JPH1052941A - 光走査装置および画像形成装置 - Google Patents
光走査装置および画像形成装置Info
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- JPH1052941A JPH1052941A JP21153796A JP21153796A JPH1052941A JP H1052941 A JPH1052941 A JP H1052941A JP 21153796 A JP21153796 A JP 21153796A JP 21153796 A JP21153796 A JP 21153796A JP H1052941 A JPH1052941 A JP H1052941A
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Abstract
る。 【解決手段】 光源アレイ12の複数の光源12aは、
主走査方向の中央の光源12aから両端部の光源12a
にかけてニアフィールドパターン径が小さくなる構成を
有し、感光体ドラム16の感光体面16aは、レンズ系
14,15によって形成される中央の光源12aの焦点
15aに配置される。光源アレイ12から画像信号に応
じて変調された複数の光ビーム13を出射すると、中央
の光源12aから出射された光ビーム13は、感光体面
16a上の焦点15aで像を結ぶ。端部の光源12aか
ら出射された光ビーム13は、感光体16aの手前の焦
点15aで像を結んだ後、除々に太くなり、感光体面1
6a上では中央のスポット径Dと等しいスポット径Dを
形成する。
Description
レーザ光源を1次元状あるいは2次元状に配列したLE
Dアレイやレーザアレイ等の光源アレイを用いた光走査
装置および画像形成装置に関し、特に、走査面あるいは
画像形成面に照射される光ビームのスポット径を等しく
した光走査装置および画像形成装置に関する。
18に示されるものがある。この画像形成装置1は、主
走査方向Yおよび副走査方向Zに2次元状に配列された
複数のレーザ光源2aを有する半導体レーザアレイ2
と、各レーザ光源2aから光軸方向Xに出射された複数
のレーザビーム3を集光点4aに集光させる集光レンズ
系4と、集光点4aに集光された複数のレーザビーム3
を感光体ドラム6の感光体面6a上に結像させる結像レ
ンズ系5と、図示しない支持ローラによって回転可能に
支持され、レーザビーム3によって露光されることによ
り静電潜像を形成する感光体ドラム6とを具備してい
る。なお、7は画像信号を記憶した画像メモリ、8は画
像メモリ7から画像信号を読み出し、その画像信号を処
理して記録パターンに応じた記録信号を出力する信号処
理回路、9は信号処理回路8から記録信号を入力してレ
ーザアレイ2を駆動するレーザ駆動回路、10はレーザ
駆動回路9に制御信号を出力してレーザアレイ2の駆動
を行わせる制御回路である。
いて、信号処理回路8が、画像メモリ7から画像信号を
読み出し、その画像信号を処理して記録パターンに応じ
た記録信号を出力すると、レーザ駆動回路9は、制御回
路10の制御の下に、信号処理回路8から記録信号を入
力してレーザアレイ2を駆動する。レーザアレイ2の各
レーザ光源2aからはレーザビーム3が出射される。各
レーザ光源2aから出射されたレーザビーム3は、集光
レンズ系4によって集光点4aに集光され、結像レンズ
系5によって感光体面6a上に結像される。感光体ドラ
ム6は、レーザビーム3によって露光されることにより
静電潜像を形成する。
えば、特開平7−314771号公報に示されるものが
ある。この画像形成装置は、光源の位置精度を高めるた
めに、従来、複数のLED光源が形成されたLEDチッ
プを複数貼り合わせて製作していたLEDアレイを、感
光体の幅よりも小さい幅の単一の基板上に複数のLED
光源を一列に配列して構成し、各LED光源からのレー
ザビームを感光体上に投影するために、配列方向の光の
幅を感光体の幅まで拡大する凸レンズを有する光学系を
設けている。これにより、単一の基板上に配列したLE
D光源からのレーザビームを感光体面上に感光体の幅ま
で拡大投影し、書き込みを行うことができる。また、単
一の基板上にLED光源を形成することで、貼り合わせ
による位置精度の誤差がなくなるという利点がある。
えば、特開平8−62531号公報に示されるものがあ
る。この画像形成装置は、仮にレーザアレイのスポット
が一直線でない場合でも、感光体面上で一直線に補正で
きる光学系を備えたものである。
従来の画像形成装置1によると、各光源2aが同様に構
成されていたため、光源2aからのレーザビーム3を凸
レンズを有する集光レンズ系4および結像レンズ系5を
介して感光体面6a上に結像する場合に、各々の光源2
