JPH1060048A - 環状オレフィン系重合体及びその製造方法 - Google Patents
環状オレフィン系重合体及びその製造方法Info
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- JPH1060048A JPH1060048A JP8241294A JP24129496A JPH1060048A JP H1060048 A JPH1060048 A JP H1060048A JP 8241294 A JP8241294 A JP 8241294A JP 24129496 A JP24129496 A JP 24129496A JP H1060048 A JPH1060048 A JP H1060048A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G61/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a carbon-to-carbon link in the main chain of the macromolecule
- C08G61/02—Macromolecular compounds containing only carbon atoms in the main chain of the macromolecule, e.g. polyxylylenes
- C08G61/04—Macromolecular compounds containing only carbon atoms in the main chain of the macromolecule, e.g. polyxylylenes only aliphatic carbon atoms
- C08G61/06—Macromolecular compounds containing only carbon atoms in the main chain of the macromolecule, e.g. polyxylylenes only aliphatic carbon atoms prepared by ring-opening of carbocyclic compounds
- C08G61/08—Macromolecular compounds containing only carbon atoms in the main chain of the macromolecule, e.g. polyxylylenes only aliphatic carbon atoms prepared by ring-opening of carbocyclic compounds of carbocyclic compounds containing one or more carbon-to-carbon double bonds in the ring
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L65/00—Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming a carbon-to-carbon link in the main chain; Compositions of derivatives of such polymers
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C08G2261/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a carbon-to-carbon link in the main chain of the macromolecule
- C08G2261/40—Polymerisation processes
- C08G2261/41—Organometallic coupling reactions
- C08G2261/418—Ring opening metathesis polymerisation [ROMP]
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- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Processes Of Treating Macromolecular Substances (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 異物の含有量が極めて少ない環状オレフィン
系重合体、該環状オレフィン系重合体を用いた成形体、
及び該環状オレフィン系重合体の製造方法を提供するこ
と。 【解決手段】 80℃デカリン中で測定した極限粘度
〔η〕が0.01〜20dl/gで、かつ、粒径0.5
μm以上の異物の含有量が3×104個/g以下である
ことを特徴とする環状オレフィン系重合体、該環状オレ
フィン系重合体の製造方法、該環状オレフィン系重合体
を含んでなる成形用材料、及び成形体。
系重合体、該環状オレフィン系重合体を用いた成形体、
及び該環状オレフィン系重合体の製造方法を提供するこ
と。 【解決手段】 80℃デカリン中で測定した極限粘度
〔η〕が0.01〜20dl/gで、かつ、粒径0.5
μm以上の異物の含有量が3×104個/g以下である
ことを特徴とする環状オレフィン系重合体、該環状オレ
フィン系重合体の製造方法、該環状オレフィン系重合体
を含んでなる成形用材料、及び成形体。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、異物の含有量が極
めて少ない環状オレフィン系重合体、及び該環状オレフ
ィン系重合体を用いた成形体に関する。また、本発明
は、異物の含有量が極めて少ない環状オレフィン系重合
体の製造方法に関する。
めて少ない環状オレフィン系重合体、及び該環状オレフ
ィン系重合体を用いた成形体に関する。また、本発明
は、異物の含有量が極めて少ない環状オレフィン系重合
体の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】集積回路(IC)は、数ミリ角のシリコ
ンウェーハの表面に多数のトランジスタ、抵抗、コンデ
ンサーなどを備えた電子回路である。電子機器の高性能
化、小型化の要求に伴い、ICの集積度はますます高ま
り、LSIから超LSI、ULSIへと発展している。
LSI及び超LSIでは、シリコンウエーハ上に感光性
レジストなどを用いて回路をプリントし、次いで、表面
酸化処理、薬液によるエッチング処理、ドーピング処
理、ベーパーデポジッション処理、超音波洗浄処理など
を順次行って、必要な回路が形成されている。ICの高
集積化に伴い、回路幅は、サブミクロンオーダーにまで
微細になり、このため、シリコンウェーハ表面に不純
物、特に微粒子が存在すると、LSIの酸化膜の耐電圧
特性などに影響を与え、集積度が上がるに従い、その影
響の度合はますます大きくなっている。このため、洗浄
工程で使用する水なども、微粒子異物の含有量が極めて
少ない超純水などが利用されている。
ンウェーハの表面に多数のトランジスタ、抵抗、コンデ
ンサーなどを備えた電子回路である。電子機器の高性能
化、小型化の要求に伴い、ICの集積度はますます高ま
り、LSIから超LSI、ULSIへと発展している。
LSI及び超LSIでは、シリコンウエーハ上に感光性
レジストなどを用いて回路をプリントし、次いで、表面
酸化処理、薬液によるエッチング処理、ドーピング処
理、ベーパーデポジッション処理、超音波洗浄処理など
を順次行って、必要な回路が形成されている。ICの高
集積化に伴い、回路幅は、サブミクロンオーダーにまで
微細になり、このため、シリコンウェーハ表面に不純
物、特に微粒子が存在すると、LSIの酸化膜の耐電圧
特性などに影響を与え、集積度が上がるに従い、その影
響の度合はますます大きくなっている。このため、洗浄
工程で使用する水なども、微粒子異物の含有量が極めて
少ない超純水などが利用されている。
【0003】しかしながら、エッチングの薬液処理や超
純水洗浄などは、シリコンウェーハをキャリアーとよば
れるプラスチックケースなどに入れ、エッチング液や超
純水に浸漬して行われているが、そのキャリアーから微
粒子異物が発生するという問題があった。すなわち、従
来、これらのプラスチックケースには、耐薬品性に優れ
るPFAなどのフッ素樹脂やポリプロピレンなどが使用
されているが、これらの樹脂は、表面硬度が低いため、
シリコンウェーハと接触して微粒子異物を発生し易く、
また、成形の際の寸法精度や表面平滑性などにも劣ると
いう欠点を有している。このような問題を解決するもの
として、特開平7−126434号公報には、熱可塑性
ノルボルネン系樹脂を用いた半導体製造工程での処理容
器が開示されているが、超音波洗浄時などに微粒子異物
の発生が見られ、必ずしも十分なものとは言えなかっ
た。
純水洗浄などは、シリコンウェーハをキャリアーとよば
れるプラスチックケースなどに入れ、エッチング液や超
純水に浸漬して行われているが、そのキャリアーから微
粒子異物が発生するという問題があった。すなわち、従
来、これらのプラスチックケースには、耐薬品性に優れ
るPFAなどのフッ素樹脂やポリプロピレンなどが使用
されているが、これらの樹脂は、表面硬度が低いため、
シリコンウェーハと接触して微粒子異物を発生し易く、
また、成形の際の寸法精度や表面平滑性などにも劣ると
いう欠点を有している。このような問題を解決するもの
として、特開平7−126434号公報には、熱可塑性
ノルボルネン系樹脂を用いた半導体製造工程での処理容
器が開示されているが、超音波洗浄時などに微粒子異物
の発生が見られ、必ずしも十分なものとは言えなかっ
た。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、異物
の含有量が極めて少ない環状オレフィン系重合体、該環
状オレフィン系重合体を用いた成形体、及び該環状オレ
フィン系重合体の製造方法を提供することにある。本発
明者らは、従来技術の問題点を克服するために鋭意検討
を行った結果、粒径0.5μm以上の異物の含有量を減
少させた環状オレフィン系重合体を用いることにより、
薬液処理や超音波洗浄等を行っても異物の発生が極めて
少ないキャリアー用のプラスチックケースの得られるこ
とを見いだした。また、該環状オレフィン系重合体を用
いて、射出成形等により各種成形体を作成すると、寸法
安定性、寸法精度に優れ、しかも表面が極めて平滑な成
形体を得ることができる。したがって、特に高度の表面
平滑性が要求される分野への用途展開が可能である。こ
のような微小な異物の含有量が少ない環状オレフィン系
重合体は、例えば、電荷的捕捉能を有する濾過フィルタ
ーを用いて、溶液状態で濾過することにより容易に製造
することができる。
の含有量が極めて少ない環状オレフィン系重合体、該環
状オレフィン系重合体を用いた成形体、及び該環状オレ
フィン系重合体の製造方法を提供することにある。本発
明者らは、従来技術の問題点を克服するために鋭意検討
を行った結果、粒径0.5μm以上の異物の含有量を減
少させた環状オレフィン系重合体を用いることにより、
薬液処理や超音波洗浄等を行っても異物の発生が極めて
少ないキャリアー用のプラスチックケースの得られるこ
とを見いだした。また、該環状オレフィン系重合体を用
いて、射出成形等により各種成形体を作成すると、寸法
安定性、寸法精度に優れ、しかも表面が極めて平滑な成
形体を得ることができる。したがって、特に高度の表面
平滑性が要求される分野への用途展開が可能である。こ
のような微小な異物の含有量が少ない環状オレフィン系
重合体は、例えば、電荷的捕捉能を有する濾過フィルタ
ーを用いて、溶液状態で濾過することにより容易に製造
することができる。
【0005】なお、本発明において、異物とは、環状オ
レフィン系重合体と相溶化せずに微小な粒状物や繊維状
物などとして混入している不純物(汚染物)、触媒残
渣、ゲル化物などを言う。また、粒径0.5μm以上の
異物の含有量は、濃度1.5重量%のトルエン溶液を光
散乱式微粒子検出器を用いて測定した値である。本発明
は、これらの知見に基づいて完成するに至ったものであ
る。
レフィン系重合体と相溶化せずに微小な粒状物や繊維状
物などとして混入している不純物(汚染物)、触媒残
渣、ゲル化物などを言う。また、粒径0.5μm以上の
異物の含有量は、濃度1.5重量%のトルエン溶液を光
散乱式微粒子検出器を用いて測定した値である。本発明
は、これらの知見に基づいて完成するに至ったものであ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】かくして、本発明によれ
ば、式(1)
ば、式(1)
【0007】
【化3】 または式(2)
【0008】
【化4】 〔各式中の符号の意味は、次のとおりである。R1〜R4
は、それぞれ独立に、水素原子、炭化水素基、ハロゲン
原子、水酸基、エステル基、アルコキシ基、シアノ基、
アミド基、イミド基、シリル基、または極性基(すなわ
ち、ハロゲン原子、水酸基、エステル基、アルコキシ
基、シアノ基、アミド基、イミド基、またはシリル基)
で置換された炭化水素基である。ただし、R1〜R4は、
2つ以上が互いに結合して、不飽和結合、単環または多
環を形成していてもよく、この単環または多環は、二重
結合を有していても、芳香環を形成してもよい。R1と
R2とで、またはR3とR4とで、アルキリデン基を形成
していてもよい。R5及びR6は、それぞれ独立に、水素
原子、アルキル基、またはアリール基である。・・・
は、炭素−炭素の単結合または二重結合を表す。nとm
は、n+m=1、n=0.2〜1、m=0〜0.8の関
係にある。〕で表される繰り返し単位を有し、80℃デ
カリン中で測定した極限粘度〔η〕が0.01〜20d
l/gで、かつ、粒径0.5μm以上の異物の含有量が
3×104個/g以下であることを特徴とする環状オレ
フィン系重合体が提供される。
は、それぞれ独立に、水素原子、炭化水素基、ハロゲン
原子、水酸基、エステル基、アルコキシ基、シアノ基、
アミド基、イミド基、シリル基、または極性基(すなわ
ち、ハロゲン原子、水酸基、エステル基、アルコキシ
基、シアノ基、アミド基、イミド基、またはシリル基)
で置換された炭化水素基である。ただし、R1〜R4は、
2つ以上が互いに結合して、不飽和結合、単環または多
環を形成していてもよく、この単環または多環は、二重
結合を有していても、芳香環を形成してもよい。R1と
R2とで、またはR3とR4とで、アルキリデン基を形成
していてもよい。R5及びR6は、それぞれ独立に、水素
原子、アルキル基、またはアリール基である。・・・
は、炭素−炭素の単結合または二重結合を表す。nとm
は、n+m=1、n=0.2〜1、m=0〜0.8の関
係にある。〕で表される繰り返し単位を有し、80℃デ
カリン中で測定した極限粘度〔η〕が0.01〜20d
l/gで、かつ、粒径0.5μm以上の異物の含有量が
3×104個/g以下であることを特徴とする環状オレ
フィン系重合体が提供される。
【0009】また、本発明によれば、前記の式(1)ま
たは式(2)で表される繰り返し単位を有する環状オレ
フィン系重合体の有機溶媒溶液を、電荷的捕捉能を有す
るフィルターで濾過する工程を含むことを特徴とする8
0℃デカリン中で測定した極限粘度〔η〕が0.01〜
20dl/gで、かつ、粒径0.5μm以上の異物の含
有量が3×104個/g以下である環状オレフィン系重
合体の製造方法が提供される。本発明によれば、前記の
式(1)または式(2)で表される繰り返し単位を有す
る環状オレフィン系重合体を含んでなる成形用材料であ
って、該環状オレフィン系重合体の80℃デカリン中で
測定した極限粘度〔η〕が0.01〜20dl/gで、
かつ、粒径0.5μm以上の異物の含有量が3×104
個/g以下であることを特徴とする成形用材料が提供さ
れる。本発明によれば、前記の成形用材料を成形してな
る成形体が提供される。
たは式(2)で表される繰り返し単位を有する環状オレ
フィン系重合体の有機溶媒溶液を、電荷的捕捉能を有す
るフィルターで濾過する工程を含むことを特徴とする8
0℃デカリン中で測定した極限粘度〔η〕が0.01〜
20dl/gで、かつ、粒径0.5μm以上の異物の含
有量が3×104個/g以下である環状オレフィン系重
合体の製造方法が提供される。本発明によれば、前記の
式(1)または式(2)で表される繰り返し単位を有す
る環状オレフィン系重合体を含んでなる成形用材料であ
って、該環状オレフィン系重合体の80℃デカリン中で
測定した極限粘度〔η〕が0.01〜20dl/gで、
かつ、粒径0.5μm以上の異物の含有量が3×104
個/g以下であることを特徴とする成形用材料が提供さ
れる。本発明によれば、前記の成形用材料を成形してな
る成形体が提供される。
【0010】
【発明の実施の形態】環状オレフィン系重合体 本発明の環状オレフィン系重合体は、式(1)
【0011】
【化5】 または式(2)
【0012】
【化6】 〔各式中の符号の意味は、次のとおりである。R1〜R4
は、それぞれ独立に、水素原子、炭化水素基、ハロゲン
原子、水酸基、エステル基、アルコキシ基、シアノ基、
アミド基、イミド基、シリル基、または極性基(すなわ
ち、ハロゲン原子、水酸基、エステル基、アルコキシ
基、シアノ基、アミド基、イミド基、またはシリル基)
で置換された炭化水素基である。ただし、R1〜R4は、
2つ以上が互いに結合して、不飽和結合、単環または多
環を形成していてもよく、この単環または多環は、二重
結合を有していても、芳香環を形成してもよい。R1と
R2とで、またはR3とR4とで、アルキリデン基を形成
していてもよい。R5及びR6は、それぞれ独立に、水素
原子、アルキル基、またはアリール基である。・・・
は、炭素−炭素の単結合または二重結合を表す。nとm
は、n+m=1、n=0.2〜1、m=0〜0.8の関
係にある。〕で表される繰り返し単位を有するポリマー
である。繰り返し単位(1)を有する環状オレフィン系
重合体としては、式(3)で表される繰り返し単位を有
するノルボルネン系モノマーの開環(共)重合体を好ま
しい例として挙げることができる。
は、それぞれ独立に、水素原子、炭化水素基、ハロゲン
原子、水酸基、エステル基、アルコキシ基、シアノ基、
アミド基、イミド基、シリル基、または極性基(すなわ
ち、ハロゲン原子、水酸基、エステル基、アルコキシ
基、シアノ基、アミド基、イミド基、またはシリル基)
で置換された炭化水素基である。ただし、R1〜R4は、
2つ以上が互いに結合して、不飽和結合、単環または多
環を形成していてもよく、この単環または多環は、二重
結合を有していても、芳香環を形成してもよい。R1と
R2とで、またはR3とR4とで、アルキリデン基を形成
していてもよい。R5及びR6は、それぞれ独立に、水素
原子、アルキル基、またはアリール基である。・・・
は、炭素−炭素の単結合または二重結合を表す。nとm
は、n+m=1、n=0.2〜1、m=0〜0.8の関
係にある。〕で表される繰り返し単位を有するポリマー
である。繰り返し単位(1)を有する環状オレフィン系
重合体としては、式(3)で表される繰り返し単位を有
するノルボルネン系モノマーの開環(共)重合体を好ま
しい例として挙げることができる。
【0013】
【化7】 式中、各符号の意味は、次のとおりである。R7〜R10
は、それぞれ独立に、水素原子、炭化水素基、ハロゲン
原子、水酸基、エステル基、アルコキシ基、シアノ基、
アミド基、イミド基、シリル基、または極性基(すなわ
ち、ハロゲン原子、水酸基、エステル基、アルコキシ
基、シアノ基、アミド基、イミド基、またはシリル基)
で置換された炭化水素基である。ただし、R7〜R
10は、2つ以上が互いに結合して不飽和結合、単環また
は多環を形成していてもよく、この単環または多環は、
二重結合を有していても、芳香環を形成してもよい。R
7とR8とで、またはR9とR10とで、アルキリデン基を
形成していてもよい。好ましいR7〜R10としては、水
素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のア
ルキリデン基、またはR7〜R10の2つ以上が互いに結
合してシクロヘキサン環、シクロペンタン環、ノルボル
ネン環、またはベンゼン環を形成したものである。R11
〜R14は、上記R7〜R10にそれぞれ対応し、同じ意味
を有する。pとqは、p+q=1、p=0〜1、q=0
〜1の関係にある。・・・は、炭素−炭素の単結合また
は二重結合を表す。繰り返し単位(2)を有する環状オ
レフィン系重合体としては、式(4)で表される繰り返
し単位を有するノルボルネン系モノマーの付加(共)重
合体を好ましい例として挙げることができる。
は、それぞれ独立に、水素原子、炭化水素基、ハロゲン
原子、水酸基、エステル基、アルコキシ基、シアノ基、
アミド基、イミド基、シリル基、または極性基(すなわ
ち、ハロゲン原子、水酸基、エステル基、アルコキシ
基、シアノ基、アミド基、イミド基、またはシリル基)
で置換された炭化水素基である。ただし、R7〜R
10は、2つ以上が互いに結合して不飽和結合、単環また
は多環を形成していてもよく、この単環または多環は、
二重結合を有していても、芳香環を形成してもよい。R
7とR8とで、またはR9とR10とで、アルキリデン基を
形成していてもよい。好ましいR7〜R10としては、水
素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のア
ルキリデン基、またはR7〜R10の2つ以上が互いに結
合してシクロヘキサン環、シクロペンタン環、ノルボル
ネン環、またはベンゼン環を形成したものである。R11
〜R14は、上記R7〜R10にそれぞれ対応し、同じ意味
を有する。pとqは、p+q=1、p=0〜1、q=0
〜1の関係にある。・・・は、炭素−炭素の単結合また
は二重結合を表す。繰り返し単位(2)を有する環状オ
レフィン系重合体としては、式(4)で表される繰り返
し単位を有するノルボルネン系モノマーの付加(共)重
合体を好ましい例として挙げることができる。
【0014】
【化8】 式中、各符号の意味は、次のとおりである。R7〜R10
は、それぞれ独立に、水素原子、炭化水素基、ハロゲン
原子、水酸基、エステル基、アルコキシ基、シアノ基、
アミド基、イミド基、シリル基、または極性基(すなわ
ち、ハロゲン原子、水酸基、エステル基、アルコキシ
基、シアノ基、アミド基、イミド基、またはシリル基)
で置換された炭化水素基である。ただし、R7〜R
10は、2つ以上が互いに結合して不飽和結合、単環また
は多環を形成していてもよく、この単環または多環は、
二重結合を有していても、芳香環を形成してもよい。R
7とR8とで、またはR9とR10とで、アルキリデン基を
形成していてもよい。好ましいR7〜R10としては、水
素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のア
ルキリデン基、またはR7〜R10の2つ以上が互いに結
合してシクロヘキサン環、シクロペンタン環、ノルボル
ネン環、またはベンゼン環を形成したものである。R11
〜R14は、上記R7〜R10にそれぞれ対応し、同じ意味
を有する。rとsとtは、r+s+t=1、r+s=
0.2〜1(好ましくは0.4〜1、より好ましくは
0.7〜1)、t=0〜0.8(好ましくは0〜0.
