JPH1062489A - Icテスタ用テスト・ヘッド - Google Patents

Icテスタ用テスト・ヘッド

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JPH1062489A
JPH1062489A JP8241152A JP24115296A JPH1062489A JP H1062489 A JPH1062489 A JP H1062489A JP 8241152 A JP8241152 A JP 8241152A JP 24115296 A JP24115296 A JP 24115296A JP H1062489 A JPH1062489 A JP H1062489A
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JP
Japan
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test head
waveform
test
card
back board
Prior art date
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Application number
JP8241152A
Other languages
English (en)
Inventor
Takahiro Nagata
孝弘 永田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ando Electric Co Ltd
Original Assignee
Ando Electric Co Ltd
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/073Multiple probes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10PGENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 波形生形部とテスト・ヘッドの信号線の増加
と、テスト・ヘッドの大型化と消費電力の増大化を抑制
して信号の分配を可能とするICテスタ用テスト・ヘッ
ドを提供すること。 【解決手段】 テスト・ヘッド1内のバック・ボード3
のプリント配線パターンを通して複数のピン・エレクト
ロニクス・カード2を接続し、波形生形部4で生成した
波形信号をテスト・ヘッド1内のレシーバ・カード5で
受け、レシーバ・カード5からバック・ボード3のプリ
ント配線パターンを通して複数のピン・エレクトロニク
ス・カード2に波形信号をを分配するとともに、バック
・ボード3のプリント配線パターンの最後を終端カード
6で終端する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、ICテスタで被
測定デバイスの複数個並列測定試験において、波形信号
を分配回路を使用しないで分配するICテスタ用テスト
・ヘッドに関するものである。
【0002】
【従来の技術】図2・図3はそれぞれICテスタで被測
定デバイスの複数個並列試験に使用される従来のICテ
スタ用テスト・ヘッドの構成を示す構成説明図である。
【0003】このうち、図2のICテスタ用テスト・ヘ
ッドから説明すると、図2のテスト・ヘッド1には、バ
ック・ボード3が配置されており、このバック・ボード
3に複数のピン・エレクトロニクス・カード2が電気的
に接続されるようにして、連結されている。
【0004】ピン・エレクトロニクス・カード2は、図
示しない被試験デバイス(以下、DUTという)と図示
しない試験装置とを接続し、このDUTに試験信号を供
給するするようにしている。
【0005】また、バック・ボード3には、波形生形部
4から分配回路(図示せず)を介して波形生形部4で生
成された波形信号を複数に分配してバック・ボード3に
供給するようにしている。
【0006】このように構成することにより、例えば、
1つのテスト・ヘッド1でDUTを8個並列に測定試験
をする場合、8個のDUTには同じテスト波形を印加す
ればよいので、波形生形部4で生成された波形信号を8
信号に分配するが、このとき波形生形部4の出口で分配
回路を設け、8信号にした後テスト・ヘッド1のピン・
エレクトロニクス・カード2にバック・ボード3を介し
て信号を供給する。
【0007】この図2のICテスタ用テスト・ヘッドの
場合には、波形生形部4とテスト・ヘッド1を接続する
信号線が膨大な量となってしまうという課題がある。
【0008】そこで、このような課題を解決するため、
図3に示すようなICテスタ用テスト・ヘッドが提案さ
れている。図3で、図2と同一部分には同一符号を付し
て述べると、図2の構成にさらにテスト・ヘッド1内に
バッファ・ボード8を設け、バッファ・ボード8に分配
回路を設け、波形生形部4で生成した波形信号をバッフ
ァ・ボード8の分配回路で分配するようにしている。
【0009】また、バッファ・ボード8とバック・ボー
ド3との間にブランチ・カード7を介在させている。そ
の他の構成は図2と同様である。
【0010】図3のICテスト用テスト・ヘッドの場合
には、図2の例と同様に、1つのテスト・ヘッドでDU
Tを8個並列に測定試験をする場合、8個のDUTには
同じテスト波形を印加すればよいので、波形生形部4で
生成された波形信号を8信号に分配するが、このとき波
形生形部4の波形信号をテスト・ヘッド1のバッファ・
ボード8で受け、バッファ・ボード8に分配回路を設
け、8信号にした後ブランチカード7を介してピン・エ
レクトロニクス・カード2に信号を供給する。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】図3のICテスト用テ
スト・ヘッドでは、図2で問題になった信号線の膨大化
は解決されるが、テスト・ヘッドの中に信号分配回路を
設けなくてはならないため、テスト・ヘッド1が大型化
してしまい、さらにテスト・ヘッド1の消費電力も増大
してしまうという課題がある。
【0012】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために、この発明のICテスタ用テスト・ヘッドは、
テスト・ヘッド1に設けられ、被試験デバイスと試験装
置とを接続し、前記被試験デバイスに試験信号を与える
ピン・エレクトロニクス・カード2と、ピン・エレクト
ロニクス・カード2に波形信号を供給するための波形生
形部4と、テスト・ヘッド1に設けられ、ピン・エレク
トロニクス・カード2に波形信号をプリント配線パター
ンを通して供給するバック・ボード3と、波形生形部4
で生成された波形信号を受けるレシーバ・カード5と、
レシーバ・カード5の出力信号を前記バック・ボード3
のプリント配線パターンの最後で終端する終端カード6
とを備える。
【0013】
【発明の実施の形態】この発明のICテスタ用テスト・
ヘッドによれば、波形生形部4で生成した波形信号を複
数のピン・エレクトロニクス・カード2に供給する場合
に、波形生形部4で生成した波形信号をレシーバーカー
ド5で受け、レシーバーカード5の出力をバック・ボー
ド3のプリント配線パターンを通して複数のピン・エレ
クトロニクス・カード2に供給し、このバック・ボード
3のプリント配線パターンの最後を終端カード6で終端
する。
【0014】次に、この発明によるICテスタ用テスト
・ヘッドの実施の形態について図面を参照して説明す
る。図1はその一実施の形態の構成を示す構成説明図で
ある。図1で、図2・図3と同一部分には、同一符号を
付して説明する。
【0015】図1のテスト・ヘッド1内には、バック・
ボード3のプリント配線パターン(図示せず)を通し
て、波形生形部4から生成された波形信号を複数のピン
・エレクトロニクス・カード2に供給するようになって
いる。
【0016】ピン・エレクトロニクス・カード2は、図
1では図示されていないDUTおよび試験装置とに接続
されて、DUTに波形生形部4で生成された波形信号を
試験信号として供給するようにしている。また、テスト
・ヘッド1内において、バック・ボード3の下面には、
レシーバ・カード5と終端カード6が配置されている。
【0017】レシーバ・カード5は、波形生形部4とバ
ック・ボード3との間に接続されており、波形生形部4
で生成された波形信号をレシーバ・カード5で受け、レ
シーバ・カード5の出力をバック・ボード3のプリント
配線パターンを通して波形信号を複数のピン・エレクト
ロニクス・カード2に供給することができるようになっ
ている。
【0018】終端カード6は、バック・ボード3のプリ
ント配線パターンの最後を終端しており、これによっ
て、レシーバ・カード5からの波形信号をこのプリント
配線パターンの最後で終端するようになっている。
【0019】次に、図1の動作について説明する。例え
ば、1つのテスト・ヘッド1でDUTを8個並列に測定
試験をする場合、8個のDUTには同じテスト波形を印
加すればよいので、波形生形部4で生成された波形信号
を8信号に分配するが、このとき波形生形部4の波形信
号をテスト・ヘッド1のレシーバ・カード5で受け、レ
シーバ・カード5の出力信号をバックボード3のプリン
ト配線パターンに供給し、8枚のピン・エレクトロニク
ス・カード2はバック・ボード3から波形信号を受給
し、バック・ボード3のプリント配線パターンの最後は
終端カード6で終端する。
【0020】なお、図1に示す実施の形態では、波形生
形部4からの波形信号を一旦レシーバ・カード5で受け
てからバック・ボード3のプリント配線パターンに供給
しているが、波形生形部4の波形信号の波形劣化が問題
にならない場合は、波形生形部4の出力信号を直接バッ
ク・ボード3のプリント配線パターンに供給してもよ
い。
【0021】さらに、図1の実施の形態では、波形信号
の終端を終端カード6で行っているが、バック・ボード
3に終端抵抗を設け、この終端抵抗により波形信号を終
端するようにしてもよい。
【0022】
【発明の効果】この発明によれば、ICテスタで被測定
デバイスの複数個並列測定試験に際し、波形生形部で生
成した波形信号をテスト・ヘッド内のバック・ボードの
プリント配線パターンを介して複数のピン・エレクトロ
ニクス・カードに供給するようにしたので、波形生形部
の波形信号を分配するとき分配回路を必要としなくな
り、波形生形部とテスト・ヘッドの信号線を増やさない
で、かつテスト・ヘッドの大型化、および消費電力の増
大化を押さえながら波形信号を分配することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明によるICテスタ用テスト・ヘッドの
一実施の形態の構成を示す構成図である。
【図2】従来のICテスタ用テスト・ヘッドの一例の構
成を示す構成図である。
【図3】従来の別のICテスタ用テスト・ヘッドの構成
を示す構成図である。
【符号の説明】
1 テスト・ヘッド 2 ピン・エレクトロニクス・カード 3 バック・ボード 4 波形生形部 5 レシーバ・カード 6 終端カード 7 ブランチカード 8 バッファボード