aの中心位置をアレイ2の製作方法または光学系によっ
て補正できたとしても、レンズ系4,5の球面収差等の
影響を受け、図19に示すように、各結像点(焦点)5
aを結ぶ実際の焦点面5bが感光体面6a上から光軸方
向Xにずれてしまい、両側で解像度が劣化するという問
題がある。すなわち、光軸中心30にある光源2a0から
出射されたレーザビーム3は、図19に示すように、感
光体面6a上に焦点5aが形成されるが、光軸中心30
にある光源2a0から主走査方向Yに沿って離れた位置に
ある光源2akから出射されたレーザビーム3は、本来感
光体面6a上に結像すべきものが手前で焦点5aが形成
され、その結果、感光体面6a上に所望のスポット径D
よりも太いスポット径(D+α)が照射されることとな
る。これは光源2aが、LED光源でも同様である。こ
の焦点5aのずれΔx(y)は、光軸中心30から離れ
た位置に配置された光源2aほど大きくなる。従って、
光源2aの位置精度を高めただけでは、解像度の均一な
画像を得ることはできない。
を図り、高品質な画像を得ることのできる光走査装置お
よび画像形成装置を提供することにある。
に本発明の光走査装置は、複数の光ビームによって走査
面を走査する光走査装置において、前記複数の光ビーム
を出射する複数の光源が1次元状あるいは2次元状に配
列された光源アレイと、前記複数の光ビームを前記走査
面に集光させる光学手段とを備え、前記光源アレイの前
記複数の光源は、前記光学手段の焦点位置に対する前記
複数の光ビームの前記走査面上の非合焦度合いに応じた
ニアフィールドパターン径を有するように構成されたこ
とを特徴とする。
画像形成装置は、画像信号に応じて変調された複数の光
ビームによって画像形成面を走査して前記画像形成面に
画像を形成する画像形成装置において、前記複数の光ビ
ームを出射する複数の光源が1次元状あるいは2次元状
に配列された光源アレイと、前記複数の光ビームを前記
画像形成面に集光させる光学手段と、前記画像形成面に
配置され、前記複数の光ビームに応じた静電潜像を形成
する画像形成体とを備え、前記光源アレイの前記複数の
光源は、前記光学手段の焦点位置に対する前記複数の光
ビームの前記画像形成面上の非合焦度合いに応じたニア
フィールドパターン径を有するように構成されたことを
特徴とする。
手段の焦点位置に対する複数の光ビームの走査面あるい
は画像形成面上の非合焦度合いに応じたニアフィールド
パターン径を有することにより、走査面あるいは画像形
成面に照射される光ビームのスポット径を等しくするこ
とが可能となる。
を参照して詳細に説明する。図1は本発明の原理を説明
するための図である。この発明に係る画像形成装置11
は、複数の光ビームを出射する複数の光源12aが1次
元状あるいは2次元状に配列された光源アレイ12を備
えている。この光源アレイ12の複数の光源12aは、
主走査方向Yの中央の光源12aから両端部の光源12
aにかけてニアフィールドパターン径が小さくなる構成
を有している。感光体ドラム16の感光体面16aは、
レンズ系14,15によって形成される中央の光源12
aの焦点15aに配置される。このように構成すること
で、光源アレイ12から画像信号に応じて変調された複
数の光ビームを出射すると、中央の光源12aから出射
された光ビーム13は、感光体面16a上の焦点15a
で像を結ぶ。端部の光源12aから出射された光ビーム
13は、感光体面16aの手前の焦点15aで像を結ん
だ後、除々に太くなり、感光体面16a上では中央のス
ポット径Dと等しいスポット径Dを形成する。
装置を示す構成図である。この画像形成装置11は、n
×m個(例えば、数千個以上)のレーザ光源12aをア
レイ状に配置し、各レーザ光源12aからレーザビーム
13を同時に独立して出射可能な半導体レーザアレイ1
2(12A乃至12F)と、各レーザ光源12aから出
射された複数のレーザビーム13を集光点14aに集光
させる集光レンズ系14と、集光点14aに集光された
複数のレーザビーム13を走査面としての感光体面16
a上に結像させる結像レンズ系15と、図示しない支持
ローラによって回転可能に支持され、レーザビーム13
によって露光されることにより静電潜像を形成する感光
体ドラム16と、画像信号を記憶した画像メモリ17
と、画像メモリ17から画像信号を読み出し、その画像
信号を処理して記録パターンに応じた記録信号を出力す
る信号処理回路18と、信号処理回路18から記録信号
を入力してレーザアレイ12を駆動する駆動信号を出力
するレーザ駆動回路19と、レーザ駆動回路19に制御
信号を出力してレーザアレイ12の駆動を行わせる制御
回路20とを具備している。なお、同図において、Xは
光軸方向、Yは主走査方向、Zは副走査方向をそれぞれ