6、より好ましくは0〜0.3)、r=0.2〜1、s
=0.2〜1の関係にある。R15とR16は、それぞれ独
立して、水素原子、アルキル基、またはアリール基を示
し、好ましくは水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、
炭素数6〜10のアリール基であり、より好ましくは水
素原子である。
は、それぞれ独立に、水素原子、炭化水素基、ハロゲン
原子、水酸基、エステル基、アルコキシ基、シアノ基、
アミド基、イミド基、シリル基、または極性基(すなわ
ち、ハロゲン原子、水酸基、エステル基、アルコキシ
基、シアノ基、アミド基、イミド基、またはシリル基)
で置換された炭化水素基である。ただし、R7〜R
10は、2つ以上が互いに結合して不飽和結合、単環また
は多環を形成していてもよく、この単環または多環は、
二重結合を有していても、芳香環を形成してもよい。R
7とR8とで、またはR9とR10とで、アルキリデン基を
形成していてもよい。好ましいR7〜R10としては、水
素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のア
ルキリデン基、またはR7〜R10の2つ以上が互いに結
合してシクロヘキサン環、シクロペンタン環、ノルボル
ネン環、またはベンゼン環を形成したものである。R11
〜R14は、上記R7〜R10にそれぞれ対応し、同じ意味
を有する。rとsとtは、r+s+t=1、r+s=
0.2〜1(好ましくは0.4〜1、より好ましくは
0.7〜1)、t=0〜0.8(好ましくは0〜0.
6、より好ましくは0〜0.3)、r=0.2〜1、s
=0.2〜1の関係にある。R15とR16は、それぞれ独
立して、水素原子、アルキル基、またはアリール基を示
し、好ましくは水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、
炭素数6〜10のアリール基であり、より好ましくは水
素原子である。
【0015】(A)式(1)で表される環状オレフィン
系重合体(i) 本発明の環状オレフィン系重合体の内、式(1)、好ま
しくは式(3)で表される環状オレフィン系重合体
(i)は、式(5)
系重合体(i) 本発明の環状オレフィン系重合体の内、式(1)、好ま
しくは式(3)で表される環状オレフィン系重合体
(i)は、式(5)
【0016】
【化9】 〔式中、R1〜R4は、式(1)におけるのと同じであ
る。〕で表される少なくとも一種の環状オレフィン系モ
ノマーを開環(共)重合し、必要に応じて水素添加する
ことにより得ることができる。開環(共)重合体は、主
鎖に炭素−炭素の二重結合(C=C)を有する。この開
環(共)重合体を水素添加すると、主鎖の二重結合が水
素添加されて炭素−炭素の単結合(C−C)となる。こ
の場合、水素添加率が100%に達しない場合には、炭
素−炭素の単結合と二重結合とが共存することになる。
・・・は、未水素添加物、水素添加物、及び部分水素添
加物の全てを表す。
る。〕で表される少なくとも一種の環状オレフィン系モ
ノマーを開環(共)重合し、必要に応じて水素添加する
ことにより得ることができる。開環(共)重合体は、主
鎖に炭素−炭素の二重結合(C=C)を有する。この開
環(共)重合体を水素添加すると、主鎖の二重結合が水
素添加されて炭素−炭素の単結合(C−C)となる。こ
の場合、水素添加率が100%に達しない場合には、炭
素−炭素の単結合と二重結合とが共存することになる。
・・・は、未水素添加物、水素添加物、及び部分水素添
加物の全てを表す。
【0017】主鎖の炭素−炭素二重結合は、95%以上
の水素添加率で水素添加されていてもよい。側鎖に非共
役の炭素−炭素二重結合が存在する場合には、主鎖の二
重結合の水素添加時に、それらも同様に水素添加され
る。側鎖に芳香環がある場合、主鎖の炭素−炭素二重結
合の選択的水素添加を行い、芳香環を水素添加させず残
存させてもよいし、主鎖の炭素−炭素二重結合と芳香環
の共役二重結合の水素添加を同時に行い、芳香環も水素
添加により飽和されていてもよい。
の水素添加率で水素添加されていてもよい。側鎖に非共
役の炭素−炭素二重結合が存在する場合には、主鎖の二
重結合の水素添加時に、それらも同様に水素添加され
る。側鎖に芳香環がある場合、主鎖の炭素−炭素二重結
合の選択的水素添加を行い、芳香環を水素添加させず残
存させてもよいし、主鎖の炭素−炭素二重結合と芳香環
の共役二重結合の水素添加を同時に行い、芳香環も水素
添加により飽和されていてもよい。
【0018】(A−1)環状オレフィン系モノマー 環状オレフィン系モノマーは、前記式(5)で表される
ノルボルネン系モノマーである。好ましい環状オレフィ
ン系モノマーとしては、例えば、式(6)
ノルボルネン系モノマーである。好ましい環状オレフィ
ン系モノマーとしては、例えば、式(6)
【0019】
【化10】 〔式中、R7〜R10は、式(3)におけるのと同じであ
る。〕及び式(7)
る。〕及び式(7)
【0020】
【化11】 〔式中、R11〜R14は、式(3)におけるのと同じであ
る。〕で表されるノルボルネン系モノマーである。
る。〕で表されるノルボルネン系モノマーである。
【0021】このような環状オレフィン系モノマーの具
体例としては、例えば、特開平2−227424号公
報、特開平2−276842号公報、特開平5−977
19号公報、特開平7−41550号公報、特開平8−
72210号公報などに開示されている公知のモノマー
を使用することができる。具体的には、以下のような環
状オレフィン系モノマーを挙げることができる。例え
ば、ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン誘導体、
テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ド
デセン誘導体、ヘキサシクロ[6.6.1.13,6.1
10,13.02,7.09,14]−4−ヘプタデセン誘導体、オ
クタシクロ[8.8.0.12,9.14,7.111,18.1
13,16.03,8.012,17]−5−ドコセン誘導体、ペン
タシクロ[6.6.1.13,6.02,7.09,14]−4−
ヘキサデセン誘導体、ヘプタシクロ−5−エイコセン誘
導体、ヘプタシクロ−5−ヘンエイコセン誘導体、トリ
シクロ[4.3.0.12,5]−3−デセン誘導体、ト
リシクロ[4.4.0.12,5]−3−ウンデセン誘導
体、ペンタシクロ[6.5.1.13,6.02,7.
09,13]−4−ペンタデセン誘導体、ペンタシクロペン
タデカジエン誘導体、ペンタシクロ[7.4.0.1
2,5.19,12.08,13]−3−ペンタデセン誘導体、ヘ
プタシクロ[8.7.0.13,6.110,17.112,15.
02,7.011,16]−4−エイコセン誘導体、ノナシクロ
[10.9.1.14,7.113,20.115,18.03,8.0
2,10.012,21.014,19]−5−ペンタコセン誘導体、
ペンタシクロ[8.4.0.12,5.19,12.08,13]
−3−ヘキサデセン誘導体、ヘプタシクロ「8.8.
0.14,7.111,18.113,16.03,8.012,17」−5
−ヘンエイコセン誘導体、ノナシクロ[10.10.
1.15,8.114,21.116,19.02,11.04,9.
013,22.015,20]−5−ヘキサコセン誘導体、1,4
−メタノ−1,4,4a,9a−テトラヒドロフルオレ
ン誘導体、1,4−メタノ−1,4,4a,5,10,
10a−ヘキサヒドロアントラセン誘導体、及びシクロ
ペンタジエン−アセナフチレン付加物などが挙げられ
る。
体例としては、例えば、特開平2−227424号公
報、特開平2−276842号公報、特開平5−977
19号公報、特開平7−41550号公報、特開平8−
72210号公報などに開示されている公知のモノマー
を使用することができる。具体的には、以下のような環
状オレフィン系モノマーを挙げることができる。例え
ば、ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン誘導体、
テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ド
デセン誘導体、ヘキサシクロ[6.6.1.13,6.1
10,13.02,7.09,14]−4−ヘプタデセン誘導体、オ
クタシクロ[8.8.0.12,9.14,7.111,18.1
13,16.03,8.012,17]−5−ドコセン誘導体、ペン
タシクロ[6.6.1.13,6.02,7.09,14]−4−
ヘキサデセン誘導体、ヘプタシクロ−5−エイコセン誘
導体、ヘプタシクロ−5−ヘンエイコセン誘導体、トリ
シクロ[4.3.0.12,5]−3−デセン誘導体、ト
リシクロ[4.4.0.12,5]−3−ウンデセン誘導
体、ペンタシクロ[6.5.1.13,6.02,7.
09,13]−4−ペンタデセン誘導体、ペンタシクロペン
タデカジエン誘導体、ペンタシクロ[7.4.0.1
2,5.19,12.08,13]−3−ペンタデセン誘導体、ヘ
プタシクロ[8.7.0.13,6.110,17.112,15.
02,7.011,16]−4−エイコセン誘導体、ノナシクロ
[10.9.1.14,7.113,20.115,18.03,8.0
2,10.012,21.014,19]−5−ペンタコセン誘導体、
ペンタシクロ[8.4.0.12,5.19,12.08,13]
−3−ヘキサデセン誘導体、ヘプタシクロ「8.8.
0.14,7.111,18.113,16.03,8.012,17」−5
−ヘンエイコセン誘導体、ノナシクロ[10.10.
1.15,8.114,21.116,19.02,11.04,9.
013,22.015,20]−5−ヘキサコセン誘導体、1,4
−メタノ−1,4,4a,9a−テトラヒドロフルオレ
ン誘導体、1,4−メタノ−1,4,4a,5,10,
10a−ヘキサヒドロアントラセン誘導体、及びシクロ
ペンタジエン−アセナフチレン付加物などが挙げられ
る。
【0022】より具体的には、例えば、ビシクロ[2.
2.1]ヘプト−2−エン、6−メチルビシクロ[2.
2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジメチルビシクロ
[2.2.1]ヘプト−2−エン、1−メチルビシクロ
[2.2.1]ヘプト−2−エン、6−エチルビシクロ
[2.2.1]ヘプト−2−エン、6−n−ブチルビシ
クロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、6−イソブチル
ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、7−メチル
ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、などのビシ
クロ[2.2.1]ヘプト−2−エン誘導体;テトラシ
クロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、
8−メチルテトラシクロ[4.4.0.12,5.
17,10]−3−ドデセン、8−エチルテトラシクロ
[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、8−
プロピルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]
−3−ドデセン、8−ブチテルトラシクロ[4.4.
0.12,5.17,10]−3−ドデセン、8−イソブチル
テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ド
デセン、8−ヘキシルテトラシクロ[4.4.0.1
2,5.17,10]−3−ドデセン、8−シクロヘキシルテ
トラシクロ[4.4.0.12,5.17,1 0]−3−ドデ
セン、8−ステアリルテトラシクロ[4.4.0.1
2,5.17,10]−3−ドデセン、5,10−ジメチルテ
トラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデ
セン、2,10−ジメチルテトラシクロ[4.4.0.
12,5.17,10]−3−ドデセン、8,9−ジメチルテ
トラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデ
セン、8−エチル−9−メチルテトラシクロ[4.4.
0.12,5.17,10]−3−ドデセン、11,12−ジ
メチルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−
3−ドデセン、2,7,9−トリメチルテトラシクロ
[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、9−
エチル−2,7−ジメチルテトラシクロ[4.4.0.
12,5.17,10]−3−ドデセン、9−イソブチル−
2,7−ジメチルテトラシクロ[4.4.0.12,5.
17,10]−3−ドデセン、9,11,12−トリメチル
テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ド
デセン、9−エチル−11,12−ジメチルテトラシク
ロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、9
−イソブチル−11,12−ジメチルテトラシクロ
[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、
2.1]ヘプト−2−エン、6−メチルビシクロ[2.
2.1]ヘプト−2−エン、5,6−ジメチルビシクロ
[2.2.1]ヘプト−2−エン、1−メチルビシクロ
[2.2.1]ヘプト−2−エン、6−エチルビシクロ
[2.2.1]ヘプト−2−エン、6−n−ブチルビシ
クロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、6−イソブチル
ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、7−メチル
ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、などのビシ
クロ[2.2.1]ヘプト−2−エン誘導体;テトラシ
クロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、
8−メチルテトラシクロ[4.4.0.12,5.
17,10]−3−ドデセン、8−エチルテトラシクロ
[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、8−
プロピルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]
−3−ドデセン、8−ブチテルトラシクロ[4.4.
0.12,5.17,10]−3−ドデセン、8−イソブチル
テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ド
デセン、8−ヘキシルテトラシクロ[4.4.0.1
2,5.17,10]−3−ドデセン、8−シクロヘキシルテ
トラシクロ[4.4.0.12,5.17,1 0]−3−ドデ
セン、8−ステアリルテトラシクロ[4.4.0.1
2,5.17,10]−3−ドデセン、5,10−ジメチルテ
トラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデ
セン、2,10−ジメチルテトラシクロ[4.4.0.
12,5.17,10]−3−ドデセン、8,9−ジメチルテ
トラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデ
セン、8−エチル−9−メチルテトラシクロ[4.4.
