提供することが望ましい。 発明の要約 本発明はチャンバの枠組み内に配置されたテスト・チャンバを有するテスト装 置である。この装置はテスト・チャンバの温度を変動させることのできるコンピ ュータ制御のアーゴノミック・システムを含んでいる。テスト・チャンバ内には 、調節可能な天井があり、これはチャンバの容積を変動させるために移動させる ことができる。天井の外縁の周囲には膨張シールが延びており、天井がその位置 の１つに配置され、ドアが閉じられたときに、チャンバをシールする。天井と壁 には複数の通気口があり、調和した空気をチャンバ内に送る。装置のドアは各々 が、 複数の浮動ジョイントによって外壁に結合されている内壁によって構成されてい る。浮動ジョイントにより、外壁またはジョイントに対応する応力を生じること なく、内壁が外壁に関して収縮または膨張することが可能となる。温度サイクリ ング後に、操作員がドアを早期に開くことを防止するために、テスト・チャンバ が操作員に「安全」な状態に達するまで、ドアのロックを解除できないように、 ドアのロックをコンピュータ制御する。コンピュータは前部ドアが開かれ、テー ブルがチャンバから引き出されるまで、天井位置が調節されないようにもする。 前部ドアの１つはオーバライド・ボタンを有しており、操作員がテスト・チャン バの内側からドアを開くことを可能とする。さらに、テスト装置はテスト・チャ ンバ外部から引き込むことのできる振動テーブルを含んでいる。テーブルはブレ ーキと、テーブルをテスト・チャンバの内外へ移動させたときの、テスト部品に 対する望ましくない衝撃を防止するショック・アブソーバを有している。 図面の簡単な説明 本発明の目的および利点は以下の詳細な説明および添付図面を検討することに より、当分野の技術者に容易に明らかとなろう。 第１図は本発明のテスト装置の斜視図である。 第１ａ図はテスト装置の後部斜視図である。 第２図は調節可能天井を示す、テスト・チャンバの断面図である。 第２ａ図は天井シールの断面図である。 第３図はジャッキ・スクリュウ・アセンブリの拡大図である。 第４図はテスト・チャンバの天井の頂部断面図である。 第４ａ図は調節可能天井の頂部断面図である。 第５図はテスト・チャンバの内壁の側面図である。 第６図は通気口の正面図である。 第７図は第６図の通気口の断面図である。 第７ａ図は通気口ベーンとタブ取付部の拡大図である。 第８図はドアの内壁の背面図である。 第９図はドアの外壁の背面図である。 第１０図はリベット・ジョイントの拡大図である。 第１１図はテーブルの断面図である。 第１２図はテーブルの端面図である。 第１３図はテスト・チャンバから引き出されたテーブルを示す、第１１図と同 様な図である。 第１４図はハンドルが垂直位置に置かれたテーブルの側面図である。 第１５図はテーブルのブレーキ・アセンブリの側面図である。 第１６図はブレーキ・アセンブリの拡大端面図である。 第１７図はハンドルが回転された、第１４図と同様な図である。 第１８図は自動ドア・ロッキング・アセンブリの側面図である。 第１９図はテストを実施し、テスト装置のドアを開くルーチンを示す流れ図で ある。 第２０図はテスト・チャンバの内部から操作できる緊急ドア・ボタンの側面図 である。 発明の詳細な説明 参照番号により図面を詳細に参照すると、第１図および第１ａ図は本発明のテ スト装置１０を示している。テスト装置１０はテスト・ハウジング１２およびア ーゴノミック・システム・コンソール１４を含んでいる。ハウジング１２は一対 の前部ドア１６と後部ドア１７を有しており、これらのドアによりテスト・チャ ンバへ出入りする。アーゴノミック・システム１４はハウジング１２のテスト・ チャンバ内で各種の環境テストを行うのに必要なコンピュータおよびその他の構 成要素を含んでいる。たとえば、アーゴノミック・システム１４はテスト・チャ ンバ内の温度を上昇および下降させる加熱および冷却要素を含んでいてもよい。 システム１４はテスト・チャンバの湿度を増加減少させる機器を有していてもよ い。 第２図に示すように、ハウジング１２はテスト・チャンバ２０内に配置された 調節可能な天井１８を有している。天井１８はハウジングの床２２と壁２４に対 して移動して、テスト・チャンバ２０の容積を変動させることができる。床２２ は振動テーブルであってもよい。