JPH1056308A - 誘電体フィルタの製造方法 - Google Patents

誘電体フィルタの製造方法

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JPH1056308A
JPH1056308A JP21103096A JP21103096A JPH1056308A JP H1056308 A JPH1056308 A JP H1056308A JP 21103096 A JP21103096 A JP 21103096A JP 21103096 A JP21103096 A JP 21103096A JP H1056308 A JPH1056308 A JP H1056308A
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JP
Japan
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dielectric
electrode
electrodes
mother substrate
resonance
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JP21103096A
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Yoshiki Yamada
良樹 山田
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】誘電体板の比誘電率にばらつきがあっても、ま
た誘電体板に設けられる電極パターンにばらつきがあっ
ても、所望のフィルタ特性を容易に得られるようにす
る。また、予め電極を形成した誘電体板を共通に用い
て、特性の異なる誘電体フィルタを容易に製造できるよ
うにする。 【解決手段】 それぞれ先端容量が形成される間隙gを
開けて、複数の線状電極23を誘電体母基板10に形成
し、これらの線状電極23に交差する位置で誘電体母基
板10を分割することにより、分割後の各誘電体板に所
定長の共振電極と先端容量用電極とを形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は誘電体板に共振電
極を形成してなるいわゆる基板型の誘電体フィルタおよ
びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】誘電体板に複数の共振電極をコムライン
型に配置した基板型の誘電体フィルタがマイクロ波帯に
おける帯域通過フィルタ等として用いられている。
【0003】このような従来の基板型誘電体フィルタの
構成例を図5に示す。図5において誘電体板1の上面に
は共振電極2a,2b、先端容量用電極3a,3bおよ
び入出力電極4a,4bを形成し、誘電体板1の端面か
ら図における下面にかけて接地電極5を形成している。
【0004】このような基板型誘電体フィルタは図6に
示すような誘電体母基板10に各種電極パターンを形成
し、ダイシングソーなどによって分割することによって
製造している。図6においては説明上3行×3列の合計
9つの誘電体フィルタを1枚の誘電体母基板から得る例
を示している。ここで4で示す電極は2つの入出力電極
の連続した電極パターンであり、その他の電極2a,2
b,3a,3b,4a,4bは図5において同一番号で
示す電極に相当する。この誘電体母基板10の裏面には
接地電極および入出力電極を設けている。このように誘
電体母基板10に対し各種電極パターンを形成し、破線
で示すラインに沿って分割することによって両面に所定
の電極パターンを形成した誘電体板を得る。このように
して得た個別の誘電体板は、それらを積層し、各端面に
接地電極および入出力電極を形成することによって図5
に示した誘電体フィルタを製造している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところでこのような基
板型の誘電体フィルタは、誘電体板1の比誘電率、誘電
体板1の寸法および各電極の寸法によって、そのフィル
タの特性が定まる。特に共振電極2a,2bの長さと、
誘電体板1の比誘電率とによって共振周波数(中心周波
数)が定まる。ここで誘電体板の比誘電率をεr、共振
電極の長さをLとすれば、共振周波数foは、fo=1
/{√(εr)・L}で表される。従って、誘電体板1の
誘電体材料および寸法を決定した後は、所望のフィルタ
特性に応じて各電極のパターンを定めることになる。
【0006】しかしながら、誘電体板1の比誘電率はロ
ット間でばらつき、また誘電体板上にパターンニングし
た電極各部の寸法もロット間でばらつくため、同様に製
造された誘電体フィルタであっても、ロットの違いによ
ってフィルタ特性にばらつきが生じることになる。ま
た、これらのばらつきを吸収するために、半完成品状態
で誘電体フィルタの特性を測定し、所望の特性範囲内に
収まるように、共振電極または先端容量用電極を部分的
に切削して調整することは有効であるが、そのために
は、周波数調整マージンを初めから見込んだパターン設
計が必要であり、調整量が全体に増加する、という問題
があった。
【0007】また、従来は、要求されるフィルタ特性に
応じてフィルタ毎に電極パターンを設計していたため、
多品種の誘電体フィルタを製造する場合に、全体の製造
コストが嵩むという問題が生じる。
【0008】この発明の目的は誘電体板の比誘電率にば
らつきがあっても、また誘電体板に設けられる電極パタ
ーンの寸法にばらつきがあっても、所望のフィルタ特性
を容易に得られるようにした誘電体フィルタの製造方法
を提供することにある。
