JPH1064270A - 接地雑音隔離機能を有する半導体メモリ素子 - Google Patents
接地雑音隔離機能を有する半導体メモリ素子Info
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- JPH1064270A JPH1064270A JP9175557A JP17555797A JPH1064270A JP H1064270 A JPH1064270 A JP H1064270A JP 9175557 A JP9175557 A JP 9175557A JP 17555797 A JP17555797 A JP 17555797A JP H1064270 A JPH1064270 A JP H1064270A
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Abstract
るノイズの影響を排除して、メモリセルのデータが破壊
されることを防ぐ接地雑音隔離機能を有する半導体メモ
リ素子を提供する。 【解決手段】データ出力器70の出力が接地バウンシン
グされるとき、データ出力器70を制御するチップイネ
ーブル信号CEを基に生成したパルス信号及びセンスア
ンプイネーブル信号SAENに基づいて、接地バウンシ
ングの影響を補償した新たなセンスアンプイネーブル信
号SAEN’(接地雑音隔離信号)を生成する接地雑音
隔離回路80を備え、その新たなセンスアンプイネーブ
ル信号SAEN’によりセンスアンプ駆動用トランジス
タ101をオフさせて、接地バウンシングノイズのビッ
トラインへの経路を遮断する構成とする。
Description
地バウンシングによりノイズが発生してもメモリセルの
データが破壊されないようにした接地雑音隔離機能を有
する半導体メモリ素子に関する。
4に示すように、複数のワードラインW/L(図では、
ワードラインW/L1,W/L2を示す)及び複数のビ
ットラインB/L(図では、ビットラインB/Li,反
転B/Liを示す)が相互に交差する各交差点にそれぞ
れメモリセル11,12,・・・が連結されたメモリセルア
レイ10と、各ワードラインW/Lにそれぞれ接続され
ローアドレス信号RA1,RA2,・・・により特定のワー
ドラインW/Lを駆動するワードラインドライバー20
と、その特定のワードラインW/Lの駆動により対応す
るメモリセルから出力されたデータを所定のレベルに増
幅するビットラインセンス増幅器30と、図示されない
カラムディコーダーのカラム選択信号CSによりビット
ラインセンス増幅器30で増幅されたデータを入出力ラ
インI/O,反転I/Oにそれぞれ出力するカラムスイ
ッチ40と、該カラムスイッチ40から出力されたデー
タを増幅するI/O増幅器50と、該I/O増幅器50
の出力に応じて制御信号を出力する制御ブロック60
と、該制御ブロック60から出力した制御信号及びチッ
プイネーブル信号CEに応じて出力パッドPADにデー
タを出力するデータ出力器70と、から構成されてい
た。
MOSトランジスタ21及びNMOSトランジスタ22
からなるインバーターを各ワードラインW/Lに対応さ
せて複数備え、各インバーターは、NMOSトランジス
タ22が抵抗R2を介してワードラインドライバー用接
地配線104に連結され、PMOSトランジスタ21と
NMOSトランジスタ22の接続点の出力端子が対応す
るワードラインW/Lに連結されていた。
アンプ駆動用NMOSトランジスタ101及び抵抗R1
を介してセンスアンプ用接地配線103に連結されてい
た。データ出力器70は、制御ブロック60の各制御信
号とチップイネーブル信号CEとの否定論理積を演算す
るNANDゲート71,72と、それらNANDゲート
71,72の出力をそれぞれ反転するインバーター7
3,74と、電源電圧Vccが印加される電源端子と出
力用接地配線102の間にそれぞれ直列に連結され、互
いの接続点の出力端子が出力パッドPADに連結された
NMOSトランジスタ75,76と、を備えていた。
プ用接地配線103及びワードラインドライバー用接地
配線104は、後述する接地バウンシングにより発生す
るノイズを減らすためにそれぞれ分離して構成され、最
終的に接地結合線105に共通に接続される。なお、図
中の符号a,bは電流経路の一例を示したものである。