この装置はテスト部品を振動させることと、チ ャンバ内の温度を変動させることを同時に行うことができる。コンピュータは通 常、天井１８の運動を制御する。好ましい実施の形態において、天井１８は前部 ドアが開き、振動テーブルがチャンバから引き出されるまで移動しない。ドアと テーブルは、前部ドアが開き、テーブルがテスト・チャンバから引き出されたと きに、コンピュータにフィードバック信号を与えるスイッチを有していてもよい 。 第２ａ図に示すように、天井１８の外縁の周囲には、膨張シール２６が延びて いる。シール２６は通常、シリコーンで構成されており、加圧空気源に結合され ている。シール２６は天井１８を移動させる前に収縮させられ、天井１８が新し い位置に達し、ドア１６−１７が閉じられたときに膨張させられる。また、ハウ ジング１２はシール２６に対する空気流を自動的に制御するバルブ（図示せず） を有していてもよい。ドア１６−１７が閉じられたときに膨張し、ドア１６−１ ７が開かれたときに収縮する膨張シール（図示せず）を、ドア１６−１７が有し ていてもよい。 第３図に示すように、天井１８は多数のジャッキ・スクリュウ２８を有してお り、これらのスクリュウはフランジ３０に取り付けられている。天井１８は内ネ ジを有しており、このネジはジャッキ・スクリュウ２８を回転させたときに、ス クリュウ２８と協働して天井を移動させる。第４図に示すように、ジャッキ・ス クリュウ２８は可逆電気モータ３２によって回転する。モータ３２はギヤ３４− ３６とチェーン４０および４２によってスクリュウ２８に結合されている。各ジ ャッキ・スクリュウ２８は、汚染物がスクリュウ２８の動作に影響を及ぼすのを 防止する一対の外部可撓性ブーツ４４を有していてもよい。また、各ジャッキ・ スクリュウ２８はスクリュウ２８の端部をフランジ３０に結合するベアリング４ ６を有していてもよい。 第５図に示すように、ハウジング１２はセンサ・アセンブリ４７を有しており 、このアセンブリは天井が第２図に示したコーナ・シール５１−５３に隣接して いるときにフィードバック信号を与える複数の位置センサ４８−５０を含んでい る。第４図および第５図を参照すると、センサ・アセンブリ４７はギヤ３６およ び４１と、チェーン４３によってジャッキ・スクリュウ２８の１本に結合されて いる。 フィードバック信号は通常、電気モータ３２の動作とシール２６の空気バルブも 制御する、アーゴノミック・システム１４のコンピュータに与えられる。コンソ ール１４は操作員が天井をテスト・チャンバ内の複数の位置の１つへ遠隔移動さ せるのを可能とする。たとえば、第３のセンサ５０は小さいチャンバに対応して おり、第２のセンサ４９は中間のチャンバに対応しており、第１のセンサ４８は 大きいチャンバの天井の位置に対応している。 操作員が中間のチャンバを選択した場合、コンピュータはセンサ４８−５０の フィードバック信号に基づいて天井の現在位置を決定する。シール２６は収縮し 、電気モータ３２が付勢されて、ジャッキ・スクリュウ２８を回転させ、天井１ ８を移動させる。天井が第２のセンサ４９に達するまで、スクリュウ２８の回転 は継続する。天井が定置されると、第２のセンサ４９がフィードバック信号をコ ンピュータに与え、コンピュータは電気モータ３２の付勢を解除し、ドア１６− １７が閉じられたときに、シール２６を膨張させる。 第４ａ図に示すように、天井１８は通常９本のダクト５４を有している。ダク ト５４の内６本は通常、調和空気を行い、他のダクト５４はテスト・チャンバか らの復帰路を形成する。第２図を参照すると、ダクト５４はベローズ５６によっ てアーゴノミック・システムに結合されている。ベローズ５６は天井１８に対し て可撓性のダクトを提供する。第５図に示すように、壁部は複数の通気口５８を 有している。通気口５８は壁部２４内に配置されているので、天井が低位置、中 位置および高位置にあるときに、流体流がテスト・チャンバ内で発生することが できる。通気口５８はまた、隔壁（図示せず）を天井１８に取り付けて、テスト ・チャンバ２０の容積をさらに少なくできるように配列されてもいる。 第６図、第７図および第７ａ図は通気口５８の好ましい実施の形態を示してい る。通気口５８は各々が止めネジ６２によってハウジング６１に結合された絞り 板６０を有している。