【0009】この発明の他の目的は、予め電極を形成し
た誘電体板を共通に用いて、特性の異なる誘電体フィル
タを容易に製造できるようにした誘電体フィルタの製造
方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明は、請求項1に
記載のとおり、それぞれ先端容量が形成される間隙を開
けて共振電極と先端容量用電極との連続する複数の線状
電極を誘電体母基板に形成し、これらの線状電極に交差
する位置で前記誘電体母基板を分割することにより、分
割後の各誘電体板に、前記間隙を介して共振電極と先端
容量用電極とを形成する。また請求項2に記載のとお
り、前記誘電体母基板の分割位置を設定することによっ
て、分割される各誘電体板に形成される共振電極の長さ
を定める。このように線状電極に交差する位置で誘電体
母基板を分割すれば、線状電極を共振電極と先端容量用
電極とに分離され、分割後の各誘電体板には、間隙を介
して共振電極と先端容量用電極とが形成されることにな
る。共振電極の長さは誘電体母基板の分割位置と間隙と
の距離であるから、ロットの違いによって誘電体母基板
上に形成された電極各部の寸法にばらつきが有っても、
誘電体母基板の分割位置の設定によって共振電極の長さ
を、誘電体母基板の分割時点で定めることができる。し
たがって誘電体母基板の比誘電率の揃っているロット単
位または電極各部の寸法の揃っているロット単位で先行
試験を行い、すなわち試験的に決定した位置で誘電体母
基板を分割してフィルタ特性を測定し、最適な分割位置
を決定し、そのロットについては先行試験で求めた分割
位置で各誘電体母基板を分割することによって、所望の
フィルタ特性を有するばらつきの少ない誘電体フィルタ
が得られる。
【0011】また、この発明は、請求項3に記載のとお
り、前記先端容量用電極と前記共振電極との連続する複
数の線状電極を形成した誘電体母基板を共通に用い、前
記誘電体母基板の分割位置を設定することによって、分
割される各誘電体板に形成される共振電極による共振周
波数が異なった複数種の誘電体フィルタを形成する。共
振電極の長さは誘電体母基板の分割位置によって決定さ
れるため、同一材料の誘電体母基板に同一の各種電極パ
ターンを形成した誘電体母基板を用いても、その分割位
置を変えることによって、広範囲にわたって所望のフィ
ルタ特性を有する誘電体フィルタが得られる。そのた
め、誘電体母基板に形成する各種電極パターンを変える
ことなく、また誘電体材料を変えることなく、種々のフ
ィルタ特性を有する誘電体フィルタが製造できる。
【0012】
【発明の実施の形態】この発明の実施形態である誘電体
フィルタの構造および製造方法を図1〜図4を参照して
以下に説明する。
【0013】図1は誘電体フィルタの分解斜視図であ
り、(A)は共振電極形成面側から見た図、(B)は裏
面側から見た図である。図1において1は所定の比誘電
率を有する誘電体板であり、図における上面に共振電極
2a,2b、先端容量用電極3a,3bを形成してい
る。また誘電体板1の上面から端面を経由して図におけ
る下面にまで入出力電極4a,4bを形成している。誘
電体板1の端面および図における下面には、入出力電極
4a,4bの形成範囲を除く領域に接地電極5を形成し
ている。
【0014】図2は図1に示した誘電体フィルタの等価
回路である。ここでCsが共振電極2a,2bと先端容
量用電極3a,3bとの間の静電容量、Ceが共振電極
2a,2bと入出力電極4a,4b間の静電容量であ
る。このようにして2段の共振器をコムライン結合させ
た誘電体フィルタとする。
【0015】図3は図1に示した誘電体フィルタを得る
ための誘電体母基板の各種電極パターンの例を示す図で
あり、(A)は上面図、(B)は底面図((A)に示す
状態から誘電体母基板を横に裏返した状態を示す図)で
ある。但し、図3においては説明上3行×3列の合計9
つの誘電体フィルタを1枚の誘電体母基板から得る例を
示している。(A)においてgはそれぞれ先端容量が形
成される間隙であり、これらの間隙を開けて線状電極2
3,23′を形成している。これらの線状電極23は誘
電体母基板を分割した後に共振電極と先端容量用電極と
して作用することになる。但し23′は誘電体母基板の
端部に有るため、分割後には先端容量用電極としてのみ
作用する。4で示す電極は誘電体母基板の分割後に誘電
体板上面側の入出力電極4a,4bとして作用する。同
図の(B)において大部分には接地電極5を形成してい
て、この接地電極から絶縁される状態で入出力電極4
a,4b,4を形成している。(B)において4で示す
電極は誘電体母基板の分割後に誘電体板底面側の入出力
電極4a,4bとして作用する。これらの各種電極パタ
ーンはAgペーストのスクリーン印刷によって一括形成
する。
【0016】図3に示したように、誘電体母基板10に
対し各種電極パターンを形成した後、破線部分をダイシ
ングソーなどによって分割する。すなわちまず誘電体母
基板10に対して、入出力電極4の中央を通り、かつ各
線状電極の横方向の配列ピッチに等しい間隔で、図にお
ける縦方向の破線で示す位置にダイシングブレードによ
ってハーフカットの溝を形成する。続いて、誘電体母基
板10に対して図における横方向の破線で示す位置を分
断する。その後、このようにして得られた短冊状の誘電
体板を上記ハーフカットの溝部分で分割することによっ
て個別の誘電体板を得る。図における破線の二重線の間
隔はダイシングブレードの刃厚を示す。
【0017】図中のLは誘電体母基板の分割により形成
される共振電極の長さである。この長さLは先行試験に
より予め決定し、イメージセンサによる光学的手法で、