素子の動作について図5を用いて説明する。ここでは、
複数のワードラインW/L及び複数のビットラインB/
LのうちのワードラインW/L1,W/L2及びビット
ラインB/Li,反転B/Liに関する動作を考える。
ルになり、ローアドレス信号RA2がハイレベルになる
と、ワードラインドライバー20では、ローアドレス信
号RA1が入力するインバータのPMOSトランジスタ
21がターンオンされると共に、ローアドレス信号RA
2が入力するインバータのNMOSトランジスタ22が
ターンオンされて、図5(A)に示すようにワードライ
ンW/L1が選択され、その選択されたワードラインW
/L1上に位置したメモリセル11のデータがビットラ
インB/Liに載せられる。
ENがハイレベルとなりセンスアンプ駆動用NMOSト
ランジスタ101がターンオンされると、ビットライン
センス増幅器30はビットラインB/Liに載せられた
データを図5(B)に示すように増幅し、その増幅され
たデータはカラム選択信号CSがハイレベルとなること
によりカラムスイッチ40を通って入出力ラインI/
O,反転I/Oにそれぞれ出力される。
にそれぞれ載せられたデータは、I/O増幅器50で増
幅され制御ブロック60を経てデータ出力器70に出力
される。データ出力器70では、各NANDゲート7
1,72が、ハイレベルのチップイネーブル信号CEと
制御ブロック60から出力された各々のデータとの否定
論理積を演算して、その結果をインバーター73,74
にそれぞれ出力する。そして、インバーター73はロー
レベルの信号をNMOSトランジスタ75のゲート端子
に出力し、インバーター74はハイレベルの信号をNM
OSトランジスタ76のゲート端子に出力する。これに
より、データ出力器70の出力端子を通って図5(C)
に示すようなデータDQが出力パッドPADに出力され
る。
相当に高いという条件の下で、出力用接地配線102が
ソース端子に連結されたNMOSトランジスタ76がタ
ーンオンされると、瞬間電流及びリードフレームによる
仮想インダクタンスにより、データ出力器70の出力信
号には、図5(C)に示したように、瞬間的に接地レベ
ルが変動する前述の接地バウンシングが発生するように
なる。この接地バウンシングは、図5(D)に示すよう
に、出力用接地配線102を通って接地結合線105の
接地バウンシングを誘導し、更に、接地結合線105の
接地バウンシングは、センスアンプ用接地配線103及
びワードラインドライバー用接地配線104に接地バウ
ンシングノイズを発生させる。
ラインドライバー用接地配線104から発生した接地バ
ウンシングノイズは、抵抗R1,R2に応じた時間間隔
を置いてビットラインセンス増幅器30及びワードライ
ンドライバー20にそれぞれ入力される。その影響は、
例えば、図5(B)の時間t1に示したようにビットラ
イン反転B/Li上のデータに現れ、また、図5(A)
の時間t2に示したように選択されないワードラインW
/L2上のデータに現れる。
いワードラインW/L2上のA点及びビットライン/B
/Li上のB点の電位、即ち、メモリセル12の伝送ト
ランジスタのゲート端子とソース端子との電位は、それ
ぞれ図5(E)(F)のように変化し、伝送トランジス
タのゲート端子とソース端子との電位差は、図5(F)
の時間t1では△Vとなる。
体メモリ素子においては、伝送トランジスタのゲート端
子とソース端子との電位差(VGS=△V)が伝送トラン
ジスタのしきい電圧VTHよりも大きくなると、選択され
ないメモリセル12がターンオンされてメモリセルのデ
ータが破壊する虞がある。即ち、データ出力器70から
出力されるデータが、ハイレベルからローレベルに変化
するとき、接地バウンシングにより発生したノイズがセ
ンスアンプ用接地配線103及びビットラインセンス増
幅器30を通ってビットラインB/Lに影響を与えるた
め、選択されないメモリセルの伝送トランジスタがター
ンオンされてセルデータの破壊を誘発する可能性がある
という不都合な点があった。
で、データ出力時の接地バウンシングによるノイズの発
生に対応させた所定幅のパルス信号を生成し、該パルス
信号の発生する間は接地バウンシングノイズの伝達経路
を遮断してメモリセルのデータが破壊されないようにす
る接地雑音隔離機能を有する半導体メモリ素子を提供す