絞り板６０と主ハウジング６１は両方ともスロット６３を 有しており、このスロットはアーゴノミック・ダクト（図示せず）とテスト・チ ャンバの間の空気流を調整する。絞り板６０は、止めネジ６２のアレン・カップ に挿入された工具６４によって回転させることができる。絞り板６０を回転させ ると、ハウジング６１と板６０の間のスロット６３の整合が変動し、チャンバ中 への流れが変動する。板６０をテフロン・ワッシャ６５によってハウジング６１ から分離し、かつナット６６および波状スプリング６７によってクランプ止めす ることができる。 各通気口５８はナット６９とバネ７０によって止めネジ６２に結合されたベー ン・プレート６８も有している。ベーン・プレート６８には、複数のベーン７１ が結合されている。第７ａ図に示すように、ベーン・プレート６８は２つの個別 の片によって構成されており、これらの片は重なって、ベーン７１の外部タブ７ ３を受け入れる開口７２を作成する。ベーン・タブ７３は各々がロール・ピン７ ４を有しており、これらはベーン７１をワッシャ７５と波状スプリング７６の対 に押し込む。ワッシャ／スプリング・アセンブリは、開口７２中へ延びているブ ッシング７７に侵入している。波状スプリング７６はベーン７１の位置を維持す る力を与える。各ベーンは個別に回転して、テスト・チャンバへの指向性の空気 流の制御をもたらすことができる。さらに、ベーン・プレート６８をハウジング ６１に対して回転させて、流体流の方向を変更することができる。第８図−第１ ０図に示すように、アクセス・ドア１６は各々が外壁８２と内壁８０を有してい る。壁部はドアの周囲に配置された複数の可撓性ジョイント８４によって互いに 接合されている。可撓性ジョイント８４は各々がリベット８６を含んでおり、こ のリベットは内壁８０と内部固定部材８８に接続されている。リベット８６は外 壁フランジ９２のクリアランス・ホール９０を貫通して延びている。フランジ９ ２は内壁８０および固定部材８８から、一対のワッシャ部材９４によって分離さ れている。リベット８６は内壁８０と固定部材８８の間で外壁フランジ９２を挟 持し、これによって外壁８２を内壁８０に接続している。 テスト・チャンバ内での温度の変化によって、内壁８０は膨張または収縮する 。外壁フランジ９２のクリアランス・ホール９０によって、内壁８０が外壁８２ に対して移動可能となる。相対的な壁部の移動は内壁８０および外壁８２の歪曲 、ならびにリベット８６の応力を排除する。 第１１図−第１３図に示すように、テスト装置は振動テーブル１００を含んで いる。振動テーブル１００はテーブル支持アセンブリ１０１に取り付けられてい る。テスト部品は通常、振動テーブル１００に取り付けられる。振動テーブル１ ００に操作員がもっとアクセスしやすくするために、支持アセンブリ１０１はテ スト・チャンバから引き出されるように構成されている。サポート・アセンブリ １０１は複数のローラ１０２を有しており、これらのローラはチャンバの枠組み に取り付けられたテーブル・ベース１０７の一部であるスライド支持部１０６上 に配置されている２対のテレスコープ・チャネル１０４内へ滑り込んでいる。ス ライドはテーブルがハウジングから分離するのを防止する停止部材を有している 。 支持アセンブリ１０１は矩形のホイール・アセンブリ１０８も有している。ホ イール・アセンブリ１０８は、アセンブリ１０１にピボット運動可能に接続され ているフォロア１１０を含んでいる。フォロア１１０は軌道１１４に沿って移動 するローラ１１２を有している。フォロア１１０はリンク・バー１１８によって ２つのホイール１１６にも接続されている。ホイール１１６は支持アセンブリ１ ０１にピボット運動可能に接続されている。軌道１１４はステップ１２０を有し ており、このステップはテーブル１００と支持アセンブリ１０１がテスト・チャ ンバから引き出されたときに、ローラ１１２を上方へ移動させる。スライド１１ ２の上方運動はフォロア１１０の時計方向回転を誘導するので、リンク・アーム １１８はホイール１１６を引き下ろす。テーブル１００および支持アセンブリ１ ０１をテスト・チャンバに押し戻すと、フォロア１１０の反時計方向の回転と、 ホイール１１６の対応する上方運動が生じる。 