0.12,5.17,10]−3−ドデセン、11,12−ジ
メチルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−
3−ドデセン、2,7,9−トリメチルテトラシクロ
[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、9−
エチル−2,7−ジメチルテトラシクロ[4.4.0.
12,5.17,10]−3−ドデセン、9−イソブチル−
2,7−ジメチルテトラシクロ[4.4.0.12,5.
17,10]−3−ドデセン、9,11,12−トリメチル
テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ド
デセン、9−エチル−11,12−ジメチルテトラシク
ロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、9
−イソブチル−11,12−ジメチルテトラシクロ
[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、
【0023】5,8,9,10−テトラメチルテトラシ
クロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、
8−エチリデン−9−メチルテトラシクロ[4.4.
0.12,5.17,10]−3−ドデセン、8−エチリデン
−9−エチルテトラシクロ[4.4.0.12,5.1
7,10]−3−ドデセン、8−エチリデン−9−イソプロ
ピルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3
−ドデセン、8−エチリデン−9−ブチルテトラシクロ
[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、8−
n−プロピリデンテトラシクロ[4.4.0.12,5.
17,10]−3−ドデセン、8−n−プロピリデン−9−
メチルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−
3−ドデセン、8−n−プロピリデン−9−エチルテト
ラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセ
ン、8−n−プロピリデン−9−イソプロピルテトラシ
クロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、
8−n−プロピリデン−9−ブチルテトラシクロ[4.
4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、8−イソプ
ロピリデンテトラシクロ[4.4.0.12,5.
17,10]−3−ドデセン、8−イソプロピリデン−9−
メチルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−
3−ドデセン、8−イソプロピリデン−9−エチルテト
ラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセ
ン、8−イソプロピリデン−9−イソプロピルテトラシ
クロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、
8−イソプロピリデン−9−ブチルテトラシクロ[4.
4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、8−クロロ
テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ド
デセン、8−ブロモテトラシクロ[4.4.0.
12,5.17,10]−3−ドデセン、8−フルオロテトラ
シクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセ
ン、8,9−ジクロロテトラシクロ[4.4.0.1
2,5.17,10]−3−ドデセン、などのテトラシクロ
[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン誘導
体;
クロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、
8−エチリデン−9−メチルテトラシクロ[4.4.
0.12,5.17,10]−3−ドデセン、8−エチリデン
−9−エチルテトラシクロ[4.4.0.12,5.1
7,10]−3−ドデセン、8−エチリデン−9−イソプロ
ピルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3
−ドデセン、8−エチリデン−9−ブチルテトラシクロ
[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、8−
n−プロピリデンテトラシクロ[4.4.0.12,5.
17,10]−3−ドデセン、8−n−プロピリデン−9−
メチルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−
3−ドデセン、8−n−プロピリデン−9−エチルテト
ラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセ
ン、8−n−プロピリデン−9−イソプロピルテトラシ
クロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、
8−n−プロピリデン−9−ブチルテトラシクロ[4.
4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、8−イソプ
ロピリデンテトラシクロ[4.4.0.12,5.
17,10]−3−ドデセン、8−イソプロピリデン−9−
メチルテトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−
3−ドデセン、8−イソプロピリデン−9−エチルテト
ラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセ
ン、8−イソプロピリデン−9−イソプロピルテトラシ
クロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、
8−イソプロピリデン−9−ブチルテトラシクロ[4.
4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、8−クロロ
テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ド
デセン、8−ブロモテトラシクロ[4.4.0.
12,5.17,10]−3−ドデセン、8−フルオロテトラ
シクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセ
ン、8,9−ジクロロテトラシクロ[4.4.0.1
2,5.17,10]−3−ドデセン、などのテトラシクロ
[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン誘導
体;
【0024】ヘキサシクロ[6.6.1.13,6.1
10,13.02,7.09,14]−4−ヘプタデセン、12−メ
チルヘキサシクロ[6.6.1.13,6.110,13.0
2,7.09,14]−4−ヘプタデセン、12−エチルヘキ
サシクロ[6.6.1.13,6.110,13.02,7.0
9,14]−4−ヘプタデセン、12−イソブチルヘキサシ
クロ[6.6.1.13,6.110,13.02,7.09,14]
−4−ヘプタデセン、1,6,10−トリメチル−12
−イソブチルヘキサシクロ[6.6.1.13,6.1
10,13.02,7.09,14]−4−ヘプタデセン、などのヘ
キサシクロ[6.6.1.13,6.110,13.02,7.0
9,14]−4−ヘプタデセン誘導体;オクタシクロ[8.
8.0.12,9.14,7.111,18.113,16.03,8.0
12,17]−5−ドコセン、15−メチルオクタシクロ
[8.8.0.12,9.14,7.111,18.113,16.0
3,8.012,17]−5−ドコセン、15−エチルオクタシ
クロ[8.8.0.12,9.14,7.111,18.113,16.
03,8.012,17]−5−ドコセン、などのオクタシクロ
[8.8.0.12,9.14,7.111,18.113,16.0
3,8.012,17]−5−ドコセン誘導体;ペンタシクロ
[6.6.1.13,6.02,7.09,14]−4−ヘキサデ
セン、1,3−ジメチルペンタシクロ[6.6.1.1
3,6.02,7.09,14]−4−ヘキサデセン、1,6−ジ
メチルペンタシクロ[6.6.1.13,6.02,7.0
9,14]−4−ヘキサデセン、15,16−ジメチルペン
タシクロ[6.6.1.13,6.02,7.09,14]−4−
ヘキサデセン、などのペンタシクロ[6.6.1.1
3,6.02,7.09,14]−4−ヘキサデセン誘導体;ヘプ
タシクロ[8.7.0.12,9.14,7.111,17.
03,8.012,16]−5−エイコセン、ヘプタシクロ
[8.8.0.12,9.14,7.111,18.03,8.0
12,17]−5−ヘンエイコセン、などのヘプタシクロ−
5−エイコセン誘導体あるいはヘプタシクロ−5−ヘン
エイコセン誘導体;トリシクロ[4.3.0.12,5]
−3−デセン、2−メチルトリシクロ[4.3.0.1
2,5]−3−デセン、5−メチルトリシクロ[4.3.
0.12,5]−3−デセン、などのトリシクロ[4.
3.0.12,5]−3−デセン誘導体;トリシクロ
[4.4.0.12,5]−3−ウンデセン、10−メチ
ルトリシクロ[4.4.0.12,5]−3−ウンデセ
ン、などのトリシクロ[4.4.0.12,5]−3−ウ
ンデセン誘導体;ペンタシクロ[6.5.1.13,6.
02,7.09,13]−4−ペンタデセン、1,3−ジメチ
ルペンタシクロ[6.5.1.13,6.02,7.09,13]
−4−ペンタデセン、1,6−ジメチルペンタシクロ
[6.5.1.13,6.02,7.09,13]−4−ペンタデ
セン、14,15−ジメチルペンタシクロ[6.5.
1.13,6.02,7.09,13]−4−ペンタデセン、など
のペンタシクロ[6.5.1.13,6.02,7.09,13]
−4−ペンタデセン誘導体;
10,13.02,7.09,14]−4−ヘプタデセン、12−メ
チルヘキサシクロ[6.6.1.13,6.110,13.0
2,7.09,14]−4−ヘプタデセン、12−エチルヘキ
サシクロ[6.6.1.13,6.110,13.02,7.0
9,14]−4−ヘプタデセン、12−イソブチルヘキサシ
クロ[6.6.1.13,6.110,13.02,7.09,14]
−4−ヘプタデセン、1,6,10−トリメチル−12
−イソブチルヘキサシクロ[6.6.1.13,6.1
10,13.02,7.09,14]−4−ヘプタデセン、などのヘ
キサシクロ[6.6.1.13,6.110,13.02,7.0
9,14]−4−ヘプタデセン誘導体;オクタシクロ[8.
8.0.12,9.14,7.111,18.113,16.03,8.0
12,17]−5−ドコセン、15−メチルオクタシクロ
[8.8.0.12,9.14,7.111,18.113,16.0
3,8.012,17]−5−ドコセン、15−エチルオクタシ
クロ[8.8.0.12,9.14,7.111,18.113,16.
03,8.012,17]−5−ドコセン、などのオクタシクロ
[8.8.0.12,9.14,7.111,18.113,16.0
3,8.012,17]−5−ドコセン誘導体;ペンタシクロ
[6.6.1.13,6.02,7.09,14]−4−ヘキサデ
セン、1,3−ジメチルペンタシクロ[6.6.1.1
3,6.02,7.09,14]−4−ヘキサデセン、1,6−ジ
メチルペンタシクロ[6.6.1.13,6.02,7.0
9,14]−4−ヘキサデセン、15,16−ジメチルペン
タシクロ[6.6.1.13,6.02,7.09,14]−4−
ヘキサデセン、などのペンタシクロ[6.6.1.1
3,6.02,7.09,14]−4−ヘキサデセン誘導体;ヘプ
タシクロ[8.7.0.12,9.14,7.111,17.
03,8.012,16]−5−エイコセン、ヘプタシクロ
[8.8.0.12,9.14,7.111,18.03,8.0
12,17]−5−ヘンエイコセン、などのヘプタシクロ−
5−エイコセン誘導体あるいはヘプタシクロ−5−ヘン
エイコセン誘導体;トリシクロ[4.3.0.12,5]
−3−デセン、2−メチルトリシクロ[4.3.0.1
2,5]−3−デセン、5−メチルトリシクロ[4.3.
0.12,5]−3−デセン、などのトリシクロ[4.
3.0.12,5]−3−デセン誘導体;トリシクロ
[4.4.0.12,5]−3−ウンデセン、10−メチ
ルトリシクロ[4.4.0.12,5]−3−ウンデセ
ン、などのトリシクロ[4.4.0.12,5]−3−ウ
ンデセン誘導体;ペンタシクロ[6.5.1.13,6.
02,7.09,13]−4−ペンタデセン、1,3−ジメチ
ルペンタシクロ[6.5.1.13,6.02,7.09,13]
−4−ペンタデセン、1,6−ジメチルペンタシクロ
[6.5.1.13,6.02,7.09,13]−4−ペンタデ
セン、14,15−ジメチルペンタシクロ[6.5.
1.13,6.02,7.09,13]−4−ペンタデセン、など
のペンタシクロ[6.5.1.13,6.02,7.09,13]
−4−ペンタデセン誘導体;
【0025】ペンタシクロ[6.5.1.13,6.
02,7.09,13]−4,10−ペンタデカジエン、など
のジエン化合物;ペンタシクロ[7.4.0.12,5.
19,12.08,13]−3−ペンタデセン、メチル置換ペン
タシクロ[7.4.0.12,5.19,12.08,13]−3
−ペンタデセン、などのペンタシクロ[7.4.0.1
2,5.19,12.08,13]−3−ペンタデセン誘導体;ヘ
プタシクロ[8.7.0.13,6.110,17.112,15.
02,7.011,16]−4−エイコセン、ジメチル置換ヘプ
タシクロ[8.7.0.13,6.110,17.112,15.0
2,7.011,16]−4−エイコセン、などのヘプタシクロ
[8.7.0.13,6.110,17.112,15.02,7.0
11,16]−4−エイコセン誘導体;ノナシクロ[10.
9.1.14,7.113,20.115,18.03,8.02,10.0
12,21.014,19]−5−ペンタコセン、トリメチル置換
ノナシクロ[10.9.1.14,7.113,20.
115,18.03,8.02,10.012,21.014,19]−5−ペ
ンタコセン、などのノナシクロ[10.9.1.
1 4,7.113,20.115,18.03,8.02,10.012,21.
014,19]−5−ペンタコセン誘導体;ペンタシクロ
[8.4.0.12,5.19,12.08,13]−3−ヘキサ
デセン、11−メチルペンタシクロ[8.4.0.1
2,5.19,12.08,13]−3−ヘキサデセン、11−エ
チル−ペンタシクロ[8.4.0.12,5.19,12.0
8,13]−3−ヘキサデセン、10,11−ジメチル−ペ
ンタシクロ[8.4.0.12,5.19,12.08,13]−
5−ヘキサデセン、などのペンタシクロ[8.4.0.
12,5.19,12.08,13]−3−ヘキサデセン誘導体;
ヘプタシクロ[8.8.0.14,7.111,18.
113,16.03,8.012,17]−5−ヘンエイコセン、1
5−メチル−ヘプタシクロ[8.8.0.14,7.1
11,18.113,16.03,8.012,17]−5−ヘンエイコセ
ン、トリメチル−ヘプタシクロ[8.8.0.14,7.
111,18.113,16.03,8.012,17]−5−ヘンエイコ
セン、などのヘプタシクロ[8.8.0.14,7.1
11,18.113,16.03,8.012,17]−5−ヘンエイコセ
ン誘導体;ノナシクロ[10.10.1.15,8.1
14,21.116,19.02,11.04,9.013,22.015,20]
−6−ヘキサコセン、などのノナシクロ[10.10.
1.15,8.114,21.116,19.02,11.04,9.0
13,22.015,20]−6−ヘキサコセン誘導体;
02,7.09,13]−4,10−ペンタデカジエン、など
のジエン化合物;ペンタシクロ[7.4.0.12,5.
19,12.08,13]−3−ペンタデセン、メチル置換ペン
タシクロ[7.4.0.12,5.19,12.08,13]−3
−ペンタデセン、などのペンタシクロ[7.4.0.1
2,5.19,12.08,13]−3−ペンタデセン誘導体;ヘ
プタシクロ[8.7.0.13,6.110,17.112,15.
02,7.011,16]−4−エイコセン、ジメチル置換ヘプ
タシクロ[8.7.0.13,6.110,17.112,15.0
2,7.011,16]−4−エイコセン、などのヘプタシクロ
[8.7.0.13,6.110,17.112,15.02,7.0
11,16]−4−エイコセン誘導体;ノナシクロ[10.
9.1.14,7.113,20.115,18.03,8.02,10.0
12,21.014,19]−5−ペンタコセン、トリメチル置換
ノナシクロ[10.9.1.14,7.113,20.
115,18.03,8.02,10.012,21.014,19]−5−ペ
ンタコセン、などのノナシクロ[10.9.1.
1 4,7.113,20.115,18.03,8.02,10.012,21.
014,19]−5−ペンタコセン誘導体;ペンタシクロ
[8.4.0.12,5.19,12.08,13]−3−ヘキサ
デセン、11−メチルペンタシクロ[8.4.0.1
2,5.19,12.08,13]−3−ヘキサデセン、11−エ
チル−ペンタシクロ[8.4.0.12,5.19,12.0
8,13]−3−ヘキサデセン、10,11−ジメチル−ペ
ンタシクロ[8.4.0.12,5.19,12.08,13]−
5−ヘキサデセン、などのペンタシクロ[8.4.0.
12,5.19,12.08,13]−3−ヘキサデセン誘導体;
ヘプタシクロ[8.8.0.14,7.111,18.
113,16.03,8.012,17]−5−ヘンエイコセン、1
5−メチル−ヘプタシクロ[8.8.0.14,7.1
11,18.113,16.03,8.012,17]−5−ヘンエイコセ
ン、トリメチル−ヘプタシクロ[8.8.0.14,7.
111,18.113,16.03,8.012,17]−5−ヘンエイコ
セン、などのヘプタシクロ[8.8.0.14,7.1
11,18.113,16.03,8.012,17]−5−ヘンエイコセ
ン誘導体;ノナシクロ[10.10.1.15,8.1
14,21.116,19.02,11.04,9.013,22.015,20]
−6−ヘキサコセン、などのノナシクロ[10.10.
1.15,8.114,21.116,19.02,11.04,9.0
13,22.015,20]−6−ヘキサコセン誘導体;
【0026】ペンタシクロ[6.5.1.13,6.
02,7.09,13]−4,11−ペンタデカジエン、メチ
ル置換ペンタシクロ[6.5.1.13,6.02,7.0
9,13]−4,11−ペンタデカジエン、メチル置換ペン
タシクロ[6.5.1.13,6.02,7.09,13]−4,
11−ペンタデカジエン、メチル置換ペンタシクロ
[6.5.1.13,6.02,7.09,13]−4,11−ペ
ンタデカジエン、トリメチル置換ペンタシクロ[4.
7.0.12,5.08,13.19,12]−3−ペンタデセ
ン、ペンタシクロ[4.7.0.12,5.08,13.1
9,12]−3,10−ペンタデカジエン、メチル置換ペン
タシクロ[4.7.0.12,5.08,13.19,12]−
3,10−ペンタデカジエン、メチル置換ペンタシクロ
[4.7.0.12,5.08,13.19,12]−3,10−
ペンタデカジエン、メチル置換ペンタシクロ[4.7.
0.12,5.08,13.19,12]−3,10−ペンタデカ
ジエン、メチル置換ヘプタシクロ[7.8.0.
13,6.02,7.110,17.011,16.112,15]−4−エ
イコセン、トリメチル置換ヘプタシクロ[7.8.0.