ることを目的とする。
1に記載の発明は、メモリセルからビットラインに出力
されたデータを増幅するビットラインセンス増幅手段
と、該ビットラインセンス増幅手段の駆動状態をセンス
アンプイネーブル信号に応じて切り替えるセンスアンプ
スイッチ手段と、前記ビットラインセンス増幅手段で増
幅されたデータをカラム選択信号に応じて入出力ライン
に出力するカラムスイッチ手段と、前記入出力ラインに
出力されたデータをチップイネーブル信号に応じて出力
端子にデータを出力するデータ出力手段と、を備えて構
成され、該データ出力手段から出力されるデータがハイ
レベルからローレベルに変化して接地バウンシングされ
るとき、該接地バウンシングにより発生する接地バウン
シングノイズが前記センスアンプスイッチ手段及び前記
ビットラインセンス増幅手段を通って前記ビットライン
に印加する経路を有する半導体メモリ素子において、前
記データ出力手段から出力されるデータをハイレベルか
らローレベルに変えるチップイネーブル信号のレベル変
化を基に、前記接地バウンシング発生期間に応じた所定
の幅のパルス信号を生成し、該パルス信号及び前記セン
スアンプイネーブル信号を基に、前記接地バウンシング
の影響を補償した接地雑音隔離信号を生成して前記セン
スアンプスイッチ手段に出力する接地雑音隔離手段を備
え、前記接地バウンシングが発生する間前記センスアン
プスイッチ手段をオフ状態に切り替えて前記接地バウン
シングノイズの経路を遮断する構成とする。
トラインに出力されたデータは、ビットラインセンス増
幅手段で増幅された後、カラムスイッチ手段を介して入
出力ラインに出力され、入出力ライン上のデータはデー
タ出力手段でチップイネーブル信号に応じて出力端子か
ら出力される。そして、データ出力手段の出力データが
ハイレベルからローレベルに変化して接地バウンシング
されるとき、接地雑音隔離手段では、チップイネーブル
信号を基に生成したパルス信号及びセンスアンプイネー
ブル信号に基づいて接地バウンシングの影響を補償した
接地雑音隔離信号が生成される。その接地雑音隔離信号
がセンスアンプスイッチ手段に送られてビットラインセ
ンス増幅手段の駆動状態が切り替えられることにより、
接地バウンシングノイズをビットラインに伝える経路が
遮断されるようになる。
1に記載の発明において、前記接地雑音隔離手段が、前
記チップイネーブル信号及び該チップイネーブル信号を
所定の時間遅延させ反転させた信号を基に前記パルス信
号を生成するパルス発生部と、該パルス発生部で生成さ
れたパルス信号と前記センスアンプイネーブル信号との
否定論理積を演算する第1NANDゲートと、該第1N
ANDゲートの出力を反転して前記接地雑音隔離信号を
出力するインバーターと、を備えるものとする。
号及びそれを遅延、反転した信号を基にパルス発生部で
生成されたパルス信号とセンスアンプイネーブル信号と
が第1NANDゲートに入力され、その否定論理積演算
結果がインバータで反転されて接地雑音隔離信号が生成
されるようになる。更に、請求項3に記載の発明では、
請求項2に記載の発明の具体的な構成として、前記パル
ス発生部が、前記チップイネーブル信号を順次反転して
所定の時間遅延させる複数のインバーターと、該複数の
インバーターの出力と前記チップイネーブル信号との否
定論理積を演算するNANDゲートと、を備えるものと
する。
に基づいて説明する。図1は、本実施の形態に係る接地
雑音隔離機能を有する半導体メモリ素子の構成を示す図
である。図1において、本半導体メモリ素子は、上述し
た従来の半導体メモリ素子に対して、センスアンプ駆動
用トランジスタ101を制御する接地雑音隔離手段とし
ての接地雑音隔離回路80を付加して構成される。具体
的には、従来と同様な構成として、複数のワードライン
W/L1,W/L2,・・・及び複数のビットラインB/L
i,反転B/Li,・・・が相互に交差する各交差点にそれ
ぞれメモリセル11,12,・・・が連結されたメモリセル
アレイ10と、各ワードラインW/L1,W/L2,・・・
にそれぞれ接続されてローアドレス信号RA1,RA
2,・・・により特定のワードラインを駆動するワードライ
ンドライバー20と、該特定のワードラインW/Lの駆
動により対応するメモリセルから出力されたデータを所
定レベルに増幅するビットラインセンス増幅手段として