示し、aはレーザアレイ12の表面と集光レンズ系14
との距離、bは集光レンズ系14と感光体面16aとの
距離をそれぞれ示す。また、レーザアレイ12の1つの
レーザ光源12aは、主走査方向Yの1つの画素に対応
している。
る光源12a0から出射されたレーザビーム13の結像点
(焦点)15aが感光体面16aと一致するように位置
決めされている。また、この光記録装置11は、感光体
ドラム16の周囲に、帯電器,現像器,転写器等を設
け、転写器の前段には給紙部、転写器の後段には定着
器,排紙部等を設けている。これらの各ユニットは、説
明上図示していない。
ための図であり、同図(a)はその要部斜視図、同図
(b)は同図(a)のA部詳細図である。レーザアレイ
12は、n-GaAsの半導体基板120を有し、半導体基板
120の裏面にn型電極121を形成し、半導体基板1
20の表面に、Al0.15Ga0.85AsとAlAsとを交互に多層に
積層したn型ミラー層122、GaAs量子井戸層を上下の
Al 0.3Ga0.7Asで挟み込んで形成された発光層を含む活性
層123、Al0.15Ga0.85AsとAlAsとを交互に多層に積層
したp型ミラー層124及びレーザビーム13を面発光
状態で出射する複数の発光孔125が形成されたp型電
極126をこの順に形成し、活性層123(あるいはp
型ミラー層124)にプロトンを注入して高抵抗領域1
27を形成し、p型電極126、p型ミラー層124お
よび活性層123を分離溝128により分離して複数の
光源12aを形成している。p型ミラー層124の分離
溝128間にはエアポスト(後述する図5参照)Eが形
成されており、Eyは、主走査方向Yのエアポスト半
径、Ezは、副走査方向Zのエアポスト半径を示す。ま
た、活性層123の高抵抗領域127間には電流狭窄部
(後述する図5参照)Sが形成されており、Syは主走
査方向Yの電流狭窄半径、Szは副走査方向Zの電流狭
窄半径を示す。
イ12Aの要部正面図、図5はレーザアレイ12Aの主
走査方向Yの要部断面図である。このレーザアレイ12
Aは、主走査方向Yに沿って所定の間隔で設けられたn
本のY方向基線Nと、Y方向基線Nに対し角度θを有し
て所定の間隔で設けられたm本のθ方向基線Mとの各交
点にn×m個の発光孔125を設けている。各発光孔1
25は、光軸中心130を通るθ方向基線Mo 上のレー
ザ光源列を起点として、主走査方向Yに沿って離れるに
従い、小さくなるように形成している。また、同じθ方
向基線M上にある発光孔125の大きさは等しくしてい
る。
イ12Aの光源12aのニアフィールドパターンを示す
図である。同図において、rは光源12aのニアフィー
ルドパターン半径(ピーク強度の1/e2 における半
径)を示す。発光孔125を主走査方向Yに沿って離れ
るに従って小さくなるように形成することにより、光源
12aのニアフィールドパターン半径rは、光軸中心1
30から離れるもの程小さくなる。例えば、光源12a
のニアフィールドパターン半径rを2μm、距離bと距
離aとの比(b/a)を6とすると、感光体面16a上
でのニアフィールドパターン半径Rは、12μmとな
る。
イ12Aの異なる位置の光源12aから出射されるレー
ザビーム13の比較を示す図である。光軸中心130に
ある光源12a0のニアフィールドパターン半径をr0 、
光軸中心130から離れた位置にある光源12akのニア
フィールドパターン半径を半径r0 より小さいrk とす
る。光軸中心130にある光源12a0は、焦点面15b
上に半径R0 (=r0 ×(b/a))の像を形成する。
一方、ニアフィールドパターン半径rk の光源12
akは、焦点面15bに半径Rk (=rk ×(b/a)の
像を形成した後、次第に太り、所定の距離Lの位置で
は、半径R0 と等しいスポット半径Wk を形成する。
至式(5)に示す関係があるので、これを解くと、焦点
15aと感光体面16aとのずれΔx(y)に対応する
光源12aのニアフィールドパターン半径rk が得られ
る。これを以下の式(6)に示す。 Wk 2 =Rk 2 (1+(λL/πRk 2 )2 ) …(1)
光源12a0以外の他の各光源12akのニアフィールドパ
ターン半径rk を球面収差による焦点15aの光源12
a側へのずれΔx(y)がLと等しくなるように設定す
ることで、全ての光源12aにおいて常に感光体面16
a上で同一のスポット径を得ることができる。
処理回路18が、画像メモリ17から画像信号を読み出
し、その画像信号を処理して記録パターンに応じた記録
信号を出力すると、レーザ駆動回路19は、制御回路2
0の制御の下に、信号処理回路18から記録信号を入力
してレーザアレイ12を駆動する。レーザアレイ12の
各レーザ光源12aからはレーザビーム13が出射され