13,6.02,7.110,17.011,16.112,15]−4−エ
イコセン、テトラメチル置換ヘプタシクロ[7.8.
0.13,6.02,7.110,17.011,16.112,15]−4
−エイコセン、トリシクロ[4.3.0.12,5]−
3,7−デカジエン(すなわち、ジシクロペンタジエ
ン)、2,3−ジヒドロジシクロペンタジエン、5−フ
ェニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン(す
なわち、5−フェニル−2−ノルボルネン)、5−メチ
ル−5−フェニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2
−エン、5−ベンジル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト
−2−エン、5−トリル−ビシクロ[2.2.1]ヘプ
ト−2−エン、5−(エチルフェニル)−ビシクロ
[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−(イソプロピル
フェニル)−ビシクロ[2,2,1]ヘプト−2−エ
ン、8−フェニル−テトラシクロ[4.4.0.
12,5.17,10]−3−ドデセン、8−メチル−8−フ
ェニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]
−3−ドデセン、8−ベンジル−テトラシクロ[4.
4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、8−トリル
−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−
ドデセン、8−(エチルフェニル)−テトラシクロ
[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、
02,7.09,13]−4,11−ペンタデカジエン、メチ
ル置換ペンタシクロ[6.5.1.13,6.02,7.0
9,13]−4,11−ペンタデカジエン、メチル置換ペン
タシクロ[6.5.1.13,6.02,7.09,13]−4,
11−ペンタデカジエン、メチル置換ペンタシクロ
[6.5.1.13,6.02,7.09,13]−4,11−ペ
ンタデカジエン、トリメチル置換ペンタシクロ[4.
7.0.12,5.08,13.19,12]−3−ペンタデセ
ン、ペンタシクロ[4.7.0.12,5.08,13.1
9,12]−3,10−ペンタデカジエン、メチル置換ペン
タシクロ[4.7.0.12,5.08,13.19,12]−
3,10−ペンタデカジエン、メチル置換ペンタシクロ
[4.7.0.12,5.08,13.19,12]−3,10−
ペンタデカジエン、メチル置換ペンタシクロ[4.7.
0.12,5.08,13.19,12]−3,10−ペンタデカ
ジエン、メチル置換ヘプタシクロ[7.8.0.
13,6.02,7.110,17.011,16.112,15]−4−エ
イコセン、トリメチル置換ヘプタシクロ[7.8.0.
13,6.02,7.110,17.011,16.112,15]−4−エ
イコセン、テトラメチル置換ヘプタシクロ[7.8.
0.13,6.02,7.110,17.011,16.112,15]−4
−エイコセン、トリシクロ[4.3.0.12,5]−
3,7−デカジエン(すなわち、ジシクロペンタジエ
ン)、2,3−ジヒドロジシクロペンタジエン、5−フ
ェニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン(す
なわち、5−フェニル−2−ノルボルネン)、5−メチ
ル−5−フェニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2
−エン、5−ベンジル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト
−2−エン、5−トリル−ビシクロ[2.2.1]ヘプ
ト−2−エン、5−(エチルフェニル)−ビシクロ
[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−(イソプロピル
フェニル)−ビシクロ[2,2,1]ヘプト−2−エ
ン、8−フェニル−テトラシクロ[4.4.0.
12,5.17,10]−3−ドデセン、8−メチル−8−フ
ェニル−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]
−3−ドデセン、8−ベンジル−テトラシクロ[4.
4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、8−トリル
−テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−
ドデセン、8−(エチルフェニル)−テトラシクロ
[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、
【0027】8−(イソプロピルフェニル)−テトラシ
クロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、
8,9−ジフェニル−テトラシクロ[4.4.0.1
2,5.17,10]−3−ドデセン、8−(ビフェニル)−
テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ド
デセン、8−(β−ナフチル)−テトラシクロ[4.
4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、8−(α−
ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.1
7,10]−3−ドデセン、8−(アントラセニル)−テト
ラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセ
ン、11−フェニル−ヘキサシクロ[6.6.1.1
3,6.02,7.09,14]−4ヘプタデセン、6−(α−ナ
フチル)−ビシクロ[2.2.1]−ヘプト−2−エ
ン、5−(アントラセニル)−ビシクロ[2.2.1]
−ヘプト−2−エン、5−(ビフェニル)−ビシクロ
[2.2.1]−ヘプト−2−エン、5−(β−ナフチ
ル)−ビシクロ[2.2.1]−ヘプト−2−エン、
5,6−ジフェニル−ビシクロ[2.2.1]−ヘプト
−2−エン、9−(2−ノルボルネン−5−イル)−カ
ルバゾール、1,4−メタノ−1,4,4a,4b,
5,8,8a,9a−オクタヒドロフルオレン類;1,
4−メタノ−1,4,4a,9a−テトラヒドロフルオ
レン、1,4−メタノ−8−メチル−1,4,4a,9
a−テトラヒドロフルオレン、1,4−メタノ−8−ク
ロロ−1,4,4a,9a−テトラヒドロフルオレン、
1,4−メタノ−8−ブロモ−1,4,4a,9a−テ
トラヒドロフルオレン等の1,4−メタノ−1,4,4
a,9a−テトラヒドロフルオレン類;1,4−メタノ
−1,4,4a,9a−テトラヒドロジベンゾフラン
類;1,4−メタノ−1,4,4a,9a−テトラヒド
ロカルバゾール、1,4−メタノ−9−フェニル−1,
4,4a,9a−テトラヒドロカルバゾール等の1,4
−メタノ−1,4,4a,9a−テトラヒドロカルバゾ
ール類;1,4−メタノ−1,4,4a,5,10,1
0a−ヘキサヒドロアントラセンなどの1,4−メタノ
−1,4,4a,5,10,10a−ヘキサヒドロアン
トラセン類;7,10−メタノ−6b,7,10,10
a−テトラヒドロフルオランセン類;シクロペンタジエ
ン−アセナフチレン付加物にシクロペンタジエンをさら
に付加した化合物、11,12−ベンゾ−ペンタシクロ
[6,5,1,13,6.02,7.09,13]−4−ペンタデ
セン、11,12−ベンゾ−ペンタシクロ[6,6,
1,13,6.02,7.09,14]−4−ヘキサデセン、1
4,15−ベンゾ−ヘプタシクロ[8.7.0.
12,9.14,7.111,17.03,8.012,16]−5−エイ
コセン、シクロペンタジエン−アセナフチレン付加物な
どが挙げられる。これらの環状オレフィン系モノマー
は、それぞれ単独で、あるいは2種以上を組み合わせて
用いることができる。
クロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、
8,9−ジフェニル−テトラシクロ[4.4.0.1
2,5.17,10]−3−ドデセン、8−(ビフェニル)−
テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ド
デセン、8−(β−ナフチル)−テトラシクロ[4.
4.0.12,5.17,10]−3−ドデセン、8−(α−
ナフチル)−テトラシクロ[4.4.0.12,5.1
7,10]−3−ドデセン、8−(アントラセニル)−テト
ラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]−3−ドデセ
ン、11−フェニル−ヘキサシクロ[6.6.1.1
3,6.02,7.09,14]−4ヘプタデセン、6−(α−ナ
フチル)−ビシクロ[2.2.1]−ヘプト−2−エ
ン、5−(アントラセニル)−ビシクロ[2.2.1]
−ヘプト−2−エン、5−(ビフェニル)−ビシクロ
[2.2.1]−ヘプト−2−エン、5−(β−ナフチ
ル)−ビシクロ[2.2.1]−ヘプト−2−エン、
5,6−ジフェニル−ビシクロ[2.2.1]−ヘプト
−2−エン、9−(2−ノルボルネン−5−イル)−カ
ルバゾール、1,4−メタノ−1,4,4a,4b,
5,8,8a,9a−オクタヒドロフルオレン類;1,
4−メタノ−1,4,4a,9a−テトラヒドロフルオ
レン、1,4−メタノ−8−メチル−1,4,4a,9
a−テトラヒドロフルオレン、1,4−メタノ−8−ク
ロロ−1,4,4a,9a−テトラヒドロフルオレン、
1,4−メタノ−8−ブロモ−1,4,4a,9a−テ
トラヒドロフルオレン等の1,4−メタノ−1,4,4
a,9a−テトラヒドロフルオレン類;1,4−メタノ
−1,4,4a,9a−テトラヒドロジベンゾフラン
類;1,4−メタノ−1,4,4a,9a−テトラヒド
ロカルバゾール、1,4−メタノ−9−フェニル−1,
4,4a,9a−テトラヒドロカルバゾール等の1,4
−メタノ−1,4,4a,9a−テトラヒドロカルバゾ
ール類;1,4−メタノ−1,4,4a,5,10,1
0a−ヘキサヒドロアントラセンなどの1,4−メタノ
−1,4,4a,5,10,10a−ヘキサヒドロアン
トラセン類;7,10−メタノ−6b,7,10,10
a−テトラヒドロフルオランセン類;シクロペンタジエ
ン−アセナフチレン付加物にシクロペンタジエンをさら
に付加した化合物、11,12−ベンゾ−ペンタシクロ
[6,5,1,13,6.02,7.09,13]−4−ペンタデ
セン、11,12−ベンゾ−ペンタシクロ[6,6,
1,13,6.02,7.09,14]−4−ヘキサデセン、1
4,15−ベンゾ−ヘプタシクロ[8.7.0.
12,9.14,7.111,17.03,8.012,16]−5−エイ
コセン、シクロペンタジエン−アセナフチレン付加物な
どが挙げられる。これらの環状オレフィン系モノマー
は、それぞれ単独で、あるいは2種以上を組み合わせて
用いることができる。
【0028】(A−2)重合方法 式(5)、好ましくは式(6)及び/または(7)で表
される環状オレフィン系モノマー(ノルボルネン系モノ
マー)の開環重合体または開環共重合体は、公知の重合
方法により得ることができる。開環重合触媒としては、
例えば、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウ
ム、イリジウム、及び白金などから選ばれる金属のハロ
ゲン化物、硝酸塩またはアセチルアセトン化合物と、還
元剤とからなる触媒;あるいは、チタン、バナジウム、
ジルコニウム、タングステン、及びモリブデンから選ば
れる金属のハロゲン化物またはアセチルアセトン化合物
と、有機アルミニウム化合物とからなる触媒を用いるこ
とができる。
される環状オレフィン系モノマー(ノルボルネン系モノ
マー)の開環重合体または開環共重合体は、公知の重合
方法により得ることができる。開環重合触媒としては、
例えば、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウ
ム、イリジウム、及び白金などから選ばれる金属のハロ
ゲン化物、硝酸塩またはアセチルアセトン化合物と、還
元剤とからなる触媒;あるいは、チタン、バナジウム、
ジルコニウム、タングステン、及びモリブデンから選ば
れる金属のハロゲン化物またはアセチルアセトン化合物
と、有機アルミニウム化合物とからなる触媒を用いるこ
とができる。
【0029】上記触媒系に、第三成分を加えて、重合活
性や開環重合の選択性を高めることができる。具体例と
しては、分子状酸素、アルコール、エーテル、過酸化
物、カルボン酸、酸無水物、酸クロリド、エステル、ケ
トン、含窒素化合物、含硫黄化合物、含ハロゲン化合
物、分子状ヨウ素、その他のルイス酸などが挙げられ
る。含窒素化合物としては、脂肪族または芳香族第三級
アミンが好ましく、具体例としては、トリエチルアミ
ン、ジメチルアニリン、トリ−n−ブチルアミン、ピリ
ジン、α−ピコリンなどが挙げられる。
性や開環重合の選択性を高めることができる。具体例と
しては、分子状酸素、アルコール、エーテル、過酸化
物、カルボン酸、酸無水物、酸クロリド、エステル、ケ
トン、含窒素化合物、含硫黄化合物、含ハロゲン化合
物、分子状ヨウ素、その他のルイス酸などが挙げられ
る。含窒素化合物としては、脂肪族または芳香族第三級
アミンが好ましく、具体例としては、トリエチルアミ
ン、ジメチルアニリン、トリ−n−ブチルアミン、ピリ
ジン、α−ピコリンなどが挙げられる。
【0030】開環(共)重合は、溶媒を用いなくても可
能であるが、不活性有機溶媒中でも実施することができ
る。溶剤としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシ
レンなどの芳香族炭化水素、n−ペンタン、ヘキサン、
ヘプタンなどの脂肪族炭化水素、シクロヘキサンなどの
脂環族炭化水素、スチレンジクロリド、ジクロルエタ
ン、ジクロルエチレン、テトラクロルエタン、クロルベ
ンゼン、ジクロルベンゼン、トリクロルベンゼンなどの
ハロゲン化炭化水素などが挙げられる。
能であるが、不活性有機溶媒中でも実施することができ
る。溶剤としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシ
レンなどの芳香族炭化水素、n−ペンタン、ヘキサン、
ヘプタンなどの脂肪族炭化水素、シクロヘキサンなどの
脂環族炭化水素、スチレンジクロリド、ジクロルエタ
ン、ジクロルエチレン、テトラクロルエタン、クロルベ
ンゼン、ジクロルベンゼン、トリクロルベンゼンなどの
ハロゲン化炭化水素などが挙げられる。
【0031】重合温度は、通常−50℃〜100℃、好
ましくは−30℃〜80℃、より好ましくは−20℃〜
60℃であり、重合圧力は、通常、0〜50kg/cm
2、好ましくは0〜20kg/cm2である。式(5)で
表される環状オレフィン系モノマーの開環重合体は、式
(8)で表される繰り返し単位を含有するポリマーであ
る。
ましくは−30℃〜80℃、より好ましくは−20℃〜
60℃であり、重合圧力は、通常、0〜50kg/cm
2、好ましくは0〜20kg/cm2である。式(5)で
表される環状オレフィン系モノマーの開環重合体は、式
(8)で表される繰り返し単位を含有するポリマーであ
る。
【0032】
【化12】 〔式中、各符号の意味は、式(1)におけるのと同じで
ある。〕 式(6)及び(7)で表される環状オレフィン系モノマ
ーの開環(共)重合体は、下式(9)で表される繰り返
し単位を含有するポリマーである。
ある。〕 式(6)及び(7)で表される環状オレフィン系モノマ
ーの開環(共)重合体は、下式(9)で表される繰り返
し単位を含有するポリマーである。
【0033】
【化13】 〔式中、各符号の意味は、式(3)におけるのと同じで
ある。〕
ある。〕