のビットラインセンス増幅器30と、図示されないカラ
ムディコーダーからのカラム選択信号CSによりビット
ラインセンス増幅器30で増幅されたデータを入出力ラ
インI/O,反転I/Oにそれぞれ出力するカラムスイ
ッチ手段としてのカラムスイッチ40と、該カラムスイ
ッチ40から出力されたデータを増幅するI/O増幅器
50と、該I/O増幅器50の出力に応じて制御信号を
出力する制御ブロック60と、該制御ブロック60から
出力した制御信号及びチップイネーブル信号CEに応じ
て出力パッドPADにデータを出力するデータ出力手段
としてのデータ出力器70と、を備え、また、本実施の
形態で付加される構成として、チップイネーブル信号C
Eを基に接地バウンシング発生期間に応じたパルス幅を
有するパルス信号を生成し、そのパルス信号及びセンス
アンプイネーブル信号SAENを基に接地バウンシング
の影響を補償した接地雑音隔離信号としての新たなセン
スアンプイネーブル信号SAEN’を生成して、センス
アンプ駆動用トランジスタ101を制御する接地雑音隔
離回路80を備える。
に、チップイネーブル信号CEを受けて所定幅のパルス
信号を生成するパルス発生部81と、該パルス発生部8
1で生成されたパルス信号とセンスアンプイネーブル信
号SAENとの否定論理積を演算する第1NANDゲー
トとしてのNANDゲート82と、該NANDゲート8
2の出力を反転して新たなセンスアンプイネーブル信号
SAEN’を出力するインバーター83と、を備える。
ブル信号CEを順次反転する直列に接続された、例え
ば、3つのインバーター81’と、それらインバーター
81’の出力とチップイネーブル信号CEとの否定論理
積を演算する第2NANDゲートとしてのNANDゲー
ト81”と、を備える。このように構成された本実施の
形態の動作について説明する。
受けてワードラインドライバー20の各PMOSトラン
ジスタ21及びNMOSトランジスタ22がそれぞれタ
ーンオン若しくはターンオフされると、図3(A)に示
すように、複数のワードラインW/Lのうちの特定のワ
ードラインが選択される。ここでは、例えば、ワードラ
インW/L1が選択されたとすると、ワードラインW/
L1のメモリセル11からデータが出力してビットライ
ンB/Liに載せられる。このとき、接地雑音隔離回路
80は、チップイネーブル信号CEがローレベルを維持
しハイレベルに転ずるまでの間では、入力されたセンス
アンプイネーブル信号SAENをそのまま新たなセンス
アンプイネーブル信号SAEN’として出力し、センス
アンプ駆動用トランジスタ101をターンオンさせる。
は、ビットラインB/Liに載せられたデータを増幅
し、カラム選択信号CSに応じてターンオンされたカラ
ムスイッチ40を介して入出力ラインI/O,反転I/
Oに出力する。それら入出力ラインI/O,反転I/O
に載せられたデータは、I/O増幅器50で増幅された
後、制御ブロック60を通ってデータ出力器70に入力
される。
(C)に示すようにハイレベルに転じると、データ出力
器70のNANDゲート71,72は、ハイレベルのチ
ップイネーブル信号CEと制御ブロック60から出力さ
れるデータとの否定論理積をそれぞれ演算してインバー
ター73,74に出力する。ここでは、インバーター7
3からローレベルの信号が出力されてNMOSトランジ
スタ75がターンオフされ、また、インバーター74か
らハイレベルの信号が出力されてNMOSトランジスタ
76がターンオンされる。
にデータ出力器70の出力は、図3(E)に示すよう
に、瞬間的に接地バウンシングされ、該接地バウンシン
グは、出力用接地配線102を通って接地結合線105
に接地バウンシングを誘導する。更に、その接地結合線
105の接地バウンシングは、センスアンプ用接地配線
103及びワードラインドライバー用接地配線104に
同様な影響を与えて接地バウンシングノイズを発生させ
る。
03及びワードラインドライバー用接地配線104で発
生した接地バウンシングノイズは、各抵抗R1,R2に
応じた時間間隔を置いて、ビットラインセンス増幅器3
0及びワードラインドライバー20に向けて送られる。
しかし、このとき接地雑音隔離回路80は、チップイネ
ーブル信号CEが図3(C)に示すようにハイレベルに
転じた後には、図3(D)に示すような、3つのインバ
