JPH1056228A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH1056228A JPH1056228A JP8210949A JP21094996A JPH1056228A JP H1056228 A JPH1056228 A JP H1056228A JP 8210949 A JP8210949 A JP 8210949A JP 21094996 A JP21094996 A JP 21094996A JP H1056228 A JPH1056228 A JP H1056228A
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- JP
- Japan
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- oil
- temperature
- gas laser
- laser oscillation
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は冬季の低温雰囲気停止中に、光学部
品保持体の温度が低く、レーザ発振の立上げ時にレーザ
出力が安定するまで多大の時間を要するのを解消するこ
とを目的とする。 【解決手段】 部品透過型反射鏡４や全反射鏡５などの
光学部品の保持体７へのオイル配管系路内にオイルヒー
タ１３，オイルポンプ８および温度サーミスタ９を挿設
し、低温雰囲気停止中にオイルヒータ１３およびオイル
ポンプ８をオンオフ制御する制御装置１４を用いたガス
レーザ発振装置。
品保持体の温度が低く、レーザ発振の立上げ時にレーザ
出力が安定するまで多大の時間を要するのを解消するこ
とを目的とする。 【解決手段】 部品透過型反射鏡４や全反射鏡５などの
光学部品の保持体７へのオイル配管系路内にオイルヒー
タ１３，オイルポンプ８および温度サーミスタ９を挿設
し、低温雰囲気停止中にオイルヒータ１３およびオイル
ポンプ８をオンオフ制御する制御装置１４を用いたガス
レーザ発振装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は低温雰囲気での立上
げ時に安定したレーザ出力が得ることができるガスレー
ザ発振装置に関するものである。
げ時に安定したレーザ出力が得ることができるガスレー
ザ発振装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のガスレーザ発振装置を図５，図６
に沿って説明する。
に沿って説明する。
【０００３】図５において、１は気体レーザ媒質、２は
直流高電圧電源、３ａ，３ｂは前記直流高電圧電源２に
接続された放電電極、４は光増幅しレーザビームを取出
す部分透過型反射鏡、５は光増幅するための全反射鏡、
６はレーザ管、７は前記部分透過型反射鏡４および全反
射鏡などの光学部品保持をする光学部品保持体、８は前
記光学部品保持体７へオイルを供給するためのオイルポ
ンプ、９はオイル温度を検出する温度サーミスタ、１０
はオイルを冷却するためのオイルクーラ、１１はオイル
タンク、１２は前記オイルクーラ１０を制御する制御装
置である。
直流高電圧電源、３ａ，３ｂは前記直流高電圧電源２に
接続された放電電極、４は光増幅しレーザビームを取出
す部分透過型反射鏡、５は光増幅するための全反射鏡、
６はレーザ管、７は前記部分透過型反射鏡４および全反
射鏡などの光学部品保持をする光学部品保持体、８は前
記光学部品保持体７へオイルを供給するためのオイルポ
ンプ、９はオイル温度を検出する温度サーミスタ、１０
はオイルを冷却するためのオイルクーラ、１１はオイル
タンク、１２は前記オイルクーラ１０を制御する制御装
置である。
【０００４】次に従来のガスレーザ発振装置の動作につ
いて説明する。まず、直流高圧電源２に接続された放電
電極３ａ，３ｂから放電される。これにより気体レーザ
媒質１は、放電エネルギを得て励起され、その励起され
た気体レーザ媒質は部分透過型反射鏡４と全反射鏡５に
より形成された光共振器で共振状態となり部分透過型反
射鏡４よりレーザビームが出力される。このレーザビー
ムが切断や溶接などの加工に用いられる。また放電によ
る熱エネルギが、光学部品保持体７に加わることにより
部分透過型反射鏡４と全反射鏡５の平行度が崩れるのを
防ぐために、光学部品保持体７にオイルポンプ８により
オイルを光学部品保持体７に流し、そのオイルの温度を
温度サーミスタ９で検出し、制御装置１２によりオイル
クーラ１０の制御を行っている。
いて説明する。まず、直流高圧電源２に接続された放電
電極３ａ，３ｂから放電される。これにより気体レーザ
媒質１は、放電エネルギを得て励起され、その励起され
た気体レーザ媒質は部分透過型反射鏡４と全反射鏡５に
より形成された光共振器で共振状態となり部分透過型反
射鏡４よりレーザビームが出力される。このレーザビー
ムが切断や溶接などの加工に用いられる。また放電によ
る熱エネルギが、光学部品保持体７に加わることにより
部分透過型反射鏡４と全反射鏡５の平行度が崩れるのを