第１４図および第１５図に示すように、支持アセンブリ１０１はチェーン・ベ ルト１２２へ結合されており、このチェーン・ベルトは接続リンク１２６によっ て一対のスプロケット１２４に結合されている。スプロケット１２４は支持ブラ ケット１２７に取り付けられており、この支持ブラケットはチャンバの枠組みに 接続されている。テーブル１００とアセンブリ１０１の運動はチェーン１２２を スプロケット１２４の周囲に回転させる。第１６図に示すように、スプロケット １２４の１つはブレーキ１２８に結合されている。ブレーキ１２８はバネ・バイ アス電子クラッチ（図示せず）を有しており、このクラッチはスプロケット１２ ４を常態的に保持し、テーブル１００がブラケット１２７に対して運動すること を防止する。第１４図を参照すると、テーブルはスイッチ１３０を有しており、 このスイッチはブレーキ１２８の電子クラッチに接続されている。スイッチ１３ ０はテーブル１００およびアセンブリ１０１を移動させるために使用されるハン ドル１３２の運動によって活動化される。ハンドル１３２が垂直位置にある場合 、スイッチ１３０は開き、ブレーキ１２８はテーブル１００およびアセンブリ１ ０１の運動を防止する。 第１７図に示すように、ハンドル１３２を回転させると、スイッチ１３０が閉 じられ、ブレーキ１２８がはずされる。ブレーキ１２８がはずれることにより、 スプロケット１２４が自由に回転し、テーブル１００がベース１０７に対して移 動することが可能となる。スイッチ１３０とブレーキ１２８は、操作員が回転し たハンドル１３２を保持していない限り、テーブル１００が移動しないという、 テーブル１００の安全機構を提供する。たとえば、操作員がテーブル１００をテ スト・チャンバへ押し込み、ハンドル１３２をブレーキ１２８をかけずに偶発的 に解除した場合、テーブルはチャンバ中へ転がり込み、停止部材にぶつかって、 テスト部品に望ましくない衝撃を発生することとなる。本発明のプッシュ・ハン ドル１３２を解除した場合、ブレーキ１２８はテーブル１００をスムーズに減速 し、これによってテスト部品およびおそらくは操作員に対する損傷の可能性をな くする。 第１５図に示すように、チェーン１２２は一対の停止部材１３４および１３６ を有しており、これらはスプロケット１２４に隣接して配置されている対応する ショック・アブソーバ１３８および１４０に係合する。テーブル１００をテスト ・チャンバから引き出すと、停止部材１３４はショック・アブソーバ１４０に係 合し、このショック・アブソーバはテーブル１００の速度を低下させる。同様に 、テーブル１００をテスト・チャンバに押し戻すと、停止部材１３６はショック ・アブソーバ１３８に係合して、テーブル１００の速度を遅くする。 第１８図に示すように、テスト装置は自動ドア・ロック・アセンブリ１５０を 含んでいてもよい。アクセス・ドア１６−１７の各々は通常、ロック・アセンブ リ１５０を含んでいる。 ロック・アセンブリ１５０はドアの頂部および底部に配置された一対のロック ・ピン１５２を有している。ロック・ピン１５２はテスト・チャンバの枠組みに ある対応するスロット（図示せず）に結合されて、ドアをロックする。ピン１５ ２はガイド・ブッシング１５４によって案内される。ガイド・ブッシング１５４ は通常、アセタール樹脂などの低摩擦の材料によって構成されている。ロック・ ピン１５２は一対の第１リンク・アーム１５６にピボット運動可能に接続されて いる。第１リンク・アーム１５６はネジ付きジョイント１６０によって一対の第 ２リンク・アーム１５８に結合されている。全体的なアセンブリ１５０の長さは ネジ付きジョイント１６０を回転させることによって調節できる。第２リンク・ アーム１５８はアクチュエータ１６８の出力軸１６６に結合されている回転プレ ート１６４に接続されている。アクチュエータ１６８は、アーゴノミック・シス テム１４のコンピュータに接続されている制御バルブ（図示せず）によって制御 される。 好ましい実施の形態において、アクチュエータ１６８はバネ復帰２方向気圧シ リンダであり、このシリンダはロック・ピン１５２をロック位置とロック解除位 置の間で移動させることができる。制御バルブは通常、バネ復帰ソレノイド・バ ルブであり、アクチュエータへの空気の流れを制御する。ソレノイドがコンピュ ータによって付勢された場合、バルブが開き、アクチュエータ１６８はロック・ ピン１５２をロック解除位置へ引き込む。