る。各レーザ光源12aから出射されたレーザビーム1
3は、集光レンズ系14によって集光点14aに集光さ
れ、結像レンズ系15によって感光体面16a上に結像
される。感光体ドラム16は、レーザビーム13によっ
て露光されることにより静電潜像を形成する。その後
は、静電潜像は、現像器によってトナー現像され、その
トナー像が転写器によって給紙部から給紙された記録用
紙に転写され、さらに定着器によって定着された後、記
録用紙は排紙部へと送られる。
説明する。図8は感光体面16aと焦点面15bとの位
置関係および感光体面16a上のスポットを示す図であ
る。本装置11によれば、図8に示すように、光軸中心
130の光源12a0からのレーザビーム13がレンズ系
14,15によって形成される焦点15aに感光体面1
6aを配置させた場合、レンズ系14,15の球面収差
等によって光軸中心130の光源12a0から主走査方向
Yに離れた光源12akからのレーザビーム13の焦点1
5aが感光体面16aの手前で形成されても、光源12
aのニアフィールドパターン径rをレンズ系14,15
の球面収差等による感光体面16aからのずれ量をキャ
ンセルするように設定することで、常に感光体面16a
上で同一のスポット径Dを得ることができるため、均一
な解像度を有する画像を得ることができる。また、レン
ズ系14,15の球面収差等を光源12a側で補正可能
となるため、安価なレンズを使用することができ、ひい
てはコストダウンを図ることができる。
イ12Bの要部正面図である。第1の実施の形態に係る
レーザアレイ12Aでは、レンズ系14,15に球面収
差があるときでも、複数の光源12aが感光体面16a
上に形成するスポット径Dが等しくなるが、ニアフィー
ルドパターン半径rを変化させると、レーザビーム13
の周波数をλとした場合、光源12aの出射角uが次の
式(7)のように変化する。 tan(u)=(2λ)/(πr) …(7) すなわち、レーザビーム13の周波数λを一定とした場
合、半径rが小さくなると、出射角uは大きくなる。第
1の実施の形態のように、光軸中心130から主走査方
向Yに沿って離れるに従い、半径rを小さくした場合、
最も端の光源12aの出射角uが最大となるため、最も
端の光源12aからのレーザビーム13が結像レンズ系
15でけられるおそれがある。また、光路中にスリット
(ピンホール)を用いた光学系の場合、広がり角が大き
いほどスリット(ピンホール)でけられる光量が多くな
るため、感光体面16a上で得られるビーム強度が不均
一になるおそれがある。これらを防ぐために、第2の実
施の形態では、半径rが変化しても出射角uが変化しな
いようにしたものである。
うに、第1の実施の形態と同様に発光孔125が、光軸
中心130にある光源12a0を起点として光軸中心13
0から主走査方向Yに沿って離れるに従い、除々にある
いは段階的に小さくなるように設定し、さらに、光源1
2aからのレーザビーム13の出射角uは、λ/rで決
まるので、出射角uが全ての光源12aにおいて同一と
なるように、各光源12aからの波長λも光軸中心13
0にある光源12a0を起点として、光軸中心130から
主走査方向Yに沿って離れるに従い、除々にあるいは段
階的に小さくなるように設定している。
ラー層121,123の膜厚を薄くすることで実現でき
る。また、発光孔125を除々に小さくする場合には、
ミラー層121,123の膜厚分布が光軸中心130で
最大となり、周辺に行くに従い薄くなるように形成する
ことで実現できる。発光孔125が段階的に小さくなる
場合や波長差を大きくとりたい場合には、発光孔125
の大きさに合わせた波長λのレーザアレイチップを数個
製作し、これを張り合わせてレーザアレイ12Bを形成
すればよい。同図において、θ方向基線M0 上の光源1
2a0からのレーザビーム13の波長をλ0 、θ方向基線
M1 上の光源12aからのレーザビーム13の波長をλ
1 、θ方向基線M2 上の光源12aからのレーザビーム
13の波長をλ2 とすると、λ0 >λ1 >λ2 の関係に
ある。なお、レーザビーム13が結像レンズ系15でけ
られるおそれのある端部近傍の光源12aのみのレーザ
ビーム13の出射角uを小さくするようにしてもよい。
レイ12Bの異なる位置の光源12aから出射されるレ
ーザビーム13を示す。このレーザアレイ12Bの場合
も、光軸中心130にある光源12a0とこれよりニアフ
ィールドパターン半径rの小さい光源12aとは、焦点
面15b上に異なるビーム径を形成するが、出射角uは
同一である。半径rk の光源12akからのレーザビーム
13は、焦点面15bでスポット径rk ×(b/a)と
なった後、除々に太り、ある位置で光軸中心130にあ
る光源12a0で形成されるスポット径と等しくなる。こ