【0034】(A−3)水素添加 本発明の環状オレフィン系重合体(i)は、前記式
(8)好ましくは(9)で表される繰り返し単位を含有
する未水素添加物であって、主鎖の炭素−炭素二重結合
が残存しているものであってもよいが、耐熱性、耐候性
などの観点から、少なくとも主鎖の炭素−炭素二重結合
を水素添加したものであることが好ましい。水素添加物
は、常法に従って、開環(共)重合体を水素添加触媒の
存在下に、水素により水素化する方法により得ることが
できる。水素添加触媒としては、遷移金属化合物とアル
キル金属化合物の組み合わせからなる触媒、例えば、酢
酸コバルト/トリエチルアルミニウム、ニッケルアセチ
ルアセトナート/トリイソブチルアルミニウム、チタノ
センジクロリド/n−ブチルリチウム、ジルコノセンジ
クロリド/sec−ブチルリチウム、テトラブトキシチ
タネート/ジメチルマグネシウム等の組み合わせが挙げ
られる。
(8)好ましくは(9)で表される繰り返し単位を含有
する未水素添加物であって、主鎖の炭素−炭素二重結合
が残存しているものであってもよいが、耐熱性、耐候性
などの観点から、少なくとも主鎖の炭素−炭素二重結合
を水素添加したものであることが好ましい。水素添加物
は、常法に従って、開環(共)重合体を水素添加触媒の
存在下に、水素により水素化する方法により得ることが
できる。水素添加触媒としては、遷移金属化合物とアル
キル金属化合物の組み合わせからなる触媒、例えば、酢
酸コバルト/トリエチルアルミニウム、ニッケルアセチ
ルアセトナート/トリイソブチルアルミニウム、チタノ
センジクロリド/n−ブチルリチウム、ジルコノセンジ
クロリド/sec−ブチルリチウム、テトラブトキシチ
タネート/ジメチルマグネシウム等の組み合わせが挙げ
られる。
【0035】水素添加反応は、通常、不活性有機溶媒中
で実施する。有機溶媒としては、生成する水素添加物の
溶解性に優れていることから、炭化水素系溶媒が好まし
く、環状炭化水素系溶媒がより好ましい。このような炭
化水素系溶媒としては、ベンゼン、トルエン等の芳香族
炭化水素;n−ペンタン、ヘキサン等の脂肪族炭化水
素、シクロヘキサン、デカリン等の脂環族炭化水素;テ
トラヒドロフラン、エチレングリコールジメチルエーテ
ル等のエーテル類;等が挙げられ、これらの2種以上を
混合して使用することもできる。通常は、重合反応溶媒
と同じでよく、重合反応液にそのまま水素添加触媒を添
加して反応させればよい。
で実施する。有機溶媒としては、生成する水素添加物の
溶解性に優れていることから、炭化水素系溶媒が好まし
く、環状炭化水素系溶媒がより好ましい。このような炭
化水素系溶媒としては、ベンゼン、トルエン等の芳香族
炭化水素;n−ペンタン、ヘキサン等の脂肪族炭化水
素、シクロヘキサン、デカリン等の脂環族炭化水素;テ
トラヒドロフラン、エチレングリコールジメチルエーテ
ル等のエーテル類;等が挙げられ、これらの2種以上を
混合して使用することもできる。通常は、重合反応溶媒
と同じでよく、重合反応液にそのまま水素添加触媒を添
加して反応させればよい。
【0036】本発明の環状オレフィン系重合体(i)
は、耐熱性や耐候性が高いことが好ましく、そのため
に、開環(共)重合体の主鎖構造中の不飽和結合の通常
95%以上、好ましくは98%以上、より好ましくは9
9%以上は飽和していることが好ましい。側鎖にアルキ
リデン基などの非共役の不飽和結合がある場合には、主
鎖の不飽和結合の水素添加時に、同時に水素添加され
る。側鎖の芳香環は残存させてもよく、部分水素添加が
可能である。主鎖構造中の不飽和結合と芳香環構造中の
不飽和結合とは、1H−NMRによる分析により区別し
て認識することができる。
は、耐熱性や耐候性が高いことが好ましく、そのため
に、開環(共)重合体の主鎖構造中の不飽和結合の通常
95%以上、好ましくは98%以上、より好ましくは9
9%以上は飽和していることが好ましい。側鎖にアルキ
リデン基などの非共役の不飽和結合がある場合には、主
鎖の不飽和結合の水素添加時に、同時に水素添加され
る。側鎖の芳香環は残存させてもよく、部分水素添加が
可能である。主鎖構造中の不飽和結合と芳香環構造中の
不飽和結合とは、1H−NMRによる分析により区別し
て認識することができる。
【0037】主鎖構造中の不飽和結合を主として水素添
加するには、−20℃〜120℃、好ましくは0〜10
0℃、より好ましくは20〜80℃の温度で、0.1〜
50kg/cm2、好ましくは0.5〜30kg/c
m2、より好ましくは1〜20kg/cm2の水素圧力で
水素添加反応を行うことが望ましい。芳香環を水素添加
するには、例えば、水素添加温度を150〜250℃程
度の高温にする。式(8)で表される環状オレフィン系
モノマーの開環重合体の水素添加物は、主鎖の不飽和結
合が水素添加された下式(10)で表される繰り返し単
位を含有するポリマーである。
加するには、−20℃〜120℃、好ましくは0〜10
0℃、より好ましくは20〜80℃の温度で、0.1〜
50kg/cm2、好ましくは0.5〜30kg/c
m2、より好ましくは1〜20kg/cm2の水素圧力で
水素添加反応を行うことが望ましい。芳香環を水素添加
するには、例えば、水素添加温度を150〜250℃程
度の高温にする。式(8)で表される環状オレフィン系
モノマーの開環重合体の水素添加物は、主鎖の不飽和結
合が水素添加された下式(10)で表される繰り返し単
位を含有するポリマーである。
【0038】
【化14】 〔式中、各符号の意味は、式(1)におけるのと同じで
ある。〕 式(9)で表される環状オレフィン系モノマーの開環重
合体の水素添加物は、主鎖の不飽和結合が水素添加され
た下式(11)で表される繰り返し単位を含有するポリ
マーである。
ある。〕 式(9)で表される環状オレフィン系モノマーの開環重
合体の水素添加物は、主鎖の不飽和結合が水素添加され
た下式(11)で表される繰り返し単位を含有するポリ
マーである。
【0039】
【化15】 〔式中、各符号の意味は、式(3)におけるのと同じで
ある。〕
ある。〕
【0040】(B)式(2)で表される環状オレフィン
系重合体(ii) 本発明のもう一つの式(2)、好ましくは式(4)で表
される環状オレフィン系重合体(ii)は、前記式
(5)、好ましくは式(6)及び/または(7)で表さ
れる少なくとも一種の環状オレフィン系モノマー、また
は該環状オレフィン系モノマーとビニル化合物の付加
(共)重合体である。ビニル化合物は、式(12)
系重合体(ii) 本発明のもう一つの式(2)、好ましくは式(4)で表
される環状オレフィン系重合体(ii)は、前記式
(5)、好ましくは式(6)及び/または(7)で表さ
れる少なくとも一種の環状オレフィン系モノマー、また
は該環状オレフィン系モノマーとビニル化合物の付加
(共)重合体である。ビニル化合物は、式(12)
【0041】
【化16】 〔式中、R5及びR6は、式(2)におけるのと同じであ
る。〕 で表される化合物である。
る。〕 で表される化合物である。
【0042】ビニル化合物としては、例えば、エチレ
ン、プロピレン、1−ブテン、1−ペンテン、1−ヘキ
セン、3−メチル−1−ブテン、3−メチル−1−ペン
テン、3−エチル−1−ペンテン、4−メチル−1−ペ
ンテン、4−メチル−1−ヘキセン、4,4−ジメチル
−1−ヘキセン、4,4−ジメチル−1−ペンテン、4
−エチル−1−ヘキセン、3−エチル−1−ヘキセン、
1−オクテン、1−デセン、1−ドデセン、1−テトラ
デセン、1−ヘキサデセン、1−オクタデセン、1−エ
イコセンなどの炭素数2〜20のエチレンまたはα−オ
レフィン;シクロブテン、シクロペンテン、シクロヘキ
セン、3,4−ジメチルシクロペンテン、3−メチルシ
クロヘキセン、2−(2−メチルブチル)−1−シクロ
ヘキセン、シクロオクテン、3a,5,6,7a−テト
ラヒドロ−4,7−メタノ−1H−インデンなどのシク
ロオレフィン;1,4−ヘキサジエン、4−メチル−
1,4−ヘキサジエン、5−メチル−1,4−ヘキサジ
エン、1,7−オクタジエンなどの非共役ジエン;スチ
レン、α−メチルスチレン、o−メチルスチレン、p−
メチルスチレン、1,3−ジメチルスチレン、ビニルナ
フタレンなどの芳香族ビニル化合物;などが挙げられ
る。これらの中でも、エチレンが通常使用される。これ
らのビニル化合物は、それぞれ単独で、あるいは2種以
上を組み合わせて使用することができる。
ン、プロピレン、1−ブテン、1−ペンテン、1−ヘキ
セン、3−メチル−1−ブテン、3−メチル−1−ペン
テン、3−エチル−1−ペンテン、4−メチル−1−ペ
ンテン、4−メチル−1−ヘキセン、4,4−ジメチル
−1−ヘキセン、4,4−ジメチル−1−ペンテン、4
−エチル−1−ヘキセン、3−エチル−1−ヘキセン、
1−オクテン、1−デセン、1−ドデセン、1−テトラ
デセン、1−ヘキサデセン、1−オクタデセン、1−エ
イコセンなどの炭素数2〜20のエチレンまたはα−オ
レフィン;シクロブテン、シクロペンテン、シクロヘキ
セン、3,4−ジメチルシクロペンテン、3−メチルシ
クロヘキセン、2−(2−メチルブチル)−1−シクロ
ヘキセン、シクロオクテン、3a,5,6,7a−テト
ラヒドロ−4,7−メタノ−1H−インデンなどのシク
ロオレフィン;1,4−ヘキサジエン、4−メチル−
1,4−ヘキサジエン、5−メチル−1,4−ヘキサジ
エン、1,7−オクタジエンなどの非共役ジエン;スチ
レン、α−メチルスチレン、o−メチルスチレン、p−
メチルスチレン、1,3−ジメチルスチレン、ビニルナ
フタレンなどの芳香族ビニル化合物;などが挙げられ
る。これらの中でも、エチレンが通常使用される。これ
らのビニル化合物は、それぞれ単独で、あるいは2種以
上を組み合わせて使用することができる。
【0043】環状オレフィン系モノマーとビニル化合物
との付加共重合体を製造するには、公知の方法を採用す
ることができ、例えば、モノマー成分を炭化水素溶媒中
でまたは溶媒が存在しない条件下で、溶媒または環状オ
レフィン系モノマーに可溶のバナジウム化合物と有機ア
ルミニウム化合物、好ましくはハロゲン含有有機アルミ
ニウム化合物とからなる触媒の存在下で共重合させる方
法を挙げることができる。炭化水素溶媒として、例え
ば、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、灯油などの脂肪族
炭化水素;シクロヘキサン、メチルシクロヘキサンなど
の脂環族炭化水素;ベンゼン、トルエン、キシレンなど
の芳香族炭化水素等が挙げられる。
との付加共重合体を製造するには、公知の方法を採用す
ることができ、例えば、モノマー成分を炭化水素溶媒中
でまたは溶媒が存在しない条件下で、溶媒または環状オ
レフィン系モノマーに可溶のバナジウム化合物と有機ア
ルミニウム化合物、好ましくはハロゲン含有有機アルミ
ニウム化合物とからなる触媒の存在下で共重合させる方
法を挙げることができる。炭化水素溶媒として、例え
ば、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、灯油などの脂肪族
炭化水素;シクロヘキサン、メチルシクロヘキサンなど
の脂環族炭化水素;ベンゼン、トルエン、キシレンなど
の芳香族炭化水素等が挙げられる。
【0044】重合温度は、通常−50℃〜100℃、好
ましくは−30℃〜80℃、より好ましくは−20℃〜
60℃であり、重合圧力は、通常、0〜50kg/cm
2、好ましくは0〜20kg/cm2である。本発明の環
状オレフィン系重合体(ii)は、特開平3−9523
5号公報などで公知の方法により、α,β−不飽和カル
ボン酸、その誘導体、スチレン系炭化水素、オレフィン
系不飽和結合及び加水分解可能な基を持つ有機ケイ素化
合物、不飽和エポキシ単量体などを用いて変性させても
よい。変性剤としては、無水マレイン酸などの不飽和カ
ルボン酸、これらの酸無水物または不飽和カルボン酸の
アルキルエステル等の誘導体が好ましい。
ましくは−30℃〜80℃、より好ましくは−20℃〜
60℃であり、重合圧力は、通常、0〜50kg/cm
2、好ましくは0〜20kg/cm2である。本発明の環
状オレフィン系重合体(ii)は、特開平3−9523
5号公報などで公知の方法により、α,β−不飽和カル
ボン酸、その誘導体、スチレン系炭化水素、オレフィン
系不飽和結合及び加水分解可能な基を持つ有機ケイ素化
合物、不飽和エポキシ単量体などを用いて変性させても
よい。変性剤としては、無水マレイン酸などの不飽和カ
ルボン酸、これらの酸無水物または不飽和カルボン酸の
アルキルエステル等の誘導体が好ましい。
【0045】(C)物性 本発明の環状オレフィン系重合体中の環状オレフィン結
合単位の含有量は、格別な制限はなく、使用目的に応じ
て適宜選択されるが、通常20重量%以上、好ましくは
40重量%以上のもの、より好ましくは60重量%以上
のものが耐薬品性に特に優れ好適である。本発明の環状
オレフィン系重合体は、80℃デカリン中で測定した極
限粘度〔η〕が0.01〜20dl/g、好ましくは
0.1〜10dl/g、より好ましくは0.2〜5dl
/g、最も好ましくは0.3〜1dl/gの範囲であ
る。環状オレフィン系重合体の極限粘度〔η〕が過度に
小さいと機械的強度が充分でなく(成形体としての形状
を保たなくなり)、逆に、過度に大きいと成形加工性が
充分でなく、いずれも好ましくない。
合単位の含有量は、格別な制限はなく、使用目的に応じ
て適宜選択されるが、通常20重量%以上、好ましくは
40重量%以上のもの、より好ましくは60重量%以上
のものが耐薬品性に特に優れ好適である。本発明の環状
オレフィン系重合体は、80℃デカリン中で測定した極
限粘度〔η〕が0.01〜20dl/g、好ましくは
0.1〜10dl/g、より好ましくは0.2〜5dl
/g、最も好ましくは0.3〜1dl/gの範囲であ
る。環状オレフィン系重合体の極限粘度〔η〕が過度に
小さいと機械的強度が充分でなく(成形体としての形状
を保たなくなり)、逆に、過度に大きいと成形加工性が
充分でなく、いずれも好ましくない。
【0046】本発明の環状オレフィン系重合体の分子量
分布は、格別な限定はないが、トルエンを溶媒とするゲ
ル・パーミエーション・クロマトグラフィー(GPC)
により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量
(Mw)と数平均分子量(Mn)の比(Mw/Mn)
が、通常4.0以下、好ましくは3.0以下、より好ま
しくは2.5以下であるときに、加工性が高度に高めら
れ好適である。本発明の環状オレフィン系重合体のガラ
ス転移温度(Tg)は、使用目的に応じて適宜選択され
ればよいが、シリコンウェーハのキャリアー等の成形用
材料として用いる場合には、通常30〜300℃、好ま
しくは50℃〜250℃、より好ましくは100〜20
0℃の範囲が好適である。
分布は、格別な限定はないが、トルエンを溶媒とするゲ
ル・パーミエーション・クロマトグラフィー(GPC)
により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量
(Mw)と数平均分子量(Mn)の比(Mw/Mn)
が、通常4.0以下、好ましくは3.0以下、より好ま
しくは2.5以下であるときに、加工性が高度に高めら
れ好適である。本発明の環状オレフィン系重合体のガラ
ス転移温度(Tg)は、使用目的に応じて適宜選択され
ればよいが、シリコンウェーハのキャリアー等の成形用
材料として用いる場合には、通常30〜300℃、好ま
しくは50℃〜250℃、より好ましくは100〜20
0℃の範囲が好適である。
【0047】(D)異物 本発明の環状オレフィン系重合体及び成形用材料は、粒
径0.5μm以上の異物粒子が3×104個/g以下、
好ましくは1×104個/g以下、より好ましくは0.
5×104個/g以下であることを特徴とする。環状オ
レフィン系重合体中の粒径0.5μm以上の異物粒子を
低減したものが、例えば、特開平3−57615号公報
に開示されているが、重合体中の粒径0.5μm以上の
異物粒子数は少なくとも6×104個/g程度であり、
超音波洗浄等での異物粒子の発生を無くすには不十分で
ある。
径0.5μm以上の異物粒子が3×104個/g以下、
好ましくは1×104個/g以下、より好ましくは0.