ソレノイドの付勢を解除すると、アク チュエータ１６８への空気の流れを逆転させ、出力軸１６６およびロック・ピン １５２をロック位置へ押し込む。アクチュエータへの空気圧が失われた場合、内 部アクチュエータ・バネが出力軸１６６とロック・ピン１５２をロック位置に維 持する。 第１図および第１ａ図を参照すると、アクセス・ドア１６およびハウジング１ ２は一対のライト１７０、１７２と、単一のボタン１７４を有している。ライト の一方１７０はチャンバへ入ることができないことを示す赤色の照明である。他 方のライト１７２はチャンバへ入ることができることを示す緑色の照明である。 ボタン１７４を押すと、チャンバに入っても安全な場合には、ドアのロックが解 除される。ボタン１７４を押した場合、コンピュータはチャンバ内で行われてい たテストを停止し、テストがどこで終了させられたのかを示すようにプログラム されている。アーゴノミック・システムは内部チャンバの温度を変更して、操作 員に「安全」な状態とする。さらに、熱テストを行っている場合、チャンバには 通常、チッ素が充填されている。コンピュータはチッ素をパージし、テスト・チ ャンバに周囲大気を充填してから、アクセス・ドアを開くことができるようにプ ログラムされている。テスト・チャンバを空気でパージした後、シールを収縮さ せ、ドアのロックを解除するように、コンピュータはプログラムされている。テ スト・チャンバはドアがいつ開かれたかを検出し、フィードバック信号をコンピ ュータの与えて、これを示すマイクロスイッチを含んでいてもよい。 第１９図はテストを行っているときに、コンピュータおよびテスト装置によっ て通常実行されるルーチンの流れ図である。図示のルーチンはコンピュータ内の ハードウェアまたはソフトウェアによって実行できる。処理ブロック２００にお いて、アクセス・ドアが操作員によって閉じられ、赤色のライトが点灯する。判 断ブロック２０１−２０３において、ドアが閉じられているかどうかを判定する ために、マイクロスイッチが感知される。前部ドア１６が開いている場合、コン ピュータは判断ブロック２０４および２０５において、テーブル１００が引き出 されているかどうか、またコンソールの天井ボタン（図示せず）が押されている かどうかを判断する。これらの条件が両方とも満たされている場合、コンピュー タは処理ブロック２０６において、天井を移動させる。ドアが閉じられている場 合には、コンピュータは処理ブロック２０７および２０８のそれぞれにおいて、 ドアをロックし、シールを膨張させる。 コンピュータは判断ブロック２１０において、ボタン１７４が操作員によって 押されているかどうかを判断する。ボタンが押されていない場合には、チャンバ のセンサとコンピュータにプログラムされているアルゴリズムは判断ブロック２ １２、２１４および２１６のそれぞれにおいて、プロファイルが作動しているか どうか、チャンバが操作員に「安全」な温度であるかどうか、および危険なレベ ルのチッ素がチャンバ内に存在しているかどうかを判断する。判断ブロックの結 果が否定である場合、コンピュータはブロック２１８において、緑色のライトを 点灯させる。緑色のライトは操作員に対して、ドアが閉じられていても、テスト ・チャンバに入っても安全であることを示す。テスト・チャンバが操作員に「安 全」でない場合には、コンピュータはブロック２２０において、赤色のライトを 点灯する。 ボタン１７４が押されている場合には、コンピュータにプログラムされている アルゴリズムは判断ブロック２２２において、プロファイルが作動しているかど うかを判断する。ブロック２２４において、実行されているテストが停止され、 プロファイルがコンピュータのメモリにセーブされる。コンピュータは判断ブロ ック２２６において、チャンバが所定の温度限度内にあるかどうかを判断するよ うにプログラムされている。テスト・チャンバの温度が許容限度外である場合に は、アーゴノミック・システムは処理ブロック２２８において、温度を調節する 。コンピュータは判断ブロック２３０において、チャンバに過剰なチッ素が入っ ているかどうかを判断し、ブロック２３２において、空気でチャンバをパージす ることによって、テスト・チャンバ内のチッ素のレベルも制御する。 