の位置を焦点距離+Lの位置とすると、光源12aから
の焦点15aは、光軸中心130から離れた位置にある
光源12aほど球面収差によってΔx(y)だけ光源1
2a側にシフトするので、Lとシフト量Δx(y)が等
しくなるように光源12aの半径rを設定すればよい。
設定の条件は、第1の実施の形態で示した数式で得られ
る。
12Bによれば、レンズ系14,15の球面収差等があ
っても感光体面16a上で同一のスポット径Dを得るこ
とができ、レーザビーム13が結像レンズ系15でけら
れることがなくなる。また、光路中にスリット(ピンホ
ール)を用いた光学系においても、ビーム広がり角が一
定であるため、スリット(ピンホール)でけられる光量
がほぼ同一となり、光強度も安定する。
レイ12Cの要部正面図である。このレーザアレイ12
Cは、ニアフィールドパターン半径rを主走査方向Yの
み変化させ、複数の光源12aの発光孔125を副走査
方向Zを長軸とする楕円としたものである。この場合、
感光体面16aに形成されるスポット形状は、楕円とな
る。また、図示は省略するが、ニアフィールドパターン
半径rを副走査方向Zのみ変えてもよい。また、主走査
方向Yあるいは副走査方向Zのニアフィールドパターン
半径rを異なる比で変化させて構成してもよい。結像レ
ンズ系15の拡大/縮小倍率が、主走査方向Yと副走査
方向Zとで異なる場合に有効である。
レイ12Dの正面図である。このレーザアレイ12D
は、最も端のθ方向基線M上の光源12aを起点として
光軸中心130に向かうに従い、除々にあるいは段階的
に光源12aのニアフィールドパターン半径rが小さく
なるように形成したものである。この場合、感光体面1
6aは、図13に示すように、最も端のθ方向基線M上
の光源12aからのレーザビーム13の焦点15aと一
致するように設定する。この第4の実施の形態に係るレ
ーザアレイ12Dによれば、第1の実施の形態に係るレ
ーザアレイ12Aと同様の効果を奏する。
レイ12Eの要部正面図である。このレーザアレイ12
Eは、光軸中心130と両端の中間の所定の2つの位置
にある光源12a2を起点とし、光軸中心130及び端に
向かうに従って光源12aのニアフィールドパターン半
径rが小さくなるように形成したものである。この場
合、感光体面16aは、図15に示すように所定の2つ
の位置にある光源12a2の焦点15aと一致するように
設定する。この第5の実施の形態に係るレーザアレイ1
2Eによれば、第1の実施の形態に係るレーザアレイ1
2Aと同様の効果を奏する。
レイ12Fの要部正面図である。第1乃至第5の実施の
形態に係るレーザアレイ12A乃至12Eは、同一のθ
方向基線M上の光源12aのニアフィールドパターン半
径rを等しくしたが、このレーザアレイ12Fは、同一
のθ方向基線M上の光源12aであっても、光軸中心1
30を起点とし、主走査方向Yの位置に従ってニアフィ
ールドパターン半径rを変化させたものである。同図で
は小さくさせた場合を示しているが、大きくさせる場合
も同様に適用できる。この第6の実施の形態に係るレー
ザアレイ12Fによれば、第1の実施の形態に係るレー
ザアレイ12Aと比較してより均一な解像度を得ること
ができる。
ン半径rを変化させる他の方法を説明する。ニアフィー
ルドパターン半径rを変化させる方法として発光孔12
5の径を変化せる方法について説明したが、電流狭窄部
S又はエアポストEを変化させてもよい。電流狭窄部S
又はエアポストEの形状は、上記図3では矩形の場合を
示したが、楕円または円形でもよい。また、ミラー層
(エアポストE)122,124を酸化,プロトン注
入,拡散等の方法によって電流狭窄部Sを形成し、これ
を変化させてもよい。活性層123の電流狭窄部Sは、
上記図3ではプロトン注入によって形成しているが、酸
化,拡散等の方法によってもよい。端面発光型のレーザ
であれば、電流狭窄部S,活性層123の膜厚を変化さ
せればよい。
Eを異ならせることで、光源12aのニアフィールドパ
ターン半径rを変化させた例を示す図である。同図で
は、エアポストEは、主走査方向Yに沿って異なるが、
発光孔125の径は、同一である。
れず、種々な実施の形態が可能である。例えば、上記実
施の形態では、複数の光源を2次元状に配列した光源ア
レイについて説明したが、複数の光源を主走査方向に1
次元状に配列した光源アレイについても本発明は同様に
実施可能である。また、上記実施の形態では、光源アレ
イとしてレーザアレイについて説明したが、LED光源
を主走査方向に1次元状あるいは主走査方向および副走
査方向に2次元状に配列したLEDアレイについても本
発明は同様に実施可能である。この場合は、LEDの発
光部の面積を主走査方向に沿って異ならせればよい。ま