防ぐために、光学部品保持体７にオイルポンプ８により
オイルを光学部品保持体７に流し、そのオイルの温度を
温度サーミスタ９で検出し、制御装置１２によりオイル
クーラ１０の制御を行っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のガスレーザ
発振装置において、冬場などの低温雰囲気で停止してい
る場合、図６に示すように、光学部品保持体７の温度が
低くなっているため、放電エネルギにより光学部品保持
体７の温度が動作温度に戻るまで多大の時間を要する。
そのため光学部品である部分透過型反射鏡と全反射鏡の
平行度のずれによるレーザ出力の低下が発生し、レーザ
出力が安定するのに多大の時間を要する問題点を有して
いた。
発振装置において、冬場などの低温雰囲気で停止してい
る場合、図６に示すように、光学部品保持体７の温度が
低くなっているため、放電エネルギにより光学部品保持
体７の温度が動作温度に戻るまで多大の時間を要する。
そのため光学部品である部分透過型反射鏡と全反射鏡の
平行度のずれによるレーザ出力の低下が発生し、レーザ
出力が安定するのに多大の時間を要する問題点を有して
いた。
【０００６】本発明は上記従来の問題点を解消すること
を目的とする。
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明はオイルヒータをオイル配管経路に設置し、
制御装置により低温雰囲気停止中からのレーザ発振の立
上げ時に安定したレーザ出力が得られるようオイル温度
をオンオフ制御するものである。
に、本発明はオイルヒータをオイル配管経路に設置し、
制御装置により低温雰囲気停止中からのレーザ発振の立
上げ時に安定したレーザ出力が得られるようオイル温度
をオンオフ制御するものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】上記構成により、本発明のガスレ
ーザ発振装置は、低温雰囲気停止中の立上げ時に光学部
品保持体の温度は動作中の温度に保たれることにより光
学部品である部分透過型反射鏡と全反射鏡の平行度は崩
れず立上げ時に安定したレーザ出力が得られる作用を有
する。
ーザ発振装置は、低温雰囲気停止中の立上げ時に光学部
品保持体の温度は動作中の温度に保たれることにより光
学部品である部分透過型反射鏡と全反射鏡の平行度は崩
れず立上げ時に安定したレーザ出力が得られる作用を有
する。
【０００９】以下、本発明の実施の形態を図１ないし図
４に沿って詳細に説明する。なお、符号１ないし１１は
従来例と同じであるので説明を省略する。
４に沿って詳細に説明する。なお、符号１ないし１１は
従来例と同じであるので説明を省略する。
【００１０】（実施の形態１）本発明の実施の形態１
は、図１に示すように、サーミスタ９およびオイルタン
ク１１の間に、オイルヒータ１３を設置し、低温雰囲気
停止中に温度サーミスタ９によりオイル温度を検出し、
温度低下すれば制御装置１４により、オイルヒータ１３
およびオイルポンプ８を動作させる。運転開始後は従来
通りの制御方式にて運転を行うものである。これにより
低温雰囲気時においても常に部分透過型反射鏡と全反射
鏡の平行度は保たれる。図２に本実施の形態１のタイミ
ングチャートを示す。これにより低温雰囲気停止中の立
上げ時においても、安定したレーザ出力が得られること
がわかる。
は、図１に示すように、サーミスタ９およびオイルタン
ク１１の間に、オイルヒータ１３を設置し、低温雰囲気
停止中に温度サーミスタ９によりオイル温度を検出し、
温度低下すれば制御装置１４により、オイルヒータ１３
およびオイルポンプ８を動作させる。運転開始後は従来
通りの制御方式にて運転を行うものである。これにより
低温雰囲気時においても常に部分透過型反射鏡と全反射
鏡の平行度は保たれる。図２に本実施の形態１のタイミ
ングチャートを示す。これにより低温雰囲気停止中の立
上げ時においても、安定したレーザ出力が得られること
がわかる。
【００１１】（実施の形態２）また、本実施の形態２は
図３に示すように、制御装置１４にタイマ１５を設ける
ことにより、運転開始前の一定期間のみオイルヒータ１
３およびオイルポンプ８を運転制御することで、低温雰
囲気時の立ち上げ時に部分透過型反射鏡４と全反射鏡５
の平行度は保たれる。他の構成および動作は本実施の形
態１と同じであるので、説明を省略する。図４は本実施
の形態２のタイミングチャートを示すものである。これ
により低温雰囲気停止中の立上げ時においても安定した
レーザ出力が得られることがわかる。
図３に示すように、制御装置１４にタイマ１５を設ける
ことにより、運転開始前の一定期間のみオイルヒータ１
３およびオイルポンプ８を運転制御することで、低温雰
囲気時の立ち上げ時に部分透過型反射鏡４と全反射鏡５
の平行度は保たれる。他の構成および動作は本実施の形
態１と同じであるので、説明を省略する。図４は本実施
の形態２のタイミングチャートを示すものである。これ
により低温雰囲気停止中の立上げ時においても安定した
レーザ出力が得られることがわかる。