テスト・チャンバが安全な状態に設定されると、処理ブロック２３４、２３６ および２３８のそれぞれにおいて、緑色のライトが点灯され、シールが収縮され 、ドアのロックが解除される。ドア１６−１７は次いで操作員によって開かれ、 この事象が判断ブロック２４０−２４２において、コンピュータによって感知さ れる。 第２０図に示すように、テスト装置はテスト・チャンバの内部から操作員がチ ャンバを出ることを可能とするオーバライド・ボタン２５０を有していてもよい 。ボタン２５０はアクチュエータ１６８を切り替えて、出力軸１６６とロック・ ピン１５２をロック解除位置へ移動させることのできるプランジャ２５２に結合 されている。ボタン２５０はカム２５４によってプランジャ２５２に結合されて おり、カムはドア１６にピボット運動可能に接続されている。テスト・チャンバ に加圧空気や電気がない場合には、ボタン２５０をドアのロックを解除する手動 オーバライド・アセンブリに結合してもよい。オーバライド・アセンブリはドア １６にピボット運動可能に接続されたカム２５４と、ボタン２５０を含んでいる 。カム２５４には、ロック・アセンブリの回転プレート１６４に結合されている チェーン２５６が固定されている。ボタン２５０をさらに押し込むと、カム２５ ４が回転し、チェーン２５６が引かれ、ロック・ピン１５２がロック解除位置へ 移動する。オーバライド・アセンブリはボタン２５０が解除されたときにカム２ ５４を復帰させるバネ２５８を有している。自動ロックおよびオーバライド・シ ス テムは操作員に対するテスト装置の安全性を高める。 いくつかの例示的な実施の形態を説明し、添付図面に示したが、このような実 施の形態が範囲の広い本発明を説明するだけのものであって、限定するものでは ないこと、ならびに各種の他の改変形が当分野の技術者に思い浮かぶであろうか ら、本発明が図示説明した特定の構成および配置に限定されるものではないこと を理解すべきである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，Ｍ Ｃ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ， ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，Ｕ Ｇ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＴ，ＡＵ，ＢＢ，ＢＧ，Ｂ Ｒ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＺ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＥ ，ＤＫ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＩ，ＧＢ， ＧＥ，ＨＵ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，Ｋ Ｚ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ， ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＫ，Ｔ Ｊ，ＴＭ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ (72)発明者 メルカード，ロバート アメリカ合衆国・92630・カリフォルニア 州・レイク フォレスト・ヴィア トナ ダ・24682 (72)発明者 ネセルロード，クリストファー・ダブリュ アメリカ合衆国・92630・カリフォルニア 州・レイク フォレスト・ブルーバード グレン・20053 (72)発明者 ベイカー，ルーシー・エイ アメリカ合衆国・92630・カリフォルニア 州・レイク フォレスト・モント ポイン ト・25655 (72)発明者 バスティーン，ギルバート・ジェイ アメリカ合衆国・91720・カリフォルニア 州・コロナ・ボーダー レーン・2551