5×104個/g以下であることを特徴とする。環状オ
レフィン系重合体中の粒径0.5μm以上の異物粒子を
低減したものが、例えば、特開平3−57615号公報
に開示されているが、重合体中の粒径0.5μm以上の
異物粒子数は少なくとも6×104個/g程度であり、
超音波洗浄等での異物粒子の発生を無くすには不十分で
ある。
【0048】環状オレフィン系重合体中の異物の含有量
は、光散乱式微粒子検出器を用いて測定できる。異物の
形状は、通常、粒状であるが、それに限定されない。異
物の内容も、外部から混入した不純物のほか、触媒残
渣、ゲル化物、副反応物など、環状オレフィン系重合体
に相溶化しないものの全てを含む。そして、光散乱式微
粒子検出器を用いて測定される粒径0.5μm以上のも
のを異物とする。本発明の粒径0.5μm以上の異物の
含有量が少ない環状オレフィン系重合体の製造方法は、
格別な制限はないが、例えば、環状オレフィン系重合体
を溶解させた重合体含有溶液を、(1)口径が0.5μ
m以下、好ましくは0.3μm以下の機械的フィルター
で少なくとも2回濾過する方法、(2)電荷的捕捉機能
を有する濾過フィルターで濾過する方法などを挙げるこ
とができる。これらの方法の中でも、(2)の電荷的捕
捉機能を有する濾過フィルターを用いる方法が、微細異
物の除去能が高く、目開きによる機械的フィルターによ
る濾過では通過する微細異物が取り除けられ、濾過後の
再凝集による異物の再生成などが防止されるので好適で
ある。
は、光散乱式微粒子検出器を用いて測定できる。異物の
形状は、通常、粒状であるが、それに限定されない。異
物の内容も、外部から混入した不純物のほか、触媒残
渣、ゲル化物、副反応物など、環状オレフィン系重合体
に相溶化しないものの全てを含む。そして、光散乱式微
粒子検出器を用いて測定される粒径0.5μm以上のも
のを異物とする。本発明の粒径0.5μm以上の異物の
含有量が少ない環状オレフィン系重合体の製造方法は、
格別な制限はないが、例えば、環状オレフィン系重合体
を溶解させた重合体含有溶液を、(1)口径が0.5μ
m以下、好ましくは0.3μm以下の機械的フィルター
で少なくとも2回濾過する方法、(2)電荷的捕捉機能
を有する濾過フィルターで濾過する方法などを挙げるこ
とができる。これらの方法の中でも、(2)の電荷的捕
捉機能を有する濾過フィルターを用いる方法が、微細異
物の除去能が高く、目開きによる機械的フィルターによ
る濾過では通過する微細異物が取り除けられ、濾過後の
再凝集による異物の再生成などが防止されるので好適で
ある。
【0049】環状オレフィン系重合体を溶解した溶液と
しては、通常、環状オレフィン系モノマーまたは環状オ
レフィン系モノマーと共重合可能なビニル化合物とを
(共)重合した後の重合体含有溶液、または、水素添加
反応した後の反応溶液がそのまま用いられる。濾過の際
の重合体含有溶液の濃度は、通常1〜40重量%、好ま
しくは5〜35重量%、より好ましくは10〜30重量
%である。重合体含有溶液の濃度が過度に低いと大量の
溶媒を処理する必要があり、逆に、過度に溶液濃度が高
いと濾過性が低下する。重合反応後または水素添加反応
後の溶液濃度は、通常、10〜25重量%程度であるの
で、濃縮や希釈をすることなく濾過すればよい。
しては、通常、環状オレフィン系モノマーまたは環状オ
レフィン系モノマーと共重合可能なビニル化合物とを
(共)重合した後の重合体含有溶液、または、水素添加
反応した後の反応溶液がそのまま用いられる。濾過の際
の重合体含有溶液の濃度は、通常1〜40重量%、好ま
しくは5〜35重量%、より好ましくは10〜30重量
%である。重合体含有溶液の濃度が過度に低いと大量の
溶媒を処理する必要があり、逆に、過度に溶液濃度が高
いと濾過性が低下する。重合反応後または水素添加反応
後の溶液濃度は、通常、10〜25重量%程度であるの
で、濃縮や希釈をすることなく濾過すればよい。
【0050】電荷的捕捉機能を有するフィルターは、電
気的に荷電異物を捕捉除去するもので、通常は、濾材に
電荷を付与したものが用いられる。一般的にはゼータ電
位を制御したゼータ電位濾過フィルターが用いられる。
ゼータ電位濾過フィルターとしては、一般的には、例え
ば、特表平4−504379号公報などに記載されてい
るセルロース繊維/シリカ/陽電荷変性剤(ポリアミン
エピクロロヒドリン樹脂、脂肪族ポリアミンなど)のよ
うな、濾材に陽電荷変性剤を付与したフィルターなどが
用いられる。
気的に荷電異物を捕捉除去するもので、通常は、濾材に
電荷を付与したものが用いられる。一般的にはゼータ電
位を制御したゼータ電位濾過フィルターが用いられる。
ゼータ電位濾過フィルターとしては、一般的には、例え
ば、特表平4−504379号公報などに記載されてい
るセルロース繊維/シリカ/陽電荷変性剤(ポリアミン
エピクロロヒドリン樹脂、脂肪族ポリアミンなど)のよ
うな、濾材に陽電荷変性剤を付与したフィルターなどが
用いられる。
【0051】その他の濾材としては、例えば、ポリプロ
ピレン製、ポリエチレン製、PTFE製などの繊維製ま
たはメンブランフィルター、セルロース製の繊維製フィ
ルター、ガラス繊維製フィルター、珪藻土などの無機物
製フィルター、金属繊維製フィルターなどが挙げられ
る。その他の陽電荷変性剤としては、例えば、メラミン
ホルムアルデヒド陽イオンコロイド、無機陽イオンコロ
イドシリカ、などが挙げられる。市場では、陽電荷変性
濾過フィルターが、キュノ社によって商標「ゼータプラ
ス」で販売されている。電荷的捕捉機能を有する濾過フ
ィルターでの濾過は、処理能力が必ずしも高くないの
で、通常は、機械的濾過フィルターと組み合わせて行わ
れる。組み合わせる順番は、格別制限はないが、通常、
機械的濾過フィルター、次いで電荷的捕捉機能フィルタ
ーの順で使用される。
ピレン製、ポリエチレン製、PTFE製などの繊維製ま
たはメンブランフィルター、セルロース製の繊維製フィ
ルター、ガラス繊維製フィルター、珪藻土などの無機物
製フィルター、金属繊維製フィルターなどが挙げられ
る。その他の陽電荷変性剤としては、例えば、メラミン
ホルムアルデヒド陽イオンコロイド、無機陽イオンコロ
イドシリカ、などが挙げられる。市場では、陽電荷変性
濾過フィルターが、キュノ社によって商標「ゼータプラ
ス」で販売されている。電荷的捕捉機能を有する濾過フ
ィルターでの濾過は、処理能力が必ずしも高くないの
で、通常は、機械的濾過フィルターと組み合わせて行わ
れる。組み合わせる順番は、格別制限はないが、通常、
機械的濾過フィルター、次いで電荷的捕捉機能フィルタ
ーの順で使用される。
【0052】機械的濾過フィルターとしては、溶媒によ
って悪影響を受けないものであれば特に限定はされず、
例えば、ポリプロピレン製、ポリエチレン製、PTFE
製などの繊維製またはメンブランフィルター、セルロー
ス製の繊維製フィルター、ガラス繊維製フィルター、珪
藻土などの無機物製フィルター、金属繊維製フィルター
などが挙げられる。機械的濾過フィルターの口径は、格
別制限はないが、通常10μm以下、好ましくは5μm
以下、より好ましくは1μm以下である。これらの機械
的濾過フィルターは、それぞれ単独で、あるいは2種以
上を組み合わせて用いることができる。
って悪影響を受けないものであれば特に限定はされず、
例えば、ポリプロピレン製、ポリエチレン製、PTFE
製などの繊維製またはメンブランフィルター、セルロー
ス製の繊維製フィルター、ガラス繊維製フィルター、珪
藻土などの無機物製フィルター、金属繊維製フィルター
などが挙げられる。機械的濾過フィルターの口径は、格
別制限はないが、通常10μm以下、好ましくは5μm
以下、より好ましくは1μm以下である。これらの機械
的濾過フィルターは、それぞれ単独で、あるいは2種以
上を組み合わせて用いることができる。
【0053】電荷的捕捉機能を有するフィルターを用い
ない場合には、機械的濾過フィルターの口径が0.5μ
m以下、好ましくは0.3μm以下のものを用いて2回
以上濾過操作を繰り返すことで達成される。濾過後の濾
液は、外部環境から異物が混入しないように密閉系で、
減圧下に加熱して揮発成分の除去を行い、例えば、クリ
ーンルーム内等のクリーン度の高い環境下、クリーン度
をクラス1000以下、好ましくはクラス100以下に
厳重に管理した環境で冷却・ペレット化することができ
る。
ない場合には、機械的濾過フィルターの口径が0.5μ
m以下、好ましくは0.3μm以下のものを用いて2回
以上濾過操作を繰り返すことで達成される。濾過後の濾
液は、外部環境から異物が混入しないように密閉系で、
減圧下に加熱して揮発成分の除去を行い、例えば、クリ
ーンルーム内等のクリーン度の高い環境下、クリーン度
をクラス1000以下、好ましくはクラス100以下に
厳重に管理した環境で冷却・ペレット化することができ
る。
【0054】(E)成形用材料 本発明では、前記の環状オレフィン系重合体を成形材料
として使用する。本発明の成形用材料は、樹脂工業分野
で通常使用される各種配合剤を添加することができる。
本発明においては、特に安定剤を配合することにより、
成形体の安定性が格段に向上し、薬品処理や超音波洗浄
時の異物の発生を更に防ぐことができるので好適であ
る。安定剤としては、例えば、フェノール系酸化防止
剤、リン系酸化防止剤、イオウ系酸化防止剤などが挙げ
られ、これらの中でも、フェノール系酸化防止剤が好ま
しく、アルキル置換フェノール系酸化防止剤が特に好ま
しい。
として使用する。本発明の成形用材料は、樹脂工業分野
で通常使用される各種配合剤を添加することができる。
本発明においては、特に安定剤を配合することにより、
成形体の安定性が格段に向上し、薬品処理や超音波洗浄
時の異物の発生を更に防ぐことができるので好適であ
る。安定剤としては、例えば、フェノール系酸化防止
剤、リン系酸化防止剤、イオウ系酸化防止剤などが挙げ
られ、これらの中でも、フェノール系酸化防止剤が好ま
しく、アルキル置換フェノール系酸化防止剤が特に好ま
しい。
【0055】フェノール系酸化防止剤としては、従来公
知のものが使用でき、例えば、2−t−ブチル−6−
(3−t−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルベンジ
ル)−4−メチルフェニル アクリレート、2、4−ジ
−t−アミル−6−(1−(3,5−ジ−t−アミル−
2−ヒドロキシフェニル)エチル)フェニル アクリレ
ートなどの特開昭63−179953号公報や特開平1
−168643号公報に記載されるアクリレート系化合
物;2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルフェノール、
2,6−ジ−t−ブチル−4−エチルフェノール、オク
タデシル−3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロ
キシフェニル)プロピオネート、2,2′−メチレン−
ビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、4,
4′−ブチリデン−ビス(6−t−ブチル−m−クレゾ
ール)、4,4′−チオビス(3−メチル−6−t−ブ
チルフェノール)、ビス(3−シクロヘキシル−2−ヒ
ドロキシ−5−メチルフェニル)メタン、3,9−ビス
(2−(3−(3−t−ブチル−4−ヒドロキシ−5−
メチルフェニル)プロピオニルオキシ)−1,1−ジメ
チルエチル)−2,4,8,10−テトラオキサスピロ
[5,5]ウンデカン、1,1,3−トリス(2−メチ
ル−4−ヒドロキシ−5−t−ブチルフェニル)ブタ
ン、1,3,5−トリメチル−2,4,6−トリス
(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)
ベンゼン、テトラキス(メチレン−3−(3′,5′−
ジ−t−ブチル−4′−ヒドロキシフェニル)プロピオ
ネート)メタン[すなわち、ペンタエリスリチル−テト
ラキス〔3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキ
シフェニル)プロピオネート〕]、トリエチレングリコ
ール ビス(3−(3−t−ブチル−4−ヒドロキシ−
5−メチルフェニル)プロピオネート)、トコフェロー
ルなどのアルキル置換フェノール系化合物;6−(4−
ヒドロキシ−3,5−ジ−t−ブチルアニリノ)−2,
4−ビス−オクチルチオ−1,3,5−トリアジン、6
−(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルアニリノ)−
2,4−ビス−オクチルチオ−1,3,5−トリアジ
ン、6−(4−ヒドロキシ−3−メチル−5−t−ブチ
ルアニリノ)−2,4−ビス−オクチルチオ−1,3,
5−トリアジン、2−オクチルチオ−4,6−ビス−
(3,5−ジ−t−ブチル−4−オキシアニリノ)−
1,3,5−トリアジンなどのトリアジン基含有フェノ
ール系化合物;などが挙げられる。
知のものが使用でき、例えば、2−t−ブチル−6−
(3−t−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルベンジ
ル)−4−メチルフェニル アクリレート、2、4−ジ
−t−アミル−6−(1−(3,5−ジ−t−アミル−
2−ヒドロキシフェニル)エチル)フェニル アクリレ
ートなどの特開昭63−179953号公報や特開平1
−168643号公報に記載されるアクリレート系化合
物;2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルフェノール、
2,6−ジ−t−ブチル−4−エチルフェノール、オク
タデシル−3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロ
キシフェニル)プロピオネート、2,2′−メチレン−
ビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、4,
4′−ブチリデン−ビス(6−t−ブチル−m−クレゾ
ール)、4,4′−チオビス(3−メチル−6−t−ブ
チルフェノール)、ビス(3−シクロヘキシル−2−ヒ
ドロキシ−5−メチルフェニル)メタン、3,9−ビス
(2−(3−(3−t−ブチル−4−ヒドロキシ−5−
メチルフェニル)プロピオニルオキシ)−1,1−ジメ
チルエチル)−2,4,8,10−テトラオキサスピロ
[5,5]ウンデカン、1,1,3−トリス(2−メチ
ル−4−ヒドロキシ−5−t−ブチルフェニル)ブタ
ン、1,3,5−トリメチル−2,4,6−トリス
(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)
ベンゼン、テトラキス(メチレン−3−(3′,5′−
ジ−t−ブチル−4′−ヒドロキシフェニル)プロピオ
ネート)メタン[すなわち、ペンタエリスリチル−テト
ラキス〔3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキ
シフェニル)プロピオネート〕]、トリエチレングリコ
ール ビス(3−(3−t−ブチル−4−ヒドロキシ−
5−メチルフェニル)プロピオネート)、トコフェロー
ルなどのアルキル置換フェノール系化合物;6−(4−
ヒドロキシ−3,5−ジ−t−ブチルアニリノ)−2,
4−ビス−オクチルチオ−1,3,5−トリアジン、6
−(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルアニリノ)−
2,4−ビス−オクチルチオ−1,3,5−トリアジ
ン、6−(4−ヒドロキシ−3−メチル−5−t−ブチ
ルアニリノ)−2,4−ビス−オクチルチオ−1,3,
5−トリアジン、2−オクチルチオ−4,6−ビス−
(3,5−ジ−t−ブチル−4−オキシアニリノ)−
1,3,5−トリアジンなどのトリアジン基含有フェノ
ール系化合物;などが挙げられる。
【0056】リン系酸化防止剤としては、一般の樹脂工
業で通常使用されているものであれば格別な制限はな
く、例えば、トリフェニルホスファイト、ジフェニルイ
ソデシルホスファイト、フェニルジイソデシルホスファ
イト、トリス(ノニルフェニル)ホスファイト、トリス
(ジノニルフェニル)ホスファイト、トリス(2,4−
ジ−t−ブチルフェニル)ホスファイト、トリス(2−
t−ブチル−4−メチルフェニル)ホスファイト、トリ
ス(シクロヘキシルフェニル)ホスファイト、2,2−
メチレンビス(4,6−ジ−t−ブチルフェニル)オク
チルホスファイト、9,10−ジヒドロ−9−オキサ−
10−ホスファフェナントレン−10−オキサイド、1
0−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジ
ル)−9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスフ
ァフェナントレン−10−オキサイド、10−デシロキ
シ−9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスファ
フェナントレンなどのモノホスファイト系化合物;4,
4′−ブチリデン−ビス(3−メチル−6−t−ブチル
フェニル−ジ−トリデシルホスファイト)、4,4′−
イソプロピリデン−ビス(フェニル−ジ−アルキル(C
12〜C15)ホスファイト)、4,4′−イソプロピ
リデン−ビス(ジフェニルモノアルキル(C12〜C1
5)ホスファイト)、1,1,3−トリス(2−メチル
−4−ジ−トリデシルホスファイト−5−t−ブチルフ
ェニル)ブタン、テトラキス(2,4−ジ−t−ブチル
フェニル)−4,4′−ビフェニレンジホスファイト、
サイクリックネオペンタンテトライルビス(オクタデシ
ルホスファイト)、サイクリックネオペンタンテトライ
ルビス(イソデシルホスファイト)、サイクリックネオ
ペンタンテトライルビス(ノニルフェニルホスファイ
ト)、サイクリックネオペンタンテトライルビス(2,
4−ジ−t−ブチルフェニルホスファイト)、サイクリ
ックネオペンタンテトライルビス(2,4−ジメチルフ
ェニルホスファイト)、サイクリックネオペンタンテト
ライルビス(2,6−ジ−t−ブチルフェニルホスファ
イト)などのジホスファイト系化合物などが挙げられ
る。これらの中でも、モノホスファイト系化合物が好ま
しく、トリス(ノニルフェニル)ホスファイト、トリス
(ジノニルフェニル)ホスファイト、トリス(2,4−
ジ−t−ブチルフェニル)ホスファイトなどが特に好ま
しい。
業で通常使用されているものであれば格別な制限はな
く、例えば、トリフェニルホスファイト、ジフェニルイ
ソデシルホスファイト、フェニルジイソデシルホスファ
イト、トリス(ノニルフェニル)ホスファイト、トリス
(ジノニルフェニル)ホスファイト、トリス(2,4−
ジ−t−ブチルフェニル)ホスファイト、トリス(2−
t−ブチル−4−メチルフェニル)ホスファイト、トリ
ス(シクロヘキシルフェニル)ホスファイト、2,2−
メチレンビス(4,6−ジ−t−ブチルフェニル)オク
チルホスファイト、9,10−ジヒドロ−9−オキサ−
10−ホスファフェナントレン−10−オキサイド、1
0−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジ
ル)−9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスフ
ァフェナントレン−10−オキサイド、10−デシロキ
シ−9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスファ
フェナントレンなどのモノホスファイト系化合物;4,
4′−ブチリデン−ビス(3−メチル−6−t−ブチル
フェニル−ジ−トリデシルホスファイト)、4,4′−
イソプロピリデン−ビス(フェニル−ジ−アルキル(C
12〜C15)ホスファイト)、4,4′−イソプロピ