ーター81’による遅延時間(接地バウンシング発生期
間に対応)に応じた所定の幅を有するローレベルのパル
ス信号を出力して、センスアンプ駆動用トランジスタ1
01をターンオフさせるため、ビットラインセンス増幅
器30に繋がる接地バウンシングノイズの経路が遮断さ
れる。
に、センスアンプ用接地配線103からの接地バウンシ
ングノイズによるビットライン反転B/Li上のデータ
及びB点の電位への影響が除去されるため、メモリセル
12はオフ状態を維持し、接地バウンシングノイズによ
るメモリセルのデータ破壊が防止可能となる。
〜3のいずれか1つに記載の発明は、データ出力手段の
出力データがハイレベルからローレベルに変化すると
き、データ出力手段の出力を制御するチップイネーブル
信号を基に接地バウンシングを補償する接地雑音隔離を
接地雑音隔離手段で生成して、センスアンプスイッチ手
段を遮断させるようにしたことによって、接地バウンシ
ングにより発生するノイズのビットラインに与える影響
が排除されるため、メモリセルのデータ破壊を防止でき
るという効果がある。
えた半導体メモリ素子の構成を示す図である。
路図である。
ある。
る。
る図である。
01 NMOSトランジスタ 21, 23 PMOSトランジスタ 40 カラムスイッチ 50 I/O増幅器 60 制御ブロック 70 データ出力器 71, 72, 81”, 82 NANDゲート 73, 74, 81’, 83 インバーター 80 接地雑音隔離回路 81 パルス発生部 102, 103, 104 接地配線 105 接地結合線 CS カラム選択信号 CE チップイネーブル信号 SAEN センスアンプイネーブル信号 SAEN’ 新たなセンスアンプイネーブル信号
Claims (3)
- 【請求項1】メモリセルからビットラインに出力された
データを増幅するビットラインセンス増幅手段と、該ビ
ットラインセンス増幅手段の駆動状態をセンスアンプイ
ネーブル信号に応じて切り替えるセンスアンプスイッチ
手段と、前記ビットラインセンス増幅手段で増幅された
データをカラム選択信号に応じて入出力ラインに出力す
るカラムスイッチ手段と、前記入出力ラインに出力され
たデータをチップイネーブル信号に応じて出力端子にデ
ータを出力するデータ出力手段と、を備えて構成され、
該データ出力手段から出力されるデータがハイレベルか
らローレベルに変化して接地バウンシングされるとき、
該接地バウンシングにより発生する接地バウンシングノ
イズが前記センスアンプスイッチ手段及び前記ビットラ
インセンス増幅手段を通って前記ビットラインに印加す
る経路を有する半導体メモリ素子において、 前記データ出力手段から出力されるデータをハイレベル
からローレベルに変えるチップイネーブル信号のレベル
変化を基に、前記接地バウンシング発生期間に応じた所
定の幅のパルス信号を生成し、該パルス信号及び前記セ
ンスアンプイネーブル信号を基に、前記接地バウンシン
グの影響を補償した接地雑音隔離信号を生成して前記セ
ンスアンプスイッチ手段に出力する接地雑音隔離手段を
備え、前記接地バウンシングが発生する間前記センスア
ンプスイッチ手段をオフ状態に切り替えて前記接地バウ
ンシングノイズの経路を遮断する構成としたことを特徴
とする接地雑音隔離機能を有する半導体メモリ素子。 - 【請求項2】前記接地雑音隔離手段が、前記チップイネ
ーブル信号及び該チップイネーブル信号を所定の時間遅
延させ反転させた信号を基に前記パルス信号を生成する
パルス発生部と、該パルス発生部で生成されたパルス信
号と前記センスアンプイネーブル信号との否定論理積を
演算する第1NANDゲートと、該第1NANDゲート
の出力を反転して前記接地雑音隔離信号を出力するイン
バーターと、を備えたことを特徴とする請求項1記載の
接地雑音隔離機能を有する半導体メモリ素子。 - 【請求項3】前記パルス発生部が、前記チップイネーブ
ル信号を順次反転して所定の時間遅延させる複数のイン
バーターと、該複数のインバーターの出力と前記チップ
イネーブル信号との否定論理積を演算する第2NAND
ゲートと、を備えたことを特徴とする請求項2記載の接
地雑音隔離機能を有する半導体メモリ素子。
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