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．ある容積の内部チャンバを画定する床と４つの壁を有するテスト・フレーム と、 前記内部チャンバ内に配置された可動天井と、 前記天井を前記床に関して移動させ、前記内部チャンバの容積を変動させる移 動機構と を備えているテスト・チャンバ。 ２．前記天井を前記テスト・フレームに対してシールする膨張シールをさらに備 えている請求項１に記載のテスト・チャンバ。 ３．前記移動機構が前記天井に結合された一対のジャッキ・スクリュウと、前記 ジャッキ・スクリュウを回転させ、前記天井を移動させるモータを含んでいる請 求項１に記載のテスト・チャンバ。 ４．前記天井が複数の通気口と、その通気口を空気源に結合する複数のベローズ とを有している請求項１に記載のテスト・チャンバ。 ５．前記通気口が少なくとも２つの異なる方向で、空気を前記内部チャンバへ送 る請求項４に記載のテスト・チャンバ。 ６．前記内部チャンバ内の前記天井の位置に対応するフィードバック信号を与え る複数のフィードバック装置をさらに備えている請求項１に記載のテスト・チャ ンバ。 ７．前記内部チャンバ内に配置されているテーブルをさらに備えており、前記テ ーブルが軌道に結合されていて、このテーブルを前記内部チャンバから引き出せ 、また前記テーブルを支持する引っ込み式ホイールをさらに有している請求項１ に記載のテスト・チャンバ。 ８．前記テーブルを前記内部チャンバから引き出すときにそのテーブルの速度を 低下させるブレーキを、前記テーブルが有している請求項７に記載のテスト・チ ャンバ。 ９．前記テーブルが引っ込み位置および引き出し位置に達したときに、前記テー ブルの速度を低下させショック・アブソーバを、前記テーブルが有している請求 項７に記載のテスト・チャンバ。 １０．前記ハウジングが前記内部チャンバへの立ち入りを行わせるドアを含んで おり、前記ドアが内部壁と外部壁を有しており、前記壁が前記壁の相対移動を可 能とする固定具によって互いに結合されている請求項１に記載のテスト・チャン バ。 １１．前記ハウジングが前記内部チャンバへの立ち入りを行わせるドアを含んで おり、前記ドアが前記内部チャンバの内側から操作できるロックを有している請 求項１に記載のテスト・チャンバ。 １２．前記内部チャンバが安全な状態になるまで前記ロックを閉鎖位置に維持す るコンピュータに、前記ロックが結合されている請求項１に記載のテスト・チャ ンバ。 １３．内部チャンバを含んでいるテスト・フレームと、 前記内部チャンバへの立ち入りを行わせる、内壁と外壁を有しているドアと、 前記内壁を前記外壁に結合し、前記内壁と前記外壁の間の相対運動を可能とす る固定具と を備えているテスト・チャンバ。 １４．前記固定具が前記外壁と固定部材とに接続されており、前記内壁のクリア ランス・ホールを貫通して延びている請求項１３に記載のテスト・チャンバ。 １５．内部チャンバを含んでいるテスト・フレームと、 前記内部チャンバ内に配置されたテーブルであって、そのテーブルを前記テス ト・フレームから引き出せるように前記テスト・フレームに結合されたテーブル と、 前記テーブルが前記テスト・フレームから離脱するのを防止する停止部材と を備えているテスト・チャンバ。 １６．ハンドルに結合されたブレーキであって、そのハンドルを回転させたとき に前記テーブルの移動を可能とするブレーキをさらに備えている請求項１５に記 載のテスト・チャンバ。 １７．前記テーブルを前記内部チャンバから引き出したときに、前記テーブルを 支持する引っ込み式ホイールをさらに備えている請求項１５に記載のテスト・チ ャンバ。 １８．前記テーブルが軌道と共同するフォロアを有している請求項１７に記載の テスト・チャンバ。 １９．前記フォロアがリンク・アームによって前記ホイールに結合されており、 前記軌道が前記フォロアを回転させ、前記ホイールを引っ込み位置と延長位置と の間で移動させるステップを有している請求項１８に記載のテスト・チャンバ。 ２０．ハンドルに結合されたブレーキであって、そのハンドルを回転させたとき に前記テーブルの移動を可能とするブレーキをさらに備えている請求項１９に記 載のテスト・チャンバ。 ２１．前記テスト・フレームが前記内部チャンバへの立ち入りを行わせるドアを 含んでおり、前記ドアが内部壁と外部壁を有しており、前記壁が前記壁の相対移 動を可能とする固定具によって互いに結合されている請求項１５に記載のテスト ・チャンバ。 ２２．