リデン−ビス(ジフェニルモノアルキル(C12〜C1
5)ホスファイト)、1,1,3−トリス(2−メチル
−4−ジ−トリデシルホスファイト−5−t−ブチルフ
ェニル)ブタン、テトラキス(2,4−ジ−t−ブチル
フェニル)−4,4′−ビフェニレンジホスファイト、
サイクリックネオペンタンテトライルビス(オクタデシ
ルホスファイト)、サイクリックネオペンタンテトライ
ルビス(イソデシルホスファイト)、サイクリックネオ
ペンタンテトライルビス(ノニルフェニルホスファイ
ト)、サイクリックネオペンタンテトライルビス(2,
4−ジ−t−ブチルフェニルホスファイト)、サイクリ
ックネオペンタンテトライルビス(2,4−ジメチルフ
ェニルホスファイト)、サイクリックネオペンタンテト
ライルビス(2,6−ジ−t−ブチルフェニルホスファ
イト)などのジホスファイト系化合物などが挙げられ
る。これらの中でも、モノホスファイト系化合物が好ま
しく、トリス(ノニルフェニル)ホスファイト、トリス
(ジノニルフェニル)ホスファイト、トリス(2,4−
ジ−t−ブチルフェニル)ホスファイトなどが特に好ま
しい。
【0057】イオウ系酸化防止剤としては、例えば、ジ
ラウリル 3,3′−チオジプロピオネート、ジミリス
チル 3,3′−チオジプロピオネート、ジステアリル
3,3′−チオジプロピオネート、ラウリルステアリ
ル 3,3′−チオジプロピオネート、ペンタエリスリ
トール−テトラキス−(β−ラウリル−チオ−プロピオ
ネート)、3,9−ビス(2−ドデシルチオエチル)−
2,4,8,10−テトラオキサスピロ[5,5]ウン
デカンなどが挙げられる。これらの安定剤は、それぞれ
単独で、あるいは2種以上組み合わせて用いられる。安
定剤の配合量は、使用目的に応じて適宜選択されるが、
環状オレフィン系重合体100重量部に対して、通常
0.001〜10重量部、好ましくは0.005〜5重
量部、より好ましくは0.01〜3重量部の範囲であ
る。
ラウリル 3,3′−チオジプロピオネート、ジミリス
チル 3,3′−チオジプロピオネート、ジステアリル
3,3′−チオジプロピオネート、ラウリルステアリ
ル 3,3′−チオジプロピオネート、ペンタエリスリ
トール−テトラキス−(β−ラウリル−チオ−プロピオ
ネート)、3,9−ビス(2−ドデシルチオエチル)−
2,4,8,10−テトラオキサスピロ[5,5]ウン
デカンなどが挙げられる。これらの安定剤は、それぞれ
単独で、あるいは2種以上組み合わせて用いられる。安
定剤の配合量は、使用目的に応じて適宜選択されるが、
環状オレフィン系重合体100重量部に対して、通常
0.001〜10重量部、好ましくは0.005〜5重
量部、より好ましくは0.01〜3重量部の範囲であ
る。
【0058】その他の配合剤としては、例えば、スリッ
プ剤;アンチブロッキング剤;染料;顔料;滑剤;難燃
剤;帯電防止剤;ステアリン酸亜鉛、ステアリン酸カル
シウム、1,2−ヒドロキシステアリン酸カルシウムな
どの脂肪酸金属塩;グリセリンモノステアレート、グリ
セリンジステアレート、ペンタエリスリトールジステア
レート、ペンタエリスリトールトリステアレートなどの
多価アルコール脂肪酸エステル;などを挙げることがで
きる。これらのその他の配合剤は、それぞれ単独で、あ
るいは2種以上を組み合わせて用いることができる。そ
の他の配合剤の配合量は、本発明の目的を損なわない範
囲で適宜選択され、また、粒径0.5μm以上の異物が
成形用材料全体の中で3×104を超えない範囲で適宜
選択される。その他の配合剤の粒径が0.5μmを超え
ないものを用いるのが、好適である。これらの配合剤の
混合は、前記環状オレフィン系重合体の単離後に行って
もよいが、濾過前の重合体含有溶液で添加し混合するの
が好適である。すなわち、本発明の配合剤を添加した成
形用材料の好ましい製造方法としては、重合体含有溶液
に配合剤を溶解させ、上記条件の濾過を行った後にクリ
ーン度クラス1000以下の環境下で溶媒を除去する方
法など挙げられる。
プ剤;アンチブロッキング剤;染料;顔料;滑剤;難燃
剤;帯電防止剤;ステアリン酸亜鉛、ステアリン酸カル
シウム、1,2−ヒドロキシステアリン酸カルシウムな
どの脂肪酸金属塩;グリセリンモノステアレート、グリ
セリンジステアレート、ペンタエリスリトールジステア
レート、ペンタエリスリトールトリステアレートなどの
多価アルコール脂肪酸エステル;などを挙げることがで
きる。これらのその他の配合剤は、それぞれ単独で、あ
るいは2種以上を組み合わせて用いることができる。そ
の他の配合剤の配合量は、本発明の目的を損なわない範
囲で適宜選択され、また、粒径0.5μm以上の異物が
成形用材料全体の中で3×104を超えない範囲で適宜
選択される。その他の配合剤の粒径が0.5μmを超え
ないものを用いるのが、好適である。これらの配合剤の
混合は、前記環状オレフィン系重合体の単離後に行って
もよいが、濾過前の重合体含有溶液で添加し混合するの
が好適である。すなわち、本発明の配合剤を添加した成
形用材料の好ましい製造方法としては、重合体含有溶液
に配合剤を溶解させ、上記条件の濾過を行った後にクリ
ーン度クラス1000以下の環境下で溶媒を除去する方
法など挙げられる。
【0059】(F)成形体 本発明の成形用材料は、射出成形、プレス成形、押出成
形、回転成形等の通常の成形法により各種成形体に成形
できる。特に、本発明の成形用材料は、射出成形が可能
であり、各種の成形体を製造できる。本発明の成形体
は、透明性、耐熱性、耐水性、耐酸・アルカリ性などの
特性に優れていることに加え、粒径0.5μm以上の異
物の含有量が少ないという特徴があり、ICキャリア
ー、ウェーハキャリアー、情報記録媒体キャリアー、キ
ャリアーテープ、ウェーハシッパー等のキャリア;これ
らの蓋;超純水容器、超純水用配管材等の超純水設備用
材料;配管用継ぎ手、薬液容器、洗浄槽などとして有用
である。本発明の成形体は、CD、CD−ROM、レー
ザーディスク、デジタル・ビデオ・ディスクなどの光デ
ィスク、光カード、光テープなどの光学記録媒体;光学
レンズ、プリズム、ビームスプリッター、レンズプリズ
ム、光学ミラー、光ファイバー、LED封止材、液晶表
示用基板、液晶表示用フィルム、液晶表示用導光板、光
学フィルム、などとしても使用することができる。
形、回転成形等の通常の成形法により各種成形体に成形
できる。特に、本発明の成形用材料は、射出成形が可能
であり、各種の成形体を製造できる。本発明の成形体
は、透明性、耐熱性、耐水性、耐酸・アルカリ性などの
特性に優れていることに加え、粒径0.5μm以上の異
物の含有量が少ないという特徴があり、ICキャリア
ー、ウェーハキャリアー、情報記録媒体キャリアー、キ
ャリアーテープ、ウェーハシッパー等のキャリア;これ
らの蓋;超純水容器、超純水用配管材等の超純水設備用
材料;配管用継ぎ手、薬液容器、洗浄槽などとして有用
である。本発明の成形体は、CD、CD−ROM、レー
ザーディスク、デジタル・ビデオ・ディスクなどの光デ
ィスク、光カード、光テープなどの光学記録媒体;光学
レンズ、プリズム、ビームスプリッター、レンズプリズ
ム、光学ミラー、光ファイバー、LED封止材、液晶表
示用基板、液晶表示用フィルム、液晶表示用導光板、光
学フィルム、などとしても使用することができる。
【0060】
【実施例】以下、本発明について、参考例、実施例及び
比較例を挙げてより具体的に説明するが、本発明は、こ
れらの実施例のみに限定されるものではない。また、以
下の各例において、特に断りのない限り、部および%
は、重量基準である。
比較例を挙げてより具体的に説明するが、本発明は、こ
れらの実施例のみに限定されるものではない。また、以
下の各例において、特に断りのない限り、部および%
は、重量基準である。
【0061】[参考例1]6−メチル−1,4:5,8
−ジメタノ−1,4,4a,5,6,7,8,8a−オ
クタヒドロナフタレン(以下、MTDという。)20部
をシクロヘキサン300部に溶解し、分子量調節剤とし
て1−ヘキセン1部、トリエチルアルミニウムの15%
シクロヘキサン溶液10部、及びトリエチルアミン3部
を添加した。この溶液を30℃に保ちながら、MTD8
0部、及び四塩化チタンの20%シクロヘキサン溶液9
部を2時間にわたって連続的に反応系に添加して、開環
重合を行った。MTDと四塩化チタンの全量を添加した
後、MTDのポリマーへの転化率82%の時点で六塩化
タングステンの0.8%シクロヘキサン溶液5部を添加
し、さらに30分間攪拌し、重合を継続した。MTDの
ポリマーへの転化率は、99%であった。
−ジメタノ−1,4,4a,5,6,7,8,8a−オ
クタヒドロナフタレン(以下、MTDという。)20部
をシクロヘキサン300部に溶解し、分子量調節剤とし
て1−ヘキセン1部、トリエチルアルミニウムの15%
シクロヘキサン溶液10部、及びトリエチルアミン3部
を添加した。この溶液を30℃に保ちながら、MTD8
0部、及び四塩化チタンの20%シクロヘキサン溶液9
部を2時間にわたって連続的に反応系に添加して、開環
重合を行った。MTDと四塩化チタンの全量を添加した
後、MTDのポリマーへの転化率82%の時点で六塩化
タングステンの0.8%シクロヘキサン溶液5部を添加
し、さらに30分間攪拌し、重合を継続した。MTDの
ポリマーへの転化率は、99%であった。
【0062】[参考例2]参考例1の初期仕込みMTD
20部と後添加MTD80部に代えて、初期仕込みモノ
マーをMTD5部とジシクロペンタジエン(以下、DC
Pという。)15部、後添加モノマーをMTD20部と
ジシクロペンタジエン60部とする以外は参考例1と同
様にして開環重合を行った。MTD及びDCPのポリマ
ーへの転化率は、それぞれ99%及び99%であった。
20部と後添加MTD80部に代えて、初期仕込みモノ
マーをMTD5部とジシクロペンタジエン(以下、DC
Pという。)15部、後添加モノマーをMTD20部と
ジシクロペンタジエン60部とする以外は参考例1と同
様にして開環重合を行った。MTD及びDCPのポリマ
ーへの転化率は、それぞれ99%及び99%であった。
【0063】[実施例1]参考例1で得られた開環重合
体溶液100部に、イソプロピルアルコール0.5部及
び水0.5部を添加し、80℃で1時間攪拌した。反応
終了後、無水硫酸マグネシウム1.5部を添加して、攪
拌しながら溶液を30℃まで冷却し、珪藻土(ラジオラ
イト#800、昭和化学社製)を濾過層とし、加圧濾過
装置(フンダフィルター、石川島播磨重工社製)を使用
して不溶化物を含んだ溶液を2.5kg/cm2の圧力
で加圧濾過し、透明な開環重合体溶液を得た。上記開環
重合体溶液100部に、水素化触媒としてニッケル−ア
ルミナ触媒(日揮化学社製)1部を加え、水素により5
0kg/cm2に加圧して、攪拌しながら温度200℃
まで加温した後、4時間反応させ、開環重合体の水素化
ポリマーを合成した。
体溶液100部に、イソプロピルアルコール0.5部及
び水0.5部を添加し、80℃で1時間攪拌した。反応
終了後、無水硫酸マグネシウム1.5部を添加して、攪
拌しながら溶液を30℃まで冷却し、珪藻土(ラジオラ
イト#800、昭和化学社製)を濾過層とし、加圧濾過
装置(フンダフィルター、石川島播磨重工社製)を使用
して不溶化物を含んだ溶液を2.5kg/cm2の圧力
で加圧濾過し、透明な開環重合体溶液を得た。上記開環
重合体溶液100部に、水素化触媒としてニッケル−ア
ルミナ触媒(日揮化学社製)1部を加え、水素により5
0kg/cm2に加圧して、攪拌しながら温度200℃
まで加温した後、4時間反応させ、開環重合体の水素化
ポリマーを合成した。
【0064】不均一の水素化触媒を含んだポリマー含量
約23%の反応液を珪藻土(ラジオライト#500、昭
和化学製)を濾過層として、上記と同様に、圧力2.5
kg/cm2で加圧濾過して、無色透明な溶液(溶液
I)を得た。溶液(I)100部に酸化防止剤としてペ
ンタエリスリチル−テトラキス〔3−(3,5−ジ−t
−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート〕
0.02部を加えて溶解し、金属ファイバー製フィルタ
ー(口径3μm、ニチダイ社製)及び金属ファイバー製
フィルター(口径0.2μm、ニチダイ社製)にて濾過
して異物を除去し、溶液(II)を得た。溶液(II)
を用いて、揮発成分であるシクロヘキサンを円筒型濃縮
乾燥器(日立製作所製)によって、運転条件を第1ステ
ップ:温度270℃、圧力100Torr、第2ステッ
プ:270℃、圧力5Torrとして除去した。クラス
100のクリーンルーム内で、溶融状態のポリマーをダ
イから押し出し、水冷した後、ペレタイザー(OSP−
2、長田製作所製)でカッティングし、ペレット21部
(ポリマーA)を得た。
約23%の反応液を珪藻土(ラジオライト#500、昭
和化学製)を濾過層として、上記と同様に、圧力2.5
kg/cm2で加圧濾過して、無色透明な溶液(溶液
I)を得た。溶液(I)100部に酸化防止剤としてペ
ンタエリスリチル−テトラキス〔3−(3,5−ジ−t
−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート〕
0.02部を加えて溶解し、金属ファイバー製フィルタ
ー(口径3μm、ニチダイ社製)及び金属ファイバー製
フィルター(口径0.2μm、ニチダイ社製)にて濾過
して異物を除去し、溶液(II)を得た。溶液(II)
を用いて、揮発成分であるシクロヘキサンを円筒型濃縮
乾燥器(日立製作所製)によって、運転条件を第1ステ
ップ:温度270℃、圧力100Torr、第2ステッ
プ:270℃、圧力5Torrとして除去した。クラス
100のクリーンルーム内で、溶融状態のポリマーをダ
イから押し出し、水冷した後、ペレタイザー(OSP−
2、長田製作所製)でカッティングし、ペレット21部
(ポリマーA)を得た。
【0065】ポリマーAは、表面を研磨したステンレス
製密閉容器に充填し、保管した。成形材料A10%のト
ルエン溶液をガスクロマトグラフィーで分析した結果、
残留シクロヘキサン量は、測定限界以下であった。ポリ
マーAは、無色透明で、80℃デカリン中で測定した極
限粘度〔η〕は、0.41dl/gであった。DSC分
析により測定したTgは、150℃であった。さらに、
重クロロホルム溶液として1H−NMRスペクトルによ
り測定した水素添加率は、ほぼ100%であった。成形
材料Aを0.2μmカートリッジフィルターにて濾過精
製したトルエンを用いて1.5%濃度の溶液とし、光散
乱式微粒子検出器(KS−58、リオン社製)を用い
て、粒径0.5μm以上の異物個数を測定した結果、
6.5×103個/gであった。トルエンを溶媒とする
GPCのポリスチレン換算で測定したMw/Mnは、
2.1であった。
製密閉容器に充填し、保管した。成形材料A10%のト
ルエン溶液をガスクロマトグラフィーで分析した結果、
残留シクロヘキサン量は、測定限界以下であった。ポリ
マーAは、無色透明で、80℃デカリン中で測定した極
限粘度〔η〕は、0.41dl/gであった。DSC分
析により測定したTgは、150℃であった。さらに、
重クロロホルム溶液として1H−NMRスペクトルによ
り測定した水素添加率は、ほぼ100%であった。成形
材料Aを0.2μmカートリッジフィルターにて濾過精
製したトルエンを用いて1.5%濃度の溶液とし、光散
乱式微粒子検出器(KS−58、リオン社製)を用い
て、粒径0.5μm以上の異物個数を測定した結果、
6.5×103個/gであった。トルエンを溶媒とする
GPCのポリスチレン換算で測定したMw/Mnは、
2.1であった。
【0066】[実施例2]実施例1で得られた溶液
(I)100部に酸化防止剤としてペンタエリスリチル
−テトラキス〔3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒ
ドロキシフェニル)プロピオネート〕0.02部を加え
て溶解し、実施例1で使用したのと同じ口径3μmのフ
ィルター及び口径0.2μmのフィルターにて2回濾過
して、異物を除去し、溶液(III)を得た。溶液(I
II)を用い、実施例1と同様にして、揮発成分を除去
し、ペレット19部(ポリマーB)を得た。ポリマーB
は、実施例1と同様にステンレス製密閉容器に充填し、
保管した。ポリマーBは、無色透明であり、実施例1と
同様にして分析した結果、残留シクロヘキサン量は測定
限界以下、極限粘度〔η〕は0.41dl/g、Tgは
150℃、Mw/Mnは2.1、粒径0.5μm以上の
異物個数は3.1×103個/gであった。
(I)100部に酸化防止剤としてペンタエリスリチル
−テトラキス〔3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒ
ドロキシフェニル)プロピオネート〕0.02部を加え
て溶解し、実施例1で使用したのと同じ口径3μmのフ
ィルター及び口径0.2μmのフィルターにて2回濾過
して、異物を除去し、溶液(III)を得た。溶液(I
II)を用い、実施例1と同様にして、揮発成分を除去
し、ペレット19部(ポリマーB)を得た。ポリマーB
は、実施例1と同様にステンレス製密閉容器に充填し、
保管した。ポリマーBは、無色透明であり、実施例1と
同様にして分析した結果、残留シクロヘキサン量は測定
限界以下、極限粘度〔η〕は0.41dl/g、Tgは
150℃、Mw/Mnは2.1、粒径0.5μm以上の
異物個数は3.1×103個/gであった。
【0067】[実施例3]実施例1で得られた溶液
(I)100部に酸化防止剤としてペンタエリスリチル
−テトラキス〔3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒ
ドロキシフェニル)プロピオネート〕0.02部を加え
て溶解し、実施例1で使用したのと同じ口径3μmのフ
ィルターで濾過した後、ゼータープラスフィルター30
S(口径0.5〜1μm、キュノ社製)にて濾過し、更
に実施例1で使用したのと同じ口径0.2μmのフィル
ターにて濾過して異物を除去し、溶液(IV)を得た。
溶液(IV)を用いて、実施例1と同様にして、揮発成
分を除去し、ペレット20部(ポリマーC)を得た。ポ
リマーCは、実施例1と同様にステンレス製密閉容器に
充填し、保管した。ポリマーCは、無色透明であり、実
施例1と同様にして分析した結果、残留シクロヘキサン
量は測定限界以下、極限粘度〔η〕は0.41dl/
g、Tgは150℃、Mw/Mnは2.1、粒径0.5
μm以上の異物個数は2.0×103個/gであった。
(I)100部に酸化防止剤としてペンタエリスリチル
−テトラキス〔3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒ
ドロキシフェニル)プロピオネート〕0.02部を加え
て溶解し、実施例1で使用したのと同じ口径3μmのフ
ィルターで濾過した後、ゼータープラスフィルター30
S(口径0.5〜1μm、キュノ社製)にて濾過し、更
に実施例1で使用したのと同じ口径0.2μmのフィル
ターにて濾過して異物を除去し、溶液(IV)を得た。
溶液(IV)を用いて、実施例1と同様にして、揮発成
分を除去し、ペレット20部(ポリマーC)を得た。ポ
リマーCは、実施例1と同様にステンレス製密閉容器に
充填し、保管した。ポリマーCは、無色透明であり、実
施例1と同様にして分析した結果、残留シクロヘキサン
量は測定限界以下、極限粘度〔η〕は0.41dl/
g、Tgは150℃、Mw/Mnは2.1、粒径0.5
μm以上の異物個数は2.0×103個/gであった。
【0068】[実施例4]ステンレス製密閉容器に代え
てポリエチレン製内袋入り紙袋に充填し、保管した以外
は実施例1と同様にして、ペレット18部(ポリマー
D)を得た。実施例1と同様にして分析した結果、残留
シクロヘキサン量は測定限界以下、極限粘度〔η〕は
0.41dl/g、Tgは150℃、Mw/Mnは2.