た、上記実施の形態では、感光体ドラムを記録媒体とし
たが、他の光記録媒体であってもよい。また、上記実施
の形態では、画像形成装置について説明したが、記録媒
体に記録された記録情報や物体の形状を読み取る光走査
装置にも本発明は、同様に適用することができる。
数の光源が、光学手段の焦点位置に対する複数の光ビー
ムの走査面あるいは画像形成面上の非合焦度合いに応じ
たニアフィールドパターン径を有することにより、走査
面あるいは画像形成面に照射される光ビームのスポット
径を等しくすることが可能となるので、解像度の均一化
が図れ、高品質な画像を得ることができる。
構成図
(a)はその要部斜視図、同図(b)は同図(a)のA
部詳細図
面図
方向の要部断面図
パターンを示す図
位置の光源から出射されるレーザビームを示す図
位置関係を示す図
面図
る位置の光源から出射されるレーザビームを示す図
正面図
正面図
の位置関係を示す図
正面図
の位置関係を示す図
正面図
ことで、光源のニアフィールドパターン半径を変化させ
た例を示す図
径 rk 光軸中心から離れた位置にある光源のニアフィー
ルドパターン半径 R 感光体面上でのニアフィールドパターン半径 R0 半径r0 の光源が焦点面上に形成する像の半径 Rk 半径rk の光源が焦点面上に形成する像の半径 S 電流狭窄部 Sy 主走査方向の電流狭窄半径 Sz 副走査方向の電流狭窄半径 u 光源の出射角 Wk 半径rk の光源が感光体面に形成するスポット半
径 X 光軸方向 Y 主走査方向 Z 副走査方向 Δx(y) 焦点のずれ λ レーザビームの周波数
Claims (22)
- 【請求項1】複数の光ビームによって走査面を走査する
光走査装置において、 前記複数の光ビームを出射する複数の光源が1次元状あ
るいは2次元状に配列された光源アレイと、 前記複数の光ビームを前記走査面に集光させる光学手段
とを備え、 前記光源アレイの前記複数の光源は、前記光学手段の焦
点位置に対する前記複数の光ビームの前記走査面上の非
合焦度合いに応じたニアフィールドパターン径を有する
ように構成されたことを特徴とする光走査装置。 - 【請求項2】前記複数の光源は、主走査方向の中央の光
源から両端部の光源にかけて前記ニアフィールドパター
ン径が小さくなる構成を有し、 前記走査面は、前記光学手段によって形成される前記中
央の光源の焦点位置に配置される構成の請求項1記載の
光走査装置。 - 【請求項3】前記複数の光源は、主走査方向の両端部の
光源から中央の光源にかけて前記ニアフィールドパター
ン径が小さくなる構成を有し、 前記走査面は、前記光学手段によって形成される前記両
端部の光源の焦点位置に配置される構成の請求項1記載
の光走査装置。 - 【請求項4】前記複数の光源は、主走査方向の両端部の
光源より所定の間隔を置いて配置された第1および第2
の光源から中央の光源および前記両端部の光源にかけて
前記ニアフィールドパターン径が小さくなる構成を有
し、 前記走査面は、前記光学手段によって形成される前記第
1および第2の光源の焦点位置に配置される構成の請求
項1記載の光走査装置。 - 【請求項5】前記複数の光源は、前記ニアフィールドパ
ターン径が前記光ビームの断面の直交する2軸の方向で
変化する構成を有する請求項2,3又は4記載の光走査
装置。 - 【請求項6】前記複数の光源は、前記ニアフィールドパ
ターン径が前記光ビームの断面の前記主走査方向に平行
な1軸の方向で変化する構成を有する請求項2,3又は
4記載の光走査装置。 - 【請求項7】前記複数の光源は、前記ニアフィールドパ
ターン径に応じた波長の前記複数の光ビームを出射する
構成の請求項2又は4記載の光走査装置。 - 【請求項8】前記複数の光源は、前記波長に応じた膜厚
のミラー層を有する複数の半導体レーザによって構成さ
れた請求項7記載の光走査装置。 - 【請求項9】前記光源アレイは、前記複数の光源が2次
元状に配列され、 前記複数の光源は、前記主走査方向に沿って所定の間隔
で設けられた複数の主走査方向基線と、前記主走査方向
基線に対し角度θを有して所定の間隔で設けられた複数
のθ方向基線との各交点に設けられ、前記θ方向基線毎
に前記ニアフィールドパターン径が変化する構成を有す
る請求項2,3又は4記載の光走査装置。 - 【請求項10】前記光源アレイは、前記複数の光源が2
次元状に配列され、 前記複数の光源は、前記主走査方向に沿って所定の間隔
で設けられた複数の主走査方向基線と、前記主走査方向
基線に対し角度θを有して所定の間隔で設けられた複数
のθ方向基線との各交点に設けられ、副走査方向に沿う
所定の基線を基準に前記主走査方向に沿って前記ニアフ
ィールドパターン径が変化する構成を有する請求項2,
3又は4記載の光走査装置。 - 【請求項11】前記複数の光源は、半導体基板の裏面に