前記テスト・フレームが記内部チャンバへの立ち入りを行わせるドアを含 んでおり、前記ドアが前記内部チャンバの内側から操作できるロックを有してい る請求項１５に記載のテスト・チャンバ。 ２３．前記内部チャンバが安全な状態になるまで前記ロックを閉鎖位置に維持す るコンピュータに、前記ロックが結合されている請求項２２に記載のテスト・チ ャンバ。 ２４．内部チャンバを含んでいるテスト・フレームと、 前記内部チャンバへの立ち入りを行わせるドアと、 前記ドアをロックおよびロック解除するロックと、 前記ドアをロック解除でき、前記内部チャンバの内側から操作できる入力装置 と を備えているテスト・チャンバ。 ２５．前記内部チャンバが安全な状態になるまで、前記ドアをロック位置に維持 するため前記ロックに結合されているコンピュータをさらに備えている請求項２ ４に記載のテスト・チャンバ。 ２６．前記入力装置が前記ドアをロックするアクチュエータと、前記ドアをロッ ク解除する機械的アセンブリの両方に結合されている請求項２４に記載のテスト ・チャンバ。 ２７．内部チャンバを含んでいるテスト・フレームと、 前記内部チャンバへの立ち入りを行わせるドアと、 前記ドアをロックおよびロック解除するロックと、 前記内部チャンバが安全な状態になるまで、前記ドアをロック位置に維持する ため前記ロックに結合されているコンピュータと を備えているテスト・チャンバ。 ２８．前記内部チャンバが安全な状態になった時期の指示を与える出力装置をさ らに備えている請求項２７に記載のテスト・チャンバ。 ２９．内部チャンバ温度の内部容積を有している内部チャンバを画定する床と４ つの壁を有しているテスト・フレームと、 前記内部チャンバ内の可動天井と、 前記天井を前記床に対して移動させ、前記内部チャンバの容積を変動させる移 動機構と、 前記内部チャンバ内に配置され、前記内部チャンバから引き出せるように前記 テスト・フレームに結合されているテーブルと、 内部壁と外部壁を有しており、前記壁が前記壁の相対移動を可能とする固定具 によって互いに結合されている、内部チャンバへの立ち入りを行わせるドアと、 前記ドアをロックおよびロック解除するロックと、 前記ドアをロック解除でき、前記内部チャンバの内側から操作できる入力装置 と、 前記内部チャンバの温度を周囲温度から変動させるアーゴノミック・システム と、 前記アーゴノミック・システムを制御し、内部チャンバの温度が安全な状態で ない場合に、前記ドアをロック状態に維持するように前記ロックに結合されてい るコンピュータと を備えているテスト・チャンバ。 ３０．前記天井が膨張シールを有している請求項２９に記載のテスト・チャンバ 。 ３１．前記移動機構が前記天井に結合された一対のジャッキ・スクリュウと、前 記ジャッキ・スクリュウを回転させ、前記天井を移動させるモータを含んでいる 請求項３０に記載のテスト・チャンバ。 ３２．前記天井が複数の通気口と、その通気口を空気源に結合する複数のベロー ズとを有している請求項３１に記載のテスト・チャンバ。 ３３．前記通気口が少なくとも２つの異なる方向で、空気を前記内部チャンバへ 送る請求項３２に記載のテスト・チャンバ。 ３４．前記内部チャンバ内の前記天井の位置に対応したフィードバック信号を前 記コンピュータに与える複数のフィードバック装置をさらに備えている請求項３ ３に記載のテスト・チャンバ。 ３５．前記固定具が前記外壁と固定部材とに接続されており、前記内壁のクリア ランス・ホールを貫通して延びている請求項３４に記載のテスト・チャンバ。 ３６．前記テーブルを前記内部チャンバから引き出したときに、前記テーブルを 支持する引っ込み式ホイールをさらに備えている請求項３５に記載のテスト・チ ャンバ。 ３７．前記テーブルが軌道と共同するフォロアを有している請求項３６に記載の テスト・チャンバ。 ３８．前記フォロアがリンク・アームによって前記ホイールに結合されており、 前記軌道が前記フォロアを回転させ、前記ホイールを引っ込み位置と延長位置と の間で移動させるステップを有している請求項３７に記載のテスト・チャンバ。 ３９．ハンドルに結合され、そのハンドルを回転させたときに前記テーブルの移 動を可能とするブレーキをさらに備えている請求項３８に記載のテスト・チャン バ。 ４０．ハウジングと、 前記ハウジングに旋回自在に結合された複数のルーバと を備えているテスト・チャンバ用の通気口。