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 テスト・ヘッド(1) に設けられ、被試験
    デバイスと試験装置とを接続し、前記被試験デバイスに
    試験信号を与えるピン・エレクトロニクス・カード(2)
    と、 ピン・エレクトロニクス・カード(2) に波形信号を供給
    するための波形生形部(4) と、 テスト・ヘッド(1) に設けられ、ピン・エレクトロニク
    ス・カード(2) 波形信号をプリント配線パターンを通し
    て供給するバック・ボード(3) と、 波形生形部(4) で生成された波形信号を受けるレシーバ
    ・カード(5) と、 レシーバ・カード(5) の出力信号をバック・ボード(3)
    のプリント配線パターンの最後で終端する終端カード
    (6) とを備えることを特徴とするICテスタ用テスト・
    ヘッド。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のICテスタ用テスト・ヘ
    ッドにおいて、 波形生形部(4) で生成された波形信号は、レシーバ・カ
    ード(5) を介さず直接バック・ボード(3) のプリント配
    線パターンに供給することを特徴とするICテスタ用テ
    スト・ヘッド。
  3. 【請求項3】 請求項1記載のICテスタ用テスト・ヘ
    ッドにおいて、 波形生形部(4) で生成された波形信号は、終端カード
    (6) に代えてバック・ボード(3) に設けられた終端抵抗
    で終端することを特徴とするICテスタ用テスト・ヘッ
    ド。
JP8241152A 1996-08-23 1996-08-23 Icテスタ用テスト・ヘッド Pending JPH1062489A (ja)

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