【００１２】
【発明の効果】本発明のよれば、部分透過型反射鏡や全
反射鏡などの光学部品の保持体へのオイル配管経路内に
オイルヒータ，オイルポンプおよび温度サーミスタを挿
設し、前記オイルヒータ，オイルポンプを運転制御する
制御装置を設けたもので、低温雰囲気停止中の立上げ時
において安定したレーザ出力を得ることができる優れた
効果を奏するものである。
反射鏡などの光学部品の保持体へのオイル配管経路内に
オイルヒータ，オイルポンプおよび温度サーミスタを挿
設し、前記オイルヒータ，オイルポンプを運転制御する
制御装置を設けたもので、低温雰囲気停止中の立上げ時
において安定したレーザ出力を得ることができる優れた
効果を奏するものである。
【図１】本発明の実施の形態１におけるガスレーザ発振
装置の概略構成図
装置の概略構成図
【図２】同実施の形態１におけるガスレーザ発振装置の
タイミングチャート
タイミングチャート
【図３】同実施の形態２におけるガスレーザ発振装置の
概略構成図
概略構成図
【図４】同実施の形態２におけるガスレーザ発振装置の
タイミングチャート
タイミングチャート
【図５】従来例におけるガスレーザ発振装置の概略構成
図
図
【図６】同従来例のタイミングチャート
７ 光学部品保持体 ８ オイルポンプ ９ 温度サーミスタ １０ オイルクーラ １１ オイルヒータ １４ 制御装置 １５ タイマ
Claims (2)
- 【請求項１】部品透過型反射鏡や全反射鏡などの光学部
品を循環オイルにより温度制御するガスレーザ発振装置
であって、光学部品保持体へのオイル配管経路内にオイ
ルヒータ，オイルポンプおよび温度サーミスタを挿設
し、低温雰囲気停止中に前記オイルヒータおよびオイル
ポンプをオンオフ制御する制御装置を設けたガスレーザ
発振装置。 - 【請求項２】制御装置はタイマにより運転開始前の一定
時間のみオイルヒータおよびオイルポンプをオンオフ制
御する構成とした請求項１記載のガスレーザ発振装置。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8210949A JPH1056228A (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | ガスレーザ発振装置 |
| US08/885,101 US6078604A (en) | 1996-07-01 | 1997-06-30 | Laser oscillation apparatus |
| DE69737538T DE69737538T2 (de) | 1996-07-01 | 1997-06-30 | Lasergerät |
| DE69738632T DE69738632T2 (de) | 1996-07-01 | 1997-06-30 | Lasergerät |
| DE69731029T DE69731029T2 (de) | 1996-07-01 | 1997-06-30 | Lasergerät |
| EP97110646A EP0817338B1 (en) | 1996-07-01 | 1997-06-30 | Laser apparatus |
| EP04018241A EP1475866B1 (en) | 1996-07-01 | 1997-06-30 | Laser oscillation apparatus |
| EP04018242A EP1475867B1 (en) | 1996-07-01 | 1997-06-30 | Laser oscillation apparatus |
| US09/182,539 US6021151A (en) | 1996-07-01 | 1998-10-29 | Laser oscillation apparatus |
| US09/182,538 US6266352B1 (en) | 1996-07-01 | 1998-10-29 | Laser oscillation apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8210949A JPH1056228A (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1056228A true JPH1056228A (ja) | 1998-02-24 |
Family
ID=16597774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8210949A Pending JPH1056228A (ja) | 1996-07-01 | 1996-08-09 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1056228A (ja) |
-
1996
- 1996-08-09 JP JP8210949A patent/JPH1056228A/ja active Pending
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