1、粒径0.5μm以上の異物個数は2.5×104個
/gであった。
てポリエチレン製内袋入り紙袋に充填し、保管した以外
は実施例1と同様にして、ペレット18部(ポリマー
D)を得た。実施例1と同様にして分析した結果、残留
シクロヘキサン量は測定限界以下、極限粘度〔η〕は
0.41dl/g、Tgは150℃、Mw/Mnは2.
1、粒径0.5μm以上の異物個数は2.5×104個
/gであった。
【0069】[実施例5]参考例2で得られた開環重合
体溶液100部を用いて、実施例1と同様に水素添加を
行い、無色透明な開環重合体水素化ポリマー溶液(溶液
V)を得た。溶液(V)100部に酸化防止剤としてペ
ンタエリスリチル−テトラキス〔3−(3,5−ジ−t
−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート〕
0.02部を加えて溶解し、実施例3と同様に処理し
て、揮発成分を除去し、ペレット19部(ポリマーE)
を得た。ポリマーEは、実施例1と同様にステンレス製
密閉容器に充填し、保管した。ポリマーEは、無色透明
であり、実施例1と同様にして分析した結果、残留シク
ロヘキサン量は測定限界以下、極限粘度〔η〕は0.4
5dl/g、Tgは106℃、Mw/Mnは2.0、粒
径0.5μm以上の異物個数は1.9×103個/gで
あった。
体溶液100部を用いて、実施例1と同様に水素添加を
行い、無色透明な開環重合体水素化ポリマー溶液(溶液
V)を得た。溶液(V)100部に酸化防止剤としてペ
ンタエリスリチル−テトラキス〔3−(3,5−ジ−t
−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート〕
0.02部を加えて溶解し、実施例3と同様に処理し
て、揮発成分を除去し、ペレット19部(ポリマーE)
を得た。ポリマーEは、実施例1と同様にステンレス製
密閉容器に充填し、保管した。ポリマーEは、無色透明
であり、実施例1と同様にして分析した結果、残留シク
ロヘキサン量は測定限界以下、極限粘度〔η〕は0.4
5dl/g、Tgは106℃、Mw/Mnは2.0、粒
径0.5μm以上の異物個数は1.9×103個/gで
あった。
【0070】[比較例1]実施例1で得られた溶液
(I)100部に酸化防止剤としてペンタエリスリチル
−テトラキス〔3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒ
ドロキシフェニル)プロピオネート〕0.02部を加え
て溶解し、実施例1で使用したのと同じ口径3μmのフ
ィルターで濾過した後、金属ファイバー製フィルター
(口径0.5μm、ニチダイ社製)にて濾過して異物を
除去し、溶液(VI)を得た。溶液(VI)を用いて、
実施例1と同様にして、揮発成分を除去し、ペレット2
0部(ポリマーF)を得た。ポリマーFは実施例4と同
様にポリエチレン製内袋入り紙袋に充填し、保管した。
ポリマーFは、無色透明であり、実施例1と同様にして
分析した結果、残留シクロヘキサン量は測定限界以下、
極限粘度〔η〕は0.41dl/g、Tgは150℃、
粒径0.5μm以上の異物個数は6.3×104個/g
であった。
(I)100部に酸化防止剤としてペンタエリスリチル
−テトラキス〔3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒ
ドロキシフェニル)プロピオネート〕0.02部を加え
て溶解し、実施例1で使用したのと同じ口径3μmのフ
ィルターで濾過した後、金属ファイバー製フィルター
(口径0.5μm、ニチダイ社製)にて濾過して異物を
除去し、溶液(VI)を得た。溶液(VI)を用いて、
実施例1と同様にして、揮発成分を除去し、ペレット2
0部(ポリマーF)を得た。ポリマーFは実施例4と同
様にポリエチレン製内袋入り紙袋に充填し、保管した。
ポリマーFは、無色透明であり、実施例1と同様にして
分析した結果、残留シクロヘキサン量は測定限界以下、
極限粘度〔η〕は0.41dl/g、Tgは150℃、
粒径0.5μm以上の異物個数は6.3×104個/g
であった。
【0071】[実施例6]実施例1で得られたポリマー
Aを成形材料として用い、クリーン度クラス1000の
クリーンルーム内に設置され、更にクリーンブースで金
型部分をクリーン度クラス100の環境に保持した射出
成形機(DISK5、住友重機械工業社製)により、樹
脂温度300℃、金型温度110℃で、上部サイズ=縦
150mm/横130mm、底部サイズ=縦145mm
/横120mm、深さ=130mmの容器を成形した。
得られた容器を60℃に加温した水酸化ナトリウム15
%水溶液で洗浄して脱脂した後、水で十分洗浄した。最
後に、クリーン度クラス1000のクリーンルーム内に
設置されたクリーンベンチでクリーン度クラス100以
下の環境に保持して、0.2μmメンブランフィルター
にて濾過精製した蒸留水を使用して洗浄した。この洗浄
した容器に、上記の0.2μmメンブランフィルターに
て濾過精製した蒸留水1.5リットルを入れた後、容器
内の水を採取し、光散乱式微粒子検出器(KS−58、
リオン社製)を用いて100ml中の粒径0.5μm以
上の異物個数を5回測定した結果、0〜3個/100m
lであった。同容器に、再度上記の0.2μmカートリ
ッジフィルターにて濾過精製した蒸留水1.5リットル
を入れた後、超音波洗浄器(UT−104、シャープ
製)を用いて39kHz、100Wの条件で5分間保持
した。容器内の水を採取し、上記と同様にして100m
l中の粒径0.5μm以上の異物個数を5回測定した結
果、0〜4個/100mlであった。
Aを成形材料として用い、クリーン度クラス1000の
クリーンルーム内に設置され、更にクリーンブースで金
型部分をクリーン度クラス100の環境に保持した射出
成形機(DISK5、住友重機械工業社製)により、樹
脂温度300℃、金型温度110℃で、上部サイズ=縦
150mm/横130mm、底部サイズ=縦145mm
/横120mm、深さ=130mmの容器を成形した。
得られた容器を60℃に加温した水酸化ナトリウム15
%水溶液で洗浄して脱脂した後、水で十分洗浄した。最
後に、クリーン度クラス1000のクリーンルーム内に
設置されたクリーンベンチでクリーン度クラス100以
下の環境に保持して、0.2μmメンブランフィルター
にて濾過精製した蒸留水を使用して洗浄した。この洗浄
した容器に、上記の0.2μmメンブランフィルターに
て濾過精製した蒸留水1.5リットルを入れた後、容器
内の水を採取し、光散乱式微粒子検出器(KS−58、
リオン社製)を用いて100ml中の粒径0.5μm以
上の異物個数を5回測定した結果、0〜3個/100m
lであった。同容器に、再度上記の0.2μmカートリ
ッジフィルターにて濾過精製した蒸留水1.5リットル
を入れた後、超音波洗浄器(UT−104、シャープ
製)を用いて39kHz、100Wの条件で5分間保持
した。容器内の水を採取し、上記と同様にして100m
l中の粒径0.5μm以上の異物個数を5回測定した結
果、0〜4個/100mlであった。
【0072】[実施例7〜9]実施例2〜5で得られた
ポリマーB〜Eを用い、実施例6と同様にして容器を成
形し、洗浄した。これらの容器を使用し、実施例6と同
様にして水中に浮遊する異物の量を測定した。結果を表
1に示した。
ポリマーB〜Eを用い、実施例6と同様にして容器を成
形し、洗浄した。これらの容器を使用し、実施例6と同
様にして水中に浮遊する異物の量を測定した。結果を表
1に示した。
【0073】[比較例2]比較例1得られたポリマーF
を用い、実施例6と同様にして容器を成形し、洗浄し
た。この容器を使用し、実施例6と同様にして水中に浮
遊する異物の量を測定した。結果を表1に示した。
を用い、実施例6と同様にして容器を成形し、洗浄し
た。この容器を使用し、実施例6と同様にして水中に浮
遊する異物の量を測定した。結果を表1に示した。
【0074】
【表1】
【0075】
【発明の効果】本発明によれば、粒径0.5μm以上の
異物の含有量が極めて少ない環状オレフィン系重合体、
該環状オレフィン系重合体を用いた成形体、及び該環状
オレフィン系重合体の製造方法が提供される。本発明の
環状オレフィン系重合体は、成形材料として、例えば、
集積回路作成時に使用されるシリコンウエーハのキャリ
アー用のプラスチックケースなど、微細な異物の存在や
発生を嫌う分野、あるいは表面の平滑性が高度に要求さ
れる分野などの各種成形品の用途に好適に使用すること
ができる。
異物の含有量が極めて少ない環状オレフィン系重合体、
該環状オレフィン系重合体を用いた成形体、及び該環状
オレフィン系重合体の製造方法が提供される。本発明の
環状オレフィン系重合体は、成形材料として、例えば、
集積回路作成時に使用されるシリコンウエーハのキャリ
アー用のプラスチックケースなど、微細な異物の存在や
発生を嫌う分野、あるいは表面の平滑性が高度に要求さ
れる分野などの各種成形品の用途に好適に使用すること
ができる。
Claims (5)
- 【請求項1】 式(1) 【化1】 または式(2) 【化2】 〔各式中の符号の意味は、次のとおりである。R1〜R4
は、それぞれ独立に、水素原子、炭化水素基、ハロゲン
原子、水酸基、エステル基、アルコキシ基、シアノ基、
アミド基、イミド基、シリル基、または極性基(すなわ
ち、ハロゲン原子、水酸基、エステル基、アルコキシ
基、シアノ基、アミド基、イミド基、またはシリル基)
で置換された炭化水素基である。ただし、R1〜R4は、
2つ以上が互いに結合して、不飽和結合、単環または多
環を形成していてもよく、この単環または多環は、二重
結合を有していても、芳香環を形成してもよい。R1と
R2とで、またはR3とR4とで、アルキリデン基を形成
していてもよい。R5及びR6は、それぞれ独立に、水素
原子、アルキル基、またはアリール基である。・・・
は、炭素−炭素の単結合または二重結合を表す。nとm
は、n+m=1、n=0.2〜1、m=0〜0.8の関
係にある。〕で表される繰り返し単位を有し、80℃デ
カリン中で測定した極限粘度〔η〕が0.01〜20d
l/gで、かつ、粒径0.5μm以上の異物の含有量が
3×104個/g以下であることを特徴とする環状オレ
フィン系重合体。 - 【請求項2】 前記の式(1)または式(2)で表され
る繰り返し単位を有する環状オレフィン系重合体の有機
溶媒溶液を、電荷的捕捉能を有するフィルターで濾過す
る工程を含むことを特徴とする80℃デカリン中で測定
した極限粘度〔η〕が0.01〜20dl/gで、か
つ、粒径0.5μm以上の異物の含有量が3×104個
/g以下である環状オレフィン系重合体の製造方法。 - 【請求項3】 前記の式(1)または式(2)で表され
る繰り返し単位を有する環状オレフィン系重合体を含ん
でなる成形用材料であって、該環状オレフィン系重合体
の80℃デカリン中で測定した極限粘度〔η〕が0.0
1〜20dl/gで、かつ、粒径0.5μm以上の異物
の含有量が3×104個/g以下であることを特徴とす
る成形用材料。 - 【請求項4】 請求項3記載の成形用材料を成形してな
る成形体。 - 【請求項5】 射出成形物である請求項4記載の成形
体。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8241294A JPH1060048A (ja) | 1996-08-23 | 1996-08-23 | 環状オレフィン系重合体及びその製造方法 |
| US08/915,328 US6277923B1 (en) | 1996-08-23 | 1997-08-20 | Cycloolefin-based polymer and process for producing the same |
| KR1019970039926A KR100530969B1 (ko) | 1996-08-23 | 1997-08-21 | 시클로올레핀-기재중합체및이의제조방법 |
| EP97114668A EP0827975B1 (en) | 1996-08-23 | 1997-08-25 | Cycloolefin-based polymer and process for producing the same |
| DE69736879T DE69736879T2 (de) | 1996-08-23 | 1997-08-25 | Polymer auf Basis von Cycloolefin und Verfahren zu seiner Herstellung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8241294A JPH1060048A (ja) | 1996-08-23 | 1996-08-23 | 環状オレフィン系重合体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1060048A true JPH1060048A (ja) | 1998-03-03 |
Family
ID=17072141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8241294A Pending JPH1060048A (ja) | 1996-08-23 | 1996-08-23 | 環状オレフィン系重合体及びその製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6277923B1 (ja) |
| EP (1) | EP0827975B1 (ja) |
| JP (1) | JPH1060048A (ja) |
| KR (1) | KR100530969B1 (ja) |
| DE (1) | DE69736879T2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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