n型電極を形成し、前記半導体基板の表面に、n型ミラ
ー層、発光層を含む活性層、p型ミラー層、および複数
の発光孔が形成されたp型電極をこの順に形成し、前記
活性層あるいはp型ミラー層にプロトンを注入して高抵
抗領域を形成し、前記p型電極、前記p型ミラー層およ
び前記活性層を分離溝により複数に分離して形成され、
前記発光孔の径、前記p型ミラー層の前記分離溝間に形
成されたエアポスト径、前記活性層の前記高抵抗領域間
に形成された電流狭窄径のいずれかを変更することによ
り前記ニアフィールドパターン径が変化する構成を有す
る請求項2,3又は4記載の光走査装置。 - 【請求項12】画像信号に応じて変調された複数の光ビ
ームによって画像形成面を走査して前記画像形成面に画
像を形成する画像形成装置において、 前記複数の光ビームを出射する複数の光源が1次元状あ
るいは2次元状に配列された光源アレイと、 前記複数の光ビームを前記画像形成面に集光させる光学
手段と、 前記画像形成面に配置され、前記複数の光ビームに応じ
た静電潜像を形成する画像形成体とを備え、 前記光源アレイの前記複数の光源は、前記光学手段の焦
点位置に対する前記複数の光ビームの前記画像形成面上
の非合焦度合いに応じたニアフィールドパターン径を有
するように構成されたことを特徴とする画像形成装置。 - 【請求項13】前記複数の光源は、主走査方向の中央の
光源から両端部の光源にかけて前記ニアフィールドパタ
ーン径が小さくなる構成を有し、 前記画像形成面は、前記光学手段によって形成される前
記中央の光源の焦点位置に配置される構成の請求項12
記載の画像形成装置。 - 【請求項14】前記複数の光源は、主走査方向の両端部
の光源から中央の光源にかけて前記ニアフィールドパタ
ーン径が小さくなる構成を有し、 前記画像形成面は、前記光学手段によって形成される前
記両端部の光源の焦点位置に配置される構成の請求項1
2記載の画像形成装置。 - 【請求項15】前記複数の光源は、主走査方向の両端部
の光源より所定の間隔を置いて配置された第1および第
2の光源から中央の光源および前記両端部の光源にかけ
て前記ニアフィールドパターン径が小さくなる構成を有
し、 前記画像形成面は、前記光学手段によって形成される前
記第1および第2の光源の焦点位置に配置される構成の
請求項12記載の画像形成装置。 - 【請求項16】前記複数の光源は、前記ニアフィールド
パターン径が前記光ビームの断面の直交する2軸の方向
で変化する構成を有する請求項13,14又は15記載
の画像形成装置。 - 【請求項17】前記複数の光源は、前記ニアフィールド
パターン径が前記光ビームの断面の前記主走査方向に平
行な1軸の方向で変化する構成を有する請求項13,1
4又は15記載の画像形成装置。 - 【請求項18】前記複数の光源は、前記ニアフィールド
パターン径に応じた波長の前記複数の光ビームを出射す
る構成の請求項13又は15記載の画像形成装置。 - 【請求項19】前記複数の光源は、前記波長に応じた膜
厚のミラー層を有する複数の半導体レーザによって構成
された請求項18記載の画像形成装置。 - 【請求項20】前記光源アレイは、前記複数の光源が2
次元状に配列され、 前記複数の光源は、前記主走査方向に沿って所定の間隔
で設けられた複数の主走査方向基線と、前記主走査方向
基線に対し角度θを有して所定の間隔で設けられた複数
のθ方向基線との各交点に設けられ、前記θ方向基線毎
に前記ニアフィールドパターン径が変化する構成を有す
る請求項13,14又は15記載の画像形成装置。 - 【請求項21】前記光源アレイは、前記複数の光源が2
次元状に配列され、 前記複数の光源は、前記主走査方向に沿って所定の間隔
で設けられた複数の主走査方向基線と、前記主走査方向
基線に対し角度θを有して所定の間隔で設けられた複数
のθ方向基線との各交点に設けられ、副走査方向に沿う
所定の基線を基準に前記主走査方向に沿って前記ニアフ
ィールドパターン径が変化する構成を有する請求項1
3,14又は15記載の画像形成装置。 - 【請求項22】前記複数の光源は、半導体基板の裏面に
n型電極を形成し、前記半導体基板の表面に、n型ミラ
ー層、発光層を含む活性層、p型ミラー層、および複数
の発光孔が形成されたp型電極をこの順に形成し、前記
活性層あるいはp型ミラー層にプロトンを注入して高抵
抗領域を形成し、前記p型電極、前記p型ミラー層およ
び前記活性層を分離溝により複数に分離して形成され、
前記発光孔の径、前記p型ミラー層の前記分離溝間に形
成されたエアポスト径、前記活性層の前記高抵抗領域間
に形成された電流狭窄径のいずれかを変更することによ
り前記ニアフィールドパターン径が変化する構成を有す