間隙gに臨む線状電極23の先端部位置から距離Lだけ
離れた位置を横方向にダイシングブレードが通るように
数値制御を行う。この線状電極に交差する方向の分割ラ
インの間隔Aは、誘電体母基板上の線状電極23の長手
方向の配列ピッチに等しいため設計上は一定である。し
たがっていずれかの線状電極の先端からの距離Lだけ離
れたラインを決定すれば、あとはそこから間隔A毎に順
次分割すればよい。ただし、線状電極の形成のためのA
gペーストの印刷精度の影響を受けないようにするため
には、各行毎に線状電極の先端から距離Lだけ離れた位
置を分割するように制御すればよい。
【0018】その後、誘電体板を積層した状態で、誘電
体板の四方の端面にAgペーストの電極パターン(接地
電極5および入出力電極4a,4bの端面部分のパター
ン)を順次印刷形成する。その後、各面に形成したAg
ペーストの電極パターンを焼成して、誘電体板に対して
電極を焼き付ける。
【0019】このようにして、ロット単位で誘電体板の
比誘電率にばらつきがあっても、また誘電体板に設けら
れる電極パターンの各部の寸法にばらつきがあっても、
誘電体母基板から誘電体板を分割する際に、各共振電極
の長さLを、そのロットに応じた長さにすることによっ
て、所定のフィルタ特性を有する誘電体フィルタが容易
に得られる。
【0020】また、上記共振電極の長さは誘電体母基板
の分割位置によって決定されるため、同一材料の誘電体
母基板に同一の各種電極パターンを形成した誘電体母基
板を用いて特性の異なる誘電体フィルタを製造する場合
も、必要な共振周波数に応じて誘電体母基板の分割位置
を変えるだけで、広範囲にわたって所望のフィルタ特性
を有する誘電体フィルタが得られる。
【0021】尚、上述した例ではAgペーストのスクリ
ーン印刷によって電極パターンを形成したが、その他の
方法として、Ag電極を全面塗布形成し、焼成した後に
エッチングによって電極パターンを形成してもよく、ま
た誘電体板にCuメッキを施して、エッチングによって
電極パターンを形成してもよい。
【0022】
【発明の効果】請求項1および2に記載の発明によれ
ば、誘電体母基板の比誘電率の揃っているロット毎また
は電極各部の寸法の揃っているロット毎に先行試験を行
うことなどによって分割位置を決定すれば、そのロット
については、決定した分割位置で誘電体母基板を分割す
ることによって、所望のフィルタ特性を有する、ばらつ
きの少ない誘電体フィルタが容易に得られる。
【0023】また、請求項3に記載によれば、線状電極
を形成した誘電体母基板の分割位置を変えるだけで種々
のフィルタ特性を有する誘電体フィルタが得られるた
め、多数の品種について誘電体母基板およびそこに形成
する各種電極パターンを共通化することによって、設計
コストおよび製造コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施形態に係る誘電体フィルタの斜
視図である。
【図2】図1に示す誘電体フィルタの等価回路図であ
る。
【図3】図1に示す誘電体フィルタを得るための誘電体
母基板に対する各種電極パターンの例および分割ライン
の例を示す図である。
【図4】図3に示す誘電体母基板から分断して得た誘電
体板の構造を示す斜視図である。
【図5】従来の誘電体フィルタの斜視図である。
【図6】従来の誘電体フィルタを得るための誘電体母基
板に対する各種電極パターンの例を示す図である。
【符号の説明】
1−誘電体板 2a,2b−共振電極 3a,3b−先端容量用電極 4,4a,4b−入出力電極 5−接地電極 10−誘電体母基板 23,23′−線状電極 g−間隙

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 それぞれ先端容量が形成される間隙を開
    けて共振電極と先端容量用電極との連続する複数の線状
    電極を誘電体母基板に形成し、これらの線状電極に交差
    する位置で前記誘電体母基板を分割することにより、分
    割後の各誘電体板に、前記間隙を介して共振電極と先端
    容量用電極とを形成する工程を含むことを特徴とする誘
    電体フィルタの製造方法。
  2. 【請求項2】 前記誘電体母基板の分割位置を設定する
    ことによって、分割される各誘電体板に形成される共振
    電極の長さを定めることを特徴とする請求項1に記載の
    誘電体フィルタの製造方法。
  3. 【請求項3】 前記先端容量用電極と前記共振電極との
    連続する複数の線状電極を形成した誘電体母基板を共通
    に用い、前記誘電体母基板の分割位置を設定することに
    よって、分割される各誘電体板に形成される共振電極に
    よる共振周波数が異なった複数種の誘電体フィルタを形
    成することを特徴とする請求項1に記載の誘電体フィル
    タの製造方法。
JP21103096A 1996-08-09 1996-08-09 誘電体フィルタの製造方法 Pending JPH1056308A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008015899A1 (en) * 2006-08-02 2008-02-07 Murata Manufacturing Co., Ltd. Filter element and method for manufacturing filter element
JP5131344B2 (ja) * 2008-07-11 2013-01-30 株式会社村田製作所 ストリップラインフィルタ

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