る請求項13,14又は15記載の画像形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21153796A JP3543506B2 (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | 光走査装置および画像形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21153796A JP3543506B2 (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | 光走査装置および画像形成装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1052941A true JPH1052941A (ja) | 1998-02-24 |
| JP3543506B2 JP3543506B2 (ja) | 2004-07-14 |
Family
ID=16607503
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21153796A Expired - Fee Related JP3543506B2 (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | 光走査装置および画像形成装置 |
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|---|---|
| JP (1) | JP3543506B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006294810A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Fuji Xerox Co Ltd | 面発光半導体レーザアレイおよびそれを用いた光伝送システム |
| JP2008281779A (ja) * | 2007-05-10 | 2008-11-20 | Canon Inc | 光ビーム走査装置及び画像形成装置 |
| JP2013502717A (ja) * | 2009-08-20 | 2013-01-24 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 設定変更可能な輝度分布を備えるレーザー装置 |
| WO2019075631A1 (zh) * | 2017-10-17 | 2019-04-25 | 中国科学院半导体研究所 | 弯曲锥形光子晶体激光器及阵列、阵列光源组 |
-
1996
- 1996-08-09 JP JP21153796A patent/JP3543506B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006294810A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Fuji Xerox Co Ltd | 面発光半導体レーザアレイおよびそれを用いた光伝送システム |
| US7386025B2 (en) | 2005-04-08 | 2008-06-10 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Surface emitting semiconductor laser array and optical transmission system using the same |
| CN100409516C (zh) * | 2005-04-08 | 2008-08-06 | 富士施乐株式会社 | 表面发光半导体激光器阵列及使用其的光传输系统 |
| JP2008281779A (ja) * | 2007-05-10 | 2008-11-20 | Canon Inc | 光ビーム走査装置及び画像形成装置 |
| JP2013502717A (ja) * | 2009-08-20 | 2013-01-24 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 設定変更可能な輝度分布を備えるレーザー装置 |
| WO2019075631A1 (zh) * | 2017-10-17 | 2019-04-25 | 中国科学院半导体研究所 | 弯曲锥形光子晶体激光器及阵列、阵列光源组 |
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| JP3543506B2 (ja) | 2004-07-14 |
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